CN106817832A - 一种用于真空玻璃元件的清洗检测方法 - Google Patents

Abstract

本发明公布了一种用于真空玻璃元件的清洗检测方法，包括电极板本体，电极板本体具有一定的厚度，在电极板本体内部开设有循环管路，在电极板本体上安装有与循环管路连通的管接头。本发明采用板状的电极，其表面均匀平稳，放电过程中可以形成均匀的电场，避免出现部分位置电场叠加的问题，彻底解决了现有的栅板电极存在的放电不均匀的问题，使得产品的蚀刻较为均匀，其内部设置的循环管路用于冷却水的流通，从而进行降温，循环管路的开口上安装有接头，便于与外部的冷却循环系统进行连接。

Description

一种用于真空玻璃元件的清洗检测方法

技术领域

本发明涉及印刷电路板PCB的清洗加工工艺领域，具体是指一种用于真空玻璃元件的清洗检测方法。

背景技术

在印刷电路板PCB行业，清洗是包括任何与去除污染物有关的关键工艺，随着微电子工艺的发展，传统的湿法清洗越来越受到局限，对高厚径比板、高频板、刚柔板等的处理已经达不到新的工艺要求，而干法清洗能够满足新的要求，并避免湿法清洗带来的环境污染，同时生产率也大大提高，等离子清洗就是方便、高效、优质的干法清洗技术。等离子清洗器(Plasma Cleaner)也叫等离子清洗机、等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子清洗属于干法清洗，采用气相化学法去除材料表面污染物。气相化学法主要有热氧化法和等离子清洗法等，清洗过程就是将热化学气体或等离子态反应气体导入反应室，反应气体与需处理的PCB板表面发生化学反应生成易挥发性反应产物被真空抽去。等离子清洗原理与超声波原理不同，当舱体里接近真空状态时，开启等离子发生电源，这时气体分子电离，产生等离子体，并且伴随辉光放电现象，等离子体在电场下加速，从而在电场作用下高速运动，对物体表面发生物理碰撞，等离子的能量足以去除各种污染物，同时氧离子可以将有机污染物氧化为二氧化碳和水蒸气排出真空舱体外。等离子清洗不需要其他的原料，只要空气就能够满足要求，使用方便而且没有污染，同时比超声波清洗更具有的优势是等离子不但可以进行表面清洗，更重要的是可以提高表面活性，等离子体与物体表面进行化学反应能够产生活性化学基团，这些化学基团有很高的活性，从而应用范围很广，比如提高材料表面粘接能力，提高焊接能力，邦定性，亲水性等等很多方面，因此等离子清洗已经成为清洗行业的主流趋势。

目前PCB行业开始应用的等离子清洗系统多采用栅状电极，在清洗过程中还存在一定的问题：通电时等离子区间不均匀，反应气体也在栅极间流动，导致气流不易控制，最终的蚀刻均匀性差。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于真空玻璃元件的清洗检测方法，解决目前的等离子清洗系统存在的蚀刻均匀性差的问题，提高产品的品质。

本发明的目的通过下述技术方案实现：

一种用于真空玻璃元件的清洗检测方法，包括电极板本体，电极板本体具有一定的厚度，在电极板本体内部开设有循环管路，在电极板本体上安装有与循环管路连通的管接头。本发明是对等离子清洗系统的电极做出的改进，现有技术中普遍的电极结构为栅状电极，采用管道焊接加工而成，栅板的两端分别安装端部管道作为连接件，用于管道的固定以及整体的安装，其管道作为冷却剂流道，其冷却效果较好，栅状电极主要由可通冷媒的铝导管和接头组合焊接而成，组件数量多，加工复杂，焊缝长接点多；而且在这种电极板生产条件下PCB板产品的蚀刻均匀性不高，经过申请人长期的研究和分析，得到了产品蚀刻均匀性差的原因：由于栅板的管道之间存在一定的间隙，造成放电电场的不均匀。根据这样的理论，申请人研制出了新的电极板结构：采用板状的电极，其表面平整均匀，放电过程中可以形成均匀的电场，避免出现部分位置电场叠加的问题，彻底解决了现有的栅状电极存在的放电不均匀的问题，使得PCB板产品的蚀刻均匀性明显提升，其内部设置的循环管路用于冷却水的流通，循环管路的开口上安装有接头，便于与外部的冷却循环系统进行连接。

所述的循环管路包括开设在电极板本体内部相互垂直的多条横向管道、纵向管道、以及安装在横向管道和/或纵向管道上的堵头，堵头将横向管道与纵向管道连接形成循环管道。为了便于加工，利用现有的机加工设备可以对电极板本体进行打孔加工，在电极板本体的内部形成相互垂直的两租管道，分别为横向管道和纵向管道，每一组都包括一根或一根以上的管道，管道之间基本相互平行，而两租管道之间相互连通，通过在管道内安装堵头，将局部管道进行封堵，将相互连通的管道封堵形成单向的循环管道，如此，根据设置的管道数量和进出接管的位置，可以形成不同长度的循环管路。

所述横向管道、纵向管道的直径为电极板本体厚度的60～80%。经过多次的实验和分析，申请人发现横向管道、纵向管道的直径会影响电极电场的均匀性，在众多的可能性中找到了较为合适的直径与厚度比例，同时满足冷却要求与均匀度的要求。

所述的管接头为焊接接头。保证了管道的密封性和循环管路的连接，方便电极板的安装，而且便于拆卸，容易更换和检修。

本发明与现有技术相比，具有如下的优点和有益效果：

1本发明一种用于真空玻璃元件的清洗检测方法，采用板状的电极，其表面均匀平稳，放电过程中可以形成均匀的电场，避免出现部分位置电场叠加的问题，彻底解决了现有的栅板电极存在的放电不均匀的问题，使得产品的蚀刻较为均匀，其内部设置的循环管路用于冷却水的流通，从而进行降温，循环管路的开口上安装有接头，便于与外部的冷却循环系统进行连接；

2本发明一种用于真空玻璃元件的清洗检测方法，在电极板本体的内部形成相互垂直的两租管道，分别为横向管道和纵向管道，每一组都包括一根或一根以上的管道，管道之间基本相互平行，而两组管道之间相互连通，通过在管道内安装堵头，将局部管道进行封堵，将相互连通的管道封堵形成单向的循环管道，如此，根据设置的管道数量和进出接管的位置，可以形成不同长度的循环管路。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本发明实施例的进一步理解，构成本申请的一部分，并不构成对本发明实施例的限定。在附图中：

图1为本发明半剖结构示意图。

附图中标记及相应的零部件名称：

1-电极板本体，2-管接头，3-横向管道，4-纵向管道，5-堵头。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下面结合实施例和附图，对本发明作进一步的详细说明，本发明的示意性实施方式及其说明仅用于解释本发明，并不作为对本发明的限定。

实施例

如图1所示，本发明一种用于真空玻璃元件的清洗检测方法，包括电极板本体1，电极板本体1长为180cm，宽150cm，厚度为2cm，在电极板本体1内部开设有两条相互平行的横向管道3、与横向管道3垂直的四条纵向管道4，四条纵向管道4和两条横向管道3相互连通，纵向管道4和横向管道3在电极板本体1的侧面形成12个开口，在适当的位置将其中10个开口用堵头5进行密封，然后在电极板本体1的内部利用堵头5将横向管道3和/或纵向管道4进行分割，形成单向的流通通道作为循环管道，根据实际的生产需要，循环管道的形式和流动方向可以变化组合，横向管道3和纵向管道4的数量、间距都可以更改，横向管道3和纵向管道4的直径在3～4cm，在电极板本体1的侧面剩余两个开口用于焊接接头作为管接头2，作为其内部循环管道与外部循环系统的连接接口。

以上所述的具体实施方式，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施方式而已，并不用于限定本发明的保护范围，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种用于真空玻璃元件的清洗检测方法，其特征在于：包括电极板本体（1），电极板本体（1）具有一定的厚度，在电极板本体（1）内部开设有循环管路，在电极板本体（1）上安装有与循环管路连通的管接头（2）；采用板状的电极，其表面平整均匀，放电过程中可以形成均匀的电场，避免出现部分位置电场叠加的问题，彻底解决了现有的栅状电极存在的放电不均匀的问题，使得PCB板产品的蚀刻均匀性明显提升，其内部设置的循环管路用于冷却水的流通，循环管路的开口上安装有接头，便于与外部的冷却循环系统进行连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于真空玻璃元件的清洗检测方法，其特征在于：所述的循环管路包括开设在电极板本体（1）内部相互垂直的多条横向管道（3）、纵向管道（4）、以及安装在横向管道（3）和/或纵向管道（4）上的堵头（5），堵头（5）将横向管道（3）与纵向管道（4）连接形成循环管道。

3.根据权利要求2所述的一种用于真空玻璃元件的清洗检测方法，其特征在于：所述横向管道（3）、纵向管道（4）的直径为电极板本体（1）厚度的60～80%。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的一种用于真空玻璃元件的清洗检测方法，其特征在于：所述的管接头（2）为焊接接头。