CN106885924A - 一种用于igbt芯片表面铝金属化层方阻测量的定位装置 - Google Patents
一种用于igbt芯片表面铝金属化层方阻测量的定位装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN106885924A CN106885924A CN201710076816.6A CN201710076816A CN106885924A CN 106885924 A CN106885924 A CN 106885924A CN 201710076816 A CN201710076816 A CN 201710076816A CN 106885924 A CN106885924 A CN 106885924A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- chip surface
- positioner
- sheet resistance
- location hole
- igbt chip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/04—Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R27/00—Arrangements for measuring resistance, reactance, impedance, or electric characteristics derived therefrom
- G01R27/02—Measuring real or complex resistance, reactance, impedance, or other two-pole characteristics derived therefrom, e.g. time constant
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
本发明涉及一种用于IGBT芯片表面铝金属化层方阻测量的定位装置,其特征在于包括支撑墙、凹槽和定位孔。本发明所述的定位装置,结构简单,使用方便,将所述的定位装置扣于被测IGBT芯片表面,并将测量探针插入定位孔并与芯片表面接触,从而实现测量探针的精确定位。
Description
技术领域
本发明涉及一种用于IGBT芯片表面铝金属化层方阻测量的定位装置。
背景技术
目前,在测量类似于IGBT芯片表面铝金属化层等薄膜结构的方阻时,通常采用四探针法进行测量,包括常规四探针法、双位四探针法和方形四探针法等。但无论采用何种四探针法,都需要对探针的测量位置进行定位,尤其对于常规四探针法,需要保证四个探针在测量样品表面呈直线排列,并且探针之间的距离相等。然而,一般的标准结构探针台无法将探针在测量样品表面进行精确定位,更无法保证探针之间的距离相等。
发明内容
为了改善上述问题,本发明的目的在于提供一种用于IGBT芯片表面铝金属化层方阻测量的定位装置。
本发明的技术方案是这样实现的:
一种IGBT芯片表面铝金属化层方阻测量的定位装置,其特征在于包括支撑墙(100)、凹槽(101)和定位孔(102);
所述支撑墙(100)距离所述凹槽(101)底部的高度为2mm;
所述凹槽(101)尺寸为13cm×13cm;
所述凹槽(101)底部均布有定位孔(102)阵列;
所述定位孔(102)直径为0.51mm;定位孔(102)阵列为8×8阵列。
所述定位孔(102)阵列的节距为1.5mm;
进一步地,所述的定位装置,其长宽高尺寸为15cm×15cm×3cm。
进一步地,所述的定位装置,其材料为透明树脂材料。
进一步地,所述的定位装置,其特征在于既可以用于常规四探针法和双位四探针法测量IGBT芯片表面铝金属化层方阻的定位,还可以用于方形四探针法测量IGBT芯片表面铝金属化层方阻的定位。
本发明的有益效果是:
本发明所述的定位装置,结构简单,使用方便,将所述的定位装置扣于被测IGBT芯片表面,并将测量探针插入定位孔并与芯片表面接触,从而实现测量探针的精确定位。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
结合附图,做以下说明:
图中标号说明
100-支撑墙
101-凹槽
102-定位孔
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
实施例
如图1所示,一种IGBT芯片表面铝金属化层方阻测量的定位装置,其特征在于包括支撑墙(100)、凹槽(101)和定位孔(102);
所述支撑墙(100)距离所述凹槽(101)底部的高度为2mm;
所述凹槽(101)尺寸为13cm×13cm;
所述凹槽(101)底部均布有定位孔(102)阵列;
所述定位孔(102)直径为0.51mm;
所述定位孔(102)阵列的节距为1.5mm;
进一步地,所述的定位装置,其长宽高尺寸为15cm×15cm×3cm。
进一步地,所述的定位装置,其材料为透明树脂材料。
进一步地,所述的定位装置,其特征在于定位孔(102)阵列为8×8阵列。
进一步地,所述的定位装置,其特征在于既可以用于常规四探针法和双位四探针法测量IGBT芯片表面铝金属化层方阻的定位,还可以用于方形四探针法测量IGBT芯片表面铝金属化层方阻的定位。
虽然本发明实施例披露如上,但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员,在不脱离本发明的精神和范围内,均可作各种更动与修改,因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。
Claims (4)
1.一种IGBT芯片表面铝金属化层方阻测量的定位装置,其特征在于包括支撑墙(100)、凹槽(101)和定位孔(102);
所述支撑墙(100)距离所述凹槽(101)底部的高度为2mm;
所述凹槽(101)尺寸为13cm×13cm;
所述凹槽(101)底部均布有定位孔(102)阵列;定位孔(102)阵列为8×8阵列;
