CN106646067A - 一种光电倍增管自动静态测试台 - Google Patents
一种光电倍增管自动静态测试台 Download PDFInfo
- Publication number
- CN106646067A CN106646067A CN201710049108.3A CN201710049108A CN106646067A CN 106646067 A CN106646067 A CN 106646067A CN 201710049108 A CN201710049108 A CN 201710049108A CN 106646067 A CN106646067 A CN 106646067A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- test
- photomultiplier
- testing
- testing base
- computer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
本发明公开了一种光电倍增管自动静态测试台,包括测试底座、传送带、测试箱、位置传感器、气动控制系统和计算机,所述测试底座可在所述传送带上移动,所述测试底座上设有分压板,所述测试箱用于测试光电倍增管的静态参数且安装在所述传送带上,所述位置传感器安装在所述传送带上且置于所述测试箱的输入侧,所述气动控制系统用于控制测试箱的运动,所述计算机用于控制传送带、测试箱和气动控制系统的运动。该测试台可以实现光电倍增管的自动测试,测试项包括光阴极灵敏度,增益,增益斜率,暗电流,可以大幅提高测试效率与测试结果的可靠度。
Description
技术领域
本发明涉及光电倍增管测试设备技术领域,尤其涉及一种光电倍增管自动静态测试台。
背景技术
光电倍增管是一种在正常工作时利用光电效应将光信号转换为电信号并利用二次电子发射效应将这个电信号逐级放大最终转变为电流信号输出的真空探测器件,广泛应用于宇宙射线探测,伽马射线探测,医学影像,分析谱仪等等光探测的各个领域。光电倍增管静态参数光阴极灵敏度、增益、暗电流是光电倍增管的基本参数。手动测试台测试基本参数繁琐对于人工要求高费时费力,效率低。本专利设备涉及一种光电倍增管自动静态测试台由计算机控制自动测试出光电倍增管的静态参数,包括光阴极灵敏度,增益,增益斜率,暗电流等。
发明内容
有鉴于此,本发明提供了一种光电倍增管自动静态测试台,解决了不能自动测试光电倍增管的静态参数的问题。
本发明采用的技术手段如下:一种光电倍增管自动静态测试台,包括测试底座、传送带、测试箱、位置传感器、气动控制系统和计算机,所述测试底座可在所述传送带上移动,所述测试底座上设有分压板,所述测试箱用于测试光电倍增管的静态参数且安装在所述传送带上,所述位置传感器安装在所述传送带上且置于所述测试箱的输入侧,所述气动控制系统用于控制测试箱的运动,所述计算机用于控制传送带、测试箱和气动控制系统的运动。
优选地,所述测试底座包括底板、插座和插针,所述插座置于所述底板上方,所述插座用于安装光电倍增管,安装在所述插座上的光电倍增管管针通过导线与所述插针连接。
优选地,所述测试箱包括P1测试箱和P2测试箱,所述P1测试箱为阴极、增益测试箱,所述P2测试箱为暗电流测试箱,所述P1测试箱和P2测试箱均设有箱门、拦截开关和机械手。
优选地,所述P1测试箱设有色温为2856K的钨丝灯光源,所述光源通过滤光片调节光波波段、通过衰减片可以调节光强、通过孔径光阑可以控制光照面积。
优选地,所述气动控制系统用于控制滤光片、衰减片和孔径光阑的更换、用于控制所述机械手将测试底座移入或移出测试箱、用于控制测试箱的箱门和拦截开关的开或关。
优选地,所述底板的前端设有与所述机械手匹配的插孔。
优选地,还包括与所述计算机连接的高压供电系统,所述高压供电系统用于供给所述分压板高压。
本发明还包括一种光电倍增管自动静态测试台的测试方法,包括以下步骤:
(1)设置参数:在计算机中设置测试条件,所述测试条件包括光阴极测试电流,滤光片,衰减片的衰减倍数,孔径光阑的孔径直径;
(2)安装连接:将分压板与高压供电系统连接,光电倍增管插到测试底座并置于传送带上;
(3)检测测试:当测试底座触碰位置传感器时,计算机记录测试底座位置状态,测试箱中的机械手伸出,插入测试底座的插孔中接着缩回测试箱,将测试底座竖起向所述光源方向收缩,测试箱的箱门关上,测试开始;
(4)测试光阴极灵敏度:不加滤光片先测白光灵敏度,先遮住光源,测试光阴极暗电流Id1,然后打开光源,测试光阴极的电流Ik1,计算得到光阴极光电流Ik=Ik1-Id1,计算机会根据孔径光阑孔径的尺寸计算光通量,光电流与光通量的比值为光阴极灵敏度;
(5)测试蓝光灵敏度:计算机控制将滤光片调整为蓝光滤光片,测试高压不变,先遮住光源,测试光阴极暗电流Idb1,然后打开光源,测试光阴极的电流Ikb1,由计算得到光阴极光电流Ikb=Ikb1-Idb1,计算机根据孔径光阑孔径的尺寸计算光通量,光电流与光通量的比值为光阴极蓝光灵敏度;
(6)测试增益:改用衰减倍数更大的衰减片,衰减倍数为W,测试阳极光源被遮住时电流输出的电流大小Iabd1,以及光源没有被遮住时阳极电流输出Iab1,通过计算Iab=Iab1-Iabd1可得阳极光电流大小Iab,则此时光电倍增管的增益G1=Iab*W/Ikb,同样通过增大电压,可以测试到不同高压下的增益G2、G3、G4、G5,通过数据拟合可以得到电倍增管增益随光电倍增管的关系,得到光电倍增管增益斜率;
(7)输出:测试完光电倍增管增益后测试箱的箱门打开,机械手将测试底座送出测试箱,拦截开关放行,进行暗电流测试;
(8)测试暗电流:测试底座移动到暗电流测试箱前时会触动位置传感器,测试的箱门打开,机械手将测试底座连同光电倍增管一块儿移入测试箱,待3分钟后记录测试阳极电流大小即为暗电流,测试结束时测试箱门打开,机械手将测试底座移出测试箱,拦截开关放行。
优选地,步骤(4)光通量的计算公式为:K=I*(D*D*3.14)/(4*3.14*L*L),其中I为光源的总的光强,L为测试距离,D孔径光阑的半径。
优选地,步骤(6)所述光电倍增管增益斜率通过dlogG/dlogHV数据拟合计算而得。
采用本发明所提供的一种光电倍增管自动静态测试台,具有以下有益效果:计算机控制传送带的运动、控制测试箱的的开和关、控制记录光电倍增管阳极和阴极输出的电流信号、记录位置传感器的信号,自动测试光电倍增管的静态参数,检测光电倍增管产品是否合格,大幅度提高测试效率,保障了测试结果的可靠度。
附图说明
图1为本发明一种光电倍增管自动静态测试台的俯视图;
图2为本发明一种光电倍增管自动静态测试台中测试箱与位置传感器的结构示意图;
图3为本发明一种光电倍增管自动静态测试台中测试底座的俯视图;
图4为本发明一种光电倍增管自动静态测试台中测试底座的主视图。
图中:1测试底座,2传送带,3测试箱,4箱门,5拦截开关,6位置传感器,7插孔,101底板,102插座,103插针,301P1测试箱,302P2测试箱。
具体实施方式
以下对本发明的原理和特征进行描述,所举实例只用于解释本发明,并非用于限定本发明的范围。
一种光电倍增管自动静态测试台,包括测试底座1、传送带2、测试箱3、位置传感器6、气动控制系统和计算机,所述测试底座1可在所述传送带2上移动,所述测试底座1上设有分压板,所述测试箱3用于测试光电倍增管的静态参数且安装在所述传送带2上,所述位置传感器6安装在所述传送带2上且置于所述测试箱3的输入侧,所述气动控制系统用于控制测试箱3的运动,所述计算机用于控制传送带2、测试箱3和气动控制系统的运动。所述测试底座1从装有位置传感器6的区域经过时,位置传感器6输送信号至计算机上,计算机记录下测试底座1的位置。
所述测试底座1包括底板101、插座102和插针103,所述插座102置于所述底板101上方,所述插座102用于安装光电倍增管,光电倍增管插在上面可以起到固定的作用,安装在所述插座102上的光电倍增管管针通过导线与底板101外的一排所述插针103连接,通过一排的插针103可以将光电倍增管的管针转接到测试台上。所述分压板为带有插针的PCB电路板,分压板通过插针连接到所述高压供电系统上,所述高压供电系统在分压板上加一个高压,分压板可以按照一定分压比例将高压分成若干电位并供给底板101外的一排插针103,底板101外的一排插针103将这些电位通过测试底座1内的导线,通过测试分压需要,加到光电倍增管对应的管针上,不同的管针加不同的电压,由此实现光电倍增管的正常工作。
所述测试箱3包括P1测试箱301和P2测试箱302,所述P1测试箱301和P2测试箱302均设有箱门4、拦截开关5和机械手,所述拦截开关5置于所述箱门4的两侧,所述拦截开关5可以拦截测试底座1的运动,使得测试底座1停止在所述拦截开关5前不在随着传送带2的运动而运动。所述测试箱3是密闭不透光的,所述P1测试箱301为阴极、增益测试箱,所述P2测试箱302为暗电流测试箱,且所述P2测试箱302的数量为3个。所述P1测试箱301设有色温为2856K的钨丝灯光源,所述光源通过滤光片调节光波波段、通过衰减片可以调节光强、通过孔径光阑可以控制光照面积。
所述气动控制系统用于控制滤光片、衰减片和孔径光阑的更换,且所述气动控制系统用于控制所述机械手将测试底座1移入或移出测试箱3、用于控制测试箱3的箱门4和拦截开关5的开或关。
所述底板101的前端设有与所述机械手匹配的插孔7,所述插孔7的数量为2个,分别位于所述底板101前方的两侧上,所述机械手有气缸作为动力源,计算机可以控制机械手的平移与垂直竖起。机械手上有两个金属柱,其尺寸与测试底座1的两个插孔7相匹配。两个金属柱插入测试底座1的插孔7中可以将测试底座1移入或移出测试箱3,并可以将测试底座1垂直竖起,将测试底座1上的光电倍增管光窗对准测试箱3内的所述光源。
还包括与所述计算机连接的高压供电系统,所述高压供电系统用于供给所述分压板高压。
工作原理:首先在计算机操作软件中设置需要测试的光电倍增管的管型与测试条件。测试条件包括光阴极测试电流,滤光片,衰减片的衰减倍数,孔径光阑的孔径直径,参数合格的范围。该测试台可以测试多个光电倍增管的静态参数是否符合标准,具备高的测试效率及保障测试结果的准确性。其测试方法的步骤如下:
1、将对应光电倍增管的管型的分压板接到测试台上的高压供电系统。开启计算机主控软件,操作软件,将光电倍增管插到测试底座的插座上,将测试底座1放置到传送带2上。
2、在计算机操作软件中输入光电倍增管的管型并开始测试。
3、计算机根据软件上的设定参数通过气动控制系统调整滤光片、衰减片、孔径光阑,同时传送带2开始运转带动测试底座1在传送带2轨道上移动。
4、当测试底座1触碰位置传感器6时,位置传感器6向计算机发送指令,计算机记录测试底座1位置状态,同时测试底座1会被测试箱3的箱门4前的拦截开关5拦下。此时虽然传送带2一直在运转但是测试底座1被拦截不会移动。计算机主控程序会查询P1测试箱301中是否有测试底座1,如果有就继续拦截等待,直到P1测试箱301中的测试完成;如果没有就给拦截开关5发送放行指令,拦截开关5放行,测试底座1在传送带2的带动下移动。位置传感器6会再向计算机发送指令,计算机主控程序会向P1测试箱301中的箱门4发送打开门的指令,箱门4打开后向计算机发送打开状态指令,计算机主控程序接着向P1测试箱301中的机械手发送伸出指令,机械手平行伸出,会正好对应插入测试底座1的插孔7中接着缩回测试箱3,将测试底座1竖起向所述光源方向收缩,直到光电倍增管顶住测试箱3内的孔径光阑时机械手不能再缩。同时有光探测器探测光电倍增管是否到达测试孔径光阑的前面。如果光电倍增管已经到达测试位置,测试箱3的箱门4关上,测试开始。
5、首先测试光阴极灵敏度:计算机主控程序根据设定的收集电压加到光电倍增管阴极与收集极。先测白光灵敏度,不加滤光片,白光灵敏度是个衡量阴极探测灵敏度的指标。再遮住光源,测试光阴极暗电流Id1。然后打开光源,测试光阴极的电流Ik1,则可由计算得到光阴极光电流Ik=Ik1-Id1,计算机会根据孔径光阑孔径的尺寸计算光通量,计算得到光阴极灵敏度。其中光通量的计算公式为:光通量通过对光源标定可以计算得到光源的总的光强I,那么在测试距离L的位置,孔径光阑的半径D的测试面积的光通量为K=I*(D*D*3.14)/(4*3.14*L*L),光通量单位为流明(Lm),则光电流与光通量之比即为光阴极白光灵敏度,单位是微安每流明。
6、接着测试蓝光灵敏度,计算机主控程序会将滤光片调整为蓝光滤光片。测试高压不变,依然先遮住光源,测试光阴极暗电流Idb1,然后打开光源,测试光阴极的电流Ikb1,由计算得到光阴极光电流Ikb=Ikb1-Idb1,主控计算机会根据孔径光阑孔径的尺寸计算光通量,计算得到光阴极蓝光灵敏度,其计算公式与步骤6相同。
7、接着测试光电倍增管的增益,要改用衰减倍数更大的衰减片(衰减倍数为W),从阴极到阳极每一极都要加上工作电压使得光电倍增管可以正常工作。通过测试阳极光源被遮住时电流输出的电流大小Iabd1,以及光源没有被遮住时阳极电流输出Iab1,通过计算Iab=Iab1-Iabd1可得阳极光电流大小Iab。则此时光电倍增管的增益G1=Iab*W/Ikb,同样通过增大电压,可以测试到不同高压下的增益G2、G3、G4、G5,通过数据拟合可以得到电倍增管增益随光电倍增管的关系,得到光电倍增管增益斜率。测试数据由计算机主控程序从电流计中读取与记录。测试完光电倍增管增益后测试箱的箱门4打开,机械手将测试底座送出测试箱3,拦截开关5放行,进行暗电流测试。
8、当测试底座1移动到暗电流测试箱前时会触动位置传感器6,同时被拦截开关5拦住停止移动。如果三个暗电流测试箱都有光电倍增管在测试就继续拦截等待,直到有空的测试箱3;如果有空的测试箱3就给拦截开关5发送放行指令,拦截开关5放行,测试底座1在传送带2的带动下移动到空测试箱3的拦截开关5处被拦住同时会触动位置传感器6。测试的箱门4打开,机械手将测试底座1连同光电倍增管一块儿移入测试箱3。等待3分钟记录下测试的阳极电流大小即为暗电流。测试结束时测试箱门4打开,机械手将测试底座1移出测试箱3,拦截开关5放行。
9、该光电倍增管产品其在传送带2的作用下继续移动直到出口位置,由人工取出。该测试台上测试的若干光电倍增管在计算机操作软件上显示测试结果,可以判定光电倍增管是否合格。例:测试光电倍增管参数,光阴极白光灵敏度为126微安每流明,光阴极蓝光灵敏度为11.5微安每流明F;测试增益为4E5时的工作高压为1056V,增益斜率为6.2;测试暗电流为0.5nA。根据客户要求为合格产品。
光阴极白光灵敏度为80微安每流明,光阴极蓝光灵敏度为8.9微安每流明F;测试增益为4E5时的工作高压为1116V,增益斜率为6.5;测试暗电流为0.5nA.根据客户要求为不合格产品。
综上所述,采用本发明所提供的一种光电倍增管自动静态测试台,具有以下有益效果:计算机控制传送带2的运动、控制测试箱3的的开和关、控制记录光电倍增管阳极和阴极输出的电流信号、记录位置传感器6的信号,自动测试光电倍增管的静态参数,检测光电倍增管产品是否合格,大幅度提高测试效率,保障了测试结果的可靠度。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内,所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明保护的范围之内。
Claims (10)
1.一种光电倍增管自动静态测试台,其特征在于,包括测试底座、传送带、测试箱、位置传感器、气动控制系统和计算机,所述测试底座可在所述传送带上移动,所述测试底座上设有分压板,所述测试箱用于测试光电倍增管的静态参数且安装在所述传送带上,所述位置传感器安装在所述传送带上且置于所述测试箱的输入侧,所述气动控制系统用于控制测试箱的运动,所述计算机用于控制传送带、测试箱和气动控制系统的运动。
2.根据权利要求1所述的一种光电倍增管自动静态测试台,其特征在于,所述测试底座包括底板、插座和插针,所述插座置于所述底板上方,所述插座用于安装光电倍增管,安装在所述插座上的光电倍增管管针通过导线与所述插针连接。
3.根据权利要求1所述的一种光电倍增管自动静态测试台,其特征在于,所述测试箱包括P1测试箱和P2测试箱,所述P1测试箱为阴极、增益测试箱,所述P2测试箱为暗电流测试箱,所述P1测试箱和P2测试箱均设有箱门、拦截开关和机械手。
4.根据权利要求3所述的一种光电倍增管自动静态测试台,其特征在于,所述P1测试箱设有色温为2856K的钨丝灯光源,所述光源通过滤光片调节光波波段、通过衰减片可以调节光强、通过孔径光阑可以控制光照面积。
5.根据权利要求4所述的一种光电倍增管自动静态测试台,其特征在于,所述气动控制系统用于控制滤光片、衰减片和孔径光阑的更换、用于控制所述机械手将测试底座移入或移出测试箱、用于控制测试箱的箱门和拦截开关的开或关。
6.根据权利要求2和3所述的一种光电倍增管自动静态测试台,其特征在于,所述底板的前端设有与所述机械手匹配的插孔。
7.根据权利要求1所述的一种光电倍增管自动静态测试台,其特征在于,还包括与所述计算机连接的高压供电系统,所述高压供电系统用于供给所述分压板高压。
8.根据权利要求1所述的一种光电倍增管自动静态测试台的测试方法,其特征在于,包括以下步骤:
(1)设置参数:在计算机中设置测试条件,所述测试条件包括光阴极测试电流,滤光片,衰减片的衰减倍数,孔径光阑的孔径直径;
(2)安装连接:将分压板与高压供电系统连接,光电倍增管插到测试底座并置于传送带上;
(3)检测测试:当测试底座触碰位置传感器时,计算机记录测试底座位置状态,测试箱中的机械手伸出,插入测试底座的插孔中接着缩回测试箱,将测试底座竖起向所述光源方向收缩,测试箱的箱门关上,测试开始;
(4)测试光阴极灵敏度:不加滤光片先测白光灵敏度,先遮住光源,测试光阴极暗电流Id1,然后打开光源,测试光阴极的电流Ik1,计算得到光阴极光电流Ik=Ik1-Id1,计算机会根据孔径光阑孔径的尺寸计算光通量,光电流与光通量的比值为光阴极灵敏度;
(5)测试蓝光灵敏度:计算机控制将滤光片调整为蓝光滤光片,测试高压不变,先遮住光源,测试光阴极暗电流Idb1,然后打开光源,测试光阴极的电流Ikb1,由计算得到光阴极光电流Ikb=Ikb1-Idb1,计算机根据孔径光阑孔径的尺寸计算光通量,光电流与光通量的比值为光阴极蓝光灵敏度;
(6)测试增益:改用衰减倍数更大的衰减片,衰减倍数为W,测试阳极光源被遮住时电流输出的电流大小Iabd1,以及光源没有被遮住时阳极电流输出Iab1,通过计算Iab=Iab1-Iabd1可得阳极光电流大小Iab,则此时光电倍增管的增益G1=Iab*W/Ikb,同样通过增大电压,可以测试到不同高压下的增益G2、G3、G4、G5,通过数据拟合可以得到电倍增管增益随光电倍增管的关系,得到光电倍增管增益斜率;
(7)输出:测试完光电倍增管增益后测试箱的箱门打开,机械手将测试底座送出测试箱,拦截开关放行,进行暗电流测试;
(8)测试暗电流:测试底座移动到暗电流测试箱前时会触动位置传感器,测试的箱门打开,机械手将测试底座连同光电倍增管一块儿移入测试箱,待3分钟后记录测试阳极电流大小即为暗电流,测试结束时测试箱门打开,机械手将测试底座移出测试箱,拦截开关放行。
9.根据权利要求8所述的一种光电倍增管自动静态测试台的测试方法,其特征在于,步骤(4)光通量的计算公式为:K=I*(D*D*3.14)/(4*3.14*L*L),其中I为光源的总的光强,L为测试距离,D孔径光阑的半径。
10.根据权利要求8所述的一种光电倍增管自动静态测试台的测试方法,其特征在于,步骤(6)所述光电倍增管增益斜率通过dlogG/dlogHV数据拟合计算而得。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201710049108.3A CN106646067A (zh) | 2017-01-23 | 2017-01-23 | 一种光电倍增管自动静态测试台 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201710049108.3A CN106646067A (zh) | 2017-01-23 | 2017-01-23 | 一种光电倍增管自动静态测试台 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN106646067A true CN106646067A (zh) | 2017-05-10 |
Family
ID=58841119
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201710049108.3A Pending CN106646067A (zh) | 2017-01-23 | 2017-01-23 | 一种光电倍增管自动静态测试台 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN106646067A (zh) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108983282A (zh) * | 2018-09-13 | 2018-12-11 | 江苏赛诺格兰医疗科技有限公司 | 一种硅光电倍增管测试平台 |
CN109556837A (zh) * | 2018-11-21 | 2019-04-02 | 北方夜视技术股份有限公司 | 一种测量像增强器光电阴极灵敏度的方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NZ206543A (en) * | 1982-12-14 | 1987-04-30 | Coors Co Adolph | Photomultiplier tube: reduced light measurement errors |
CN202025066U (zh) * | 2011-04-15 | 2011-11-02 | 山东省科学院自动化研究所 | 一种用于光电倍增管检测的光源自动定位系统 |
CN204065263U (zh) * | 2014-07-07 | 2014-12-31 | 珠海市运泰利自动化设备有限公司 | 多功能联动测试设备 |
CN105606915A (zh) * | 2015-09-11 | 2016-05-25 | 南京理工大学 | 双片级联微通道板光电倍增管静态性能的测试系统 |
CN205844396U (zh) * | 2016-08-02 | 2016-12-28 | 西安中为光电科技有限公司 | 光电探测器芯片的快速测试装置 |
-
2017
- 2017-01-23 CN CN201710049108.3A patent/CN106646067A/zh active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NZ206543A (en) * | 1982-12-14 | 1987-04-30 | Coors Co Adolph | Photomultiplier tube: reduced light measurement errors |
CN202025066U (zh) * | 2011-04-15 | 2011-11-02 | 山东省科学院自动化研究所 | 一种用于光电倍增管检测的光源自动定位系统 |
CN204065263U (zh) * | 2014-07-07 | 2014-12-31 | 珠海市运泰利自动化设备有限公司 | 多功能联动测试设备 |
CN105606915A (zh) * | 2015-09-11 | 2016-05-25 | 南京理工大学 | 双片级联微通道板光电倍增管静态性能的测试系统 |
CN205844396U (zh) * | 2016-08-02 | 2016-12-28 | 西安中为光电科技有限公司 | 光电探测器芯片的快速测试装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108983282A (zh) * | 2018-09-13 | 2018-12-11 | 江苏赛诺格兰医疗科技有限公司 | 一种硅光电倍增管测试平台 |
CN108983282B (zh) * | 2018-09-13 | 2020-01-10 | 江苏赛诺格兰医疗科技有限公司 | 一种硅光电倍增管测试平台 |
CN109556837A (zh) * | 2018-11-21 | 2019-04-02 | 北方夜视技术股份有限公司 | 一种测量像增强器光电阴极灵敏度的方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN107407595B (zh) | 光量检测装置、利用其的免疫分析装置及电荷粒子束装置 | |
CN106707059A (zh) | 大面积微通道板型光电倍增管测试装置与测试方法 | |
US5892539A (en) | Portable emission microscope workstation for failure analysis | |
CN100499250C (zh) | 筒状电池的漏液检查方法 | |
CN106646067A (zh) | 一种光电倍增管自动静态测试台 | |
CN104756223B (zh) | 试样收纳容器、带电粒子线装置及图像获得方法 | |
CN109489941A (zh) | 微光像增强器测试系统 | |
CN107636791A (zh) | 电子显微镜用样品室装置及具备其的电子显微镜 | |
CN212779867U (zh) | 一种显示屏检测装置 | |
WO2016088926A1 (ko) | 엑스선 차폐장치 및 차폐방법 | |
CN110296919A (zh) | 一种基于近前向散射光检测的悬浮颗粒物浓度监测装置 | |
ES2965924T3 (es) | Dispositivo de prueba para líneas eléctricas | |
JPH0644906A (ja) | ストレー光検出システム | |
JP6836522B2 (ja) | 自動分析装置、及び自動分析装置の制御方法 | |
JP2000338048A (ja) | 表面検査方法及び検査装置 | |
CN109444179B (zh) | 全自动半导体元器件x射线检测设备 | |
CN219475454U (zh) | 一种样品表面分析装置 | |
CN218445127U (zh) | 一种二氧化碳气体浓度的检测仪 | |
Gambetta et al. | First results from quality assurance testing of MaPMTs for the LHCb RICH upgrade | |
CN110174563A (zh) | 自动测试装置 | |
CN207850654U (zh) | 调光曲线自动测试装置 | |
WO2006094431A1 (fr) | Couvercle d'obturation, ensemble de tete d'essai et appareil d'essai les utilisant | |
CN109884089A (zh) | 一种x射线探测器及自动曝光监测方法 | |
CN213022846U (zh) | 一种可见分光光度装置 | |
CN205091245U (zh) | 一种测光积分球 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20170510 |
|
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |