CN106773153A - 一种蚀刻液的保温装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种蚀刻液的保温装置,包括:热力循环泵,用于对所述药液池进行冷却降温;热交换机,用于与所述药液池进行热交换;其中,所述热力循环泵与所述热交换机共同作用,以使所述药液池的蚀刻液的温度保持在所述设定温度范围之内,所述热交换机同时与所述热力循环泵进行热交换,以使所述热交换机的水温保持为第一温度,所述热力循环泵的水温设定并保持为第二温度,所述第一温度处于所述设定温度范围之内,所述第二温度小于所述第一温度且小于所述设定温度范围的最小温度。本发明解决了现有技术中,药液池的蚀刻液温度偏差过大的问题。
Description
【技术领域】
本发明涉及液晶显示技术领域,特别涉及一种蚀刻液的保温装置。
【背景技术】
目前,在液晶面板制造领域的湿法溶解色阻块的过程中,是通过水泵将药液池的蚀刻液抽到放置色阻块的腔室,以将色阻块溶解,再回流到药液池,依靠这种方式使得蚀刻液在药液池和腔室之间不断循环,最终使得色阻块完全溶解在蚀刻液之中。这种对色阻块的溶解方式,要求药液池的水温保持在设定温度范围内。
现有技术中,药液池中设有加热器,药液池的蚀刻液由该加热器进行加热。通常来说,该加热器对蚀刻液的加热为粗加热,蚀刻液的温度上升很快,因此加热器不能一直对蚀刻液进行加热,当蚀刻液被加热到设定温度范围内时,加热器停止加热。由于药液池的蚀刻液流经腔室后与色阻块反应,降低了自身的温度,当其回流到药液池时,其温度下降10℃左右,这样药液池的蚀刻液温度就会迅速下降,以致其温度低于设定温度范围的最低温度,这时又需要启动加热器对蚀刻液进行加热。现有技术的这种加热方式,往往会使药液池的蚀刻液温度的偏差温度过大,如一般需要药液池的温度保持在50℃,但是现有技术的这种加热方式会使得药液池的蚀刻液温度偏差达到3℃左右,即药液池的蚀刻液温度范围为47~53℃。但是,药液池的蚀刻液温度低了,会导致色阻块的溶解不充分,温度高了又会导致电力能源的浪费以及破坏蚀刻液的药效。一般来说,我们希望药液池的蚀刻液温度保持在49~51℃,但是现有技术的加热方式还无法做到,这种情况亟待解决!
【发明内容】
本发明的目的在于提供一种蚀刻液的保温装置,以解决现有技术中,药液池的蚀刻液温度偏差过大的问题。
本发明的技术方案如下:
一种蚀刻液的保温装置,用于保持药液池的蚀刻液的温度在设定温度范围之内,所述药液池的蚀刻液通过水泵抽入放置色阻块的腔室以将所述色阻块溶解后回流,并循环进行,所述蚀刻液抽入所述腔室时的温度大于其回流的温度,包括:
热力循环泵,用于对所述药液池进行冷却降温;
热交换机,用于与所述药液池进行热交换;
其中,所述热力循环泵与所述热交换机共同作用,以使所述药液池的蚀刻液的温度保持在所述设定温度范围之内,所述热交换机同时与所述热力循环泵进行热交换,以使所述热交换机的水温保持为第一温度,所述热力循环泵的水温设定并保持为第二温度,所述第一温度处于所述设定温度范围之内,所述第二温度小于所述第一温度且小于所述设定温度范围的最小温度。
优选地,所述热力循环泵与所述药液池通过第一循环管道连接,所述第一循环管道的出水口与回流口均在所述热力循环泵内,所述药液池的蚀刻液覆盖所述第一循环管道,所述第一循环管道设有第一感应阀门与第二感应阀门,所述第一感应阀门设于所述出水口一端管道,所述第二感应阀门连接所述出水口的一端管道与所述回流口的一端管道。
优选地,所述第一感应阀门与所述第二感应阀门均设有温度感应器,所述温度感应器用于对所述药液池的蚀刻液温度进行监控。
优选地,当所述药液池的蚀刻液温度高于所述设定温度范围的最高温度时,所述第一感应阀门开启,所述第二感应阀门关闭,所述热力循环泵的水抽入所述第一循环管道并回流;当所述药液池的蚀刻液温度处于所述设定温度范围时,所述第一感应阀门关闭,所述第二感应阀门开启,所述热力循环泵的水抽入所述出水口的一端管道并流入所述第二感应阀门,且从所述回流口的一端管道回流。
优选地,所述热交换机的水通过第二循环管道流入所述药液池并回流,所述第二循环管道上设有水泵,所述第二循环管道的出水口与回流口均在所述热交换机内,所述热交换机的水覆盖所述第二循环管道,所述热力循环泵的水通过所述水泵抽入所述第二循环管道,并流入所述热交换机后回流,以使所述热交换机的水温保持为所述第一温度。
优选地,所述药液池设有对所述蚀刻液进行加热的加热器,在所述药液池的蚀刻液温度被加热到所述设定温度之前,所述热交换机不与所述蚀刻液进行热交换。
优选地,所述热力循环泵与所述热交换机通过第三循环管道连接,所述第三循环管道上设有水泵,所述第三循环管道的出水口与回流口均在所述热力循环泵内,所述热交换机的水覆盖所述第三循环管道,所述热力循环泵的水通过所述水泵抽入所述第三循环管道并回流。
优选地,所述设定温度范围为49~51℃。
优选地,所述第一温度为50℃。
优选地,所述第二温度为15℃。
本发明的有益效果:
本发明的一种蚀刻液的保温装置,通过热力循环泵对所述药液池进行冷却降温,同时通过热交换机与所述药液池进行热交换,热力循环泵与热交换机共同作用,在节约消耗功率的同时,使得药液池的水温保持在设定温度范围之内。
【附图说明】
图1为本发明实施例的一种蚀刻液的保温装置的整体结构的框架示意图;
图2为现有技术的一种蚀刻液的保温装置的整体结构的框架示意图。
【具体实施方式】
以下各实施例的说明是参考附加的图式,用以例示本发明可用以实施的特定实施例。本发明所提到的方向用语,例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「内」、「外」、「侧面」等,仅是参考附加图式的方向。因此,使用的方向用语是用以说明及理解本发明,而非用以限制本发明。在图中,结构相似的单元是以相同标号表示。
实施例一
请参考图1,图1为本实施例的一种蚀刻液的保温装置的整体结构的框架示意图。从图1可以看到:
本发明的一种蚀刻液的保温装置,用于保持药液池3的蚀刻液的温度在设定温度范围之内,所述药液池3和所述腔室4之间通过管道11连接,所述管道11上设有水泵8。所述药液池3的蚀刻液通过水泵8抽入放置色阻块的腔室4以将所述色阻块溶解后回流,并循环进行,所述蚀刻液抽入所述腔室4时的温度大于其回流的温度,包括:
热力循环泵1,用于对所述药液池3进行冷却降温。该热力循环泵1可以使其内部的水的温度达到一个设定值,并可以通过其内部的物理作用保持这个设定值不变。
热交换机2,用于与所述药液池3进行热交换,并且该热交换机2自身设有加热丝,可以不停地进行加热,内部的水温也可以保持在一个设定值。
其中,所述热力循环泵1与所述热交换机2共同作用,以使所述药液池3的蚀刻液的温度保持在所述设定温度范围之内,所述热交换机2同时与所述热力循环泵1进行热交换,以使所述热交换机2的水温保持为第一温度,所述热力循环泵1的水温设定并保持为第二温度,所述第一温度处于所述设定温度范围之内,优选为所述设定温度范围之内的中间值,所述第二温度小于所述第一温度且小于所述设定温度范围的最小温度。
在本实施例中,所述设定温度范围为49~51℃,所述第一温度为50℃,在本实施例中,所述第二温度为15℃。
在本实施例中,所述蚀刻液抽入所述腔室4时的温度大于其回流的温度,这是因为流入腔室4的蚀刻液将色阻块溶解的过程中消耗了热量,导致自身温度下降。通常来说,如果流入腔室4的蚀刻液的温度为50℃,那么回流的蚀刻液的温度一般会下降到40℃。
在本实施例中,所述热力循环泵1与所述药液池3通过第一循环管道5连接,所述第一循环管道5的出水口与回流口均在所述热力循环泵1内,所述药液池3的蚀刻液覆盖所述第一循环管道5,所述第一循环管道5设有第一感应阀门9与第二感应阀门10,所述第一感应阀门9设于所述出水口一端管道,所述第二感应阀门10连接所述出水口的一端管道与所述回流口的一端管道。
其中,所述第一感应阀门9与所述第二感应阀门10均设有温度感应器,所述温度感应器用于对所述药液池3的蚀刻液温度进行监控。当所述药液池3的蚀刻液温度高于所述设定温度范围的最高温度时,所述第一感应阀门9开启,所述第二感应阀门10关闭,所述热力循环泵1的水抽入所述第一循环管道5并回流;当所述药液池3的蚀刻液温度处于所述设定温度范围时,所述第一感应阀门9关闭,所述第二感应阀门10开启,所述热力循环泵1的水抽入所述出水口的一端管道并流入所述第二感应阀门10,且从所述回流口的一端管道回流。
在本实施例中,所述热交换机2的水通过第二循环管道6流入所述药液池3并回流,所述第二循环管道6上设有水泵8,所述第二循环管道6的出水口与回流口均在所述热交换机2内,所述热交换机2的水覆盖所述第二循环管道6,所述热力循环泵1的水通过所述水泵8抽入所述第二循环管道6,并流入所述热交换机2后回流,以使所述热交换机2的水温保持为所述第一温度。
在本实施例中,所述药液池3设有对所述蚀刻液进行加热的加热器,在所述药液池3的蚀刻液温度被加热到所述设定温度之前,所述热交换机2不与所述蚀刻液进行热交换。
在本实施例中,所述热力循环泵1与所述热交换机2通过第三循环管道7连接,所述第三循环管道7上设有水泵8,所述第三循环管道7的出水口与回流口均在所述热力循环泵1内,所述热交换机2的水覆盖所述第三循环管道7,所述热力循环泵1的水通过所述水泵8抽入所述第三循环管道7并回流。
本发明的保温原理为:
由于热交换机2内部的水的温度为第一温度,药液池3的设定温度范围内的的中间值和第二温度的值相同,而热交换机2和药液池3一直在进行热交换,这样就可以使得药液池3的温度始终保持在设定温度范围之内。如果药液池3的蚀刻液的温度超过设定温度范围的最大值时,热力循环泵1的温度为第二温度的水就会流入药液池3,对药液池3的蚀刻液进行冷却降温,进一步保证了药液池3的蚀刻液的温度保持在设定温度范围之内。
如图2所示,图2为现有技术的一种蚀刻液的保温装置的整体结构的框架示意图。从图2可以看到,现有技术的药液池20和腔室30之间只有管道50连接,管道上设有水泵40,将药液池20的蚀刻液抽入腔室30和色阻块反应,反应后的蚀刻液再回流到药液池20。现有技术的这种药液池20,只能依靠自身的加热器(图中未标示)对蚀刻液进行加热,该加热器对蚀刻液的加热为粗加热,就很难使药液池20的蚀刻液的温度保持在设定温度范围,温度偏差会比较大,难以满足实际的温度需要。
本发明的一种蚀刻液的保温装置,通过热力循环泵1对所述药液池3进行冷却降温,同时通过热交换机2与所述药液池3进行热交换,热力循环泵1与热交换机2共同作用,在节约消耗功率的同时,使得药液池3的水温保持在设定温度范围之内。
综上所述,虽然本发明已以优选实施例揭露如上,但上述优选实施例并非用以限制本发明,本领域的普通技术人员,在不脱离本发明的精神和范围内,均可作各种更动与润饰,因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。
Claims (10)
1.一种蚀刻液的保温装置,用于保持药液池的蚀刻液的温度在设定温度范围之内,所述药液池的蚀刻液通过水泵抽入放置色阻块的腔室以将所述色阻块溶解后回流,并循环进行,所述蚀刻液抽入所述腔室时的温度大于其回流的温度,其特征在于,包括:
热力循环泵,用于对所述药液池进行冷却降温;
热交换机,用于与所述药液池进行热交换;
其中,所述热力循环泵与所述热交换机共同作用,以使所述药液池的蚀刻液的温度保持在所述设定温度范围之内,所述热交换机同时与所述热力循环泵进行热交换,以使所述热交换机的水温保持为第一温度,所述热力循环泵的水温设定并保持为第二温度,所述第一温度处于所述设定温度范围之内,所述第二温度小于所述第一温度且小于所述设定温度范围的最小温度。
2.根据权利要求1所述的保温装置,其特征在于,所述热力循环泵与所述药液池通过第一循环管道连接,所述第一循环管道的出水口与回流口均在所述热力循环泵内,所述药液池的蚀刻液覆盖所述第一循环管道,所述第一循环管道设有第一感应阀门与第二感应阀门,所述第一感应阀门设于所述出水口一端管道,所述第二感应阀门连接所述出水口的一端管道与所述回流口的一端管道。
3.根据权利要求2所述的保温装置,其特征在于,所述第一感应阀门与所述第二感应阀门均设有温度感应器,所述温度感应器用于对所述药液池的蚀刻液温度进行监控。
4.根据权利要求2所述的保温装置,其特征在于,当所述药液池的蚀刻液温度高于所述设定温度范围的最高温度时,所述第一感应阀门开启,所述第二感应阀门关闭,所述热力循环泵的水抽入所述第一循环管道并回流;当所述药液池的蚀刻液温度处于所述设定温度范围时,所述第一感应阀门关闭,所述第二感应阀门开启,所述热力循环泵的水抽入所述出水口的一端管道并流入所述第二感应阀门,且从所述回流口的一端管道回流。
5.根据权利要求1所述的保温装置,其特征在于,所述热交换机的水通过第二循环管道流入所述药液池并回流,所述第二循环管道上设有水泵,所述第二循环管道的出水口与回流口均在所述热交换机内,所述热交换机的水覆盖所述第二循环管道,所述热力循环泵的水通过所述水泵抽入所述第二循环管道,并流入所述热交换机后回流,以使所述热交换机的水温保持为所述第一温度。
6.根据权利要求1所述的保温装置,其特征在于,所述药液池设有对所述蚀刻液进行加热的加热器,在所述药液池的蚀刻液温度被加热到所述设定温度之前,所述热交换机不与所述蚀刻液进行热交换。
7.根据权利要求1所述的保温装置,其特征在于,所述热力循环泵与所述热交换机通过第三循环管道连接,所述第三循环管道上设有水泵,所述第三循环管道的出水口与回流口均在所述热力循环泵内,所述热交换机的水覆盖所述第三循环管道,所述热力循环泵的水通过所述水泵抽入所述第三循环管道并回流。
8.根据权利要求1所述的保温装置,其特征在于,所述设定温度范围为49~51℃。
9.根据权利要求1所述的保温装置,其特征在于,所述第一温度为50℃。
10.根据权利要求1所述的保温装置,其特征在于,所述第二温度为15℃。
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