CN106531596A - 一种产生辉光放电条纹的装置及方法 - Google Patents

一种产生辉光放电条纹的装置及方法 Download PDF

Info

Publication number
CN106531596A
CN106531596A CN201611056746.XA CN201611056746A CN106531596A CN 106531596 A CN106531596 A CN 106531596A CN 201611056746 A CN201611056746 A CN 201611056746A CN 106531596 A CN106531596 A CN 106531596A
Authority
CN
China
Prior art keywords
glow discharge
discharge chamber
negative electrode
striped
vacuum
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201611056746.XA
Other languages
English (en)
Inventor
朱海龙
董有尔
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shanxi University
Original Assignee
Shanxi University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shanxi University filed Critical Shanxi University
Priority to CN201611056746.XA priority Critical patent/CN106531596A/zh
Publication of CN106531596A publication Critical patent/CN106531596A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J17/00—Gas-filled discharge tubes with solid cathode
    • H01J17/02—Details
    • H01J17/04—Electrodes; Screens
    • H01J17/06—Cathodes
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J17/00—Gas-filled discharge tubes with solid cathode
    • H01J17/38—Cold-cathode tubes
    • H01J17/40—Cold-cathode tubes with one cathode and one anode, e.g. glow tubes, tuning-indicator glow tubes, voltage-stabiliser tubes, voltage-indicator tubes

Landscapes

  • Plasma Technology (AREA)

Abstract

本发明涉及一种产生辉光放电条纹的装置及方法，属于辉光放电技术领域。本发明主要解决现有技术存在的结构复杂、稳定性差、电子密度和电子温度呈无规律分布、在应用过程中无选择性的技术问题。本发明的技术方案是：一种产生辉光放电条纹的装置，包括直流电源、阳极、阴极和工作台，其中：还包括辉光放电腔，所述辉光放电腔的一侧壁设置有氩气进气口，所述辉光放电腔的另一侧壁设置有抽真空口和真空度测试仪；所述阳极和阴极的一端穿过辉光放电腔的两侧壁设置在辉光放电腔中，且阳极和阴极一端的端头分别设置有相互平行的板状电极；所述阳极的另一端与直流电源的正极相连，所述阴极的另一端与直流电源的负极和绝缘棒连接，绝缘棒与千分尺连接。

Description

一种产生辉光放电条纹的装置及方法
技术领域
本发明属于辉光放电技术领域，特别是涉及一种产生辉光放电条纹的装置及方法。
背景技术
辉光放电条纹等离子体是一种相对苛刻条件下的低温等离子体，它除了具有低温等离子体的基本特征外，其最大的特点是放电分层导致活性粒子分层。通过发展这种放电分层技术，控制各层活性粒子浓度，可使其在应用过程中发挥巨大作用。
但是，由于在大气压下通常很难达到均匀的辉光放电，轴向极易发生丝状放电，影响放电的均匀性，甚至会向弧放电过渡，存在电子密度和电子温度呈无规律分布、在应用过程中无选择性等问题。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术的缺点，提供一种产生辉光放电条纹的装置及方法，解决现有产生辉光放电条纹的装置存在的结构复杂、稳定性差、电子密度和电子温度呈无规律分布、在应用过程中无选择性的技术问题。
本发明是通过以下技术方案实现的：一种产生辉光放电条纹的装置，包括直流电源、阳极、阴极和工作台，其中：还包括辉光放电腔，所述辉光放电腔的一侧壁设置有氩气进气口，所述辉光放电腔的另一侧壁设置有抽真空口和真空度测试仪，所述辉光放电腔通过抽真空口与真空抽气装置连接，所述辉光放电腔通过氩气进气口与氩气存储装置连接；
所述阳极和阴极的一端穿过辉光放电腔的两侧壁设置在辉光放电腔中，且阳极和阴极一端的端头分别设置有相互平行的板状电极；所述阳极的另一端与直流电源的正极相连，所述阴极的另一端与直流电源的负极和绝缘棒连接，绝缘棒与千分尺连接，所述千分尺装在工作台上。
进一步，所述板状电极的距离能够调节，调节距离为2～5cm。
进一步，所述真空抽气装置为旋片真空泵。
一种用所述产生辉光放电条纹的装置产生辉光放电条纹的方法，其中：包括以下步骤：
1)安装连接各仪器设备，并检查其密封性和绝缘性；
2)真空抽气装置通过抽真空口向外抽取空气，同时观察真空度测试仪，直至辉光放电腔内的气压维持在8±0.1kpa，停止抽气；
3)通过氩气进气口向辉光放电腔内充入浓度为99.999％的氩气，同时观察真空度测试仪，使得辉光放电腔内的气压维持在9±0.1kpa，停止进气；
4)开启直流电源，然后逐渐增加电压，使得气体发生击穿并在板状电极之间形成辉光放电等离子体；
5)调节电压至900V～1200V，同时调节千分尺，使千分尺上的活动杆带动阴极水平移动，调节两板状电极的距离，直至板状电极之间产生稳定的辉光放电条纹。
与现有技术相比，本发明提供的一种产生辉光放电条纹的装置及方法，满足在近大气压的应用环境，应用方便且活性粒子丰富，避免了低压状态下辉光放电存在的不足，具有独特应用前景；千分尺通过绝缘杆与负极的连接，使得板状电极之间间距的在2～5cm范围内的连续可调，有利于观察极板间距对辉光放电条纹的影响，确定最佳电极间距。具有结构简单、稳定性好、电子密度和电子温度可呈规律分布等优点。
附图说明
图1是本发明的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细描述。
实施例1
如图1所示，本实施例中的一种产生辉光放电条纹的装置，包括直流电源1、阳极3、阴极4和工作台，其中：还包括辉光放电腔2，所述辉光放电腔2的一侧壁设置有氩气进气口8，所述辉光放电腔2的另一侧壁设置有抽真空口9和真空度测试仪7，所述辉光放电腔2通过抽真空口9与真空抽气装置12连接，所述辉光放电腔2通过氩气进气口8与氩气存储装置6连接；
所述阳极3和阴极4的一端穿过辉光放电腔2的两侧壁设置在辉光放电腔2中，且阳极3和阴极4一端的端头分别设置有相互平行的板状电极5；所述阳极3的另一端与直流电源1的正极相连，所述阴极4的另一端与直流电源1的负极和绝缘棒10连接，绝缘棒10与千分尺11连接，所述千分尺11固定安装在工作台上。
所述板状电极5的距离能够调节，调节距离为2～5cm。
所述真空抽气装置12为旋片真空泵。
一种用上述实施例的产生辉光放电条纹装置产生辉光放电条纹的方法，其包括以下步骤：
1)安装连接各仪器设备，并检查其密封性和绝缘性；
2)真空抽气装置12通过抽真空口9向外抽取空气，同时观察真空度测试仪7，直至辉光放电腔2内的气压维持在7.9kpa，停止抽气；
3)通过氩气进气口8向辉光放电腔2内充入浓度为99.999％的氩气，同时观察真空度测试仪7，使得辉光放电腔2内的气压维持在8.9kpa，停止进气；
4)开启直流电源1，然后逐渐增加电压，使得气体发生击穿并在板状电极5之间形成辉光放电等离子体；
5)调节电压至900V，同时调节千分尺11，使千分尺11上的活动杆带动阴极4水平移动，调节两板状电极5的距离，直至板状电极5之间产生稳定的辉光放电条纹。
实施例2
一种用实施例1中的产生辉光放电条纹装置产生辉光放电条纹的方法，其包括以下步骤：
1)安装连接各仪器设备，并检查其密封性和绝缘性；
2)真空抽气装置12通过抽真空口9向外抽取空气，同时观察真空度测试仪7，直至辉光放电腔2内的气压维持在8kpa，停止抽气；
3)通过氩气进气口8向辉光放电腔2内充入浓度为99.999％的氩气，同时观察真空度测试仪7，使得辉光放电腔2内的气压维持在9kpa，停止进气；
4)开启直流电源1，然后逐渐增加电压，使得气体发生击穿并在板状电极5之间形成辉光放电等离子体；
5)调节电压至1000V，同时调节千分尺11，使千分尺11上的活动杆带动阴极4水平移动，调节两板状电极5的距离，直至板状电极5之间产生稳定的辉光放电条纹。
实施例3
一种用实施例1中的产生辉光放电条纹装置产生辉光放电条纹的方法，其包括以下步骤：
1)安装连接各仪器设备，并检查其密封性和绝缘性；
2)真空抽气装置12通过抽真空口9向外抽取空气，同时观察真空度测试仪7，直至辉光放电腔2内的气压维持在8.1kpa，停止抽气；
3)通过氩气进气口8向辉光放电腔2内充入浓度为99.999％的氩气，同时观察真空度测试仪7，使得辉光放电腔2内的气压维持在9.1kpa，停止进气；
4)开启直流电源1，然后逐渐增加电压，使得气体发生击穿并在板状电极5之间形成辉光放电等离子体；
5)调节电压至1200V，同时调节千分尺11，使千分尺11上的活动杆带动阴极4水平移动，调节两板状电极5的距离，直至板状电极5之间产生稳定的辉光放电条纹。
本发明能够以多种形式具体实施而不脱离发明的精神或实质，所以应当理解，上述实施例不限于前述的细节，而应在权利要求所限定的范围内广泛地解释，因此落入权利要求或其等效范围内的变化和改型都应为权利要求所涵盖。

Claims (4)

1.一种产生辉光放电条纹的装置，包括直流电源(1)、阳极(3)、阴极(4)和工作台，其特征在于：还包括辉光放电腔(2)，所述辉光放电腔(2)的一侧壁设置有氩气进气口(8)，所述辉光放电腔(2)的另一侧壁设置有抽真空口(9)和真空度测试仪(7)，所述辉光放电腔(2)通过抽真空口(9)与真空抽气装置(12)连接，所述辉光放电腔(2)通过氩气进气口(8)与氩气存储装置(6)连接；
所述阳极(3)和阴极(4)的一端穿过辉光放电腔(2)的两侧壁设置在辉光放电腔(2)中，且阳极(3)和阴极(4)一端的端头分别设置有相互平行的板状电极(5)；所述阳极(3)的另一端与直流电源(1)的正极相连，所述阴极(4)的另一端与直流电源(1)的负极和绝缘棒(10)连接，绝缘棒(10)与千分尺(11)连接，所述千分尺(11)装在工作台上。
2.根据权利要求1所述的一种产生辉光放电条纹的装置，其特征在于：所述板状电极(5)的距离能够调节，调节距离为2～5cm。
3.根据权利要求1所述的一种产生辉光放电条纹的装置，其特征在于：所述真空抽气装置(12)为旋片真空泵。
4.一种用权利要求1所述的产生辉光放电条纹的装置产生辉光放电条纹的方法，其特征在于：包括以下步骤：
1)安装连接各仪器设备，并检查其密封性和绝缘性；
2)真空抽气装置(12)通过抽真空口(9)向外抽取空气，同时观察真空度测试仪(7)，直至辉光放电腔(2)内的气压维持在8±0.1kpa，停止抽气；
3)通过氩气进气口(8)向辉光放电腔(2)内充入浓度为99.999％的氩气，同时观察真空度测试仪(7)，使得辉光放电腔(2)内的气压维持在9±0.1kpa，停止进气；
4)开启直流电源(1)，然后逐渐增加电压，使得气体发生击穿并在板状电极(5)之间形成辉光放电等离子体；
5)调节电压至900V～1200V，同时调节千分尺(11)，使千分尺(11)上的活动杆带动阴极(4)水平移动，调节两板状电极(5)的距离，直至板状电极(5)之间产生稳定的辉光放电条纹。
CN201611056746.XA 2016-11-25 2016-11-25 一种产生辉光放电条纹的装置及方法 Pending CN106531596A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201611056746.XA CN106531596A (zh) 2016-11-25 2016-11-25 一种产生辉光放电条纹的装置及方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201611056746.XA CN106531596A (zh) 2016-11-25 2016-11-25 一种产生辉光放电条纹的装置及方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN106531596A true CN106531596A (zh) 2017-03-22

Family

ID=58357339

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201611056746.XA Pending CN106531596A (zh) 2016-11-25 2016-11-25 一种产生辉光放电条纹的装置及方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN106531596A (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108322991A (zh) * 2018-01-08 2018-07-24 青海师范大学 一种半封闭常压双频大面积辉光放电实验装置
CN108663162A (zh) * 2018-06-27 2018-10-16 佛山市金净创环保技术有限公司 平移式密闭容器真空度检测系统
CN108971140A (zh) * 2018-05-12 2018-12-11 合肥杰硕真空科技有限公司 一种射频等离子体清洗装置

