CN106498345A - 一种设有前后门的镀膜箱设备 - Google Patents

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    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating

Abstract

本发明公开了一种设有前后门的镀膜箱设备,包括镀膜箱、一对自动门机构和自动门驱动机构,所述镀膜箱的前后两侧开口,镀膜箱的前后开口侧各安装有一个自动门机构,自动门驱动机构安装在镀膜箱的顶部,自动门驱动机构与自动门机构之间通过齿轮齿条啮合连接。它更加方便地将基板放入真空镀膜箱,且方便地将真空镀膜箱开口侧封闭。

Description

一种设有前后门的镀膜箱设备
技术领域:
本发明涉及光电技术领域,具体涉及对基板进行镀膜的镀膜箱。
背景技术:
一般公知,基板(如,镀膜玻璃、反射玻璃)的镀膜在真空腔体内完成。如此,操作人员需打开真空腔体,将待镀膜的基板放入;在基板镀膜完成,操作人员再打开真空腔体,将基板取出。
发明内容:
本发明的目的是克服现有技术的不足,提供一种设有前后门的镀膜箱设备,它更加方便地将基板放入真空镀膜箱,且方便地将真空镀膜箱开口侧封闭。
本发明解决所述技术问题的方案是:
一种设有前后门的镀膜箱设备,包括镀膜箱、一对自动门机构和自动门驱动机构,所述镀膜箱的前后两侧开口,镀膜箱的前后开口侧各安装有一个自动门机构,自动门驱动机构安装在镀膜箱的顶部,自动门驱动机构与自动门机构之间通过齿轮齿条啮合连接;
所述自动门机构包括门板、一对直角滑轨和升降齿条,一对直角滑轨分别固定在镀膜箱的左右两侧,门板与直角滑轨活动配合连接,门板的上部铰接在升降齿条上,镀膜箱的前侧的升降齿条套接在位于镀膜箱的前侧右端的直角滑轨上,镀膜箱的后侧的升降齿条套接在位于镀膜箱的后侧左端的直角滑轨上;
所述自动门驱动机构包括驱动电机,驱动电机通过电机支架固定在镀膜箱的顶端,驱动电机的输出轴固定连接有小锥齿轮,小锥齿轮的左右两侧各啮合有一个大锥齿轮,小锥齿轮左侧的大锥齿轮固定在第一连接轴的左端,第一连接轴的右端固定连接有升降驱动齿轮,小锥齿轮右侧的大锥齿轮固定在第二连接轴的右端,第二连接轴的左端固定连接有同步带轮,同步带轮通过皮带向后连接有第二个同步带轮,第二个同步带轮固定在第三连接轴的右端,第三连接轴的左端固定连接有第二个升降驱动齿轮,第三连接轴的中部铰接在第二支架上,第一连接轴的中部和第二连接轴的中部铰接在第一支架上,第一支架和第二支架固定在镀膜箱的顶部;
固定在第一连接轴上的升降驱动齿轮与位于镀膜箱的前侧右端的升降齿条啮合,固定在第三连接轴上的升降驱动齿轮与位于镀膜箱后侧左端的升降齿条啮合。
所述门板的上底面固定有第一导轨,门板的前后端的外侧固定有横向外伸的凸杆,镀膜箱的底板上设有第二导轨,门板平躺时第一导轨与第二导轨首尾衔接。
所述直角滑轨成型有直向滑道和横向滑道,直向滑道和横向滑道连接形成直角滑道,所述门板的前端的凸杆套接在横向滑道上,门板的后端的凸杆套接在直向滑道上,直角滑轨的后侧固定有导向三角立柱;
所述升降齿条的齿段的后面成型有导向三角开口槽,齿条的外侧壁上固定有铰接臂,铰接臂的前端成型有铰接孔,门板的后端的一侧凸杆套接在铰接孔内,所述导向三角立柱套接在导向三角开口槽内。
所述位于镀膜箱的前侧右端的升降齿条的左侧设有位置感应器,位置感应器固定在镀膜箱的顶端,所述位于镀膜箱的前侧右端的升降齿条和镀膜箱后侧左端的升降齿条等高。
与现有技术相比,它更加方便地将基板放入真空镀膜箱,且方便地将真空镀膜箱开口侧封闭。
附图说明:
图1为本发明的结构示意图;
图2为本发明的俯视图。
具体实施方式:
实施例,见如图1至图2所示,一种设有前后门的镀膜箱设备,包括镀膜箱1、一对自动门机构2和自动门驱动机构3,所述镀膜箱1的前后两侧开口,镀膜箱1的前后开口侧各安装有一个自动门机构2,自动门驱动机构3安装在镀膜箱1的顶部,自动门驱动机构3与自动门机构2之间通过齿轮齿条啮合连接;
所述自动门机构2包括门板21、一对直角滑轨22和升降齿条23,一对直角滑轨22分别固定在镀膜箱1的左右两侧,门板21与直角滑轨22活动配合连接,门板21的上部铰接在升降齿条23上,镀膜箱1的前侧的升降齿条23套接在位于镀膜箱1的前侧右端的直角滑轨22上,镀膜箱1的后侧的升降齿条23套接在位于镀膜箱1的后侧左端的直角滑轨22上;
所述自动门驱动机构3包括驱动电机31,驱动电机31通过电机支架固定在镀膜箱1的顶端,驱动电机31的输出轴固定连接有小锥齿轮32,小锥齿轮32的左右两侧各啮合有一个大锥齿轮33,小锥齿轮32左侧的大锥齿轮33固定在第一连接轴34的左端,第一连接轴34的右端固定连接有升降驱动齿轮35,小锥齿轮32右侧的大锥齿轮33固定在第二连接轴36的右端,第二连接轴36的左端固定连接有同步带轮37,同步带轮37通过皮带向后连接有第二个同步带轮37,第二个同步带轮37固定在第三连接轴38的右端,第三连接轴38的左端固定连接有第二个升降驱动齿轮35,第三连接轴38的中部铰接在第二支架392上,第一连接轴34的中部和第二连接轴36的中部铰接在第一支架391上,第一支架391和第二支架392固定在镀膜箱1的顶部;
固定在第一连接轴34上的升降驱动齿轮35与位于镀膜箱1的前侧右端的升降齿条23啮合,固定在第三连接轴38上的升降驱动齿轮35与位于镀膜箱1后侧左端的升降齿条23啮合。
更进一步地说,所述门板21的上底面固定有第一导轨211,门板21的前后端的外侧固定有横向外伸的凸杆212,镀膜箱1的底板上设有第二导轨101,当门板平躺时,第一导轨211与第二导轨101首尾衔接。
更进一步地说,所述直角滑轨22成型有直向滑道2201和横向滑道2202,直向滑道2201和横向滑道2202连接形成直角滑道,所述门板21的前端的凸杆212套接在横向滑道2202上,门板21的后端的凸杆212套接在直向滑道2201上,直角滑轨22的后侧固定有导向三角立柱222;
更进一步地说,所述升降齿条23的齿段的后面成型有导向三角开口槽231,齿条23的外侧壁上固定有铰接臂232,铰接臂232的前端成型有铰接孔,门板21的后端的一侧凸杆212套接在铰接孔内,所述导向三角立柱222套接在导向三角开口槽231内。
更进一步地说,所述位于镀膜箱1的前侧右端的升降齿条23的左侧设有位置感应器4,位置感应器4固定在镀膜箱1的顶端,所述位于镀膜箱1的前侧右端的升降齿条23和镀膜箱1后侧左端的升降齿条23等高。
工作原理:第一:自动门机构2开启,电机31起动,驱动小锥齿轮32带动两个大锥齿轮33转动,右边的大锥齿轮33通过第一连接轴34、升降齿轮35驱动升降齿条36下移,左边的大锥齿轮33通过第二连接轴36带动同步带轮37转动,在两个同步带轮37在皮带的带动下驱动另一个升降驱动齿轮35驱动后侧的升降齿条23下移,位置感应器4感应升降齿条23达到相应位置时,电机停止转动;第二,将待镀膜的基板放入第一导轨211,沿第二导轨101进入镀膜箱内,并将前一块镀完膜的基板挤出到后侧的门板上;第三,自动门机构2关闭,电机31起动反转,在各部件联动作用下升降齿条23上升,位置感应器4感应升降齿条36达到相应位置时,电机31停止转动,此时,门板21与镀膜箱1完全贴合,开始镀膜。
最后,以上实施方式仅用于说明本发明,而并非对本发明的限制,有关技术领域的普通技术人员,在不脱离本发明的精神和范围的情况下,还可以做出各种变化和变型,因此所有等同的技术方案也属于本发明的范畴,本发明的专利保护范围应由权利要求限定。

Claims (5)

1.一种设有前后门的镀膜箱设备,包括镀膜箱(1)、一对自动门机构(2)和自动门驱动机构(3),其特征在于:所述镀膜箱(1)的前后两侧开口,镀膜箱(1)的前后开口侧各安装有一个自动门机构(2),自动门驱动机构(3)安装在镀膜箱(1)的顶部,自动门驱动机构(3)与自动门机构(2)之间通过齿轮齿条啮合连接;
所述自动门机构(2)包括门板(21)、一对直角滑轨(22)和升降齿条(23),一对直角滑轨(22)分别固定在镀膜箱(1)的左右两侧,门板(21)与直角滑轨(22)活动配合连接,门板(21)的上部铰接在升降齿条(23)上,镀膜箱(1)的前侧的升降齿条(23)套接在位于镀膜箱(1)的前侧右端的直角滑轨(22)上,镀膜箱(1)的后侧的升降齿条(23)套接在位于镀膜箱(1)的后侧左端的直角滑轨(22)上;
所述自动门驱动机构(3)包括驱动电机(31),驱动电机(31)通过电机支架固定在镀膜箱(1)的顶端,驱动电机(31)的输出轴固定连接有小锥齿轮(32),小锥齿轮(32)的左右两侧各啮合有一个大锥齿轮(33),小锥齿轮(32)左侧的大锥齿轮(33)固定在第一连接轴(34)的左端,第一连接轴(34)的右端固定连接有升降驱动齿轮(35),小锥齿轮(32)右侧的大锥齿轮(33)固定在第二连接轴(36)的右端,第二连接轴(36)的左端固定连接有同步带轮(37),同步带轮(37)通过皮带向后连接有第二个同步带轮(37),第二个同步带轮(37)固定在第三连接轴(38)的右端,第三连接轴(38)的左端固定连接有第二个升降驱动齿轮(35),第三连接轴(38)的中部铰接在第二支架(392)上,第一连接轴(34)的中部和第二连接轴(36)的中部铰接在第一支架(391)上,第一支架(391)和第二支架(392)固定在镀膜箱(1)的顶部;
固定在第一连接轴(34)上的升降驱动齿轮(35)与位于镀膜箱(1)的前侧右端的升降齿条(23)啮合,固定在第三连接轴(38)上的升降驱动齿轮(35)与位于镀膜箱(1)后侧左端的升降齿条(23)啮合。
2.根据权利要求1所述的一种设有前后门的镀膜箱设备,其特征在于:所述门板(21)的上底面固定有第一导轨(211),门板(21)的前后端的外侧固定有横向外伸的凸杆(212),镀膜箱(1)的底板上设有第二导轨(101)。
3.根据权利要求1所述的一种设有前后门的镀膜箱设备,其特征在于:所述直角滑轨(22)成型有直向滑道(2201)和横向滑道(2202),直向滑道(2201)和横向滑道(2202)连接形成直角滑道,所述门板(21)的前端的凸杆(212)套接在横向滑道(2202)上,门板(21)的后端的凸杆(212)套接在直向滑道(2201)上,直角滑轨(22)的后侧固定有导向三角立柱(222)。
4.根据权利要求1所述的一种设有前后门的镀膜箱设备,其特征在于:所述升降齿条(23)的齿段的后面成型有导向三角开口槽(231),齿条(23)的外侧壁上固定有铰接臂(232),铰接臂(232)的前端成型有铰接孔,门板(21)的后端的一侧凸杆(212)套接在铰接孔内,所述导向三角立柱(222)套接在导向三角开口槽(231)内。
5.根据权利要求1所述的一种设有前后门的镀膜箱设备,其特征在于:所述位于镀膜箱(1)的前侧右端的升降齿条(23)的左侧设有位置感应器(4),位置感应器(4)固定在镀膜箱(1)的顶端,所述位于镀膜箱(1)的前侧右端的升降齿条(23)和镀膜箱(1)后侧左端的升降齿条(23)等高。
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