CN107022752B - 一种有机金属化合物伴生物的收集装置及气相沉积系统 - Google Patents

一种有机金属化合物伴生物的收集装置及气相沉积系统 Download PDF

Info

Publication number
CN107022752B
CN107022752B CN201610073029.1A CN201610073029A CN107022752B CN 107022752 B CN107022752 B CN 107022752B CN 201610073029 A CN201610073029 A CN 201610073029A CN 107022752 B CN107022752 B CN 107022752B
Authority
CN
China
Prior art keywords
gas
baffle
collection device
organo
metallic compound
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201610073029.1A
Other languages
English (en)
Other versions
CN107022752A (zh
Inventor
林桂荣
邢志刚
徐春阳
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Zhongsheng Photoelectric Equipment (shanghai) Ltd By Share Ltd
Original Assignee
Zhongsheng Photoelectric Equipment (shanghai) Ltd By Share Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Zhongsheng Photoelectric Equipment (shanghai) Ltd By Share Ltd filed Critical Zhongsheng Photoelectric Equipment (shanghai) Ltd By Share Ltd
Priority to CN201610073029.1A priority Critical patent/CN107022752B/zh
Publication of CN107022752A publication Critical patent/CN107022752A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN107022752B publication Critical patent/CN107022752B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/4412—Details relating to the exhausts, e.g. pumps, filters, scrubbers, particle traps

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

本发明公开了一种有机金属化合物伴生物的收集装置及气相沉积系统，涉及气相沉积技术领域。该收集装置包括外壳，所述外壳的两端设有气体进口和气体出口，所述外壳内壁上分层固定有多个挡板，所述挡板与进气方向夹角小于180°，每个挡板上均设有开口，不同挡板之间的间隙以及挡板上的开口构成流动通道，所述流动通道的截面面积沿气体的流动方向逐渐增大，相邻的所述挡板上的开口相互错开设置。本发明提出的有机金属化合物伴生物的收集装置及气相沉积系统，能够沉积不同的伴生物，减少后续滤芯的负担，延长滤芯的使用寿命，且该收集装置能够重复利用，节约成本。

