CN106435507B - 一种镀膜机旋转装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种镀膜机旋转装置，第一气缸通过气缸杆与第一轴顶端联动，第一轴下端与第一顶出凸轮联动，第一分度凸轮与第一柱面导轨卡合，第一柱面导轨设置在第二轴上，第一弹簧设置在第一轴的中下部，第一分度凸轮和第一盘与第一轴分别固定设置；第二气缸通过气缸杆与第二轴顶端联动，第二轴下端与第二顶出凸轮连接，第二分度凸轮与第二柱面导轨卡合，第二柱面导轨设置在第三轴上，第二弹簧设置在第二轴的中下部，第二分度凸轮和第二盘与第二轴分别固定设置；第三盘设置在第三轴上。本发明的产品结构简单，制造成本低，操作维护方便，工作可靠安全。

Description

一种镀膜机旋转装置
技术领域
本发明涉及镀膜机的辅助装置，尤其涉及一种镀膜机三盘多工位回转分度自动选位对位装置。
背景技术
镀膜机基片盘，掩膜盘一般采用实验人员人工进行基片和掩膜的选位及对位。实验人员选位、对位工作操作频繁，科研工作效率低。
授权公告号为CN203613254U的中国发明专利公开了一种真空镀膜机，包括真空罩和用于使真空罩内部保持真空状态的真空系统，真空罩内设置有伞架和蒸发源，伞架包括能够周向转动的转盘和若干个工件架，工件架分别与转盘通过各自转轴一相连，工件架沿转盘周向呈伞状分布，该真空镀膜机还包括能使工件架随着转盘周向转动的同时绕转轴一的中心线转动的驱动机构。上述镀膜机的蒸发源将镀膜材料加热蒸发，镀膜材料蒸发后向上扩散到工件架处，附着在温度较低的待镀膜工件上，形成薄膜，该镀膜机的不足之处在于，蒸发源位于真空罩的底部，工件架位于真空罩的顶部，导致工件(或基片)距离蒸发源的距离较远，因此会出现镀膜效果不佳的问题。
发明内容
为了解决现有人工选位对位不足的问题，本发明提供了一种能够提高镀膜工作效率，提高镀膜机的自动化率，回转分度对位速度快，定位准确可靠的镀膜机旋转装置。
本发明的目的是通过以下方案实现：
一种镀膜机旋转装置，包括包括第一轴、第一弹簧、第一顶出凸轮、第一分度凸轮、第一盘、第二轴、第二弹簧、第一柱面导轨、第二顶出凸轮、第二分度凸轮、第二盘、第三轴、第二柱面导轨、第三盘、第一气缸、第二气缸；所述第一气缸通过气缸杆与第一轴顶端联动，第一轴下端与第一顶出凸轮联动，第一分度凸轮与第一柱面导轨卡合，第一柱面导轨设置在第二轴上，第一弹簧设置在第一轴的中下部，第一轴与第一分度凸轮用螺栓固定，第一分度凸轮与第一盘用螺栓固定；所述第二气缸通过气缸杆与第二轴顶端联动，第二轴下端与第二顶出凸轮联动，第二分度凸轮与第二柱面导轨卡合，第二柱面导轨设置在第三轴上，第二弹簧设置在第二轴的中下部，第二轴与第二分度凸轮用螺栓固定，第二分度凸轮与第二盘用螺栓固定；所述第三盘设置在第三轴下端。
优选地，所述第一弹簧环绕第一轴一周，第二弹簧环绕第二轴一周。
优选地，所述第一柱面导轨、第二柱面导轨均设置有沿轴向延伸的导向槽和倾斜凸轮面；所述第一柱面导轨上的导向槽和倾斜凸轮面的数量分别为4-12个；所述第二柱面导轨上的导向槽和倾斜凸轮面的数量分别为4-12个。
优选地，所述第一分度凸轮、第二分度凸轮均设置导向突起和分度凸轮面；所述第一分度凸轮上的导向突起和分度凸轮面的数量分别为4-12个；所述第二分度凸轮上的导向突起和分度凸轮面的数量分别为4-12个。
优选地，所述第一顶出凸轮和第二顶出凸轮均设置有顶出齿；顶出齿的下端设置有顶出凸轮面；所述第一顶出凸轮和第二顶出凸轮的顶出齿数量均为4-12个。
优选地，所述顶出凸轮面、倾斜凸轮面能够与分度凸轮面分别卡合；所述顶出齿、导向突起能够在导向槽内沿轴向滑动。
优选地，所述第一轴为实心轴；第二轴为空心轴，设置在第一轴外部；第三轴为空心轴，设置在第二轴外部。
优选地，所述第一盘为蒸发孔盘，面上设置有一个正方形蒸发孔；第二盘为掩膜托盘，上面伞状均匀设置有4-12个正方形掩膜放置位置；第三盘为基片托盘，上面伞状均匀设置有4-12个正方形基片放置位置。
优选地，所述第一分度凸轮、第一盘与第一轴通过螺栓固定；所述第二盘、第一柱面导轨与第二轴分别通过螺栓固定；所述第二柱面导轨、第三盘通过螺栓固定在第三轴上。
优选地，所述第一弹簧通过轴用弹簧卡圈固定在第一轴上；所述第二弹簧通过轴用弹簧卡圈固定在第二轴上。
本发明的产品机结构简单，制造成本低，操作维护方便，工作可靠安全，能够提高镀膜工作效率，提高镀膜机的自动化率，回转分度对位速度快，定位准确可靠。本装置通过简单的气缸直线运动实现了基片托盘，掩膜托盘和蒸发孔盘的旋转分度对位，极大的减少了科研试验人员的手动劳动，提高了试验工作效率，同时本申请的产品属于首创，会给镀膜机旋转领域带来一定的影响。
附图说明
图1是本发明装置的剖视图；
图2是本发明装置的立体外观图。
具体实施方式
下面结合附图，对本发明进行详细的解释。
本实施例中，所述第一弹簧2环绕第一轴1一周，第二弹簧7环绕第二轴6一周。所述第一柱面导轨8、第二柱面导轨13均设置有沿轴向延伸的导向槽和倾斜凸轮面；所述第一分度凸轮4、第二分度凸轮10均设置导向突起和分度凸轮面；所述第一顶出凸轮和第二顶出凸轮均设置有顶出齿；顶出齿的下端设置有顶出凸轮面；所述顶出凸轮面、倾斜凸轮面能够与分度凸轮面分别卡合；所述顶出齿、导向突起能够在导向槽内沿轴向滑动。所述第一轴1为实心轴；第二轴6为空心轴，设置在第一轴外部；第三轴12为空心轴，设置在第二轴6的外部。所述第一分度凸轮4、第一盘5与第一轴1通过螺栓固定；所述第二盘11、第一柱面导轨8与第二轴6分别通过螺栓固定；所述第二柱面导轨13、第三盘14通过螺栓固定在第三轴12上。所述第一弹簧2通过轴用弹簧卡圈固定在第一轴1上；所述第二弹簧7通过轴用弹簧卡圈固定在第二轴6上。第一柱面导轨8上的导向槽和倾斜凸轮面的数量均为8个；所述第二柱面导轨13上的导向槽和倾斜凸轮面的数量均为8个。第一分度凸轮4上的导向突起和分度凸轮面的数量均为8个；所述第二分度凸轮10上的导向突起和分度凸轮面的数量均为8个。所述第一顶出凸轮3和第二顶出凸轮9的顶出齿数量均为8个。所述第一盘5上设置有一个正方形蒸发孔；第二盘11上面伞状均匀设置有8个正方形掩膜放置位置；第三盘14上面伞状均匀设置有8个正方形基片放置位置。
本发明的镀膜机旋转装置中的第一气缸15的气缸杆按压第一轴1顶端一次，第一轴1向下运动一个气缸行程，第一顶出凸轮3的顶出齿下部的顶出凸轮面抵住第一分度凸轮4的分度凸轮面沿着安装在第二轴6上的第一柱面导轨8的导向槽向下行走，当第一分度凸轮4的导向突起脱出第一柱面导轨8的导向槽后，在上述顶出凸轮面与分度凸轮面的作用下，第一分度凸轮4旋转。于是，第一分度凸轮4的分度凸轮面与第一柱面导轨8的倾斜凸轮面卡合，在第一弹簧2受压后的回弹力作用下，第一分度凸轮4的导向突起沿着第一柱面导轨8的倾斜凸轮面向上滑入柱面导轨的下一个导向槽中，第一分度凸轮4转动了一个分度，实现安装在第一分度凸轮4上的第一盘5旋转一个分度。
所述第二气缸16的气缸杆按压第二轴6顶端一次，第二轴6向下运动一个气缸行程，第二顶出凸轮9的顶出齿下部的顶出凸轮面抵住第二分度凸轮10的分度凸轮面沿着安装在第三轴12上的第二柱面导轨13的导向槽向下行走，当第二分度凸轮10的导向突起脱出第二柱面导轨13的导向槽后，在上述顶出凸轮面与分度凸轮面的作用下，第二分度凸轮10旋转。于是，第二分度凸轮10的分度凸轮面与第二柱面导轨13的倾斜凸轮面卡合，在第二弹簧7受压后的回弹力作用下，第二分度凸轮10的导向突起沿着第二柱面导轨13的倾斜凸轮面向上滑入柱面导轨的下一个导向槽中，第二分度凸轮10转动了一个分度。实现安装在第二分度凸轮10上的第二盘11旋转一个分度。第二气缸16向下按压第二轴6顶端时，安装在第二轴6上的第二盘11向下顶住第一盘5，由于气缸向下的顶出力及第二弹簧7和第一弹簧2受压后的回弹力的共同作用，第二盘11和第一盘5贴合。当气缸16的顶出作用导致第二盘11旋转分度时，第一盘5也同时旋转相同的分度。由此，第三盘14不旋转，第二盘11和第一盘5和分别通过各自的气缸顶出实现各自的旋转分度，即可实现三盘多工位的回转分度自动选位对位。