CN106676629B - 一种用于人工晶体炉的门扣结构 - Google Patents
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Abstract
一种用于人工晶体炉的门扣结构，本发明涉及人工晶体设备领域，本发明中锁紧拉条（3）被设置在炉室（2）边框的两侧面，锁紧块（6）左右对称地间隔固定在两条锁紧拉条上，炉门（1）两侧边分别设有若干凹槽（17），该凹槽的数量及位置与所述的锁紧块相对应，锁紧面位于每个凹槽的下方并具有一斜面部分，炉门关闭时，锁紧块（6）的一端穿过所述的凹槽抵靠在炉门的锁紧面上，锁紧块的另一端抵靠在炉室的边框上，锁紧拉条向下移动时，锁紧块随之向下移动，依靠所述锁紧面的斜面将炉门紧锁在炉室上，本发明大大提高了人工晶体炉炉门的启闭效率，确保了炉门启闭的可靠性，同时有效避免了对炉门的损害。
Description
【技术领域】
本发明涉及人工晶体设备领域，具体涉及一种用于人工晶体炉的门扣结构。
【背景技术】
随着科技的不断进步和发展，人们对人工晶体的需求量也日益增大。以多晶硅为例，多晶硅是生产单晶硅的直接原料，也是当代人工智能、自动控制、信息处理、光电转换等半导体器件的基础材料。目前生产多晶硅方法有多种，较为常用的是氢还原法；该方法是把提纯好的硅卤化物(四氯化硅或三氯氢硅)和净化好的氢气作为原料通入还原炉，在高温环境中，硅卤化物与氢气发生化学反应，从而生成多晶硅沉积在发热体上。化学反应持续进行，沉积在发热体上的多晶硅越来越多，逐渐将发热体全部覆盖，变成了一根外表包裹着多晶硅的棒状体，俗称硅棒。上述的化学反应是在还原炉中进行的，还原炉是生产多晶硅不可缺少的装置。
多晶硅是一种高纯物质，俗称高纯硅。一般金属纯度达到五个“9”就算高纯度了，可是对多晶硅来说还远远不够，电子工业所用的多晶硅必须是八个“9”到十个“9”。也就是说，在十亿到百亿个硅原子中仅有一个杂质原子。为此，多晶硅的生产需在密闭的、洁净的环境中进行。
使用人工晶体炉生长晶体时，为了控制炉内温度，炉体、炉门内均设有水套，即炉体、炉门均为空心结构，冷却介质通过炉体、炉门的空心部位为晶体炉降温，以防止炉体外壳被烧坏。
加工多晶硅时炉门的密闭程度属于一个关键技术环节。常规晶体材料加工炉的门扣大多由铰接在炉体上的螺杆与炉门的月牙槽扣合，然后由螺杆上的蝶形螺母或直接由螺母旋拧，使炉门与炉体密闭。
CN202090107U公开了一种晶体材料加工炉的门扣结构，其中设置了若干独立的卡块，依靠人工通过旋拧头、旋拧手柄等将门体与炉体锁住。这种方式不仅操作不方便，而且长期使用后容易伤及炉门。
【发明内容】
为了克服背景技术中的不足，实现了快速将炉门锁紧在炉室上、并确保炉门和炉室的连接牢固性和炉门与炉室的密封效果，本发明公开了一种新型的用于人工晶体炉的门扣结构。
为了实现所述的发明目的，本发明采用如下技术方案：
一种用于人工晶体炉的门扣结构，包括若干个锁紧块和两条锁紧拉条。两条锁紧拉条分别设置在炉室边框的两侧面，锁紧块左右对称地间隔设置在两条锁紧拉条上。炉门两侧边分别设有若干凹槽，该凹槽的位置与所述的锁紧块相对应。锁紧面位于每个凹槽的下方，炉门关闭时，锁紧块的一端穿过所述的凹槽抵靠在炉门的锁紧面上，锁紧块的另一端抵靠在炉室的边框上。锁紧拉条向下移动时，锁紧块随之向下移动，依靠锁紧面的斜面将炉门紧锁在炉室上。
为了限制锁紧块的行程，在所述锁紧拉条上每个锁紧块上、下方的位置设有长条形限位孔，每个限位孔卡接在限位销上，所述限位销固定在炉室边框的两侧面上。
为了便于锁紧块的滑动，在锁紧块的两端设有轴承固定轴A和轴承固定轴B，该固定轴上装有轴承，轴承的外圈分别抵靠在炉门的锁紧面上以及炉室的边框上。
在炉室边框靠近轴承处还可以设置向下凹陷的轴承限位槽，对锁紧块进行限位。
所述的锁紧面可以由锁紧平面和锁紧斜面组成，锁紧斜面的一端与所述的凹槽相接，高度较低，锁紧斜面的另一端与锁紧平面相连接，高度较高。
可以依靠人工驱动锁紧拉条上下移动，也可以依靠动力进行驱动。
在本发明的一个优选实施例中，在炉室两侧的侧壁上分别设有安装座，用于安装并移动锁紧块，在所述安装座上设有动力源。所述动力源为气缸或液压缸或电动推杆。
所述动力源的动力输出轴与连杆的一端相连接，连杆的另一端连接所述的锁紧拉条，连杆的中部连接支撑座，支撑座固定设置在安装座上，动力输出轴向上移动时带动锁紧拉条向下移动，锁紧块随之下移，将炉门锁紧。
采用上述技术方案，本发明的有益效果是：大大提高了人工晶体炉炉门的启闭效率，确保了炉门启闭的可靠性，同时有效避免了对炉门的损害。
【附图说明】
图1是本发明人工晶体炉炉体的立体结构示意图；
图2是图1所示人工晶体炉炉体另一侧的立体结构示意图；
图3是本发明人工晶体炉炉门的结构示意图；
图4是图3所示炉门左侧凹槽及锁紧面的结构示意图；
图5是本发明锁紧块的结构示意图。
图中的标号与部件名称的对应关系是：
1、炉门；2、炉室；3、锁紧拉条；4、限位销；5、限位孔；6、锁紧块；7、螺栓；8、安装座；9、动力源；10、支撑座；11、连杆；12、轴承固定轴A；13、轴承固定轴B；14、锁紧平面；15、轴承限位槽；16、铰链；17、凹槽；18、锁紧斜面。
【具体实施方式】
下面结合附图1-5对本发明门扣的一个优选实施例做详细说明。
图1和2示出了本发明人工晶体炉整体结构的一个优选实施例，该晶体炉包括炉门1、炉室2、锁紧拉条3、锁紧块6和铰链16。炉门1通过铰链16与炉室2铰接，如图2所示。在炉室2边框的两侧面分别设有锁紧拉条3，若干个锁紧块6通过螺栓7间隔固定在锁紧拉条3上。在锁紧拉条3每个锁紧块6的上下方分别设有长条形限位孔5，每个限位孔5卡接在限位销4上，所述限位销4固定在炉室2边框的两侧面上。锁紧块6的行程由两限位孔5限制。在锁紧块6的两端设有轴承固定轴A12和轴承固定轴B13。
图5是锁紧块6的结构示意图。轴承固定轴A12和轴承固定轴B13上分别安装有轴承，锁紧块上下滑动时它们分别抵靠在炉门的锁紧面上以及炉体的边框上。
设置轴承有利于锁紧块6在炉门1与炉室2上的滑动，如果不设置轴承，也可以使锁紧块6的两个端部直接抵靠在炉门的锁紧面上以及炉体的边框上上、下滑动。
为了准确定位，在炉室2 边框的后面还设置向下凹陷的轴承限位槽15，如图1所示。
如图3和4所示，为了便于炉门的启闭，在炉门1边框的两侧面间隔设有若干个向内凹陷的凹槽17，它们分别与锁紧块6相对应。在炉门关闭时，锁紧块6可以使穿过凹槽17，与锁紧斜面18相接触，进而实现炉门的锁紧。锁紧斜面18设置在凹槽17下方的炉门边框上，所述锁紧斜面18靠近凹槽17的一端较低，另一端较高，与锁紧平面14相连接，如图4所示。锁紧块6进入凹槽17后，由锁紧拉条3带动下移，其轴承沿锁紧斜面18移至锁紧平面14，将炉门锁紧。
在图1所示的优选实施例中，为了安装并移动锁紧块6，在炉室2两侧的侧壁上分别设有安装座8，在所述安装座8上分别设有动力源9。所述动力源9为气缸或液压缸或电动推杆，其中优选电动推杆。所述动力源9的动力输出轴连接连杆11的一端。所述连杆11的中部连接支撑座10，所述支撑座10固定设置在安装座8上，连杆11的另一端连接锁紧拉条3。
显然，也可以采用人工操作的方式替代动力源9，即通过人工完成锁紧拉条3的上下移动。
上述门扣优选实施例的工作过程如下：
参照图1、3、4，当炉门通过铰链16关闭时，锁紧块6将进入炉门的凹槽17。启动动力源9后，动力输出轴将回缩，进而拉动连杆11的右端向上运动。借助连杆11中部的旋转运动，连杆11的另一端将带动锁紧拉条3向下运动。在锁紧拉条3向下运动时，由于锁紧拉条3上固定有锁紧块6，由此带动锁紧块6向下运动，锁紧块6内的轴承（如图5所示）将沿锁紧斜面18进入锁紧平面14，从而将炉门与炉体锁紧。
锁紧块6向下运动的范围受限位孔5的限制，轴承限位槽15也可以对动力源9的行程进行限制。
开启炉门时，再次启动动力源9，推动动力输出轴伸出，进而带动锁紧拉条3及锁紧块6向上运动。锁紧块6内的轴承依次经过炉门1上设置的锁紧平面14、锁紧斜面18，然后停留在炉门1上设置的凹槽17内，此时即可将炉门1开启。
Claims (8)
1.一种用于人工晶体炉的门扣结构，包括两条锁紧拉条(3)和若干个锁紧块(6)，其特征在于：所述的锁紧拉条(3)被设置在炉室(2)边框的两侧面，锁紧块(6)左右对称地间隔固定在两条锁紧拉条(3)上，炉门(1)两侧边分别设有若干凹槽(17)，该凹槽(17)的数量及位置与所述的锁紧块(6)相对应，锁紧面位于每个凹槽(17)的下方并具有一斜面部分，炉门关闭时，锁紧块(6)的一端穿过所述的凹槽(17)抵靠在炉门(1)的锁紧面上，锁紧块(6)的另一端抵靠在炉室(2)的边框上，锁紧拉条(3)向下移动时，锁紧块(6)随之向下移动，依靠所述锁紧面的斜面将炉门(1)紧锁在炉室(2)上。
2.如权利要求1所述的门扣结构，其特征在于：在所述锁紧拉条(3)上每个锁紧块(6)上、下方的位置设有长条形限位孔(5)，每个限位孔(5)卡接在限位销(4)上，所述限位销(4)固定在炉室(2)边框的两侧面上。
3.如权利要求1所述的门扣结构，其特征在于：在锁紧块(6)的两端分别设有轴承固定轴A(12)和轴承固定轴B(13)，在轴承固定轴A(12)和轴承固定轴B(13)上分别装有轴承，轴承的外圈分别抵靠在炉门(1)的锁紧面上以及炉室(2)的边框上。
4.如权利要求3所述的门扣结构，其特征在于：在所述炉室(2)边框靠近轴承处还设置向下凹陷的轴承限位槽(15)。
5.如权利要求1所述的门扣结构，其特征在于：所述的锁紧面包括锁紧平面(14)和锁紧斜面(18)，锁紧斜面(18)的一端与所述的凹槽(17)相接，高度较低，锁紧斜面(18)的另一端与锁紧平面(14)相连接，高度较高。
6.如权利要求1或5所述的门扣结构，其特征在于：在炉室(2)两侧的侧壁上分别设有安装座(8)，用于安装并移动锁紧块(6)，在所述安装座(8)上设有动力源(9)。
7.如权利要求6所述的门扣结构，其特征在于：所述动力源(9)为气缸或液压缸或电动推杆。
8.如权利要求6所述的门扣结构，其特征在于：所述动力源(9)的动力输出轴与连杆(11)的一端相连接，连杆(11)的另一端连接所述的锁紧拉条(3)，连杆(11)的中部连接支撑座(10)，支撑座(10)固定设置在安装座(8)上，动力输出轴向上移动时带动锁紧拉条(3)向下移动，锁紧块(6)随之下移，将炉门(1)锁紧。
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