Description

一种有机金属化合物伴生物的收集装置及气相沉积系统
技术领域
本发明涉及气相沉积技术领域，尤其涉及一种有机金属化合物伴生物的收集装置及气相沉积系统。
背景技术
目前氮化镓半导体材料商业化的量产化设备以有机金属源气相沉积系统(MOCVD)为主。有机金属源(三甲基、三乙基)分解后会产生大量的伴生物(如碳、氢)。其中以碳的产生对设备运行影响最大，每1000克的三甲基镓，典型使用效率约24.4％，因此会产生756克的伴生物(碳与镓，其中碳占391克)。因此在长期运行的情况下，大量的伴生物会累积在设备中自上游反应腔至下游的排气系统中。累积在反应腔对外延片生长稳定性、温度控制与外延片表面洁净度产生不良影响，甚至影响外延片器件性能。如碳累积在反应腔下游的尾气系统中，则易损害相关控制元件，如干泵、逆止阀门，对设备运行的稳定性、重复性皆有不良影响。
目前的传统的做法是在干泵前安装一个2～100um的滤芯，对反应后的尾气进行过滤。但是上述滤芯为耗材，每月需定期更换，若选择较孔径较小滤芯，可保证设备控制元件的寿命，但增加维护时间与成本。若选择孔径较大滤芯，更换周期得以延长，但对尾气管道相关元件极为不利，使用一年后干泵与逆止阀门皆都会受到污染损坏，并且需要昂贵的保养与更换费用。
对于现有问题，本发明提出一种有机金属化合物伴生物的收集装置及气相沉积系统，能够在伴生物进入滤芯前进行预处理，使得滤芯的使用寿命延长，且该装置可重复使用，节省成本。
发明内容
本发明的目的在于提出一种有机金属化合物伴生物的收集装置，能够沉积多种伴生物，沉积效果好，减少滤芯的负担，能够重复利用，节约成本。
本发明的另一个目的在于提出一种气相沉积系统，包括上述的有机金属化合物伴生物的收集装置。
为达此目的，本发明采用以下技术方案：
一种有机金属化合物伴生物的收集装置，包括外壳，所述外壳的两端设有气体进口和气体出口，所述外壳内壁上分层固定有多个挡板，所述挡板与进气方向夹角小于180°，每个挡板上均设有开口，不同挡板之间的间隙以及挡板上的开口构成流动通道，所述流动通道的截面面积沿气体的流动方向逐渐增大，相邻的所述挡板上的开口相互错开设置。
进一步的技术特征，在气体进口到气体出口之间，所述挡板相互平行设置，且所述挡板与进气方向垂直，随着挡板逐渐远离气体进口，相邻挡板之间的距离逐渐增大。
进一步的技术特征，随着挡板逐渐远离气体进口，所述挡板上的开口尺寸逐渐增大。
进一步的技术特征，所述开口为挡板边缘和外壳内壁之间形成的缺口。
进一步的技术特征，所述相邻挡板上的开口相互远离。
进一步的技术特征，所述开口为所述挡板上的通孔。
进一步的技术特征，所述外壳为相互扣合的两部分，两部分所述外壳分离处为清洁口，所述清洁口贯穿气体进口的端面和气体出口的端面。
进一步的技术特征，相互扣合的两部分外壳以中轴线所在的面为对称面相互对称。
进一步的技术特征，相互扣合的两部分外壳之间相互铰接。
一种气相沉积系统，包括沿气体流向设置的反应腔、滤芯和干泵，还包括上述的有机金属化合物伴生物的收集装置，所述收集装置位于所述反应腔和滤芯之间。
本发明的有益效果：
本发明提出的有机金属化合物伴生物的收集装置，外壳内壁上分层固定有多个挡板，挡板与进气方向夹角小于180°，气体由气体进口到气体出口的过程中能够在挡板上沉积，每个挡板上均设有开口，不同挡板之间的间隙以及挡板上的开口构成气体的流动通道，流动通道的截面面积沿气体的流动方向逐渐增大，气体的流动速度相应的减缓，沉积效果更好，能够在气体流速不同的阶段沉积不同重量的伴生物，能够减少滤芯的负担，经实际测定可知，该收集装置能够沉积30～75％的伴生物，减低滤芯的更换频率，另外，该装置清理方便，能够重复利用，节约成本。
本发明提出的气相沉积系统，包括沿气体流向设置的反应腔、滤芯和干泵，还包括有机金属化合物伴生物的收集装置，该收集装置位于反应腔和滤芯之间。
附图说明
图1是本发明提供的有机金属化合物伴生物的收集装置的结构原理示意图；
图2是本发明提供的有机金属化合物伴生物的收集装置的结构示意图；
图3是本发明提供的气相沉积系统的结构原理图。
其中，1、外壳；2、气体进口；3、气体出口；4、挡板；5、开口；6、清洁口。
具体实施方式
下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。
如图1-2所示，一种有机金属化合物伴生物的收集装置，包括外壳1，外壳1的两端设有气体进口2和气体出口3，外壳1内壁上分层固定有多个挡板4，挡板4与进气方向夹角小于180°，使得气体由气体进口2到气体出口3的过程中能够在挡板4上沉积，每个挡板4上均设有开口5，不同挡板4之间的间隙以及挡板4上的开口5构成气体的流动通道，流动通道的截面面积沿气体的流动方向逐渐增大，气体流速会与截面面积呈反比，因此随着截面面积的增大，气体流速逐渐减慢，使得气体内的伴生物能够充分沉积在挡板4上，相邻的挡板4上的开口5相互错开设置，气体在行进方向改变时，会产生滞留气漩，局部的气漩，会让气流不断的在局部空间循环，此时伴生物会在循环过程中附著与沉积在挡板4表面，能够防止气体快速流经该收集装置，通过增加气体的流经路径使得沉积效果更好。优选的，与气体进口相邻的挡板上的开口和气体进口相互远离，与气体出口相邻的挡板上的开口和气体出口相互远离，以使得流动通道尽可能延长，保证沉积效果。
