CN106680860A - 用于探测微粒辐射的方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开用于探测微粒辐射的方法。当用像素化探测器探测微粒辐射诸如电子时，电子/空穴对的云被形成于探测器中。使用由该电子/空穴对的云导致的信号，估计撞击的位置。发明人发现，当云的尺寸与像素尺寸相当或比像素尺寸小得多时，估计的位置示出对像素的中心和角落、以及对边界的中间的强偏置。这阻碍形成具有超分辨率的图像。通过移动位置或通过将电子归于数个亚像素，这种偏置可以被抵消，造成更真实的表示。发明人还发现，通过扩展图像，图像中的Moire效应和干涉可以被抵消。只要图像是稀疏图像(几乎所有像素表示一个撞击或没有撞击)，这种扩展就是可逆的过程。在扩展(有效地，空间低通滤波)之后，高通滤波可以用于对图像匀边。

Description

用于探测微粒辐射的方法
技术领域
本发明涉及一种使用基于半导体的像素化(pixelated)探测器探测微粒辐射(particulate radiation)的方法，探测器像素具有探测器像素尺寸，探测器对微粒辐射敏感，每个微粒辐射的粒子(particle)在探测器的半导体材料中导致许多电子/空穴对，所述许多电子/空穴对具有质心和质心范围(centroid extent)，质心的范围大于探测器像素尺寸，该方法包括：
·拦截微粒辐射的粒子的步骤，
·估计针对许多相邻探测器像素的电子/空穴对的数量的步骤，
·使用相邻探测器像素中的电子/空穴对的估计来估计所述数量的电子/空穴对的质心的位置的步骤，
·使用所述估计的质心的位置来估计粒子的撞击位置的步骤，
·使用许多估计的撞击位置的估计的位置来形成像素化图像的步骤，所述像素化图像由具有强度的图像像素组成。
背景技术
这样的方法尤其从商业上可从Gatan公司(5794W.Las Positas Blvd.，Pleasanton，CA 94588，USA)得到的“K2Direct Detection Cameras”知道。
已知的方法描述像素化探测器拦截以高能电子的形式的辐射。每个经拦截的电子在探测器的半导体材料中导致电子/空穴对的云，从而在其中其被探测到的(一个或多个)探测器像素中导致信号。由于云(质心)的直径大于探测器像素的直径，一个碰撞电子在多个探测器像素中导致信号。使用不同的探测器像素的信号，以比探测器的像素尺寸更好的分辨率来确定撞击位置的估计，在该情况下以半个探测器像素直径的分辨率来确定撞击位置的估计。这被用来形成具有超分辨率的图像(由于分辨率比探测器像素尺寸更好)。
该方法没有公开如何确定或估计撞击位置。该方法没有证明给出针对不同于半个探测器像素或(多个)整个探测器像素的分辨率的结果。
注意到在许多情况下，质心的范围可以用FWHM(半高全宽)直径来表征。
发明内容
本发明意图提供与已知方法相比具有提高的分辨率和/或信噪(S/N)比的方法。
为此，该方法特征在于，当估计撞击位置时，所述估计具有取决于在探测器像素之内的位置的位置相关偏置，以及每个估计的撞击位置对对应图像像素的贡献被调节以抵消所述位置相关偏置的作用。
具体实施方式
发明人发现探测器像素对碰撞粒子的响应不仅取决于像素之间的不同响应(像素间差异或像素间不均匀性)，而且当估计在探测器像素之内的位置时，粒子被分配给探测器像素上的位置的概率(位置相关偏置)是不均匀的：所述位置相关偏置(可再现地)取决于探测器像素上的位置，并且从而引入像素内不均匀性)。
这可以被解释如下：假设电子/空穴对的云的范围小于像素尺寸，则如果相邻探测器像素示出没有电子/空穴对(所有的电子/空穴对被产生于一个探测器像素之内)，该位置将被分配给探测器像素的中间，由于不存在场地(ground)来将其分配给另一位置。仅仅当粒子击中两个探测器像素之间的边界附近(从而在两个探测器像素中导致电子/空穴对)时，边界附近的位置可以被确定，但是沿着边界的地方是未知的：因此粒子的位置将与边界的中间相关联。仅仅在角落附近，在两个方向上的正确定位可以被执行。针对比探测器像素尺寸大得多的范围，作用(不均匀性)涂抹掉。针对(略)大于像素尺寸的质心尺寸，估计的位置在探测器像素的中心附近群集，在较小的范围上群集到边界的中心、并且群集到角落。在像素之内的增强的概率的峰值因此是赝象，(在傅里叶空间中)造成位于多个(偶数的(even))奈圭斯特频率周围的许多额外图像。
图1给出这样的增强的概率的示例(在真实空间中，针对一个、方形像素示出)。
注意到，当产生于探测器中的电子/空穴对的云(FWHM)大于探测器的像素的尺寸时，这些赝象也发生。
发明人进行了实验以发现用来抵消所述位置相关偏置的作用的解决办法。技术人员想起的最明显的解决办法是将较低的概率附到峰值附近的事件上。在图像中，这通过换算(scale)对应于高概率位置的图像像素的强度来实现。然而，这不具有物理基础：这样的换算暗示着仅仅在具有高概率的位置处探测到的粒子的部分被成像。同样地，信息的部分丢失，造成噪声方面的增加。根据本发明的方法，在有或无提高的分辨率的情况下，也可以被用于在奈圭斯特频率(所述奈圭斯特频率受探测器像素尺寸支配)附近的提高的S/N比。
发明人发现，通过调节每个撞击位置对对应图像像素的贡献来抵消所述位置相关偏置的作用，该位置相关偏置的作用可以被抵消。
每个估计的撞击位置对对应图像像素的贡献可以包括探测器像素之内的估计的位置的调节，该调节，探测器像素之内的估计的位置的函数。这可以使用数学函数(优选地，样条函数)或者使用查找表(LUT)来获得。当使用LUT时，位置的调节可以基于一个LUT值，或者基于多于一个LUT值的插值。这造成经调节的估计的位置。
替选地或者额外地，每个估计的撞击位置对对应图像像素的贡献可以包括将强度添加到多于一个图像像素，该添加，探测器像素之内的估计的位置(或经调节的估计的位置)的函数。
将强度添加到多于一个图像像素可以使用LUT得到，LUT值，像素之内的估计的位置的函数。LUT可以示出大量的值，每个值对应于化整的估计的位置。这引入位置信息方面的(小的)化整。优选地，该值从LUT中的插值得到，该插值基于探测器像素之内的估计的位置。较少的化整然后被预期。替选地，强度的添加可以从数学函数(优选地，样条函数)得到。
在又另一个实施例中，微粒辐射是来自电子、离子和X射线的组的微粒辐射
注意到，本发明不涉及PALM或dSTORM，由于这些超分辨率方法探测由一个像素捕获的许多粒子，每个粒子，可见光的光子，每个光子导致(至多)一个电子/空穴对，随后确定数个相邻像素的质心。
进一步注意到，针对Gatan的S2摄像机，仅有的已知超分辨率设定是半个像素尺寸。Gatan确实没有在任何地方公开，估计的位置被移动以抵消在半个像素尺寸处的群集。由于位置相关偏置误差在两倍像素尺寸处引入不均匀性，这在超分辨率被设置成恰好半个像素尺寸时难以探测。
该方法与来自电子、离子、和X射线光子的组的微粒辐射兼容。
在实施例中，该方法进一步包括使用对许多粒子的撞击位置的估计来获得像素化图像，每个粒子的撞击位置的估计对数个图像像素的强度做贡献。
注意到，当将探测到的粒子归于仅仅一个图像的像素时，莫尔效应和干涉可以发生。发明人发现，为了避免这，每个粒子的贡献最好在数个像素上扩展开。
注意到，只要用于扩展开该贡献的点扩展函数(PSF)已知，这就是可逆的方法，并且通过图像强度和(已知的)PSF的反卷积可以得到初始位置。
优选地，该数个图像像素是相邻的图像像素，但是像素的量不需要被限制于直接邻接对应于估计的撞击位置的像素的图像像素。
注意到，虽然对于本发明的方法特别有用，但是用于探测微粒辐射的其他方法也可以受益于使用对许多粒子的撞击位置的估计来获得像素化图像，每个粒子的撞击位置的估计对数个图像像素的强度做贡献。
现在使用图1阐明本发明。
为此，图1示意性地示出跨像素的位置相关偏置。这涉及实际测量，其中大量电子撞击在像素化探测器上，该像素化探测器具有14×14μm2的像素尺寸，而电子/空穴对的云的FWHM尺寸被估计为22μm(像素尺寸的1.6倍)。注意到辐射是均匀的。显然，估计的位置不是均匀的，指示存在位置相关偏置。该位置相关偏置可以通过使用针对每个亚像素(sub-pixel)的矢量场或者使用函数(其中经调节的位置(u，v)是探测到的位置(x，y)的函数，从而(u，v)＝F(x，y))来移动位置而抵消，或者其可以通过将一个事件(撞击)的贡献扩展在数个图像像素或亚像素上而抵消(将撞击位置表示为对数个探测器亚像素做贡献的“点(bolb)”，该点，位置相关的点。注意到，一个亚像素对于图像像素可以示出一对一关系，或者数个亚像素可以对一个图像像素做贡献。在任何事件中，将表示一个估计的撞击的信息扩展在数个图像像素上是有利的。这种在数个图像像素上扩展(还被称作扩展)本身是反直觉的，由于其给出类似于模糊的结果，但是该扩展消除(或大大减少)莫尔效应和干涉。
注意到，当使用适当的扩展，并假设该图像是稀疏图像(因此：在大部分情况下，每图像像素一个撞击或无撞击)时，估计的撞击位置可以完全从图像取回，即：没有位置信息丢失。在非稀疏图像的情况下，每个单独的估计的撞击的位置信息不能被取回，但是该信息被并入在图像中。
进一步注意到，这种扩展(有效地，空间低通滤波器)可以跟随着高通滤波器，以在最小的信息丢失的情况下提高图像质量(对图像匀边(crisp))。
这种移动和/或扩展应该在将信息归于图像像素之前发生。当该扩展在组合探测器图像之后完成时，信息丢失。在组合之后移动是不可能的。由此，发明人断定：任何校正应该理想地通过移动估计的撞击位置和将信息扩展在数个图像像素上而在其中单个撞击事件被处理的级别上被执行。当撞击被归于一组探测器亚像素(所述亚像素用于构造图像)或一组图像像素时，可以获得类似(尽管略差)的结果。
如果该移动或扩展以比图像表示更高的分辨率被执行，则高频信息(例如在奈圭斯特频率的一半以上)被更好地表示，造成提高的S/N比。
注意到，所有这不消除针对前述像素间差异进行校正的需要。
总之，当用像素化探测器探测微粒辐射诸如电子时，电子/空穴对的云被形成于探测器中。使用由该电子/空穴对的云导致的信号，估计撞击的位置。发明人发现，当云的尺寸与像素尺寸相当，或比像素尺寸小得多时，估计的位置示出对像素的中心和角落、以及对边界的中间的强偏置。这阻碍形成具有超分辨率的图像。通过移动位置或通过将电子归于数个亚像素，这种偏置可以被抵消，造成更真实的表示。注意到，移动和/或扩展应该在将信息归于图像像素之前，以及在每亚像素添加事件之前发生。当该扩展在组合探测器图像之后完成时，信息丢失。注意到，在组合探测器图像之后移动是不可能的。

Claims (6)

1.一种使用基于半导体的像素化探测器探测微粒辐射的方法，探测器像素具有探测器像素尺寸，探测器对微粒辐射敏感，每个微粒辐射的粒子在探测器的半导体材料中导致许多电子/空穴对，所述许多电子/空穴对具有质心和质心范围，质心范围的范围大于探测器像素尺寸，该方法包括：
·拦截微粒辐射的粒子的步骤，
·估计针对许多相邻探测器像素的电子/空穴对的数量的步骤，
·使用相邻探测器像素中的电子/空穴对的估计来估计所述数量的电子/空穴对的质心的位置的步骤，
·使用所述估计的质心的位置来估计粒子的撞击位置的步骤，
·使用许多估计的撞击位置的估计的位置来形成像素化图像的步骤，所述像素化图像由具有强度的图像像素组成。
特征在于
当估计撞击位置时，所述估计具有取决于在探测器像素之内的位置的位置相关偏置，以及
每个估计的撞击位置对对应图像像素的贡献被调节以抵消所述位置相关偏置的作用。
2.权利要求1所述的方法，其中每个估计的撞击位置对对应图像像素的贡献的调节包括对估计的位置的调节，该调节，估计的撞击位置相对于探测器像素的函数。
3.权利要求1或权利要求2所述的方法，其中每个估计的撞击位置对对应图像像素的贡献的调节包括将强度添加到多于一个图像像素。
4.权利要求2或权利要求3所述的方法，其中该函数是来自样条函数的组的函数。
5.权利要求2或权利要求3中的任一个所述的方法，其中该函数被存储在查找表(LUT)中。
6.前述权利要求中的任一个所述的方法，其中微粒辐射是来自电子、离子和X射线的组的微粒辐射。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108926356A (zh) * 2018-05-31 2018-12-04 上海联影医疗科技有限公司 探测器光子到达信息确定方法、装置和医疗设备
CN113125471A (zh) * 2021-03-31 2021-07-16 武汉联影生命科学仪器有限公司 扫描系统和扫描控制方法

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10122946B2 (en) * 2015-11-11 2018-11-06 Fei Company Method for detecting particulate radiation
GB2569371B (en) * 2017-12-15 2022-01-12 Lightpoint Medical Ltd Direct detection and imaging of charged particles from a radiopharmaceutical
EP3780065A1 (en) 2019-08-12 2021-02-17 FEI Company Charged particle microscope with a pixelated detector, and method of detecting particulate radiation using a pixelated detector
KR102635483B1 (ko) * 2021-10-07 2024-02-08 한국표준과학연구원 하전입자선 장치의 영상을 디컨볼루션하여 복원하는 방법, 영상 처리 장치 및 영상 처리 장비를 구비한 하전입자선 장치

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01223384A (ja) * 1987-12-28 1989-09-06 Siemens Ag 透過電離箱組立体、電離放射線ビームのずれ検出、補正装置とずれ検出方法、及び線形電子加速器
CN101356646A (zh) * 2006-01-05 2009-01-28 阿尔托·奥罗拉 可见光检测半导体辐射检测器
CN101971338A (zh) * 2008-04-08 2011-02-09 株式会社岛津制作所 辐射检测器
US20110155918A1 (en) * 2009-12-30 2011-06-30 Jean-Paul Bouhnik Systems and methods for providing a shared charge in pixelated image detectors
US20110210235A1 (en) * 2009-02-25 2011-09-01 Bart Dierickx Photon sharpening
CN102331586A (zh) * 2010-06-04 2012-01-25 通用电气公司 电荷丢失校正
US20150260854A1 (en) * 2012-10-08 2015-09-17 Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives Method and device for detecting ionising radiation using a pixelated photodetector

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE69637015T2 (de) 1995-03-16 2007-08-16 Fei Co., Hillsboro Methode zur rekonstruktion von teilchenwellen in einer teilchen-optischen vorrichtung
EP0795197B1 (en) 1995-10-03 2000-02-02 Koninklijke Philips Electronics N.V. Method of reconstructing an image in a particle-optical apparatus
US8749662B2 (en) * 2009-04-16 2014-06-10 Nvidia Corporation System and method for lens shading image correction
EP2461347A1 (en) 2010-12-06 2012-06-06 Fei Company Detector system for transmission electron microscope
EP2518687B1 (en) 2011-04-26 2013-04-24 FEI Company Method for determining a reconstructed image using a particle-optical apparatus
EP2579575A1 (en) 2011-10-06 2013-04-10 FEI Company Method for acquiring data with an image sensor
EP2584362A1 (en) 2011-10-18 2013-04-24 FEI Company Scanning method for scanning a sample with a probe
EP2690648B1 (en) 2012-07-26 2014-10-15 Fei Company Method of preparing and imaging a lamella in a particle-optical apparatus
EP2738786A1 (en) 2012-11-29 2014-06-04 Fei Company Method of performing tomographic imaging of a sample in a charged-particle microscope
EP2879156A1 (en) 2013-12-02 2015-06-03 Fei Company Charged-particle microscopy with enhanced electron detection
EP2887381B1 (en) 2013-12-18 2016-09-21 Fei Company Method of investigating the wavefront of a charged-particle beam
EP3062125A1 (en) 2015-02-26 2016-08-31 Fei Company Pulse processing
US10122946B2 (en) * 2015-11-11 2018-11-06 Fei Company Method for detecting particulate radiation

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01223384A (ja) * 1987-12-28 1989-09-06 Siemens Ag 透過電離箱組立体、電離放射線ビームのずれ検出、補正装置とずれ検出方法、及び線形電子加速器
CN101356646A (zh) * 2006-01-05 2009-01-28 阿尔托·奥罗拉 可见光检测半导体辐射检测器
CN101971338A (zh) * 2008-04-08 2011-02-09 株式会社岛津制作所 辐射检测器
US20110210235A1 (en) * 2009-02-25 2011-09-01 Bart Dierickx Photon sharpening
US20110155918A1 (en) * 2009-12-30 2011-06-30 Jean-Paul Bouhnik Systems and methods for providing a shared charge in pixelated image detectors
CN102331586A (zh) * 2010-06-04 2012-01-25 通用电气公司 电荷丢失校正
US20150260854A1 (en) * 2012-10-08 2015-09-17 Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives Method and device for detecting ionising radiation using a pixelated photodetector

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108926356A (zh) * 2018-05-31 2018-12-04 上海联影医疗科技有限公司 探测器光子到达信息确定方法、装置和医疗设备
CN108926356B (zh) * 2018-05-31 2022-03-25 上海联影医疗科技股份有限公司 探测器光子到达信息确定方法、装置和医疗设备
CN113125471A (zh) * 2021-03-31 2021-07-16 武汉联影生命科学仪器有限公司 扫描系统和扫描控制方法
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