CN106558518A - 一种蚀刻装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种蚀刻装置，包括机体和吸水机构，所述吸水机构设置在所述机体内，还包括风机和气液分离器，所述吸水机构与所述气液分离器管道连接，所述气液分离器与所述风机管道连接。本发明的蚀刻装置可节省能源且可显著的提高抽真空效率，提高蚀刻的均匀性和蚀刻速度。

Description

一种蚀刻装置
技术领域
本发明涉及蚀刻技术，尤其涉及一种蚀刻装置。
背景技术
蚀刻通常也称光化学蚀刻，指通过显影后，将要蚀刻区域的保护膜去除，在蚀刻时接触化学溶液，达到溶解腐蚀的作用。为了提高蚀刻的均匀性，一般会在输送滚轮的上侧设置吸水机构，吸水机构排出上板面的药水，以提高工件的品质。现有技术中的蚀刻装置，吸水机构与射流器和水泵连接，水泵抽水后，打入射流器，从射流器射出后，在其上部会产生真空，接入到吸水机构时，吸水机构会吸取工件表面的药水和空气。通过射流器和水泵来产生真空，由于水泵抽水需要消耗能量，同时还要经过射流器，使得产生真空的效率较低。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是：提供一种节能且抽真空效率高的蚀刻装置。
为了解决上述技术问题，本发明采用的技术方案为：
一种蚀刻装置，包括机体和吸水机构，所述吸水机构设置在所述机体内，还包括风机和气液分离器，所述吸水机构与所述气液分离器管道连接，所述气液分离器与所述风机管道连接。
本发明的有益效果在于：
吸水机构与气液分离器通过管道连接，气液分离器与风机通过管道连接，从而通过风机可以直接产生真空，无需使用水泵，不仅可节省能源，而且可提高抽真空效率，使得吸水机构可及时地将工件上的药水排出，不仅使蚀刻的均匀性大大提高，而且可提高整体的蚀刻速度。
附图说明
图1为本发明实施例的蚀刻装置的结构示意图。
标号说明：
1、机体；2、吸水机构；3、风机；4、气液分离器；5、输送机构；
6、蚀刻机构；61、上喷淋机构；62、下喷淋机构。
具体实施方式
为详细说明本发明的技术内容、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图予以说明。
本发明最关键的构思在于：利用风机产生真空，从而节省能源且提高抽真空效率，进而提高蚀刻均匀性和速度。
请参照图1，一种蚀刻装置，包括机体1和吸水机构2，所述吸水机构2设置在所述机体1内，还包括风机3和气液分离器4，所述吸水机构2与所述气液分离器4管道连接，所述气液分离器4与所述风机3管道连接。
本发明的工作原理为：
利用风机产生真空，而非像现有技术中采用水泵的方式。风机的叶轮在电机的高速旋转带动下，将空气在风机入口吸入，经叶轮旋转带动下排出至出口；在风机的入口会产生负压，将空气吸入；在风机的出风口会产生正压，将风排出。
现有技术中抽取液体一般采用水泵进行，与之不同的是，本发明利用风机和气液分离器，以取代现有技术中的射流器和水泵，上述结构的改变，可以显著的提高抽真空效率，并且，避免了因采用射流器和水泵设备而带来的能源浪费。
从上述描述可知，本发明的有益效果在于：
吸水机构与气液分离器通过管道连接，气液分离器与风机通过管道连接，从而通过风机可以直接产生真空，无需使用水泵，不仅可节省能源，而且可提高抽真空效率，使得吸水机构可及时地将工件上的药水排出，不仅使蚀刻的均匀性大大提高，而且可提高整体的蚀刻速度。
进一步的，所述风机3与所述机体1管道连接。
由上述描述可知，吸水机构吸取药水和空气，进入到气液分离器后，气液分离器将液态和气体进行分离，气体由管道进入到风机，再进入到机体内完成循环。
进一步的，所述气液分离器4与所述机体1管道连接。
由上述描述可知，经气液分离器分离的液体经过管道进入到机体内。
进一步的，还包括回收槽，所述回收槽设置在所述机体1内并位于机体1的底部，所述气液分离器4通过管道与所述回收槽连通设置。
由上述描述可知，经气液分离器分离的液体进入到机体内的回收槽中，以便对药水进行回收，使得药水可循环利用，节省原材。
进一步的，还包括输送机构5，所述输送机构5设置在所述机体内，所述吸水机构2设置在所述输送机构5的上方并朝向输送机构5设置。
由上述描述可知，工件设置在输送机构上，吸水机构朝向输送机构设置，可方便地将工件上的药水排水。
进一步的，还包括蚀刻机构6，所述蚀刻机构6包括上喷淋机构61和下喷淋机构62，所述上喷淋机构61和下喷淋机构62分别设置在所述机体1内，所述上喷淋机构61设于所述下喷淋机构62的上方，所述吸水机构2设置在所述上喷淋机构61和下喷淋机构62之间。
由上述描述可知，蚀刻机构包括上、下喷淋机构，可同时对工件的上下两面进行蚀刻，提高了蚀刻效率。
请参照图，本发明的实施例一为：
本实施例的蚀刻装置，包括机体1和吸水机构2，所述吸水机构2设置在所述机体1内，还包括风机3和气液分离器4，所述吸水机构2与所述气液分离器4管道连接(管道内为气体和液态的药水)，所述气液分离器4与所述风机3管道连接(管道内为气体)。所述风机3与所述机体1管道连接(管道内为气体)。所述气液分离器4与所述机体1管道连接(管道内为液体)。气体及液体药水的流向如图1中箭头方向所示。还包括回收槽，所述回收槽设置在所述机体1内并位于机体1的底部，所述气液分离器4通过管道与所述回收槽连通设置。还包括输送机构5，所述输送机构5设置在所述机体内，所述吸水机构2设置在所述输送机构5的上方并朝向输送机构5设置。还包括蚀刻机构6，所述蚀刻机构6包括上喷淋机构61和下喷淋机构62，所述上喷淋机构61和下喷淋机构62分别设置在所述机体1内，所述上喷淋机构61设于所述下喷淋机构62的上方，所述吸水机构2设置在所述上喷淋机构61和下喷淋机构62之间。
抽真空效率测试
将本发明的蚀刻装置与背景技术中的现有技术的包括射流器和水泵的蚀刻装置分别进行抽真空效率试验。
具体操作为为：在抽吸15℃空气，排气压力为1013mbar的工况下，允差±10％，吸入空气和环境温度不超过25℃，进行试验抽真空效率测试。测试结果如下表1所示。标1为本发明的蚀刻装置的风机产生的真空与现有技术的蚀刻装置的水泵产生的真空的数据对比表。
表1
根据表1，可明显看出，在功率小于水泵功率的情况下，本发明的蚀刻装置的风机产生的真空压力及空气流量均大于现有技术的蚀刻装置的水泵产生的真空压力及空气流量。经等量计算，产生相同的抽真空效果下，风机可比水泵节约45％的能量。
综上所述，本发明提供的蚀刻装置，通过风机产生真空，无需使用水泵，不仅可节省能源，而且可显著的提高抽真空效率，使得吸水机构可及时地将工件上的药水排出，不仅使蚀刻的均匀性大大提高，而且可提高整体的蚀刻速度。
以上所述仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等同变换，或直接或间接运用在相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (6)

1.一种蚀刻装置，包括机体和吸水机构，所述吸水机构设置在所述机体内，其特征在于，还包括风机和气液分离器，所述吸水机构与所述气液分离器管道连接，所述气液分离器与所述风机管道连接。
2.根据权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，所述风机与所述机体管道连接。
3.根据权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，所述气液分离器与所述机体管道连接。
4.根据权利要求3所述的蚀刻装置，其特征在于，还包括回收槽，所述回收槽设置在所述机体内并位于机体的底部，所述气液分离器通过管道与所述回收槽连通设置。
5.根据权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，还包括输送机构，所述输送机构设置在所述机体内，所述吸水机构设置在所述输送机构的上方并朝向输送机构设置。
6.根据权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，还包括蚀刻机构，所述蚀刻机构包括上喷淋机构和下喷淋机构，所述上喷淋机构和下喷淋机构分别设置在所述机体内，所述上喷淋机构设于所述下喷淋机构的上方，所述吸水机构设置在所述上喷淋机构和下喷淋机构之间。
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