所述定位孔(102)直径为0.51mm;
所述定位孔(102)阵列的节距为1.5mm。
2.根据权利要求1所述的定位装置,其长宽高尺寸为15cm×15cm×3cm。
3.根据权利要求1所述的定位装置,其材料为透明树脂材料。
4.根据权利要求1所述的定位装置,其特征在于:用于常规四探针法和双位四探针法测量IGBT芯片表面铝金属化层方阻的定位,或者用于方形四探针法测量IGBT芯片表面铝金属化层方阻的定位。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201710076816.6A CN106885924A (zh) | 2017-02-13 | 2017-02-13 | 一种用于igbt芯片表面铝金属化层方阻测量的定位装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201710076816.6A CN106885924A (zh) | 2017-02-13 | 2017-02-13 | 一种用于igbt芯片表面铝金属化层方阻测量的定位装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN106885924A true CN106885924A (zh) | 2017-06-23 |
Family
ID=59179280
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201710076816.6A Pending CN106885924A (zh) | 2017-02-13 | 2017-02-13 | 一种用于igbt芯片表面铝金属化层方阻测量的定位装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN106885924A (zh) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN201662595U (zh) * | 2010-04-22 | 2010-12-01 | 厦门万德宏光电科技有限公司 | 一种用于触摸屏导电玻璃膜层的方阻测试仪 |
CN103235185A (zh) * | 2013-04-18 | 2013-08-07 | 常州天合光能有限公司 | 用于选择性发射电极电池制备过程中的测试方阻的方法 |
CN103954653A (zh) * | 2014-04-29 | 2014-07-30 | 上海交通大学 | 四探头电导探针制作方法及其在两相流参数测量中的应用 |
-
2017
- 2017-02-13 CN CN201710076816.6A patent/CN106885924A/zh active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN201662595U (zh) * | 2010-04-22 | 2010-12-01 | 厦门万德宏光电科技有限公司 | 一种用于触摸屏导电玻璃膜层的方阻测试仪 |
CN103235185A (zh) * | 2013-04-18 | 2013-08-07 | 常州天合光能有限公司 | 用于选择性发射电极电池制备过程中的测试方阻的方法 |
CN103954653A (zh) * | 2014-04-29 | 2014-07-30 | 上海交通大学 | 四探头电导探针制作方法及其在两相流参数测量中的应用 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN202109847U (zh) | 多功能卡尺 | |
CN103411712B (zh) | 接触应力传感器 | |
CN1995904A (zh) | 锥度塞规 | |
CN102305587A (zh) | 表面变形分布测试传感元件 | |
CN206146872U (zh) | 一种监测混凝土表面裂缝的装置 | |
CN105203847A (zh) | 一种薄层材料方块电阻和连接点接触电阻测试方法 | |
JP3189811U (ja) | プローブモジュール | |
CN106441376A (zh) | 石墨栅柔性电阻应变片及其制造方法 | |
CN202177357U (zh) | 一种内外链板中心距的检测工具 | |
CN201653324U (zh) | 一种片状材料厚度测量装置 | |
CN106885924A (zh) | 一种用于igbt芯片表面铝金属化层方阻测量的定位装置 | |
JP4847907B2 (ja) | 半導体検査装置 | |
CN104677236A (zh) | 多功能卡板 | |
CN203385498U (zh) | 接触应力传感器 | |
KR102271549B1 (ko) | 용량식 파고계 교정 장치 및 교정 방법 | |
JP6078756B2 (ja) | マイクロフォーカスx線ct装置用の分解能評価試験片 | |
CN203929021U (zh) | 一种长度检测装置 | |
CN103217243B (zh) | 一种基于石墨烯的表面摩擦力测量装置及使用方法 | |
CN207231584U (zh) | 一种自带固定装置的液位传感器 | |
CN104296636A (zh) | 用于检测航天产品安装孔间距的辅助量具及方法 | |
CN206945860U (zh) | 一种连接器正向力测试治具 | |
CN101750004B (zh) | 测量工具 | |
CN206369516U (zh) | 一种成品pcb板厚量测装置 | |
CN204115627U (zh) | 一种双支撑外径测量仪 | |
CN202994031U (zh) | 一种小孔直径快速精确测量装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication | ||
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20170623 |