在气体进口2到气体出口3之间，如图2所示，挡板4相互平行设置，且与进气方向垂直，随着挡板4逐渐远离气体进口2，相邻挡板4之间的距离逐渐增大，随着挡板4逐渐远离气体进口2，挡板4上的开口5尺寸逐渐增大，保证该收集装置内的流动通道的截面面积随气体的流动方向逐渐增大，使得气体流速逐渐减慢，使得该收集装置能够沉积多种不同重量的伴生物，将30～75％的伴生物在该收集装置中进行沉积，进而大幅减少伴生物累积在后续滤芯上，延长滤芯的使用寿命，减少滤芯更换次数，延长维护周期。
具体的，开口5为挡板4边缘和外壳1内壁之间形成的缺口，优选的，相邻挡板4上的开口5相互远离，使得相邻挡板4上的开口5之间的距离最大，延长流动通道的长度，保证良好的沉积效果。
开口5的另一种方式可以选择为挡板4上的通孔，同样能够实现物理沉积即可。
如图2所示，外壳1为相互扣合的两部分，两部分外壳1分离处为清洁口6，清洁口6贯穿气体进口2的端面和气体出口3的端面，通过该清洁口6，挡板4上沉积的伴生物能够沿挡板4表面直接滑落到清洁口6外部，容易清理，因此收集装置能够多次重复利用，节约成本。
优选的，相互扣合的两部分外壳1以中轴线所在的面为对称面相互对称，结构对称，清洁口6的宽度达到最大，清理效果好，用时短。
进一步优选的，相互扣合的两部分外壳1之间相互铰接，该结构便于操作，外壳1可以较易在清洁状态和工作状态之间切换，减少清洁时间，有助于提高工作效率。
本具体实施方式属结构性物理沉积，没有化学反应过程，没有对设备产生污染的风险，亦无耗材与寿命问题，同时安全可靠。
外壳1为圆柱体或锥体，外壳1的具体形状不限，可根据实际情况进行选择。
如图3所示，本具体实施方式还保护一种气相沉积系统，包括沿气体流向设置的反应腔、滤芯和干泵，还包括有机金属化合物伴生物的收集装置，该收集装置位于反应腔和滤芯之间。
申请人声明，本发明的上述实施例仅是为了清楚说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明权利要求的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种有机金属化合物伴生物的收集装置，包括外壳(1)，所述外壳(1)的两端设有气体进口(2)和气体出口(3)，其特征在于，所述外壳(1)内壁上分层固定有多个挡板(4)，所述挡板(4)与进气方向夹角小于180°，每个挡板(4)上均设有开口(5)，不同挡板(4)之间的间隙以及挡板(4)上的开口(5)构成流动通道，所述流动通道的截面面积沿气体的流动方向逐渐增大，相邻的所述挡板(4)上的开口(5)相互错开设置，并且所述外壳(1)为相互扣合的两部分，两部分所述外壳(1)分离处为清洁口(6)，所述清洁口(6)贯穿气体进口(2)的端面和气体出口(3)的端面。
2.根据权利要求1所述的有机金属化合物伴生物的收集装置，其特征在于，在气体进口(2)到气体出口(3)之间，所述挡板(4)相互平行设置，且所述挡板(4)与进气方向垂直，随着挡板(4)逐渐远离气体进口(2)，相邻挡板(4)之间的距离逐渐增大。
3.根据权利要求1或2所述的有机金属化合物伴生物的收集装置，其特征在于，随着挡板(4)逐渐远离气体进口(2)，所述挡板(4)上的开口(5)尺寸逐渐增大。
4.根据权利要求3所述的有机金属化合物伴生物的收集装置，其特征在于，所述开口(5)为挡板(4)边缘和外壳(1)内壁之间形成的缺口。
5.根据权利要求4所述的有机金属化合物伴生物的收集装置，其特征在于，所述相邻挡板(4)上的开口(5)相互远离。
6.根据权利要求3所述的有机金属化合物伴生物的收集装置，其特征在于，所述开口(5)为所述挡板(4)上的通孔。
7.根据权利要求1所述的有机金属化合物伴生物的收集装置，其特征在于，相互扣合的两部分外壳(1)以中轴线所在的面为对称面相互对称。
8.根据权利要求7所述的有机金属化合物伴生物的收集装置，其特征在于，相互扣合的两部分外壳(1)之间相互铰接。
9.一种气相沉积系统，包括沿气体流向设置的反应腔、滤芯和干泵，其特征在于，还包括权利要求1-8任意一项所述的有机金属化合物伴生物的收集装置，所述收集装置位于所述反应腔和滤芯之间。
CN201610073029.1A 2016-02-02 2016-02-02 一种有机金属化合物伴生物的收集装置及气相沉积系统 Active CN107022752B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610073029.1A CN107022752B (zh) 2016-02-02 2016-02-02 一种有机金属化合物伴生物的收集装置及气相沉积系统