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1825388A (zh) * 2006-03-27 2006-08-30 杭州大华仪器制造有限公司 研究直流辉光等离子体的实验装置
US20060244386A1 (en) * 2005-05-02 2006-11-02 Hooke William M Pulsed dielectric barrier discharge
CN101443878A (zh) * 2006-05-10 2009-05-27 分之一技术公司 电极系统和电极使用方法
CN201570154U (zh) * 2009-06-18 2010-09-01 浙江科技学院 直流辉光放电等离子体及冷阴极荧光管实验装置
CN204503049U (zh) * 2015-02-25 2015-07-29 中国石油大学(北京) 一种辉光等离子体反应设备
CN105555000A (zh) * 2014-10-28 2016-05-04 南京苏曼等离子科技有限公司 大放电间距下常温辉光放电低温等离子体材料处理装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20060244386A1 (en) * 2005-05-02 2006-11-02 Hooke William M Pulsed dielectric barrier discharge
CN1825388A (zh) * 2006-03-27 2006-08-30 杭州大华仪器制造有限公司 研究直流辉光等离子体的实验装置
CN101443878A (zh) * 2006-05-10 2009-05-27 分之一技术公司 电极系统和电极使用方法
CN201570154U (zh) * 2009-06-18 2010-09-01 浙江科技学院 直流辉光放电等离子体及冷阴极荧光管实验装置
CN105555000A (zh) * 2014-10-28 2016-05-04 南京苏曼等离子科技有限公司 大放电间距下常温辉光放电低温等离子体材料处理装置
CN204503049U (zh) * 2015-02-25 2015-07-29 中国石油大学(北京) 一种辉光等离子体反应设备

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108322991A (zh) * 2018-01-08 2018-07-24 青海师范大学 一种半封闭常压双频大面积辉光放电实验装置
CN108971140A (zh) * 2018-05-12 2018-12-11 合肥杰硕真空科技有限公司 一种射频等离子体清洗装置
CN108663162A (zh) * 2018-06-27 2018-10-16 佛山市金净创环保技术有限公司 平移式密闭容器真空度检测系统

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106531596A (zh) 一种产生辉光放电条纹的装置及方法
CN103179772B (zh) 产生大气压直流辉光放电的方法及其专用装置
CN102595757B (zh) 产生大体积大气压等离子体的三电极放电装置
CN101466194A (zh) 预电离大气压低温等离子体射流发生器
CN207638962U (zh) 大气压介质阻挡放电增强型直流交替电极低温等离子体射流阵列
CN104085884B (zh) 一种用氢(H2)和氩(Ar)混合等离子体还原氧化石墨烯(GO)提高电化学性能的方法
CN100358198C (zh) 一种用于实现大气压下空气中均匀辉光放电的方法
CN103327722B (zh) 介质阻挡增强型多电极辉光放电低温等离子体刷阵列发生装置
CN204168591U (zh) 一种空气大气压低温等离子体产生装置
CN108408843A (zh) 一种等离子体活化水发生装置
CN204145867U (zh) 一种大气压大面积均匀空间等离子体发生装置
CN103079328B (zh) 一种介质阻挡放电电极及其制作方法
CN105792495A (zh) 一种产生大气压均匀等离子体刷的装置和方法
CN107979907A (zh) 大气压介质阻挡放电增强型直流交替电极低温等离子体射流阵列
CN108366482B (zh) 一种容性耦合等离子体诊断装置及诊断方法
JP5772941B2 (ja) プラズマｃｖｄ装置
CN103561535B (zh) 一种阵列式微洞阴极气体放电等离子体射流装置
CN100590771C (zh) 一种气体放电管的充气方法
CN106998617A (zh) 基于微等离子体喷枪产生大尺度大气压辉光放电的装置及方法
CN104465131B (zh) 一种石墨烯纳米带‑铝基超级电容器集电极的制备方法
CN106024561A (zh) 大气电子束加工设备用电子枪
CN102781157B (zh) 平面射流等离子体产生装置
CN109065433A (zh) 一种常压脉冲辅助平板射频辉光放电的装置与方法
CN204810665U (zh) 成对电极共面放电等离子体发生装置
CN107591301A (zh) 新型等离子体阴极实心注电子枪

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20170322

WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication