CN106554018B - 一种冷氢化除尘系统及工艺 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种冷氢化除尘系统及工艺，通过将旋风分离器、气气换热器和过滤器串联连接，进行干法除尘，将流化床反应气中的硅粉粉尘分离出来并回收至流化床内，在完成干法除尘之后再将反应气输送至洗涤塔以进行湿法除尘，旋风除尘及过滤除尘之后紧接着进行洗涤除尘，干法、湿法除尘配合合理，该冷氢化除尘方案采用两级干法除尘工艺，除尘效果明显。反应气经过两级干法除尘后，反应气中的大部分粉尘已去除，有效降低了后续湿法除尘的负荷，使得洗涤塔釜液中固体含量减少，保证了洗涤塔除尘及渣浆排放的顺畅进行。而且，分离出来的硅粉粉尘可以重新进入流化床内再利用，节能减排，降低生产成本。

Description

一种冷氢化除尘系统及工艺

技术领域

本发明涉及多晶硅冷氢化技术领域，具体涉及一种冷氢化除尘系统及工艺。

背景技术

为了降低多晶硅的生产成本，目前国内多晶硅企业纷纷从国外引进冷氢化工艺，由于技术保密性原因，引入的工艺包在除尘系统设计方面存在着很大的缺陷，导致硅粉回收利用率及除尘系统效率低下，增加了后续渣浆处理工序的负荷及检修频率。

目前，现有的一种用于三氯氢硅生产的除尘工艺如下：来自流化床的含尘反应气体首先进入文丘里洗涤器进行洗涤，洗涤后的气液两相在气液分离罐中分离，气体自洗涤塔下部的气体进口进入洗涤塔，液体自洗涤塔下部的液体进口进入洗涤塔；经过洗涤净化后的气体由洗涤塔上部的气体出口排出，出洗涤塔的气体经冷凝器冷凝，一部分凝液作为洗涤塔的洗涤液由顶部重新进入洗涤塔，另外一部分凝液送往精馏装置；含高浓度硅粉、金属氯化物和高沸物的渣浆由浆料口排出。该除尘工艺利用氯硅烷液体对流化床反应生成混合气进行洗涤除尘，用以去除混合气中夹带的硅粉粉尘、金属氯化物及其它高沸物杂质。

然而，在该除尘工艺中，从流化床带出的硅粉粉尘、金属氯化物、高沸物等固体杂质全部集中到湿法除尘装置中除去，除尘洗涤后渣浆中固含量高，使得后续渣浆工序负荷增大，并且在输送至渣浆工序的过程中容易堵塞管道。同时，除尘回收的硅粉粉尘无法实现回床利用，造成硅粉大量浪费，提高了三氯氢硅生产成本。

因此，亟需一种冷氢化除尘方案以解决上述技术问题。

发明内容

本发明针对现有技术中存在的上述不足，提供一种冷氢化除尘系统及工艺，用以解决现有的冷氢化除尘方案除尘效果差，导致后续渣浆处理工序负荷大且容易堵塞管道的问题，以及，硅粉未回收利用造成浪费的问题。

本发明为解决上述技术问题，采用如下技术方案：

本发明提供一种冷氢化除尘系统，包括流化床和洗涤塔，所述系统还包括：气气换热器、过滤器、第一旋风分离器和第一料腿；

在流化床的封头处，第一气体输送管线与第一旋风分离器的进口相连，用于将流化床内的反应气输送至第一旋风分离器；

所述第一料腿、第一旋风分离器、气气换热器和过滤器设置于流化床的封头处，第一料腿的顶端与旋风分离器的底端相连，第一料腿的底端伸入流化床的内部，气气换热器的一端与第一旋风分离器的出口相连，另一端与过滤器的过滤腔相连，过滤器的气体输出端与洗涤塔的塔釜相连。

进一步的，所述系统还包括：设置于流化床封头处的第二旋风分离器、第二料腿和第二气体输送管线，第二料腿的顶端与第二旋风分离器的底端相连，第二料腿的底端伸入流化床的内部；

第一旋风分离器的出口和第二旋风分离器的出口并联连接，并与气气换热器相连；

第一气体输送管线上设置有用于控制向第一旋风分离器进气的第一阀门，第二气体输送管线上设置有用于控制向第二旋风分离器进气的第二阀门，第一阀门和第二阀门至少一个开启。

优选的，过滤器的回收腔通过第三料腿与流化床相连；

第一料腿、第二料腿和第三料腿的底端设置有配重阀。

进一步的，所述系统还包括：与第一料腿相连的第一吹扫管线、与第二料腿相连的第二吹扫管线、与第三料腿相连的第三吹扫管线，以及与过滤器的滤芯相连的第四吹扫管线。

进一步的，所述系统还包括用于旁路过滤器的旁路管线，过滤器和气气换热器相连的管线与旁路管线的一端相连，过滤器和洗涤塔相连的管线与旁路管线的另一端相连。

优选的，洗涤塔的塔釜内竖直设置有挡板，挡板将洗涤塔的塔釜分割成渣浆腔和清液腔，渣浆腔与洗涤塔的筛板层相通；

所述系统还包括清液回收管线，清液回收管线的一端与清液腔的底端相连，另一端与洗涤塔上部的筛板层的上部相连。

本发明还提供一种冷氢化除尘工艺，包括：来自流化床的含尘反应气经由第一气体输送管线进入第一旋风分离器，反应气中的硅粉粉尘通过第一料腿进入流化床内，反应气中的气相进入气气换热器换热后，进入过滤器过滤，从而完成干法除尘；过滤后的气体进入洗涤塔的塔釜，以进行湿法除尘。

优选的，进入洗涤塔塔釜的反应气向上进入洗涤塔的上部，在筛板层和填料层逐层洗涤后，形成的含有硅粉粉尘的渣浆进入洗涤塔塔釜的渣浆腔缓存，渣浆上层形成的清液溢流进入洗涤塔塔釜的清液腔，并经由清液回收管线进入洗涤塔上部的筛板层，用以继续洗涤进入洗涤塔的反应气。

优选的，经由过滤器过滤出的硅粉粉尘通过第三料腿进入流化床内；

若反应气中的硅粉粉尘无反应活性，则经气气换热后的反应气经由旁路管线旁路过滤器，直接进入洗涤塔的塔釜。

本发明通过将旋风分离器、气气换热器和过滤器串联连接，进行干法除尘，将流化床反应气中的硅粉粉尘分离出来并回收至流化床内，在完成干法除尘之后再将反应气输送至洗涤塔以进行湿法除尘，旋风除尘及过滤除尘之后紧接着进行洗涤除尘，干法、湿法除尘配合合理，该冷氢化除尘方案采用两级干法除尘工艺，除尘效果明显。反应气经过两级干法除尘后，反应气中的大部分粉尘已去除，有效降低了后续湿法除尘的负荷，使得洗涤塔釜液中固体含量减少，保证了洗涤塔除尘及渣浆排放的顺畅进行。而且，分离出来的硅粉粉尘可以重新进入流化床内再利用，节能减排，降低生产成本。

附图说明

图1为本发明实施例提供的冷氢化除尘系统的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明中的附图，对本发明中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

发明人在生产实践中发现，现有的三氯氢硅生产过程中的冷氢化除尘工艺，只利用了文丘里除尘器进行湿法洗涤除尘，而仅采用湿法洗涤除尘效果差，后续渣浆工序负荷大，且对去除的硅粉粉尘等杂质无法重新回收再利用。因此，本发明提出了一种冷氢化除尘系统及工艺，通过在进行湿法除尘之前，分别利用旋风分离器和过滤器进行两级干法除尘，去除反应气中的大部分的硅粉粉尘，并将分离出来的硅粉粉尘重新进入流化床内再利用。

以下结合图1对本发明的方案进行详细说明。

参见图1，本发明实施例提供一种冷氢化除尘系统，包括流化床1和洗涤塔2，所述冷氢化除尘系统还包括：气气换热器3、过滤器4、第一旋风分离器5和第一料腿6。在流化床1的封头处，第一气体输送管线7与第一旋风分离器5的进口相连，用于将流化床1内的反应气输送至第一旋风分离器5。第一料腿6、第一旋风分离器5、气气换热器3和过滤器4设置于流化床1的封头处，第一料腿6的顶端通过法兰与旋风分离器5的底端相连，第一料腿6的底端伸入流化床1的内部，并位于流化床1内部的顶端，气气换热器3的一端与第一旋风分离器5的出口相连，气气换热器3的另一端与过滤器4的过滤腔相连，过滤器4的气体输出端与洗涤塔2的塔釜相连。

优选的，过滤器4可以选用滤芯式过滤器。

首先对流化床出口反应气进行干法除尘，即反应气进入第一旋风分离器5，在第一旋风分离器5内，反应气中粒径大于5μm的粉尘在离心力及重力的作用下被拦截下来，并回收至流化床1。从第一旋风分离器5出口出来的反应气经过气气换热后进入过滤器4，过滤器4将粒径大于1μm的粉尘过滤，过滤后的反应气进入洗涤塔2，进行湿法除尘。

本发明通过将旋风分离器、气气换热器和过滤器串联连接，进行干法除尘，将流化床反应气中的硅粉粉尘分离出来并回收至流化床内，在完成干法除尘之后再将反应气输送至洗涤塔以进行湿法除尘，旋风除尘及过滤除尘之后紧接着进行洗涤除尘，干法、湿法除尘配合合理，该冷氢化除尘方案采用两级干法除尘工艺，除尘效果明显。反应气经过两级干法除尘后，反应气中的大部分粉尘已去除，有效降低了后续湿法除尘的负荷，使得洗涤塔釜液中固体含量减少，保证了洗涤塔除尘及渣浆排放的顺畅进行；而且，分离出来的硅粉粉尘可以重新进入流化床内再利用，节能减排，降低生产成本。

由于第一旋风分离器5能够将较大颗粒(粒径大于5μm)的粉尘颗粒从流化床反应气中分离出来，进一步的，为了保证干法除尘的除尘效果，还可以增设一个旋风分离器备用。因此，所述冷氢化除尘系统还可以包括：第二旋风分离器8、第二料腿9和第二气体输送管线10，第二旋风分离器8、第二料腿9和第二气体输送管线10设置于流化床1的封头处，第二料腿9的顶端通过法兰与第二旋风分离器8的底端相连，第二料腿9的底端伸入流化床1的内部，并位于流化床1内部的顶端。

第一旋风分离器5的出口和第二旋风分离器8的出口并联连接，并与气气换热器5相连。

第一气体输送管线7上设置有第一阀门(图中未绘示)，用于控制向第一旋风分离器5进气。第二气体输送管线10上设置有第二阀门(图中未绘示)，用于控制向第二旋风分离器8进气。第一阀门和第二阀门至少一个开启，也就是说，第一旋风分离器5和第二旋风分离器8中至少一个旋风分离器投入冷氢化除尘系统中使用。当然，本领域技术人员可知，第一阀门和第二阀门也可以同时开启，将第一旋风分离器5和第二旋风分离器8同时投入冷氢化除尘系统中使用，以加快冷氢化干法除尘速度。

两个旋风分离器实行一开一备，当其中一个旋风分离器的气体输送管线出现磨穿泄漏时，可在运行过程中在线切换，将另一个旋风分离器投入系统。

优选的，过滤器4过滤出的硅粉粉尘也可以回收至流化床1内重新利用，如图1所示，过滤器4的回收腔通过第三料腿11与流化床1相连。

优选的，第一料腿6的底端设置有第一配重阀61，第一料腿6的底端通过法兰与第一配重阀61相连。第二料腿9的底端设置有第二配重阀62，第二料腿9的底端通过法兰与第二配重阀62相连。第三料腿11的底端设置有第三配重阀63，第三料腿11的底端通过法兰与第三配重阀63相连。

第一、二、三配重阀为单向阀，这样能够防止流化床1中的反应气从第一、二料腿进入第一、二旋风分离器内，以及防止流化床1中的反应气从第三料腿11进入过滤器4内，从而起到隔离流化床1和干法除尘装置的作用。当旋风分离器和过滤器4工作时，相应的配重阀处于闭合状态，当沉积在料腿中的硅粉粉尘达到一定量时，相应的配重阀开启，料腿中的硅粉粉尘落入流化床1内，从而实现再次回收利用。

上述配重阀可以借助重力自行闭合，当料腿内硅粉粉尘的重力大于配置重力时，硅粉粉尘推开配重阀的挡板从料腿落入流化床1内，之后，配重阀的挡板在配重的作用下自动复位，阻止自下而上的气流通过，从而将流化床1与旋风分离器和过滤器隔离。

硅粉粉尘沉积在料腿中，时间久了会有部分硅粉粉尘附着在料腿内壁上，如果附着的硅粉粉尘过多，会阻塞料腿，影响回收。因此，进一步的，所述冷氢化除尘系统还可以包括：第一吹扫管线12、第二吹扫管线13、第三吹扫管线14和第四吹扫管线15。第一吹扫管线12、第二吹扫管线13和第三吹扫管线14分别与第一料腿6、第二料腿9和第三料腿11相连，第四吹扫管线15与过滤器4的过滤腔内的滤芯相连。第一吹扫管线12、第二吹扫管线13、第三吹扫管线14和第四吹扫管线15与循环氢压缩机出口总管(图中未绘示)相连。

在氢气反吹作用下，硅粉粉尘通过上述配重阀进入流化床1继续使用，吹扫完成后，氢气断开，上述配重阀自动闭合。

干法除尘分离出的硅粉粉尘重新进入流化床1内继续参与冷氢化反应，当流化床内冷氢化反应一段时间后，循环使用的硅粉粉尘失去反应活性，导致冷氢化反应一次转化率降低。此时，不再将分离出的失去反应活性的粉尘继续回收至流化床1内，而是进行释放。因此，如图1所示，所述冷氢化除尘系统还可以包括用于旁路过滤器4的旁路管线16，过滤器4和气气换热器3相连的管线与旁路管线16的一端相连，过滤器4和洗涤塔2相连的管线与旁路管线16的另一端相连。

当硅粉粉尘失去反应活性时，可以开启旁路管线16，从气气换热器5中出来的反应气不再进入过滤器4过滤并回收，而是经由旁路管线16释放，即输送至洗涤塔2，进行下一步的湿法除尘。通过定期对流化床内不具有反应活性的硅粉粉尘进行释放，可以提高冷氢化反应速度。

干法除尘完成之后，进行湿法除尘。如图1所示，所述冷氢化除尘系统还包括：空冷器17、冷凝液储罐18和回流泵19，空冷器17、冷凝液储罐18和回流泵19依次串联连接，空冷器17的入口与洗涤塔2的顶端相连，空冷器17的出口分别与尾气深冷系统(图中未绘示)和冷凝液储罐18相连，回流泵19与洗涤塔2的上部相连。洗涤塔的上部内设置有筛板层20和填料层21，填料层21设置在筛板层20的上方。

从过滤器4或旁路管线16出来的反应气进入洗涤塔2的塔釜，并从筛板层20进入填料层21，冷凝液储罐18中的冷凝液由回流泵19送入洗涤塔2的上部，依次经由填料层21和筛板层20洗涤该反应气，洗涤后的反应气从洗涤塔的塔顶进入空冷器17进行冷凝。经空冷器17冷凝形成的冷凝液一部分回流到洗涤塔2的塔顶，作为反应气的洗涤液，另一部分作为冷氢化合成的半成品在压差的作用下进入粗分工序进行分离提纯。

洗涤塔2的塔釜内竖直设置有挡板22，挡板22将洗涤塔2的塔釜分割成渣浆腔23和清液腔24，渣浆腔23与洗涤塔的筛板层20相通。从反应气中洗涤下来的硅粉粉尘进入洗涤液形成渣浆液，渣浆液缓存在洗涤塔釜的渣浆腔23内，在重力的作用下，渣浆液上部形成上层清液，下部形成浓缩的浆液。

所述冷氢化除尘系统还可以包括清液回收管线25，清液回收管线25上设置有洗涤塔循环泵26，清液回收管线25的一端与清液腔24的底端相连，另一端与洗涤塔上部的筛板层20的上部相连。

渣浆腔23内的渣浆液的上层清液溢流进入清液腔24，在洗涤塔循环泵26的输送下，从洗涤塔的筛板层20的上方再次进入筛板层20，对上升的反应气进行洗涤除尘。渣浆腔23内渣浆液底部浓缩的渣浆，在压差的作用下进入渣浆闪蒸罐27，进行后续渣浆工序处理。

本发明另一实施例还提供一种冷氢化除尘工艺，以下结合图1，对该冷氢化除尘工艺进行详细说明。该冷氢化除尘工艺包括以下步骤：

步骤101，来自流化床1的含尘反应气经由第一气体输送管线7进入第一旋风分离器5，反应气中的硅粉粉尘通过第一料腿6进入流化床1内，反应气中的气相进入气气换热器3换热后，进入过滤器4过滤，从而完成干法除尘。过滤后的气体进入洗涤塔2的塔釜，以进行湿法除尘。

具体的，在流化床1内反应生成的混合气体从流化床1顶部出来后进入第一旋风分离器5，在第一旋风分离器5内，混合气体中夹带的直径＞5μm的硅粉颗粒通过离心力的作用沉降下来，缓存在第一料腿6中，当第一料腿6中硅粉粉尘的重量大到足够推开第一配重阀61时，硅粉粉尘自动流进流化床1回收利用。

气气换热器3的壳层与一个高温电加热器(图中未绘示)连接后再与流化床1的锥部的底端相连(图中未绘示)，从第一旋风分离器5出来的经过合成反应后的高温混合气体经过气气换热器3对将要从流化床底部进入流化床反应的低温原料气体(氢气、四氯化硅的混合气体)进行预热(即流化床顶部出口高温气体对流化床底部进口低温原料气体进行预热)后，进入过滤器4，过滤器4内部的滤芯在来自第四吹扫管线15的氢气的轮流不间断反吹下，可实现连续使用不堵塞。在过滤器4内，混合气中夹带的直径＞1μm的硅粉颗粒被过滤拦截下来，缓存在第三料腿11中，当第三料腿11中硅粉粉尘的重量足够推开第三配重阀63时，第三料腿11中的硅粉粉尘自动进入流化床1回收利用。

在实际生产中，可以利用第三吹扫管线14提供的氢气对第三料腿11进行定期吹扫，来辅助回收硅粉颗粒进入流化床1继续反应。可以利用第一吹扫管线12提供的氢气对第一料腿6进行定期吹扫，或者，利用第二吹扫管线13提供的氢气对第二料腿9进行定期吹扫，以便辅助回收的硅粉颗粒顺利进入流化床继续反应。

在冷氢化除尘系统运行过程中，当第一气体输送管线7出现泄漏等异常时，可通过第一阀门和第二阀门的切换，将从流化床封头处出来的反应混合气切换进入第二旋风分离器8，对存在异常的第一旋风分离器5，可以通过切断第一旋风分离器5进出口的三个阀门，将第一旋风分离器5与冷氢化除尘系统进行隔离，隔离后脱离冷氢化除尘系统进行处理。

当流化床1反应一段时间后，由于流化床1内存在部分不具有反应活性的硅粉粉尘，使得流化床反应一次转化率降低，此时，可利用旁路管线16对流化床1内不具有反应活性的硅粉粉尘进行释放，从而提高反应速度，释放出的硅粉粉尘直接进入后续湿法除尘装置进行洗涤除尘。

步骤102，进入洗涤塔塔釜的反应气向上进入洗涤塔2的上部，在筛板层20和填料层21逐层洗涤后，形成的含有粉尘的渣浆进入洗涤塔塔釜的渣浆腔23缓存，渣浆上层形成的清液溢流进入洗涤塔塔釜的清液腔24，并经由清液回收管线25进入洗涤塔上部的筛板层20，用以继续洗涤进入洗涤塔2的反应气。

具体的，从过滤器4顶部出来的反应气进入洗涤塔2，向上进入洗涤塔2的筛板层20及填料层21逐层洗涤，然后从塔顶进入空冷器17，冷凝后的氯硅烷液体流入冷凝液储罐18，一部分由回流泵19输送回流到洗涤塔2的顶端，作为填料层21的淋洗液，另一部分冷凝后的氯硅烷液体通过压差输送到粗分装置，在空冷器17中未冷凝的气体从空冷器17出来后进入尾气深冷系统。

从过滤器4顶部出来的反应气在洗涤塔2内被洗涤后，形成富含硅粉粉尘的渣浆液，渣浆液进入洗涤塔塔釜的渣浆腔23缓存，在重力作用下，渣浆液浓度自下而上逐渐降低，在渣浆腔23上部形成上层清液，并溢流进入清液腔24，清液腔24中的清液通过洗涤塔循环泵26输送到洗涤塔2的筛板层20上方进行喷淋，作为洗涤除尘的主要洗涤液。渣浆腔23内渣浆液底部浓缩的渣浆在压差的作用下进入渣浆闪蒸罐27。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (8)

1.一种冷氢化除尘系统，包括流化床和洗涤塔，其特征在于，所述系统还包括：气气换热器、过滤器、第一旋风分离器和第一料腿；

在流化床的封头处，第一气体输送管线与第一旋风分离器的进口相连，用于将流化床内的反应气输送至第一旋风分离器；

所述第一料腿、第一旋风分离器、气气换热器和过滤器设置于流化床的封头处，第一料腿的顶端与旋风分离器的底端相连，第一料腿的底端伸入流化床的内部，气气换热器的一端与第一旋风分离器的出口相连，另一端与过滤器的过滤腔相连，过滤器的气体输出端与洗涤塔的塔釜相连；

所述系统还包括用于旁路过滤器的旁路管线，过滤器和气气换热器相连的管线与旁路管线的一端相连，过滤器和洗涤塔相连的管线与旁路管线的另一端相连。

2.如权利要求1所述的冷氢化除尘系统，其特征在于，所述系统还包括：设置于流化床封头处的第二旋风分离器、第二料腿和第二气体输送管线，第二料腿的顶端与第二旋风分离器的底端相连，第二料腿的底端伸入流化床的内部；

第一旋风分离器的出口和第二旋风分离器的出口并联连接，并与气气换热器相连；

第一气体输送管线上设置有用于控制向第一旋风分离器进气的第一阀门，第二气体输送管线上设置有用于控制向第二旋风分离器进气的第二阀门，第一阀门和第二阀门至少一个开启。

3.如权利要求2所述的冷氢化除尘系统，其特征在于，过滤器的回收腔通过第三料腿与流化床相连；

第一料腿、第二料腿和第三料腿的底端设置有配重阀。

4.如权利要求3所述的冷氢化除尘系统，其特征在于，所述系统还包括：与第一料腿相连的第一吹扫管线、与第二料腿相连的第二吹扫管线、与第三料腿相连的第三吹扫管线，以及与过滤器的滤芯相连的第四吹扫管线。

5.如权利要求1-4任一项所述的冷氢化除尘系统，其特征在于，洗涤塔的塔釜内竖直设置有挡板，挡板将洗涤塔的塔釜分割成渣浆腔和清液腔，渣浆腔与洗涤塔的筛板层相通；

所述系统还包括清液回收管线，清液回收管线的一端与清液腔的底端相连，另一端与洗涤塔上部的筛板层的上部相连。

6.一种冷氢化除尘工艺，其特征在于，来自流化床的含尘反应气经由第一气体输送管线进入第一旋风分离器，反应气中的硅粉粉尘通过第一料腿进入流化床内，反应气中的气相进入气气换热器换热后，进入过滤器过滤，从而完成干法除尘；过滤后的气体进入洗涤塔的塔釜，以进行湿法除尘；

当硅粉粉尘失去反应活性时，开启旁路管线，从气气换热器中出来的反应气不再进入过滤器，而是经由旁路管线释放，即输送至洗涤塔。

7.如权利要求6所述的冷氢化除尘工艺，其特征在于，进入洗涤塔塔釜的反应气向上进入洗涤塔的上部，在筛板层和填料层逐层洗涤后，形成的含有硅粉粉尘的渣浆进入洗涤塔塔釜的渣浆腔缓存，渣浆上层形成的清液溢流进入洗涤塔塔釜的清液腔，并经由清液回收管线进入洗涤塔上部的筛板层，用以继续洗涤进入洗涤塔的反应气。

8.如权利要求6所述的冷氢化除尘工艺，其特征在于，经由过滤器过滤出的硅粉粉尘通过第三料腿进入流化床内；

若反应气中的硅粉粉尘无反应活性，则经气气换热后的反应气经由旁路管线旁路过滤器，直接进入洗涤塔的塔釜。