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610073029.1A CN107022752B (zh) 2016-02-02 2016-02-02 一种有机金属化合物伴生物的收集装置及气相沉积系统

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN107022752A CN107022752A (zh) 2017-08-08
CN107022752B true CN107022752B (zh) 2018-04-20

Family

ID=59524334

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201610073029.1A Active CN107022752B (zh) 2016-02-02 2016-02-02 一种有机金属化合物伴生物的收集装置及气相沉积系统

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN107022752B (zh)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2716284Y (zh) * 2004-07-07 2005-08-10 中国航空工业第一集团公司北京航空制造工程研究所 一种化学气相共沉积与渗透尾气处理装置
JP2006005258A (ja) * 2004-06-18 2006-01-05 Asekku:Kk 固体除去装置及びそれを利用した化合物半導体の製造方法
JP2007115764A (ja) * 2005-10-18 2007-05-10 Toshiba Corp 半導体製造装置及び半導体製造方法
CN101133185A (zh) * 2005-03-02 2008-02-27 爱德华兹有限公司 收集装置
CN102080209A (zh) * 2009-12-01 2011-06-01 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 真空镀膜设备
CN202830164U (zh) * 2012-09-07 2013-03-27 中晟光电设备（上海）有限公司 一种防止气体反冲的装置以及金属有机化学气相沉积设备

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006005258A (ja) * 2004-06-18 2006-01-05 Asekku:Kk 固体除去装置及びそれを利用した化合物半導体の製造方法
CN2716284Y (zh) * 2004-07-07 2005-08-10 中国航空工业第一集团公司北京航空制造工程研究所 一种化学气相共沉积与渗透尾气处理装置
CN101133185A (zh) * 2005-03-02 2008-02-27 爱德华兹有限公司 收集装置
JP2007115764A (ja) * 2005-10-18 2007-05-10 Toshiba Corp 半導体製造装置及び半導体製造方法
CN102080209A (zh) * 2009-12-01 2011-06-01 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 真空镀膜设备
CN202830164U (zh) * 2012-09-07 2013-03-27 中晟光电设备（上海）有限公司 一种防止气体反冲的装置以及金属有机化学气相沉积设备

Also Published As

Publication number Publication date
CN107022752A (zh) 2017-08-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN206823386U (zh) 一种饲料加工用除尘装置
CN102698529B (zh) 高炉煤气气相脉动反吹风内滤式袋式除尘装置
CN102080209A (zh) 真空镀膜设备
CN107022752B (zh) 一种有机金属化合物伴生物的收集装置及气相沉积系统
CN104480468A (zh) 干式蚀刻机及用于捕集气体中磁性颗粒的捕集装置
CN110237935A (zh) 一种运行效率高的转炉干法除尘设备
KR20090016184A (ko) 탈진장치가 구비된 여과집진기
CN201085969Y (zh) 一种低阻力袋式除尘器
CN206008218U (zh) 一种用于灌溉系统进口管路的自清洗过滤器
CN206081971U (zh) 一种多筒式滤尘器二级过滤装置
US8679213B2 (en) Dust collector
CN204644158U (zh) 多喷灯的疏松体光纤预制棒ovd沉积制备装置
CN204364964U (zh) 纤维束过滤器
CN209287812U (zh) 一种用于笔记本电脑外壳生产的清洁装置
CN207562596U (zh) 一种真空泵过滤罐过滤装置
CN208771013U (zh) 一种气流分布均匀的脉冲反吹除尘器
CN202730155U (zh) 高炉煤气气相脉动反吹风内滤式袋式除尘器
CN104107597A (zh) 一种提高分气箱防腐能力的除尘器及其制造方法
CN203971620U (zh) 一种提高分气箱防腐能力的除尘器
CN105664587B (zh) 液相净化装置
CN202251026U (zh) 一种防止空气进入泵的装置及一种光伏湿制程设备
CN202730156U (zh) 高炉煤气气相脉动反吹风内滤式袋式除尘装置
CN205257489U (zh) 一种欧化吸料机
CN209662933U (zh) 一种提高金属有机物化学气相沉积设备生产效率的装置
CN203829864U (zh) 一种除尘设备

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant