CN106796302B - 用于倾斜角度x射线辐射的x射线探测器设备 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及用于以相对于X射线辐射的倾斜角度来探测所述X射线辐射的X射线探测器设备(10)、X射线成像系统(1)、X射线成像方法、和用于控制这样的设备或系统以执行这样的方法的计算机程序单元、以及存储有这样的计算机程序单元的计算机可读介质。所述X射线探测器设备(10)包括阴极表面(11)和阳极表面(12)。所述阴极表面(11)和所述阳极表面(12)被分离层(13)分开，以允许响应于在所述阴极表面(11)上操作期间入射的X射线辐射的、在所述阴极表面(11)与所述阳极表面之间(12)的电荷传输(T)。所述阳极表面(12)被分割为阳极像素(121)并且所述阴极表面(11)被分割为阴极像素(111)。所述阴极像素(111)中的至少一个在相对于所述阴极表面(11)倾斜的耦合方向(C)上被分配到所述阳极像素(121)中的至少一个。所述阴极像素(111)中的至少一个被配置为相对于邻近阴极像素处于电压偏置，并且所述阳极像素(121)中的至少一个被配置为相对于邻近阳极像素(121)处于电压偏置。所述电压偏置被配置为使电荷传输(T)汇聚于平行于所述耦合方向(C)的方向上。

Description

用于倾斜角度X射线辐射的X射线探测器设备
技术领域
本发明涉及用于以倾斜角度探测X射线辐射的X射线探测器设备、X射线成像系统、X射线成像方法、和用于控制这样的设备或系统以执行这样的方法的计算机程序单元、以及存储有这样的计算机程序单元的计算机可读介质。
背景技术
WO 2010/015959(A2)公开了一种用于成像设备的X射线光子探测器，所述成像设备包括阴极、转换器材料以及基底。所述阴极包括向外延伸的盘以及底盘。所述转换材料被附接到所述向外延伸的盘的侧面。所述基底包括阳极并且被附接到所述转换材料。
WO 2013/088352 A2公开了一种辐射探测器，其具有分别被分割为阳极段和阴极段的阳极和阴极。这里，各阳极段被提供有相互不同的电势。针对阴极段采用类似的方法。
US 5111052公开了一种辐射传感器，其具有半导体基底，所述半导体基底被提供有常规电极和设置于所述基底的同一表面上的分裂式电极。
用于X射线成像的X射线探测能够利用这样的半导体X射线探测器来进行，所述半导体X射线探测器被布置为垂直于X射线辐射或者非垂直地倾斜于X射线。倾斜或侧向探测相比于垂直或面向探测具有若干优点，其中有针对具有低原子序数的材料(如，例如硅)的改善的探测量效率。
然而，在倾斜探测的情况下并且特别是在使用较低原子序数探测器材料的情况下，进入到X射线探测器中的X射线辐射可能在若干探测器电极之间共享，造成空间图像分辨率损失。
具体地，在倾斜探测的情况下，在探测器阴极与探测器阳极之间的电场的方向相对于入射X射线辐射的方向形成一角度，其等于入射X射线辐射相对于X射线探测器的表面法线的倾斜角度。在探测器阴极与探测器阳极之间传输(转移transfer)的电荷然后能够由例如两个相邻探测器阳极中的任一个探测器阳极来收集。因此，电荷可能相对于实际相互作用部位的横向位置被错误地分配，其可能造成劣化的横向图像分辨率并且因此造成空间图像分辨率损失。
发明内容
因此，可能需要提供一种用于以相对于X射线辐射的倾斜角度来探测X射线辐射的经改进的X射线探测器设备，其允许在倾斜角度辐照X射线探测中的降低的空间图像分辨率损失。
本发明的问题是通过独立权利要求的主题得以解决的，其中，在从属权利要求中并入了另外的实施例。应当指出，在下文中所描述的本发明的各方面也适用于X射线探测器设备、X射线成像系统、X射线成像方法、计算机程序单元、以及计算机可读介质。
根据本发明，提出了一种X射线成像探测器。所述X射线探测器设备包括阴极表面和阳极表面。所述阴极表面和所述阳极表面被分离层分开，以允许响应于在所述阴极表面上操作期间入射的X射线辐射的、在所述阴极表面与所述阳极表面之间电荷传输。
所述阳极表面被分割为阳极像素并且所述阴极表面被分割为阴极像素。所述阴极像素中的至少一个被分配到所述阳极像素中在相对于所述阴极表面倾斜的耦合方向上的至少一个。
所述阴极像素中的至少一个被配置为相对于邻近阴极像素处于电压偏置(offset)，并且所述阳极像素中的至少一个被配置为相对于邻近阳极像素处于电压偏置。所述电压偏置被配置为使所述电荷传输汇聚于平行于耦合方向的方向上。所述电压偏置取决于在所述阴极表面与所述耦合方向之间的倾斜角度，并且所述耦合方向平行于在所述阴极表面上操作期间入射的X射线辐射的射束的对称轴。
所述耦合方向能够被理解为平行于在所述阴极表面上操作期间入射的所述X射线辐射的射束的对称轴。在不使用扇形或锥形射束X射线辐射的情况下，所述耦合方向能够被更容易地理解为平行于辐照所述阴极表面的X射线辐射的方向。
在本文中，“使电荷传输汇聚于平行于耦合方向C”暗指电荷传输T的方向接近耦合方向C。本文中，“接近”允许在所述方向之间的小的偏差。这样的小的偏差例如可以是由于驱动电荷传输的电场中的变化和/或由于X射线辐射的射束中的变化。这样的小的偏差的可行的量由要完成的X射线图像的期望的空间分辨率来确定。本文中，“接近”也可以包括电荷传输方向与耦合方向的对齐或再对齐。
平行于所述耦合方向的电荷传输的这种汇聚是通过在邻近阴极与阳极像素之间的电压偏置来实现的。所述阴极和阴极表面被像素化并且被提供有交错的高电压设计以使电荷传输方向与耦合方向相平行。
具体而言，由于电荷传输在此被汇聚回平行于所述耦合方向的方向，因此进入到X射线探测器中的X射线辐射跨若干探测器电极不再模糊或者较少程度的模糊。因此，电荷可能不再相对于实际相互作用部位的横向位置被错误地分配或者以较少程度的被错误地分配，这避免或降低了劣化的横向图像分辨率。结果，根据本发明的X射线探测器设备改善了在倾斜角度辐照X射线探测中的空间图像分辨率。换言之，本发明允许通过简单的手段来将空间图像分辨率恢复到标称值。
在范例中，阴极表面与耦合方向之间的倾斜角度在5°与89°之间，优选在10°与60°之间，并且更优选在15°与50°之间。换言之，“倾斜”排除了垂直和平行。
在范例中，所述电压偏置与在任意第一阴极像素与第二阴极像素之间的阴极像素的偏置数x成反比。所述第二阴极像素被限定为与同所述第一阴极像素在垂直于所述阴极表面的方向上对齐的阳极像素处在等势线上。示范性地，换言之，偏置数x是被用于将预定义的阴极像素与阳极像素平行于耦合方向对齐的像素偏置或像素数，所述耦合方向可以被简单地置于入射X射线的方向。下文将进一步对此进行解释。
能够基于阳极像素进行相同的陈述。因此，在范例中，所述电压偏置与在任意第一阳极像素和第二阳极像素之间的阳极像素的偏置数x成反比。所述第二阳极像素被限定为与同所述第一阳极像素在垂直于所述阴极表面的方向上对齐的阴极像素处在等势线上。
在范例中，所述电压偏置ΔU是或者，换言之，所述偏置数x是
UC是阴极像素的阴极电压，并且UA是阳极像素的阳极电压。该阳极像素和该阴极像素在垂直于阴极表面的方向上对齐。换言之，UC和UA是几何地相对的阳极和阴极像素上的电压。
作为范例，可以如下地获得与标称高电压设置UC-UA相比的电压偏置ΔU的值的估计：假设电荷传输线在第一方向上延伸，例如，垂直的，则等势线将垂直于所述第一方向，在这里，例如，水平的。因此，在特定阳极像素处开始的具有电势UA的水平等势线将结束于第一阴极像素处，所述第一阴极像素相对于与具有电势UA的所述阳极像素几何地相对(垂直于阴极表面)的第二阴极像素偏置了例如三个像素。
在范例中，所述偏置数x在1与无穷之间。所述偏置数x优选在2与10之间。所述偏置数不需要是整数。
在另一范例中，电压偏置ΔU为
在本文中，UC再次是阴极像素的阴极电压，并且UA是阳极像素的阳极电压。该阳极像素和该阴极像素在垂直于阴极表面的方向上对齐。换言之，UC和UA是几何地相对的电极上的电压。此外，p是阳极间距，其意指在两个相邻的阳极像素之间的距离。相邻的阴极像素可以具有相同的距离和间距。
此外，d是在阴极表面与阳极表面之间的距离。
是在耦合方向与阴极表面法向之间的角度。
间距与距离之间的比率p/d可以在0.5与7之间，优选在0.5与5之间，并且更优选在0.7与4之间。
根据本发明，还提出了一种X射线成像系统。所述X射线成像系统包括如上文所描述的X射线探测器设备以及X射线管，所述X射线管被配置为以X射线辐射的射束的对称轴与所述阴极表面之间的倾斜角度来生成在所述X射线探测器设备的阴极表面上操作期间入射的X射线辐射的射束。在范例中，所述X射线成像系统还包括处理单元，所述处理单元被配置为处理由所述X射线探测器设备探测到的干涉条纹以用于相衬成像。
根据本发明，还提出了一种X射线成像方法。其包括如下步骤，但不一定按此顺序：
提供X射线，以利用倾斜角度辐射X射线探测器设备的阴极表面，并且
由如上文所描述的X射线探测器设备来探测所述X射线。
在范例中，半导体X射线探测器设备以针对探测器表面法向的角度被照射，使得X射线探测器中的漂移的电子和空穴的方向在平均上不同于耦合方向，其是入射X射线的方向，或者更准确地说，是平行于X射线辐射的射束的对称轴的方向。
在范例中，相邻的阴极像素和相邻的阴极像素相对于彼此被置于恒定的高电压偏置，以便避免电荷在垂直于阴极或阳极表面的方向上被带走。这样的电压偏置可以被调谐为具有合适的极性以将电荷传输方向汇聚到耦合方向。通过使电荷传输方向汇聚于平行于耦合方向，可以理解电荷传输方向到耦合方向的接近。一旦被实施，电荷就能够平行于耦合方向行进到阳极像素上，并且横向谱分辨率的劣化被降低或避免。
在范例中，所述X射线成像方法包括如下另外的步骤：
针对电压偏置的各种值来测量分辨率体模，并且
通过将作为电压偏置的函数的空间分辨率最大化来校准所述X射线探测器设备。
所述分辨率体模可以是线对，其给出要被用于评价分辨率的强的对比度。所述校准能够通过调制转移函数(MTF)校准方法来进行。能够进行所述校准以将作为电压偏置的函数的空间分辨率最大化，从而实现最佳恢复。能够进行所述校准以避免在高电压或阻抗中的不完美，其可能造成在耦合方向与电荷传输的方向之间的错误匹配。
所述设备、系统和方法能够被用在狭缝扫描X射线乳房摄影术、以及针对基于Si的CT探测器的探测概念和相位对比断层合成术中。
根据本发明，还提出了一种计算机程序单元，其中，所述计算机程序单元包括程序代码单元，当所述计算机程序在控制如在独立设备权利要求中所限定的X射线探测器设备的计算机上运行时，所述程序代码单元用于使所述X射线探测器设备执行所述X射线成像方法的步骤。
应当理解，根据独立权利要求所述的X射线探测器设备、X射线成像系统、X射线成像方法、用于控制这样的设备的计算机程序单元以及在其上存储有这样的计算机程序单元的计算机可读介质具有相似和/或相同的优选实施例，特别是，如在从属权利要求中所限定的。还应当理解，本发明的优选实施例也能够是从属权利要求与各自的独立权利要求的任意组合。
本发明的这些和其他方面将根据下文描述的实施例变得显而易见，并且将参考下文描述的实施例得以阐述。
附图说明
下面将参考随附的附图来描述本发明的示范性实施例：
图1示出了根据本发明的X射线成像系统的范例的示意性绘图。
图2示意性和示范性示出了根据本发明的X射线探测器设备的实施例。
图3示出了根据本发明的X射线成像方法的步骤的示意性概览。
具体实施方式
图1示意性和示范性示出了根据本发明的X射线成像系统1的实施例。X射线成像系统1包括X射线探测器设备10和X射线管20。X射线探测器设备10包括阴极表面11和阳极表面12。X射线管20在操作期间生成辐照X射线探测器设备10的阴极表面11的X射线辐射的射束。X射线管20被几何地布置在X射线探测器设备10之上，使得X射线束的对称轴被布置在相对于X射线探测器设备10的表面的倾斜角度处。因此，如在图1中由箭头所示的由X射线管20生成的X射线以倾斜角度α辐照X射线探测器设备10的阴极表面11，所述倾斜角度意指非零并且非垂直的角度。
图2示意性和示范性示出了根据本发明的X射线探测器设备10的实施例。所述X射线探测器设备10在此例如是包括阴极表面11和阳极表面12的Di-Co-传感器。在所述阴极表面11和所述阳极表面12之间被布置有分离层13，以允许响应于在所述阴极表面11上操作期间入射的X射线辐射的、在所述阴极表面11与所述阳极表面12之间的电荷传输。从阴极表面11到阳极表面12的电荷传输的方向T用箭头T来标记。
所述阳极表面12被分割为阳极像素121并且所述阴极表面11被分割为阴极像素111。阴极像素111在相对于阴极表面法向N倾斜了角度的耦合方向C上被分配到阳极像素121。所述耦合方向C能够被理解为平行于在所述阴极表面11上操作期间入射的所述X射线辐射的射束的对称轴。X射线辐射的射束在图2中被示为灰色带。在不使用扇形或锥形射束X射线辐射的情况下，在这种情况下，X射线束的对称轴平行于所述射束中所包括的所有X射线，耦合方向C能够被容易地理解为平行于辐照阴极表面11的X射线辐射的方向。
阴极像素111相对于邻近阴极像素111处于一电压偏置，并且阳极像素121相对于邻近阳极像素121处于一电压偏置。所述电压偏置被设计为将在阴极表面11和阳极表面12之间的电荷传输T汇聚于平行于耦合方向C的方向上。在本文中，“使电荷传输T汇聚于平行于耦合方向C”暗指电荷传输T的方向接近耦合方向C。在本文中，“接近”允许在所述方向之间的小的偏差。这样的小的偏差例如可以是由于驱动电荷传输的电场中的变化和/或由于X射线辐射的射束中的变化。这样的小的偏差的可行的量由要完成的X射线图像的期望的空间分辨率来确定。
由于电压偏置，电荷传输T被汇聚于平行于耦合方向C的方向上。因此，能够克服相比于垂直探测的倾斜探测的缺点。亦即：进入到X射线探测器中的X射线辐射跨若干探测器电极不再模糊或者较少程度的模糊。因此，电荷相对于实际相互作用部位将不再被错误地分配或者至少较少程度地被错误地分配，这避免或降低了劣化的横向图像分辨率。结果，改善了倾斜角度辐照X射线探测的空间图像分辨率。
电压偏置取决于在阴极表面11与耦合方向C之间的倾斜角度α。阴极表面11与耦合方向C之间的倾斜角度α在此定量为约60°。
所述电压偏置与在任意第一阴极像素和第二阴极像素之间的阴极像素的偏置数x成反比。所述第二阴极像素被限定为与同所述第一阴极像素在垂直于所述阴极表面11的方向N上对齐的阳极像素处在等势线P上。示范性地，换言之，偏置数x是被用于将预定义的阴极像素与阳极像素平行于耦合方向C对齐的像素偏置或像素数，所述耦合方向C可以被简单地置于入射X射线的方向。这将基于如下范例来解释。
作为范例，所述电压偏置ΔU为或者，换言之，所述偏置数x为
UC是阴极像素的阴极电压，并且UA是阳极像素的阳极电压。该阳极像素和该阴极像素在垂直于阴极表面11的方向N上对齐。换言之，UC和UA是几何地相对的阳极和阴极像素上的电压。
能够如下地获得与标称高电压设置UC-UA相比的电压偏置ΔU：这里，电荷传输线T被设计为在垂直方向上延伸。然后，等势线与垂直电荷传输线T相垂直，其意味着水平。因此，在具有电势UA的特定阳极像素处开始的水平等势线P将结束于第一阴极像素处，所述第一阴极像素在此相对于与具有电势UA的阳极像素几何地相对(垂直于阴极表面11)的第二阴极像素偏置了三个像素。结果，图2中的偏置数x是3。
更一般地，所述电压偏置为
这里，UC再次是阴极像素的阴极电压，并且UA是与阴极像素几何地相对的阳极像素的阳极电压。该阳极像素和该阴极像素在垂直于阴极表面11的方向上被对齐。换言之，UC和UA是在几何地相对的电极上的电压。此外，p是阳极间距，其意指在两个相邻的阳极像素121之间的距离。相邻的阴极像素111可以具有相同的距离和间距。此外，d是在阴极表面11与阳极表面12之间的距离；并且是在耦合方向C与阴极表面法向N之间的角度。
比率p/d可以在0.5与7之间，优选在0.5与5之间，并且更优选在0.7与4之间。
图3示出了根据本发明的X射线成像方法的步骤的示意性概览。所述方法包括如下步骤，但不一定按此顺序：
-在第一步骤S1中，提供X射线从而以倾斜角度来辐照X射线探测器设备10的阴极表面11。
-在第二步骤S2中，由如上文所述的X射线探测器设备10来探测X射线。
-在任选的第三步骤S3中，测量针对电压偏置的各种值的分辨率体模。
-在任选的第四步骤S4中，通过将作为电压偏置的函数的空间分辨率最大化来校准所述X射线探测器设备10。
换言之，半导体X射线探测器设备10以针对探测器表面的角度α并且针对探测器表面法向N的角度被照射，使得在X射线探测器中的漂移的电子和空穴的方向在平均上不同于耦合方向C，其是入射X射线的方向，或者更准确地说，是平行于X射线辐射的射束的对称轴的方向。
相邻的阴极像素111和相邻的阴极像素121相对于彼此被置于恒定的高电压偏置，以便避免电荷在垂直于阴极或阳极表面12的方向上被带走。这样的电压偏置能够被调谐为具有合适的极性以使电荷传输方向T汇聚于耦合方向C。通过将电荷传输方向T对齐为平行于耦合方向C，可以理解电荷传输方向T到耦合方向C的接近。一旦被实施，电荷就能够平行于耦合方向C行进到阳极像素121上，并且横向谱分辨率的劣化被降低或避免。
所述校准能够通过调制转移函数(MTF)校准方法来进行。能够进行所述校准以将作为电压偏置的函数的空间分辨率最大化，从而实现最佳恢复。
根据本发明，还提出了一种计算机程序单元，其中，所述计算机程序单元包括程序代码单元，当所述计算机程序在控制如在独立设备权利要求所限定的X射线探测器设备10的计算机上运行时，所述程序代码单元用于使所述X射线探测器设备10执行所述X射线成像方法的步骤。
在本发明的另一示范性实施例中，提供了一种计算机程序或计算机程序单元，其特征在于，其适于在合适的系统上执行根据前述实施例中的一个实施例的方法的方法步骤。
因此，所述计算机程序单元可以被存储在计算机单元上，所述计算机单元也可以是本发明的实施例的部分。该计算单元可以适于执行或引起上文所描述的方法的步骤的执行。此外，其可以适于操作上文所描述的装置的部件。所述计算单元能够适于自动地操作和/或执行用户的命令。计算机程序可以被加载到数据处理器的工作存储器中。所述数据处理器因此可以被装备为执行本发明的方法。
本发明的该示范性实施例覆盖从一开始就使用本发明的计算机程序产品以及借助于升级将现有程序转变为使用本发明的程序的计算机程序两者。
此外，所述计算机程序单元可能能够提供所有必要的步骤来完成如上文所描述的方法的示范性实施例的流程。
根据本发明的另外的示范性实施例，提供了一种计算机可读存储介质，诸如CD-ROM，其中，所述计算机可读存储介质在其上存储有计算机程序单元，所述计算机程序单元由前述部分描述。
计算机程序可以被存储和/或分布在适合的介质上，诸如与其他硬件一起被提供或作为其他硬件的部分被提供的光学存储介质或固态介质，但是计算机程序也可以以其他形式分布，诸如经由因特网或其他的有线或无线的电信系统分布。
然而，所述计算机程序也可以通过如万维网的网络来提供并且能够被从这样的网络下载到数据处理器的工作存储器中。根据本发明的另外的示范性实施例，提供了一种用于使得计算机程序单元可供下载的介质，所述计算机程序单元被布置为执行本发明的先前描述的实施例中的一个实施例的方法。
必须指出，参考不同的主题描述了本发明的实施例。具体地，一些实施例是参考方法类型的权利要求来描述的，而其他实施例是参考装置类型的权利要求来描述的。然而，本领域技术人员从上文和下文的描述可以得出，除非另行指出，除了属于同一类型的主题的特征的任意组合之外，涉及不同主题的特征之间的任意组合也被认为由本申请所公开。然而，所有特征都能够被组合，提供大于所述特征的简单加和的协同效应。
尽管已经在附图和前面的描述中详细图示和描述了本发明，但是这样的图示和描述应当被认为是说明性或示范性的，而非限制性的。本发明不限于所公开的实施例。本领域技术人员通过研究附图、公开内容以及从属权利要求，在实践请求保护的本发明时能够理解并且实现对所公开的实施例的其他变型。
在权利要求书中，词语“包括”不排除其他元件或步骤，并且词语“一”或“一个”不排除多个。单个处理器或其他单元可以完成权利要求书中所记载的若干项的功能。尽管在互不相同的从属权利要求中记载了特定措施，但是这并不指示不能有利地使用这些措施的组合。权利要求中的任何附图标记都不应被解释为对范围的限制。

Claims (17)

1.一种用于以相对于X射线辐射的倾斜角度来探测所述X射线辐射的X射线探测器设备(10)，包括：
阴极表面(11)，以及
阳极表面(12)，
其中，所述阴极表面(11)和所述阳极表面(12)被分离层(13)分开，以允许响应于在所述阴极表面(11)上操作期间入射的X射线辐射的、在所述阴极表面(11)与所述阳极表面(12)之间的电荷传输(T)，
其中，所述阳极表面(12)被分割为阳极像素(121)，
其中，所述阴极表面(11)被分割为阴极像素(111)，
其中，所述阴极像素(111)中的至少一个被分配到所述阳极像素(121)中在相对于所述阴极表面(11)倾斜的耦合方向(C)上的至少一个，
其中，所述阴极像素(111)中的所述至少一个被配置为相对于邻近阴极像素处于电压偏置，
其中，所述阳极像素(121)中的所述至少一个被配置为相对于邻近阳极像素(121)处于电压偏置，
其中，所述电压偏置被配置为使所述电荷传输(T)汇聚于平行于所述耦合方向(C)的方向上，并且其中，所述电压偏置取决于所述阴极表面(11)与所述耦合方向(C)之间的倾斜角度(α)，并且其中，所述耦合方向(C)平行于在所述阴极表面(11)上操作期间入射的X射线辐射的射束的对称轴。
2.根据权利要求1所述的X射线探测器设备(10)，其中，所述电压偏置与在任意第一阴极像素与第二阴极像素之间的阴极像素(111)的偏置数x成反比，其中，所述第二阴极像素被限定为与同所述第一阴极像素在垂直于所述阴极表面(11)的方向(N)上对齐的阳极像素处在等势线(P)上。
3.根据权利要求1所述的X射线探测器设备(10)，其中，所述电压偏置与在任意第一阳极像素与第二阳极像素之间的阳极像素(121)的偏置数x成反比，其中，所述第二阳极像素被限定为与同所述第一阳极像素在垂直于所述阴极表面(11)的方向(N)上对齐的阴极像素处在等势线(P)上。
4.根据权利要求1所述的X射线探测器设备(10)，其中，所述电压偏置是其中，UC是阴极像素的阴极电压，其中，UA是阳极像素(121)的阳极电压，其中，所述阴极像素和所述阳极像素(121)在垂直于所述阴极表面(11)的方向(N)上对齐，其中，p是阳极间距，其中，d是所述阴极表面(11)与所述阳极表面(12)之间的距离，并且其中，是所述耦合方向(C)与所述阴极表面(11)法向(N)之间的角度。
5.根据权利要求4所述的X射线探测器设备(10)，其中，比率p/d在0.5与7之间。
6.根据权利要求5所述的X射线探测器设备(10)，其中，所述比率p/d在0.5与5之间。
7.根据权利要求6所述的X射线探测器设备(10)，其中，所述比率p/d在0.7与4之间。
8.根据权利要求1-4中的任一项所述的X射线探测器设备(10)，其中，所述阴极表面(11)与所述耦合方向(C)之间的所述倾斜角度(α)在5°与89°之间。
9.根据权利要求8所述的X射线探测器设备(10)，其中，所述倾斜角度(α)在10°与60°之间。
10.根据权利要求9所述的X射线探测器设备(10)，其中，所述倾斜角度(α)在15°与50°之间。
11.一种X射线成像系统(1)，包括：
根据权利要求1-10中的任一项所述的X射线探测器设备(10)，以及
X射线管(20)，其被配置为以X射线辐射的射束的对称轴与所述X射线探测器设备(10)的阴极表面(11)之间的倾斜角度来生成在所述阴极表面上操作期间入射的X射线辐射的所述射束。
12.根据权利要求11所述的X射线成像系统(1)，还包括处理单元，所述处理单元被配置为处理由所述X射线探测器设备(10)探测到的干涉条纹以用于相衬成像。
13.一种X射线成像方法，包括如下步骤：
提供X射线，从而以倾斜角度辐照根据权利要求1-10中的任一项所述的X射线探测器设备(10)的阴极表面(11)，并且
由所述X射线探测器设备(10)来探测所述X射线。
14.根据权利要求13所述的X射线成像方法，还包括如下步骤：
针对所述电压偏置的各种值来测量分辨率体模，并且
通过将作为所述电压偏置的函数的空间分辨率最大化来校准所述X射线探测器设备(10)。
15.一种X射线成像装置，其中，X射线已经被提供，从而以倾斜角度辐照根据权利要求1-10中的任一项所述的X射线探测器设备(10)的阴极表面(11)，所述X射线成像装置包括：
用于由所述X射线探测器设备(10)来探测所述X射线的模块。
16.根据权利要求15所述的X射线成像装置，还包括：
用于针对所述电压偏置的各种值来测量分辨率体模的模块，以及
用于通过将作为所述电压偏置的函数的空间分辨率最大化来校准所述X射线探测器设备(10)的模块。
17.一种存储有计算机程序的计算机可读介质，所述计算机程序用于控制根据权利要求1至10中的任一项所述的设备或根据权利要求11或12所述的系统或者用于执行根据权利要求13或14所述的方法，所述计算机程序当由处理单元运行时，适于执行根据权利要求13或14所述的方法的步骤。
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