CN106516743A - 一种基板放置位置的修正装置、方法和系统 - Google Patents

Abstract

本公开涉及一种基板放置位置的修正装置、方法和系统，涉及工业制造领域，该装置应用于支撑架，包括：距离传感器组、传输组件和处理单元，距离传感器组包括设置于支撑架面板的第一边缘一侧的至少两个距离传感器，以及设置于支撑架面板的第二边缘一侧的至少一个距离传感器；至少两个距离传感器分别用于获取与第一边缘的距离，至少一个距离传感器用于获取与第二边缘的距离；传输组件与距离传感器组连接，用于将至少两个距离传感器分别与第一边缘的距离以及至少一个距离传感器与第二边缘的距离发送给处理单元；处理单元用于根据该信息获取针对当前要放置在支撑架面板上的基板的位置修正参数。

Description

一种基板放置位置的修正装置、方法和系统

技术领域

本公开涉及工业制造领域，具体地，涉及一种基板放置位置的修正装置、方法和系统。

背景技术

目前，随着制造业自动化的程度越来越高，许多生产步骤都可以由机器人完成，例如在制造玻璃的包装过程中，可以使用机器人将玻璃基板放置在支撑架，如A型架上完成。目前A型架的定位装置为机械定位，其采用气缸带动支撑架底座进行定位，存在较大的误差，容易造成在生产线上更换A型架后，机器人按原定程序执行码垛时玻璃基板的放置位置与理论位置就会存在偏差。这种偏差对后续从A型架上取下玻璃基板的工序影响很大，经常造成取片不成功或玻璃基板在码放过程中直接碎裂，会降低基板生产良品率。

发明内容

本公开的目的是提供一种基板放置位置的修正装置、方法和系统，用以解决由于支撑架位置变化造成的基板放置位置的偏差的问题。

为了实现上述目的，根据本公开实施例的第一方面，提供一种基板放置位置的修正装置，应用于支撑架，所述支撑架包括支撑架面板，所述装置包括：距离传感器组、传输组件和处理单元，所述距离传感器组包括设置于所述支撑架面板的第一边缘一侧的至少两个距离传感器，以及设置于所述支撑架面板的第二边缘一侧的至少一个距离传感器，所述第一边缘与所述第二边缘为所述支撑架面板的两个相交的边缘；

所述至少两个距离传感器用于在监测到所述支撑架面板的位置发生变化时，获取所述至少两个距离传感器分别与所述第一边缘的距离，所述至少一个距离传感器用于在监测到所述支撑架面板的位置发生变化时获取所述至少一个距离传感器与所述第二边缘的距离；

所述传输组件与所述距离传感器组连接，用于将所述至少两个距离传感器分别与所述第一边缘的距离以及所述至少一个距离传感器与所述第二边缘的距离发送给所述处理单元；

所述处理单元用于根据所述至少两个距离传感器分别与所述第一边缘的距离以及所述至少一个距离传感器与所述第二边缘的距离获取针对当前要放置在所述支撑架面板上的基板的位置修正参数。

可选的，所述处理单元还用于将所述位置修正参数发送给用于放置基板的机器人，用于控制所述机器人根据所述位置修正参数对所述当前要放置在所述支撑架面板上的基板的位置进行修正。

可选的，所述设置于所述支撑架面板的第一边缘一侧的至少两个距离传感器包括：第一距离传感器、第二距离传感器，且第一距离传感器和第二距离传感器与所述第一边缘距离相等，所述设置于所述支撑架面板的第二边缘一侧的至少一个距离传感器包括：第三距离传感器；

所述第一距离传感器用于获取所述第一距离传感器与所述第一边缘之间的第一距离；所述第二距离传感器用于获取所述第二距离传感器与所述第一边缘之间的第二距离；所述第三位置传感器用于获取所述第三距离传感器与所述第二边缘之间的第三距离。

可选的，所述传输组件包括：第一焊接基板和第二焊接基板，所述第一焊接基板与所述第一距离传感器以及所述第二距离传感器连接，所述第二焊接基板与所述第三距离传感器连接；

所述第一焊接基板用于从所述第一距离传感器接收所述第一距离，以及从所述第二距离传感器接收所述第二距离，并将所述第一距离和所述第二距离传输给所述处理单元；所述第二焊接基板用于从所述第三距离传感器接收所述第三距离，并将所述第三距离传输给所述处理单元；

所述处理单元用于根据所述第一距离、所述第二距离和所述第三距离获取所述位置修正参数。

可选的，所述处理单元用于：

根据所述第一距离和所述第二距离，以及所述第一距离传感器与所述第二距离传感器之间的距离获取所述支撑架面板的扭转角度；

获取所述第一距离和第一参考距离之间的第一差值，以及所述第二距离和所述第二参考距离之间的第二差值；其中，所述第一参考距离和所述第二参考距离是所述支撑架面板的位置发生变化之前所述第一距离传感器和所述第二距离传感器分别与所述第一边缘的距离；

根据所述第三距离获取所述第三距离和所述第三参考距离的之间的第三差值，所述第三参考距离是所述支撑架面板的位置发生变化之前所述第三距离传感器与所述第二边缘的距离。

可选的，所述装置还包括：底座、设置于所述底座上方的支撑架底座、纵向定位件和横向定位气缸；

所述支撑架放置在所述支撑架底座上；

所述纵向定位件用于在初始设置时设置所述支撑架底座在纵向上的位置，以便设置所述支撑架达到所述纵向上的目标位置；

所述横向定位气缸用于在初始设置时调整所述支撑架底座在横向上的位置，以便设置所述支撑架达到所述横向上的目标位置。

根据本公开实施例的第二方面，提供一种基板放置位置的修正方法，应用于本公开实施例的第一方面所述的任意装置，所述方法包括：

通过设置在支撑架面板的第一边缘一侧至少两个距离传感器获取所述至少两个距离传感器分别与所述第一边缘的距离；

通过设置于所述支撑架面板的第二边缘一侧的至少一个距离传感器获取所述至少一个距离传感器与所述第二边缘的距离；

根据所述至少两个距离传感器分别与所述第一边缘的距离以及所述至少一个距离传感器与所述第二边缘的距离获取针对当前要放置在所述支撑架面板上的基板的位置修正参数。

可选的，所述方法包括：将所述位置修正参数发送给用于放置基板的机器人，用于控制所述机器人根据所述位置修正参数对所述当前要放置在所述支撑架面板上的基板的位置进行修正。

可选的，所述设置于所述支撑架面板的第一边缘一侧的至少两个距离传感器包括：第一距离传感器、第二距离传感器，且第一距离传感器和第二距离传感器与所述第一边缘距离相等，所述设置于所述支撑架面板的第二边缘一侧的至少一个距离传感器包括：第三距离传感器；所述通过设置在支撑架面板的第一边缘一侧至少两个距离传感器获取所述至少两个距离传感器分别与所述第一边缘的距离，包括：

通过所述第一距离传感器获取所述第一距离传感器与所述第一边缘之间的第一距离；

通过所述第二距离传感器获取所述第二距离传感器与所述第一边缘之间的第二距离；

所述通过设置于所述支撑架面板的第二边缘一侧的至少一个距离传感器获取所述至少一个距离传感器与所述第二边缘的距离，包括：

通过所述第三位置传感器获取所述第三距离传感器与所述第二边缘之间的第三距离。

可选的，所述根据所述至少两个距离传感器分别与所述第一边缘的距离以及所述至少一个距离传感器与所述第二边缘的距离获取针对当前要放置在所述支撑架面板上的基板的位置修正参数，包括：

根据所述第一距离和所述第二距离，以及所述第一距离传感器与所述第二距离传感器之间的距离获取所述支撑架面板的扭转角度；

获取所述第一距离和第一参考距离之间的第一差值，以及所述第二距离和所述第二参考距离之间的第二差值；其中，所述第一参考距离和所述第二参考距离是所述支撑架面板的位置发生变化之前所述第一距离传感器和所述第二距离传感器分别与所述第一边缘的距离；

根据所述第三距离获取所述第三距离和所述第三参考距离的之间的第三差值，所述第三参考距离是所述支撑架面板的位置发生变化之前所述第三距离传感器与所述第二边缘的距离。

根据本公开实施例的第三方面，提供一种基板放置系统，所述系统包括支撑架、本公开实施例的第一方面所述的任意装置，以及用于放置基板的机器人。

通过上述技术方案，本公开利用传感器组能够准确测量出要放置的支撑架面板的实际位置，并将该实际位置送给处理器使处理器根据该实际位置与支撑架面板变换前的位置确定当前要放置的基板的位置修正参数，基于该修正参数可以对基板的放置位置进行修正，从而能够减小由于支撑架位置变化造成的基板放置位置的偏差，因此能后保证基板放置在正确的位置，进而可以避免后续工序中的取片不成功或玻璃基板在码放过程中直接碎裂的问题，从而提高基板生产良品率。

本公开的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明，应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本公开。

附图说明

附图是用来提供对本公开的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本公开，但并不构成对本公开的限制。在附图中：

图1是根据一示例性实施例示出的一种基板放置位置的修正装置的结构图；

图2是图1所示基板放置位置的修正装置的底座的示意图；

图3是根据图1所示实施例示出的一种获取位置修正参数的方法示意图；

图4是根据一示例性实施例示出的一种基板放置位置的修正方法的流程图；

图5是根据一示例性实施例示出的另一种基板放置位置的修正方法的流程图；

图6是根据一示例性实施例示出的又一种基板放置位置的修正方法的流程图。

附图标记说明

1底座 2横向定位气缸

3第三距离传感器 4纵向定位件

5第一距离传感器 6第二距离传感器

7第一焊接基板 8第二焊接基板

9处理单元 10机器人

11支撑架面板 12支撑架底座

13支撑架

具体实施方式

以下结合附图对本公开的具体实施方式进行详细说明，其示例表示在附图中。下面的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。以下示例性实施例中所描述的实施方式并不代表与本公开相一致的所有实施方式。相反，它们仅是与如所附权利要求书中所详述的、本公开的一些方面相一致的装置和方法的例子。

在对本公开提供的基板放置位置的修正装置、方法和系统说明前，首先对本公开各个实施例所涉及应用场景进行介绍。该应用场景为在玻璃基板的制造过程中，将制造好的玻璃基板进行码垛的工序，因此在本公开的各个实施例中所涉及的基板可以为玻璃基板。该应用场景中包括用于放置基板的支撑架和用于将基板放置在该支撑架上的机器人，其中该支撑架包括支撑架面板，用于放置各种基板，该支撑架可以是A型架、L型架或可调节式支撑架等。在对公开的实施例进行介绍时，选取制造玻璃的包装过程为例进行说明。

本公开提供了一种基板放置位置的修正装置的结构图，该装置应用于支撑架，该支撑架包括支撑架面板，该装置包括：距离传感器组、传输组件和处理单元，该距离传感器组包括设置于支撑架面板的第一边缘一侧的至少两个距离传感器，以及设置于支撑架面板的第二边缘一侧的至少一个距离传感器，第一边缘与第二边缘为支撑架面板的两个相交的边缘。

至少两个距离传感器用于在监测到支撑架面板的位置发生变化时，获取至少两个距离传感器分别与第一边缘的距离，至少一个距离传感器用于在监测到支撑架面板的位置发生变化时获取至少一个距离传感器与第二边缘的距离；

传输组件与距离传感器组连接，用于将至少两个距离传感器分别与第一边缘的距离以及至少一个距离传感器与第二边缘的距离发送给处理单元；

处理单元用于根据至少两个距离传感器分别与第一边缘的距离以及至少一个距离传感器与第二边缘的距离获取针对当前要放置在支撑架面板上的基板的位置修正参数。

示例的，设置于支撑架面板的第一边缘一侧的至少两个距离传感器可以包括：第一距离传感器、第二距离传感器，且第一距离传感器和第二距离传感器与第一边缘距离相等，设置于支撑架面板的第二边缘一侧的至少一个距离传感器包括：第三距离传感器；传输组件包括：第一焊接基板和第二焊接基板，第一焊接基板与第一距离传感器以及第二距离传感器连接，第二焊接基板与第三距离传感器连接。值得一提的是，第一焊接基板和第二焊接基板也可以采用其他类型的传输模块。

图1是根据一示例性实施例示出的一种基板放置位置的修正装置的结构图，如图1所示，该装置应用于支撑架13，支撑架13包括支撑架面板11，该装置包括：设置于该支撑架面板11的第一边缘一侧的第一距离传感器5、第二距离传感器6，设置于该支撑架面板11的第二边缘一侧的第三距离传感器3，第一焊接基板7和第二焊接基板8，以及处理单元9，其中第一边缘为支撑架面板11与支撑架底座12接触的边缘，第二边缘为与第一边缘相交的侧边缘。

示例的，在支撑架13初始设置时，将支撑架13初始放置的位置作为参考位置。图2是图1所示基板放置位置的修正装置的底座的示意图，如图2所示，该装置还可以包括：底座1、设置于底座1上方的支撑架底座12、纵向定位件4和横向定位气缸2；支撑架13放置在支撑架底座12上；纵向定位件4用于在初始设置时设置支撑架底座12在纵向上的位置，以便设置支撑架13达到纵向上的目标位置；横向定位气缸2用于在初始设置时调整支撑架底座12在横向上的位置，以便设置支撑架13达到横向上的目标位置。

示例的，底座1可以设置在干净平整的地面上，支撑架13固定在支撑架底座12上，支撑架底座12以纵向定位件4所在的位置为基准，当支撑架底座12在纵向定位件4所限定的位置上固定好以后，横向定位气缸2通过伸缩运动对支撑架底座12的位置进行初步调整，调整完成后的位置即为初始放置的参考位置，并记录此时第一距离传感器5、第二距离传感器6与第一边缘的距离，以及第三距离传感器3与第二边缘的距离。

之后由第一距离传感器5和第二距离传感器6检测支撑架面板11的第一边缘一侧的位置是否发生变化，同时由第三距离传感器3检测支撑架面板11的第二边缘一侧的位置是否发生变化，以此来判断支撑架面板11的位置是否发生变化。当检测到支撑架面板11位置发生变化时，第一距离传感器5、第二距离传感器6获取与第一边缘的距离，第三距离传感器3获取距离第二边缘的信息。

图3根据图1所示实施例示出的一种获取位置修正参数的方法示意图，如图3所示，第一距离传感器5用于获取第一距离传感器5与第一边缘之间的第一距离L1；第二距离传感器6用于获取第二距离传感器6与第一边缘之间的第二距离L2；第三位置传感器3用于获取第三距离传感器3与所述第二边缘之间的第三距离d1。

第一焊接基板7用于从第一距离传感器5接收第一距离L1，以及从第二距离传感器6接收第二距离L2，并将第一距离L1和第二距离L2传输给处理单元9；第二焊接基板8用于从第三距离传感器3接收第三距离d1，并将第三距离d1传输给所述处理单元9。

处理单元9用于根据第一距离L1、第二距离L2和第三距离d1获取位置修正参数。

其中需要说明的是，第一焊接基板7与第一距离传感器5和第二距离传感器6，第二焊接基板8与第三距离传感器3之间的连接方式可以是电性的直接连接、通过耦合的方式连接或利用无线网络进行连接。其中焊接基板可以将距离传感器测量得到的距离以处理单元9能够处理的形式发送给处理单元9，例如该距离可以采用模拟信号进行传输，或者也可以采用数字信号。

示例的，处理单元9根据第一距离L1和第二距离L2，以及第一距离传感器5与第二距离传感器6之间的距离b获取支撑架面板11的扭转角度β。

举例来说，第一距离L1和第二距离L2差值的绝对值对应的距离和第一距离传感器5与第二距离传感器6之间的距离b分别是支撑架面板11的扭转角对应的两个直角边，根据反正切公式，可以求得支撑架面板11的扭转角度β＝arctan(|L1-L2|/b)。

获取第一距离L1和第一参考距离L之间的第一差值|L1-L|，以及第二距离L2和第二参考距离L之间的第二差值|L2-L|；其中，第一参考距离L和第二参考距离L是支撑架面板11的位置发生变化之前第一距离传感器5和第二距离传感器6分别与第一边缘的距离。

根据第三距离d1获取第三距离d1和第三参考距离d的之间的第三差值|d1-d|，第三参考距离d是支撑架面板11的位置发生变化之前第三距离传感器3与第二边缘的距离。

从而就得到了包括第一差值|L1-L|，第二差值|L2-L|，第三差值|d1-d|，以及扭转角度β的位置修正参数，该位置修正参数可以直接由机器人使用，使机器人10根据该参数自动调整玻璃基板的放置位置；该位置参数也可以直接在显示装置中显示，供工作人员手动调整支撑架13或玻璃基板的放置位置。从而能够实现对将要放置的玻璃基板的摆放位置进行调整，能够使玻璃基板准确地放置在支撑架13上，能够有效提高玻璃包装的合格率。

综上所述，本公开利用传感器组能够准确测量出要放置的支撑架面板的实际位置，并将该实际位置送给处理器使处理器根据该实际位置与支撑架面板变换前的位置确定当前要放置的基板的位置修正参数，基于该修正参数可以对基板的放置位置进行修正，从而能够减小由于支撑架位置变化造成的基板放置位置的偏差，因此能后保证基板放置在正确的位置，进而可以避免后续工序中的取片不成功或玻璃基板在码放过程中直接碎裂的问题，从而提高基板生产良品率。

图4是根据一示例性实施例示出的一种基板放置位置的修正方法的流程图，如图4所示，应用于上述实施例中任一所述的基板放置位置的修正装置，该方法包括：

步骤401，通过设置在支撑架面板的第一边缘一侧至少两个距离传感器获取至少两个距离传感器分别与第一边缘的距离。

步骤402，通过设置于支撑架面板的第二边缘一侧的至少一个距离传感器获取至少一个距离传感器与第二边缘的距离。

步骤403，根据至少两个距离传感器分别与第一边缘的距离以及至少一个距离传感器与第二边缘的距离获取针对当前要放置在支撑架面板上的基板的位置修正参数。

图5是根据一示例性实施例示出的另一种基板放置位置的修正方法的流程图，如图5所示，该方法还包括：

步骤404，将位置修正参数发送给用于放置基板的机器人，用于控制机器人根据位置修正参数对当前要放置在支撑架面板上的基板的位置进行修正。

可选的，设置于支撑架面板的第一边缘一侧的至少两个距离传感器包括：第一距离传感器、第二距离传感器，且第一距离传感器和第二距离传感器与第一边缘距离相等，设置于支撑架面板的第二边缘一侧的至少一个距离传感器包括：第三距离传感器。

相应的，步骤401包括：

通过第一距离传感器获取第一距离传感器与第一边缘之间的第一距离。

通过第二距离传感器获取第二距离传感器与第一边缘之间的第二距离。

步骤402包括：

通过第三位置传感器获取第三距离传感器与第二边缘之间的第三距离。

图6是根据一示例性实施例示出的又一种基板放置位置的修正方法的流程图，如图6所示，步骤403包括：

步骤4031，根据第一距离和第二距离，以及第一距离传感器与第二距离传感器之间的距离获取支撑架面板的扭转角度。

步骤4032，获取第一距离和第一参考距离之间的第一差值，以及第二距离和第二参考距离之间的第二差值；其中，第一参考距离和第二参考距离是支撑架面板的位置发生变化之前第一距离传感器和第二距离传感器分别与第一边缘的距离。

步骤4033，根据第三距离获取第三距离和第三参考距离的之间的第三差值，第三参考距离是支撑架面板的位置发生变化之前第三距离传感器与第二边缘的距离。

关于上述实施例中的方法，其中各个步骤执行操作的具体方式已经在有关该装置的实施例中进行了详细描述，此处将不做详细阐述说明。

本公开利用传感器组能够准确测量出要放置的支撑架面板的实际位置，并将该实际位置送给处理器使处理器根据该实际位置与支撑架面板变换前的位置确定当前要放置的基板的位置修正参数，基于该修正参数可以对基板的放置位置进行修正，从而能够减小由于支撑架位置变化造成的基板放置位置的偏差，因此能后保证基板放置在正确的位置，进而可以避免后续工序中的取片不成功或玻璃基板在码放过程中直接碎裂的问题，从而提高基板生产良品率。

根据一示例性实施例示出的一种基板放置系统，该系统包括：支撑架、上述实施例中任一所述的基板放置位置的修正装置，以及用于放置基板的机器人，其中该支撑架、修正装置以及机器人的结构和位置关系可以参照图1所示的实施例，不再赘述。

关于上述实施例中的系统，其中各个组件执行操作的具体方式已经在基板放置位置的修正装置的实施例中进行了详细描述，此处将不做详细阐述说明。

本公开利用传感器组能够准确测量出要放置的支撑架面板的实际位置，并将该实际位置送给处理器使处理器根据该实际位置与支撑架面板变换前的位置确定当前要放置的基板的位置修正参数，基于该修正参数可以对基板的放置位置进行修正，从而能够减小由于支撑架位置变化造成的基板放置位置的偏差，因此能后保证基板放置在正确的位置，进而可以避免后续工序中的取片不成功或玻璃基板在码放过程中直接碎裂的问题，从而提高基板生产良品率。

本领域技术人员在考虑说明书及实践本公开后，将容易想到本公开的其它实施方案。本申请旨在涵盖本公开的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本公开的一般性原理并包括本公开未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本公开的真正范围和精神由权利要求指出。

应当理解的是，本公开并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变，本公开的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本公开的思想，其同样应当视为本公开所公开的内容。本公开的范围仅由所附的权利要求来限制。

Claims (11)

1.一种基板放置位置的修正装置，其特征在于，应用于支撑架，所述支撑架包括支撑架面板，所述装置包括：距离传感器组、传输组件和处理单元，所述距离传感器组包括设置于所述支撑架面板的第一边缘一侧的至少两个距离传感器，以及设置于所述支撑架面板的第二边缘一侧的至少一个距离传感器，所述第一边缘与所述第二边缘为所述支撑架面板的两个相交的边缘；

所述至少两个距离传感器用于在监测到所述支撑架面板的位置发生变化时，获取所述至少两个距离传感器分别与所述第一边缘的距离，所述至少一个距离传感器用于在监测到所述支撑架面板的位置发生变化时获取所述至少一个距离传感器与所述第二边缘的距离；

所述传输组件与所述距离传感器组连接，用于将所述至少两个距离传感器分别与所述第一边缘的距离以及所述至少一个距离传感器与所述第二边缘的距离发送给所述处理单元；

所述处理单元用于根据所述至少两个距离传感器分别与所述第一边缘的距离以及所述至少一个距离传感器与所述第二边缘的距离获取针对当前要放置在所述支撑架面板上的基板的位置修正参数。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述处理单元还用于将所述位置修正参数发送给用于放置基板的机器人，用于控制所述机器人根据所述位置修正参数对所述当前要放置在所述支撑架面板上的基板的位置进行修正。

3.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述设置于所述支撑架面板的第一边缘一侧的至少两个距离传感器包括：第一距离传感器、第二距离传感器，且所述第一距离传感器和所述第二距离传感器与所述第一边缘距离相等，所述设置于所述支撑架面板的第二边缘一侧的至少一个距离传感器包括：第三距离传感器；

所述第一距离传感器用于获取所述第一距离传感器与所述第一边缘之间的第一距离；所述第二距离传感器用于获取所述第二距离传感器与所述第一边缘之间的第二距离；所述第三位置传感器用于获取所述第三距离传感器与所述第二边缘之间的第三距离。

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述传输组件包括：第一焊接基板和第二焊接基板，所述第一焊接基板与所述第一距离传感器以及所述第二距离传感器连接，所述第二焊接基板与所述第三距离传感器连接；

所述第一焊接基板用于从所述第一距离传感器接收所述第一距离，以及从所述第二距离传感器接收所述第二距离，并将所述第一距离和所述第二距离传输给所述处理单元；所述第二焊接基板用于从所述第三距离传感器接收所述第三距离，并将所述第三距离传输给所述处理单元；

所述处理单元用于根据所述第一距离、所述第二距离和所述第三距离获取所述位置修正参数。

5.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述处理单元用于：

根据所述第一距离和所述第二距离，以及所述第一距离传感器与所述第二距离传感器之间的距离获取所述支撑架面板的扭转角度；

获取所述第一距离和第一参考距离之间的第一差值，以及所述第二距离和所述第二参考距离之间的第二差值；其中，所述第一参考距离和所述第二参考距离是所述支撑架面板的位置发生变化之前所述第一距离传感器和所述第二距离传感器分别与所述第一边缘的距离；

根据所述第三距离获取所述第三距离和所述第三参考距离的之间的第三差值，所述第三参考距离是所述支撑架面板的位置发生变化之前所述第三距离传感器与所述第二边缘的距离。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：底座、设置于所述底座上方的支撑架底座、纵向定位件和横向定位气缸；

所述支撑架放置在所述支撑架底座上；

所述纵向定位件用于在初始设置时设置所述支撑架底座在纵向上的位置，以便设置所述支撑架达到所述纵向上的目标位置；

所述横向定位气缸用于在初始设置时调整所述支撑架底座在横向上的位置，以便设置所述支撑架达到所述横向上的目标位置。

7.一种基板放置位置的修正方法，其特征在于，应用于权利要求1-6任一项所述的基板放置位置的修正装置，所述方法包括：

通过设置在支撑架面板的第一边缘一侧至少两个距离传感器获取所述至少两个距离传感器分别与所述第一边缘的距离；

通过设置于所述支撑架面板的第二边缘一侧的至少一个距离传感器获取所述至少一个距离传感器与所述第二边缘的距离；

根据所述至少两个距离传感器分别与所述第一边缘的距离以及所述至少一个距离传感器与所述第二边缘的距离获取针对当前要放置在所述支撑架面板上的基板的位置修正参数。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

将所述位置修正参数发送给用于放置基板的机器人，用于控制所述机器人根据所述位置修正参数对所述当前要放置在所述支撑架面板上的基板的位置进行修正。

9.根据权利要求7或8所述的方法，其特征在于，所述设置于所述支撑架面板的第一边缘一侧的至少两个距离传感器包括：第一距离传感器、第二距离传感器，且所述第一距离传感器和所述第二距离传感器与所述第一边缘距离相等，所述设置于所述支撑架面板的第二边缘一侧的至少一个距离传感器包括：第三距离传感器；所述通过设置在支撑架面板的第一边缘一侧至少两个距离传感器获取所述至少两个距离传感器分别与所述第一边缘的距离，包括：

通过所述第一距离传感器获取所述第一距离传感器与所述第一边缘之间的第一距离；

通过所述第二距离传感器获取所述第二距离传感器与所述第一边缘之间的第二距离；

所述通过设置于所述支撑架面板的第二边缘一侧的至少一个距离传感器获取所述至少一个距离传感器与所述第二边缘的距离，包括：

通过所述第三位置传感器获取所述第三距离传感器与所述第二边缘之间的第三距离。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述根据所述至少两个距离传感器分别与所述第一边缘的距离以及所述至少一个距离传感器与所述第二边缘的距离获取针对当前要放置在所述支撑架面板上的基板的位置修正参数，包括：

根据所述第一距离和所述第二距离，以及所述第一距离传感器与所述第二距离传感器之间的距离获取所述支撑架面板的扭转角度；

获取所述第一距离和第一参考距离之间的第一差值，以及所述第二距离和所述第二参考距离之间的第二差值；其中，所述第一参考距离和所述第二参考距离是所述支撑架面板的位置发生变化之前所述第一距离传感器和所述第二距离传感器分别与所述第一边缘的距离；

根据所述第三距离获取所述第三距离和所述第三参考距离的之间的第三差值，所述第三参考距离是所述支撑架面板的位置发生变化之前所述第三距离传感器与所述第二边缘的距离。

11.一种基板放置系统，其特征在于，所述系统包括：支撑架、权利要求1-6任一项所述的基板放置位置的修正装置，以及用于放置基板的机器人。