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明披露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应该涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应该以权利要求书的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种镀膜机旋转装置，其特征在于，包括第一轴、第一弹簧、第一顶出凸轮、第一分度凸轮、第一盘、第二轴、第二弹簧、第一柱面导轨、第二顶出凸轮、第二分度凸轮、第二盘、第三轴、第二柱面导轨、第三盘、第一气缸、第二气缸；所述第一气缸通过气缸杆与第一轴顶端联动，第一轴下端与第一顶出凸轮联动，第一分度凸轮与第一柱面导轨卡合，第一柱面导轨设置在第二轴上，第一弹簧设置在第一轴的中下部，第一轴与第一分度凸轮用螺栓固定，第一分度凸轮与第一盘用螺栓固定；所述第二气缸通过气缸杆与第二轴顶端联动，第二轴下端与第二顶出凸轮联动，第二分度凸轮与第二柱面导轨卡合，第二柱面导轨设置在第三轴上，第二弹簧设置在第二轴的中下部，第二轴与第二分度凸轮用螺栓固定，第二分度凸轮与第二盘用螺栓固定；所述第三盘设置在第三轴下端。
2.根据权利要求1所述的镀膜机旋转装置，其特征在于，所述第一弹簧环绕第一轴一周，第二弹簧环绕第二轴一周。
3.根据权利要求1所述的镀膜机旋转装置，其特征在于，所述第一柱面导轨、第二柱面导轨均设置有沿轴向延伸的导向槽和倾斜凸轮面；所述第一柱面导轨上的导向槽和倾斜凸轮面的数量分别为4-12个；所述第二柱面导轨上的导向槽和倾斜凸轮面的数量分别为4-12个。
4.根据权利要求3所述的镀膜机旋转装置，其特征在于，所述第一分度凸轮、第二分度凸轮均设置导向突起和分度凸轮面；所述第一分度凸轮上的导向突起和分度凸轮面的数量分别为4-12个；所述第二分度凸轮上的导向突起和分度凸轮面的数量分别为4-12个。
5.根据权利要求4所述的镀膜机旋转装置，其特征在于，所述第一顶出凸轮和第二顶出凸轮均设置有顶出齿；顶出齿的下端设置有顶出凸轮面；所述第一顶出凸轮和第二顶出凸轮的顶出齿数量均为4-12个。
6.根据权利要求5所述的镀膜机旋转装置，其特征在于，所述顶出凸轮面、倾斜凸轮面能够与分度凸轮面分别卡合；所述顶出齿、导向突起能够在导向槽内沿轴向滑动。
7.根据权利要求1所述的镀膜机旋转装置，其特征在于，所述第一轴为实心轴；第二轴为空心轴，设置在第一轴外部；第三轴为空心轴，设置在第二轴外部。
8.根据权利要求1所述的镀膜机旋转装置，其特征在于，所述第一盘为蒸发孔盘，面上设置有一个正方形蒸发孔；第二盘为掩膜托盘，上面伞状均匀设置有4-12个正方形掩膜放置位置；第三盘为基片托盘，上面伞状均匀设置有4-12个正方形基片放置位置。
9.根据权利要求1所述的镀膜机旋转装置，其特征在于，所述第一分度凸轮、第一盘与第一轴通过螺栓固定；所述第二盘、第一柱面导轨与第二轴分别通过螺栓固定；所述第二柱面导轨、第三盘通过螺栓固定在第三轴上。
10.根据权利要求1所述的镀膜机旋转装置，其特征在于，所述第一弹簧通过轴用弹簧卡圈固定在第一轴上；所述第二弹簧通过轴用弹簧卡圈固定在第二轴上。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3652443A (en) * 1970-08-25 1972-03-28 Gillette Co Deposition apparatus
JP3264076B2 (ja) * 1994-01-31 2002-03-11 松下電器産業株式会社 真空処理装置
CN2510503Y (zh) * 2001-11-30 2002-09-11 陕西百纳科技发展有限责任公司 一种用于离子镀膜室的分度回转工作台装置
JP2014070241A (ja) * 2012-09-28 2014-04-21 Hitachi High-Technologies Corp 蒸着装置および蒸着方法
CN206127417U (zh) * 2016-11-10 2017-04-26 北京帕托真空技术有限公司 一种镀膜机旋转装置

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