CN106373852A - 一种等离子体处理装置 - Google Patents

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郑少梅
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    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32431—Constructional details of the reactor
    • H01J37/32798—Further details of plasma apparatus not provided for in groups H01J37/3244 - H01J37/32788; special provisions for cleaning or maintenance of the apparatus

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Abstract

本发明提供了一种等离子体处理装置，该装置包括外壳、电源、电极部件、驱动电机、弹簧、震动模块、设置在外壳内的反应室，电极部件设置于反应室内并与电源连接，震动模块设置于反应室内，震动模块上的圆盘上设置有多个凹点，驱动电机的圆盘上设置有两个凸点，凹点与凸点形成配合以在驱动电机圆盘运动时，使震动模块在弹簧的反作用力下形成均匀震动。本发明中电极部件通电形成高频电场将反应气体电离，颗粒材料在高频电场中进行表面处理，并且结合震动模块震动，颗粒材料在震动下翻转，可实现均匀处理，处理效果好。

Description

一种等离子体处理装置
技术领域
本发明涉及一种等离子体处理装置，尤其涉及对表面材料进行表面等离子体处理的装置。
背景技术
低温等离子体技术作为一种新的表面改性手段，能快速、高效、无污染地改善材料的表面性能，赋予新的特征，同时又不改变材料的本体特点，已经越来越被世界各国的研究人员所重视，等离子体表面处理是利用气体放电产生的等离子体对材料表面进行物理和化学反应。参与反应的有激发态粒子、自由基和离子，也包括等离子体辐射紫外线的作用。通过表面反应有可能在表面引入特定官能团，产生表面活化和刻蚀，形成交联结构或生成表面自由基。这些作用一般不是单一的，往往某种作用为主，几种作用并存。正是这些作用决定了等离子体表面处理的有效性。
现有技术中，通常采用平板电极作为电极组件，材料在电极组件之间进行表面处理，待处理材料处于静止状态，在针对颗粒材料，由于颗粒材料的堆积特性，容易造成材料堆积，导致材料处理不均匀，处理效果不理想。
因此，亟需一种颗粒材料表面等离子体处理装置。
发明内容
本发明的目的是克服现有技术存在的缺陷，提供一种等离子体处理装置，该装置用于对表面材料进行表面等离子体处理。
本发明提供了一种等离子体处理装置，所述装置包括外壳、电源、电极部件、驱动电机、弹簧、震动模块、设置在所述外壳内的反应室，所述电极部件设置于所述反应室内并与所述电源连接，所述震动模块设置于所述反应室内，所述震动模块上的圆盘上设置有多个凹点，所述驱动电机的圆盘上设置有两个凸点。
在上述等离子体处理装置中，所述外壳壁体上设置有用于反应气体进入所述反应室的气体入口和用于抽真空的抽气口。
在上述等离子体处理装置中，所述气体入口为一个或者多个，所述抽气口为一个或者多个。
在上述等离子体处理装置中，所述驱动电机为直流驱动电机。
在上述等离子体处理装置中，所述外壳的上方还设置有可拆卸的盖体。
本发明具有积极的效果：本发明中电极部件通电形成高频电场将反应气体电离，颗粒材料在高频电场中进行表面处理，并且结合震动模块震动，颗粒材料在震动下翻转，可实现均匀处理，处理效果好。
附图说明
为了使本发明的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本发明作进一步详细的说明，其中：
图1为根据本发明的实施例的等离子体处理装置的结构示意图。
图2为根据本发明的实施例的等离子处理体装置的仰视图。
图3为根据本发明的实施例的等离子处理体装置的剖视图。
其中：
1 驱动电机；
2 震动模块；
3 反应室；
4 玻璃盖体；
5 电极部件；
6 外壳；
7 弹簧；
8 震动模块上圆盘的凹点；
9 驱动电机圆盘上的凸点。
具体实施方式
为了更好的示出本发明的等离子体处理装置，现示例如下：
实施例1
如图1所示，本发明提供对表面材料进行表面等离子体处理的装置，等离子体处理装置包括驱动电机1、震动模块2、外壳6、电源(图中未示出)、电极部件5、和弹簧7、外壳6上方可拆卸设置有盖体4，外壳6壁体上设置有用于反应气体进入外壳内的气体入口和用于抽真空的抽气口，外壳6内设置有反应室3，电极部件5为一对竖直设置于反应室3内的平板电极，该对平板电极分别与电源连接，震动模块2设置于反应室3内并设置于两个平板电极部件之间，并且震动模块2上的圆盘上设置有多个凹点8，驱动电机1的圆盘上设置有凸点9，凸点9共两个，与圆心相对称，驱动电机1上的圆盘与电机轴通过过盈配合或者通过键进行链接。震动模块2上的圆盘与震动模块为一体或者通过螺钉链接。震动模块上圆盘的凹点8与驱动电机圆盘上的凸点9形成配合，在驱动电机圆盘运动时使震动模块2在弹簧7的反作用力下形成均匀震动。
本实施例中平板电极部件通电形成高频电场将反应气体电离，颗粒材料在高频电场中进行表面处理，并且结合震动模块2震动，颗粒材料在震动下翻转，可实现均匀处理，处理效果好。
实施例2
作为优选实施例，其余与实施例1相同，不同之处在于，本实施例提供的盖体4为玻璃盖体，可方便查看颗粒材料在处理过程中的工作情况。
以上所述的具体实施例，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种等离子体处理装置，其特征在于，所述装置包括外壳、电源、电极部件、驱动电机、弹簧、震动模块、设置在所述外壳内的反应室，所述电极部件设置于所述反应室内并与所述电源连接，所述震动模块设置于所述反应室内，所述震动模块上的圆盘上设置有多个凹点，所述驱动电机的圆盘上设置有两个凸点，所述凹点与所述凸点形成配合以在驱动电机圆盘运动时，使所述震动模块在所述弹簧的反作用力下形成均匀震动。
2.根据权利要求1所述的等离子体处理装置，其特征在于，所述外壳壁体上设置有用于反应气体进入所述反应室的气体入口和用于抽真空的抽气口。
3.根据权利要求1所述的等离子体处理装置，其特征在于，所述气体入口为一个或者多个，所述抽气口为一个或者多个。
4.根据权利要求1所述的等离子体处理装置，其特征在于，所述驱动电机为直流驱动电机。
5.根据权利要求1所述的等离子体处理装置，其特征在于，所述外壳的上方还设置有可拆卸的盖体。
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