CN106526919A - 量测面板内图像尺寸的方法 - Google Patents

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龚成波
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Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
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    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306—Details
    • G02F1/1309—Repairing; Testing

Abstract

本发明涉及一种量测面板内图像尺寸的方法。该量测面板内图像尺寸的方法包括：步骤10、定义出所需要量测图像的外观；步骤20、识别出需要量测的图像，采用灰阶增强技术增强对比；步骤30、截取灰阶增强后的图像；步骤40、进行图像处理和量测。本发明的量测面板内图像尺寸的方法，降低了关键尺寸量测干扰，实现AA区关键尺寸的直接量测。

Description

量测面板内图像尺寸的方法
技术领域
本发明涉及液晶显示器领域，尤其涉及一种量测面板内图像尺寸的方法。
背景技术
随着显示技术的发展，液晶显示器(LCD)等平面显示装置因具有高画质、省电、机身薄及应用范围广等优点，而被广泛的应用于手机、电视、个人数字助理、数字相机、笔记本电脑、台式计算机等各种消费性电子产品，成为显示装置中的主流。
通常液晶显示面板由彩膜(CF)基板、薄膜晶体管(TFT)基板、夹于彩膜基板与薄膜晶体管基板之间的液晶(LC)及密封胶框(Sealant)组成，其成型工艺一般包括：前段阵列(Array)制程(薄膜、黄光、蚀刻及剥膜)、中段成盒(Cell)制程(TFT基板与CF基板贴合)及后段模组组装制程(驱动IC与印刷电路板压合)。低温多晶硅(LTPS)是广泛用于中小电子产品中的一种液晶显示技术，低温多晶硅液晶显示器具有高解析度、反应速度快、高开口率等诸多优点。
阵列(Array)制程中，各PEP(光刻制程)生产过程中PH(黄光)后和蚀刻(Etch)后都需要量测CD(关键尺寸)(线宽)，CD大小直接影响到产品电性能。但是随着产品层(Layer)增加，多层堆叠，导致AA(有效区域)区图像(Pattern)过于复杂而无法直接量测。目前比较常见的方法为设置CD测试键(Test key)量测，但是因为负载效应(Loading effect)，其他制程因素干扰，CD测试键和AA区CD始终存在差异，无法实现等效替代。
参见图1，其为现有技术中LTPS产品多层堆叠之后的产品设计图。各层界限交叠，给CD量测带来困难。各层待量测CD的图像(Pattern)1都位于最上面，目前遇到的量测困难点在于其下各层图像对待量测CD的图像1的干扰。
发明内容
本发明的目的在于提供一种量测面板内图像尺寸的方法，降低关键尺寸量测干扰，直接量测AA区关键尺寸。
为实现上述目的，本发明提供了一种量测面板内关键尺寸的方法，包括：
步骤10、定义出所需要量测图像的外观；
步骤20、识别出需要量测的图像，采用灰阶增强技术增强对比；
步骤30、截取灰阶增强后的图像；
步骤40、进行图像处理和量测。
其中，所述面板为液晶面板的有效区域。
其中，步骤10中预先用实体拍照，将需要量测的图像模型保存到测量软件中。
其中，步骤20中，利用摄像装置获得对应于面板的图像。
其中，步骤20中，利用图像提取技术在对应于面板的图像中识别出需要量测的图像。
其中，步骤20中，于面板所对应图像的指定坐标寻找步骤10中所保存的图像模型，找到之后做灰阶增强处理，增强对比的程度以背景最高的灰阶都不会对量测所需要量测的图像造成干扰为目标。
其中，步骤40中调整图像的角度以便于量测。
其中，所述所需要量测的图像为液晶面板的透明电极。
其中，所述所需要量测的图像为液晶面板的扫描线。
其中，所述所需要量测的图像为液晶面板的数据线。
综上，本发明的量测面板内图像尺寸的方法，降低了关键尺寸量测干扰，实现AA区关键尺寸的直接量测。
附图说明
下面结合附图，通过对本发明的具体实施方式详细描述，将使本发明的技术方案及其他有益效果显而易见。
附图中，
图1为现有技术中LTPS产品多层堆叠之后的产品设计图；
图2为本发明量测面板内图像尺寸的方法中步骤10的示意图；
图3为本发明量测面板内图像尺寸的方法中步骤20的示意图；
图4为本发明量测面板内图像尺寸的方法中步骤30的示意图；
图5为本发明量测面板内图像尺寸的方法中步骤40的示意图；
图6为本发明量测面板内图像尺寸的方法的流程图。
具体实施方式
参见2至图6，图6为本发明量测面板内图像尺寸的方法的流程图，图2至图5为各步骤的示意图。面板可以为液晶面板的有效区域或其他适用区域。所需要量测图像可以为液晶面板的透明电极，扫描线，或数据线等。
本发明量测面板内图像尺寸的方法主要包括：
步骤10、定义出所需要量测图像的外观。如图2所示，通过参数(Recipe)设置定义出所需要量测图像2的外观，也就是设置需要截取图像的外观式样。可以预先用实体拍照(CCD拍照)，将需要量测的图像模型保存到相关的测量软件中(量测软件保存)。
步骤20、识别出需要量测的图像，采用灰阶增强技术增强对比。于面板所对应图像的指定坐标寻找步骤10中所保存的图像模型(通过量测软件自动找寻)，找到之后做灰阶增强处理(量测软件灰阶处理)，灰阶对比增强的程度以背景最高的灰阶都不会对量测造成干扰为目标，由于各道图像的膜质和排线位置不同，使用的灰阶对比不是固定值而是一个范围。如图3所示，图3左侧为灰阶增强前的原始图，右侧为增强后的图。本发明可以利用摄像装置获得对应于面板的图像，然后利用图像提取技术自动比对相关的图像模型，找到相关图像之后进行灰阶增强。在对应于面板的图像中识别出需要量测的图像3，再采用灰阶增强技术增强对比，获得图像4。通过灰阶增强，使得待测图像能显著区别于其它层的图像，方便截取图像进行测量。
步骤30、截取灰阶增强后的图像。如图4所示，截取获得补强之后的图像4。通过量测软件对灰阶处理后的图像做提取。
步骤40、进行图像处理和量测。量测软件对图像进行转向等处理，量测。如图5所示，左侧为图像处理前，右侧为图像处理后，为方便展示，示意图中放大了图像的尺寸。调整图像4的角度得到图像5以便于量测，图像处理后，量测图像5得到关键尺寸a，完成关键尺寸量测。
综上，本发明的量测面板内图像尺寸的方法，将光学灰阶补偿和图像提取技术结合起来应用到CD量测中，对于所有产品的关键尺寸量测均可使用，降低了关键尺寸量测干扰，实现AA区关键尺寸的直接量测。
以上所述，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应属于本发明后附的权利要求的保护范围。

Claims (10)

1.一种量测面板内图像尺寸的方法，其特征在于，包括：
步骤10、定义出所需要量测图像的外观；
步骤20、识别出需要量测的图像，采用灰阶增强技术增强对比；
步骤30、截取灰阶增强后的图像；
步骤40、进行图像处理和量测。
2.如权利要求1所述的量测面板内图像尺寸的方法，其特征在于，所述面板为液晶面板的有效区域。
3.如权利要求1所述的量测面板内图像尺寸的方法，其特征在于，步骤10中预先用实体拍照，将需要量测的图像模型保存到测量软件中。
4.如权利要求1所述的量测面板内图像尺寸的方法，其特征在于，步骤20中，利用摄像装置获得对应于面板的图像。
5.如权利要求4所述的量测面板内图像尺寸的方法，其特征在于，步骤20中，利用图像提取技术在对应于面板的图像中识别出需要量测的图像。
6.如权利要求5所述的量测面板内图像尺寸的方法，其特征在于，步骤20中，于面板所对应图像的指定坐标寻找步骤10中所保存的图像模型，找到之后做灰阶增强处理，增强对比的程度以背景最高的灰阶都不会对量测所需要量测的图像造成干扰为目标。
7.如权利要求1所述的量测面板内图像尺寸的方法，其特征在于，步骤40中调整图像的角度以便于量测。
8.如权利要求1所述的量测面板内图像尺寸的方法，其特征在于，所述所需要量测的图像为液晶面板的透明电极。
9.如权利要求1所述的量测面板内图像尺寸的方法，其特征在于，所述所需要量测的图像为液晶面板的扫描线。
10.如权利要求1所述的量测面板内图像尺寸的方法，其特征在于，所述所需要量测的图像为液晶面板的数据线。
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