CN106526915B - 基板清洁干燥装置及其维护方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种基板清洁干燥装置及其维护方法，其通过将基板清洁干燥装置中两个基板清洁干燥单元的进气通路和出气通路分别通过两个三通阀连接到一起，使得当其中一个基板清洁干燥单元的增压泵出现故障需要维护时，可在维护期间利用另一个基板清洁干燥单元的增压泵来继续工作，从而减少因增压泵出现故障而导致基板清洁干燥单元无法工作的问题，能够提高生产效率。
Description
技术领域
本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种基板清洁干燥装置及其维护方法。
背景技术
平面显示器件具有机身薄、省电、无辐射等众多优点，得到了广泛的应用。现有的平面显示器件主要包括液晶显示器件(Liquid Crystal Display，LCD)及有机发光二极管显示器件(Organic Light Emitting Display，OLED)。
以液晶显示器为例，其通常由彩膜基板(Color Filter，CF)、薄膜晶体管基板(Thin Film Transistor，TFT)、夹于彩膜基板与薄膜晶体管基板之间的液晶(LiquidCrystal，LC)及密封胶框(Sealant)组成，其成型工艺一般包括：前段阵列(Array)制程(薄膜、黄光、蚀刻及剥膜)、中段成盒(Cell)制程(TFT基板与CF基板贴合)及后段模组组装制程(驱动IC与印刷电路板压合)。其中，前段Array制程主要是形成TFT基板，以便于控制液晶分子的运动；中段Cell制程主要是在TFT基板与CF基板之间添加液晶；后段模组组装制程主要是驱动IC压合与印刷电路板的整合，进而驱动液晶分子转动，显示图像。
在液晶显示器等平面显示器件在制作过程中，经常需要对基板进行清洁干燥，去除基板上杂质，保证制程的质量，目前的基板清洁干燥装置的工作过程通常为：首先由上料机构(LUL System)从基板载台(Cst)上获取基板，并将基板传送到基板清洁干燥装置的工作腔室内，由与所述工作腔室相连的增压泵(Booster Pump)通过真空(Vacuum)管道将工作腔室抽真空，并将抽得的空气过滤后通过压力(Pressure)管道再供应给出气头，出气头将气体吹到工作腔室内的基板上，吹去基板上的杂质，以完成对基板的清洁干燥，现有技术中，基板清洁干燥装置通常包括多个基板清洁干燥单元，每一个单元对应一台增压泵，且由于成本与空间的关系并没有配备有备用的增压泵，当增压泵发生故障需要进行修理或更换等维护工作时，该基板清洁干燥单元不得不停止工作，对正常的生产过程产生严重影响，引起产能下降，生产效率降低。
发明内容
本发明的目的在于提供一种基板清洁干燥装置，能够减少因增压泵故障导致的基板清洁干燥单元无法工作的问题，提升生产效率。
本发明的目的还在于提供一种基板清洁干燥装置的维护方法，能够减少因增压泵故障导致的基板清洁干燥单元无法工作的问题，提升生产效率。
为实现上述目的，本发明提供了一种基板清洁干燥装置，包括：至少一个基板清洁干燥单元组，每一个基板清洁干燥单元组包括两个基板清洁干燥单元；
每一个基板清洁干燥单元均包括：工作舱、增压泵、第一三通阀、以及第二三通阀；所述工作舱上设有工作舱出气口、以及工作舱进气口；所述增压泵上设有增压泵进气口、以及增压泵出气口；
每一个基板清洁干燥单元中，所述第一三通阀的进气口连接所述工作舱出气口，主出气口连接所述增压泵进气口，副出气口连接与该基板清洁干燥单元所在基板清洁干燥单元组中的另一个基板清洁干燥单元的第一三通阀的副出气口；所述第二三通阀的进气口连接所述增压泵出气口，主出气口连接所述工作舱进气口，副出气口连接与该基板清洁干燥单元所在基板清洁干燥单元组中的另一个基板清洁干燥单元的第二三通阀的副出气口。
所述第一三通阀的主出气口与增压泵进气口的连接通路上还设有第一压力传感器，所述第二三通阀的主出气口与工作舱进气口的连接通路上设有第二压力传感器。
所述第一三通阀、以及第二三通阀均为电磁控制阀。
还包括：控制主板，所述第一压力传感器、第二压力传感器、第一三通阀、以及第二三通阀均与所述控制主板电性连接。
所述第一三通阀的副出气口与另一个基板清洁干燥单元的第一三通阀的副出气口的连接通路上还设有第一常闭安全阀；
所述第二三通阀的副出气口与另一个基板清洁干燥单元的第二三通阀的副出气口的连接通路上还设有第二常闭安全阀。
本发明还提供一种基板清洁干燥装置的维护方法，包括如下步骤：
步骤S1、提供一基板清洁干燥装置，包括：至少一个基板清洁干燥单元组，每一个基板清洁干燥单元组包括两个基板清洁干燥单元；
每一个基板清洁干燥单元均包括：工作舱、增压泵、第一三通阀、以及第二三通阀；所述工作舱上设有工作舱出气口、以及工作舱进气口；所述增压泵上设有增压泵进气口、以及增压泵出气口；
每一个基板清洁干燥单元中，所述第一三通阀的进气口连接所述工作舱出气口，主出气口连接所述增压泵进气口，副出气口连接与该基板清洁干燥单元所在基板清洁干燥单元组中的另一个基板清洁干燥单元的第一三通阀的副出气口；所述第二三通阀的进气口连接所述增压泵出气口，主出气口连接所述工作舱进气口，副出气口连接与该基板清洁干燥单元所在基板清洁干燥单元组中的另一个基板清洁干燥单元的第二三通阀的副出气口；
步骤S2、开启所述基板清洁干燥装置，使得各个基板清洁干燥单元的第一三通阀和第二三通阀的主出气口均打开，副出气口均关闭，各个基板清洁干燥单元通过其自带的增压泵进行基板的清洁干燥工作；
步骤S3、监测是否有基板清洁干燥单元的增压泵出现故障，若有则进行步骤S4，若无则重复步骤S3；
步骤S4、将增压泵出现故障的基板清洁干燥单元的第一三通阀和第二三通阀的主出气口均关闭，副出气口均打开，同时将该基板清洁干燥单元的第一三通阀和第二三通阀的副出气口连接的另一个基板清洁干燥单元的第一三通阀和第二三通阀的副出气口也打开，通过另一个基板清洁干燥单元的增压泵维持该基板清洁干燥单元工作的同时，对该基板清洁干燥单元的增压泵进行维护。
所述第一三通阀的主出气口与增压泵进气口的连接通路上还设有第一压力传感器，所述第二三通阀的主出气口与工作舱进气口的连接通路上设有第二压力传感器，所述步骤S3中通过所述第一压力传感器和第二压力传感器感测到的气压大小监测是否有基板清洁干燥单元的增压泵出现故障；
所述第一三通阀、以及第二三通阀均为电磁控制阀。
所述基板清洁干燥装置还包括：控制主板，所述第一压力传感器、第二压力传感器、第一三通阀、以及第二三通阀均与所述控制主板电性连接；
所述步骤S4通过控制主板自动控制出现故障的基板清洁干燥单元的第一三通阀和第二三通阀的主出气口均关闭，副出气口均打开，与该基板清洁干燥单元的第一三通阀和第二三通阀的副出气口连接的另一个基板清洁干燥单元的第一三通阀和第二三通阀的副出气口均打开。
所述第一三通阀的副出气口与另一个基板清洁干燥单元的第一三通阀的副出气口的连接通路上还设有第一常闭安全阀；
所述第二三通阀的副出气口与另一个基板清洁干燥单元的第二三通阀的副出气口的连接通路上还设有第二常闭安全阀；
所述步骤S4中，还需要将所述第一常闭安全阀和第二常闭安全阀从关闭状态切换到打开状态。
本发明的有益效果：本发明提供了一种基板清洁干燥装置，其通过将基板清洁干燥装置中两个基板清洁干燥单元的进气通路和出气通路分别通过两个三通阀连接到一起，使得当其中一个基板清洁干燥单元的增压泵出现故障需要维护时，可在维护期间利用另一个基板清洁干燥单元的增压泵来继续工作，从而减少因增压泵出现故障而导致基板清洁干燥单元无法工作的问题，能够提高生产效率。本发明还提供基板清洁干燥装置的维护方法，能够减少因增压泵故障导致的基板清洁干燥单元无法工作的问题，提高生产效率。
附图说明
为了能更进一步了解本发明的特征以及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制。
附图中，
图1为本发明的基板清洁干燥装置的示意图；
图2为本发明的基板清洁干燥装置的维护方法的流程图。
具体实施方式
为更进一步阐述本发明所采取的技术手段及其效果，以下结合本发明的优选实施例及其附图进行详细描述。
请参阅图1，本发明提供一种基板清洁干燥装置，包括：至少一个基板清洁干燥单元组，每一个基板清洁干燥单元组包括两个基板清洁干燥单元1；
每一个基板清洁干燥单元1均包括：工作舱11、增压泵12、第一三通阀13、以及第二三通阀14；所述工作舱11上设有工作舱出气口111、以及工作舱进气口112；所述增压泵12上设有增压泵进气口121、以及增压泵出气口122；
每一个基板清洁干燥单元1中，所述第一三通阀13的进气口连接所述工作舱出气口111，主出气口连接所述增压泵进气口121，副出气口连接与该基板清洁干燥单元1所在基板清洁干燥单元组中的另一个基板清洁干燥单元1的第一三通阀13的副出气口；所述第二三通阀14的进气口连接所述增压泵出气口122，主出气口连接所述工作舱进气口112，副出气口连接与该基板清洁干燥单元1所在基板清洁干燥单元组中的另一个基板清洁干燥单元1的第二三通阀14的副出气口。
需要说明的是，本发明的基板清洁干燥装置的工作过程为：正常工作时，各个基板清洁干燥单元1的第一三通阀13和第二三通阀14的主出气口均打开，副出气口均关闭，各个基板清洁干燥单元1通过其自带的增压泵12从其自带的工作腔11中抽气，气流从工作腔出气口111流出工作腔11经由增压泵进气口121流进增压泵，经过增压泵12过滤后再从增压泵出气口122流出增压泵12经由工作腔进气口112流进工作腔11，对工作腔11内的基板进行干燥清洁。当有基板清洁干燥单元1的增压泵12出现故障需要维护时，则将增压泵12出现故障的基板清洁干燥单元1的第一三通阀13和第二三通阀14的主出气口均关闭，副出气口均打开，同时将该基板清洁干燥单元1的第一三通阀13和第二三通阀14的副出气口连接的另一个基板清洁干燥单元1的第一三通阀13和第二三通阀14的副出气口也打开，通过另一个基板清洁干燥单元1的增压泵12维持该基板清洁干燥单元1工作的同时，对该基板清洁干燥单元1的增压泵12进行维护，具体包括更换或修理该基板清洁干燥单元1的增压泵12，通过在维护期间利用另一个基板清洁干燥单元的增压泵来继续工作，从而减少因增压泵出现故障而导致基板清洁干燥单元无法工作的问题，能够提高生产效率。
值得一提的是，本发明的基板清洁干燥装置中的三通阀可以采用自动化设进行控制，具体为，在所述第一三通阀13的主出气口与增压泵进气口121的连接通路上设置第一压力传感器15，在所述第二三通阀14的主出气口与工作舱进气口112的连接通路上设置第二压力传感器16，并采用电磁控制阀作为第一三通阀13、以及第二三通阀14，同时增设控制主板，所述第一压力传感器15、第二压力传感器16、第一三通阀13、以及第二三通阀14均与所述控制主板电性连接，进而可通过所述第一压力传感器15和第二压力传感器16感测到的气压大小监测是否有基板清洁干燥单元1的增压泵12出现故障，具体为通过控制主板将第一压力传感器15和第二压力传感器16感测到的气压大小与预设的气压范围进行比较，该预设的气压范围为基板清洁干燥单元1正常工作的气压范围，若是感测到的气压大小不在预设的气压范围内，则判定增压泵12故障，自动控制第一三通阀13和第二三通阀14进行气体通路的切换。
此外，为了保障各个基板清洁干燥单元1的正常工作的稳定性，本发明还在所述第一三通阀13的副出气口与另一个基板清洁干燥单元1的第一三通阀13的副出气口的连接通路上设置了第一常闭安全阀17，在所述第二三通阀14的副出气口与另一个基板清洁干燥单元1的第二三通阀14的副出气口的连接通路上设置了第二常闭安全阀18，该第一常闭安全阀17和第二常闭安全阀18只有在增压泵12故障维护时才会打开，其他时间均处于关闭状态，进而防止相连的基板清洁干燥单元1互相干扰，同样地，该第一常闭安全阀17和第二常闭安全阀18也可以采用电磁控制阀，并与控制主板电性连接，以对其进行自动控制。
请参阅图2，本发明还提供一种基板清洁干燥装置的维护方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤S1、请参阅图1，提供一基板清洁干燥装置，包括：至少一个基板清洁干燥单元组，每一个基板清洁干燥单元组包括两个基板清洁干燥单元1；
每一个基板清洁干燥单元1均包括：工作舱11、增压泵12、第一三通阀13、以及第二三通阀14；所述工作舱11上设有工作舱出气口111、以及工作舱进气口112；所述增压泵12上设有增压泵进气口121、以及增压泵出气口122；
每一个基板清洁干燥单元1中，所述第一三通阀13的进气口连接所述工作舱出气口111，主出气口连接所述增压泵进气口121，副出气口连接与该基板清洁干燥单元1所在基板清洁干燥单元组中的另一个基板清洁干燥单元1的第一三通阀13的副出气口；所述第二三通阀14的进气口连接所述增压泵出气口122，主出气口连接所述工作舱进气口112，副出气口连接与该基板清洁干燥单元1所在基板清洁干燥单元组中的另一个基板清洁干燥单元1的第二三通阀14的副出气口。
步骤S2、开启所述基板清洁干燥装置，使得各个基板清洁干燥单元1的第一三通阀13和第二三通阀14的主出气口均打开，副出气口均关闭，各个基板清洁干燥单元1通过其自带的增压泵12进行基板的清洁干燥工作；
步骤S3、监测是否有基板清洁干燥单元1的增压泵12出现故障，若有则进行步骤S4，若无则重复步骤S3；
步骤S4、将增压泵12出现故障的基板清洁干燥单元1的第一三通阀13和第二三通阀14的主出气口均关闭，副出气口均打开，同时将该基板清洁干燥单元1的第一三通阀13和第二三通阀14的副出气口连接的另一个基板清洁干燥单元1的第一三通阀13和第二三通阀14的副出气口也打开，通过另一个基板清洁干燥单元1的增压泵12维持该基板清洁干燥单元1工作的同时，对该基板清洁干燥单元1的增压泵12进行维护。
具体地，本发明的基板清洁干燥装置的维护方法可通过自动化模块实现，具体为，在所述第一三通阀13的主出气口与增压泵进气口121的连接通路上设置第一压力传感器15，在所述第二三通阀14的主出气口与工作舱进气口112的连接通路上设置第二压力传感器16，并采用电磁控制阀作为第一三通阀13、以及第二三通阀14，同时增设控制主板，所述第一压力传感器15、第二压力传感器16、第一三通阀13、以及第二三通阀14均与所述控制主板电性连接，进而在步骤S3中可通过所述第一压力传感器15和第二压力传感器16感测到的气压大小监测是否有基板清洁干燥单元1的增压泵12出现故障，具体为通过控制主板将第一压力传感器15和第二压力传感器16感测到的气压大小与预设的气压范围进行比较，该预设的气压范围为基板清洁干燥单元1正常工作的气压范围，若是感测到的气压大小不在预设的气压范围内，则判定增压泵12故障，自动控制第一三通阀13和第二三通阀14进行管路的切换。
此外，为了保障各个基板清洁干燥单元1的正常工作的稳定性，本发明还在所述第一三通阀13的副出气口与另一个基板清洁干燥单元1的第一三通阀13的副出气口的连接通路上设置了第一常闭安全阀17，在所述第二三通阀14的副出气口与另一个基板清洁干燥单元1的第二三通阀14的副出气口的连接通路上设置了第二常闭安全阀18，该第一常闭安全阀17和第二常闭安全阀18只有在增压泵12故障维护时才会打开，其他时间均处于关闭状态，进而防止相连的基板清洁干燥单元1互相干扰，同样地，该第一常闭安全阀17和第二常闭安全阀18也可以采用电磁控制阀，并与控制主板电性连接，以对其进行自动控制。
综上所述，本发明提供了一种基板清洁干燥装置，其通过将基板清洁干燥装置中两个基板清洁干燥单元的进气通路和出气通路分别通过两个三通阀连接到一起，使得当其中一个基板清洁干燥单元的增压泵出现故障需要维护时，可在维护期间利用另一个基板清洁干燥单元的增压泵来继续工作，从而减少因增压泵出现故障而导致基板清洁干燥单元无法工作的问题，能够提高生产效率。本发明还提供基板清洁干燥装置的维护方法，能够减少因增压泵故障导致的基板清洁干燥单元无法工作的问题，提高生产效率。
以上所述，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应属于本发明权利要求的保护范围。
Claims (10)
1.一种基板清洁干燥装置，其特征在于，包括：至少一个基板清洁干燥单元组，每一个基板清洁干燥单元组包括两个基板清洁干燥单元(1)；
每一个基板清洁干燥单元(1)均包括：工作舱(11)、增压泵(12)、第一三通阀(13)以及第二三通阀(14)；所述工作舱(11)上设有工作舱出气口(111)以及工作舱进气口(112)；所述增压泵(12)上设有增压泵进气口(121)以及增压泵出气口(122)；
每一个基板清洁干燥单元(1)中，所述第一三通阀(13)的进气口连接所述工作舱出气口(111)，主出气口连接所述增压泵进气口(121)，副出气口连接与该基板清洁干燥单元(1)所在基板清洁干燥单元组中的另一个基板清洁干燥单元(1)的第一三通阀(13)的副出气口；所述第二三通阀(14)的进气口连接所述增压泵出气口(122)，主出气口连接所述工作舱进气口(112)，副出气口连接与该基板清洁干燥单元(1)所在基板清洁干燥单元组中的另一个基板清洁干燥单元(1)的第二三通阀(14)的副出气口。
2.如权利要求1所述的基板清洁干燥装置，其特征在于，所述第一三通阀(13)的主出气口与增压泵进气口(121)的连接通路上还设有第一压力传感器(15)，所述第二三通阀(14)的主出气口与工作舱进气口(112)的连接通路上设有第二压力传感器(16)；通过所述第一压力传感器(15)和第二压力传感器(16)感测到的气压大小监测是否有基板清洁干燥单元(1)的增压泵(12)出现故障。
3.如权利要求2所述的基板清洁干燥装置，其特征在于，所述第一三通阀(13)、以及第二三通阀(14)均为电磁控制阀。
4.如权利要求3所述的基板清洁干燥装置，其特征在于，还包括：控制主板，所述第一压力传感器(15)、第二压力传感器(16)、第一三通阀(13)以及第二三通阀(14)均与所述控制主板电性连接。
5.如权利要求1所述的基板清洁干燥装置，其特征在于，所述第一三通阀(13)的副出气口与另一个基板清洁干燥单元(1)的第一三通阀(13)的副出气口的连接通路上还设有第一常闭安全阀(17)；
所述第二三通阀(14)的副出气口与另一个基板清洁干燥单元(1)的第二三通阀(14)的副出气口的连接通路上还设有第二常闭安全阀(18)。
6.一种基板清洁干燥装置的维护方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤S1、提供一基板清洁干燥装置，包括：至少一个基板清洁干燥单元组，每一个基板清洁干燥单元组包括两个基板清洁干燥单元(1)；
每一个基板清洁干燥单元(1)均包括：工作舱(11)、增压泵(12)、第一三通阀(13)以及第二三通阀(14)；所述工作舱(11)上设有工作舱出气口(111)以及工作舱进气口(112)；所述增压泵(12)上设有增压泵进气口(121)以及增压泵出气口(122)；
每一个基板清洁干燥单元(1)中，所述第一三通阀(13)的进气口连接所述工作舱出气口(111)，主出气口连接所述增压泵进气口(121)，副出气口连接与该基板清洁干燥单元(1)所在基板清洁干燥单元组中的另一个基板清洁干燥单元(1)的第一三通阀(13)的副出气口；所述第二三通阀(14)的进气口连接所述增压泵出气口(122)，主出气口连接所述工作舱进气口(112)，副出气口连接与该基板清洁干燥单元(1)所在基板清洁干燥单元组中的另一个基板清洁干燥单元(1)的第二三通阀(14)的副出气口；
步骤S2、开启所述基板清洁干燥装置，使得各个基板清洁干燥单元(1)的第一三通阀(13)和第二三通阀(14)的主出气口均打开，副出气口均关闭，各个基板清洁干燥单元(1)通过其自带的增压泵(12)进行基板的清洁干燥工作；
步骤S3、监测是否有基板清洁干燥单元(1)的增压泵(12)出现故障，若有则进行步骤S4，若无则重复步骤S3；
步骤S4、将增压泵(12)出现故障的基板清洁干燥单元(1)的第一三通阀(13)和第二三通阀(14)的主出气口均关闭，副出气口均打开，同时将该基板清洁干燥单元(1)的第一三通阀(13)和第二三通阀(14)的副出气口连接的另一个基板清洁干燥单元(1)的第一三通阀(13)和第二三通阀(14)的副出气口也打开，通过另一个基板清洁干燥单元(1)的增压泵(12)维持该基板清洁干燥单元(1)工作的同时，对该基板清洁干燥单元(1)的增压泵(12)进行维护。
7.如权利要求6所述的基板清洁干燥装置的维护方法，其特征在于，所述第一三通阀(13)的主出气口与增压泵进气口(121)的连接通路上还设有第一压力传感器(15)，所述第二三通阀(14)的主出气口与工作舱进气口(112)的连接通路上设有第二压力传感器(16)，所述步骤S3中通过所述第一压力传感器(15)和第二压力传感器(16)感测到的气压大小监测是否有基板清洁干燥单元(1)的增压泵(12)出现故障。
8.如权利要求7所述的基板清洁干燥装置的维护方法，其特征在于，所述第一三通阀(13)以及第二三通阀(14)均为电磁控制阀。
9.如权利要求8所述的基板清洁干燥装置的维护方法，其特征在于，基板清洁干燥装置还包括：控制主板，所述第一压力传感器(15)、第二压力传感器(16)、第一三通阀(13)以及第二三通阀(14)均与所述控制主板电性连接；
所述步骤S4通过控制主板自动控制出现故障的基板清洁干燥单元(1)的第一三通阀(13)和第二三通阀(14)的主出气口均关闭，副出气口均打开，与该基板清洁干燥单元(1)的第一三通阀(13)和第二三通阀(14)的副出气口连接的另一个基板清洁干燥单元(1)的第一三通阀(13)和第二三通阀(14)的副出气口均打开。
10.如权利要求6所述的基板清洁干燥装置的维护方法，其特征在于，所述第一三通阀(13)的副出气口与另一个基板清洁干燥单元(1)的第一三通阀(13)的副出气口的连接通路上还设有第一常闭安全阀(17)；
所述第二三通阀(14)的副出气口与另一个基板清洁干燥单元(1)的第二三通阀(14)的副出气口的连接通路上还设有第二常闭安全阀(18)；
所述步骤S4中，还需要将所述第一常闭安全阀(17)和第二常闭安全阀(18)从关闭状态切换到打开状态。
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