CN106276764B - 一种兼容式掩模化学品供液系统 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种兼容式掩模化学品供液系统，包括集中加液桶、气控阀、第一主电磁阀、第二主电磁阀、手动调节阀、控制电路和压缩空气罐,集中加液桶连接抽液泵，抽液泵与第一主电磁阀的输入端连接，第一主电磁阀的输出端与数个气控阀的输入端连接，本系统装置包括集中加液桶，然后根据不同设备不同时间，实施自动供液。工作原理为：例如其中一个设备本体内部加液槽低于设定液位时，液位传感器将液位信号转化为电信号发送到设备，设备会向加液系统发出一个请求加液的信号，加液系统会自动打开气控阀，同时启动抽液泵，开始自动抽液到设备本体。

Description

一种兼容式掩模化学品供液系统
技术领域
本发明涉及一种供液系统,更确切的说是一种兼容式掩模化学品供液系统。
背景技术
目前掩模工厂往往有多台设备使用统一规格的化学品溶液，每台设备内部都有一个或多个加液桶，由于设备内部加液桶一般是密封的，且由于环境和安全因素的要求，不允许人员直接往设备内部加液桶加液，设备会自带一个自动加液装置，溶液必须经过自动加液系统往设备内部自动加液。由于设备不同，自带的加液系统种类多，占用体积较大，人员需多次为不同设备的加液系统添加溶液，由于多次手动加液，容易造成溶液二次污染，且设备维护成本较高。
发明内容
本发明的目的是提供一种兼容式掩模化学品供液系统，能够解决上述的问题。
本发明为实现上述目的，通过以下技术方案实现：
一种兼容式掩模化学品供液系统，包括集中加液桶、气控阀、第一主电磁阀、第二主电磁阀、手动调节阀、控制电路和压缩空气罐,集中加液桶连接抽液泵，抽液泵与第一主电磁阀的输入端连接，第一主电磁阀的输出端与数个气控阀的输入端连接，气控阀的输出端连接设备本体,设备本体内部安装液位传感器,压缩空气罐与第二主电磁阀的输入端连接，第二主电磁阀的输出端与手动调节阀的输入端连接，手动调节阀的输出端与分电磁阀的控制端连接，所述控制电路包括继电器控制端、第一主电磁阀和继电器受控端，继电器控制端、第一主电磁阀和继电器受控端的电源输入端均与电源连接，继电器控制端通过导线连接频率发生器和第一主电磁阀，继电器受控端与分电磁阀控制端连接。
为了进一步实现本发明的目的，还可以采用以下技术方案:所述手动调节阀与分电磁阀之间安装压力表。所述压缩空气罐与第二主电磁阀之间安装压力传感器。
本发明的优点在于：本系统装置包括集中加液桶，然后根据不同设备不同时间，实施自动供液。工作原理为：例如其中一个设备本体内部加液槽低于设定液位时，液位传感器将液位信号转化为电信号发送到设备，设备会向加液系统发出一个请求加液的信号，加液系统会自动打开气控阀，同时启动抽液泵，开始自动抽液到设备本体。当号设备加液槽到达设定液位时，设备本体终止加液请求信号，同时集中加液桶停止供液，本次自动加液完成，同理其他设备自动加液也是如此。本系统的控制部分的电路图，该系统需伏直流电源、若干个继电器、电磁阀等部件。工作原理为：设备本体内部加液槽低于设定液位时，设备会向加液系统发出一个请求加液的信号，驱动继电器控制端，继电器控制端的一路闭合驱动频率发生器工作和第一主电磁阀，K继电器的另一路闭合驱动X电磁阀。分别就K继电器的工作原理介绍：K继电器的一路闭合驱动K频率发生器工作，产生脉冲频率，驱动X电磁阀，X电磁阀再驱动Y抽液泵，同时X电磁阀打开驱动Y气控阀打开，让液体通过Y阀。继电器受控端闭合驱动分电磁阀，打开气控阀，使液体通过气控阀进入到设备本体。控制流程为：设备本体的液位传感器发出加液请求信号，气控阀打开，抽液泵开始工作，抽液开始。设备本体已加满时，液位传感器停止发出加液请求信号，抽液泵停止工作，气控阀自动关闭，本次自动加液完成，同理其他设备自动加液也是如此。压力传感器为检测该供液系统压缩空气的压力，当压力传感器检测到压缩空气压力低于设定值时，第二主电磁阀关闭，确保压缩空气无法驱动后续的气控部件，保护供液系统的安全。手动调节阀作用是调节气动元件需求的气体压力，通过压力表能够直接观察压缩空气的压力值。本发明还具有结构简洁紧凑、制造成本低廉和使用简便的优点。
附图说明
附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。在附图中：
图1为本发明的结构示意图；
图2为本系统的驱动部分的气路图。
标注部件：1第一主电磁阀 2抽液泵 3液位传感器 4集中加液桶 5气控阀 6分电磁阀 7设备本体 8压缩空气罐 9压力传感器 10压力表 11手动调节阀 12第二主电磁阀13继电器控制端 14频率发生器 16继电器受控端。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本发明，并不用于限定本发明。
一种兼容式掩模化学品供液系统，如图1和图2所示，包括集中加液桶4、气控阀5、第一主电磁阀1、第二主电磁阀12、手动调节阀11、控制电路和压缩空气罐8,集中加液桶4连接抽液泵2，抽液泵2与第一主电磁阀1的输入端连接，第一主电磁阀1的输出端与数个气控阀5的输入端连接，气控阀5的输出端连接设备本体7,设备本体7内部安装液位传感器3,压缩空气罐8与第二主电磁阀12的输入端连接，第二主电磁阀12的输出端与手动调节阀11的输入端连接，手动调节阀11的输出端与分电磁阀6的控制端连接，所述控制电路包括继电器控制端13、第一主电磁阀1和继电器受控端16，继电器控制端13、第一主电磁阀1和继电器受控端16的电源输入端均与电源连接，继电器控制端13通过导线连接频率发生器14和第一主电磁阀1，继电器受控端16与分电磁阀6控制端连接。
本系统装置包括集中加液桶4，然后根据不同设备不同时间，实施自动供液。工作原理为：例如其中一个设备本体7内部加液槽低于设定液位时，液位传感器3将液位信号转化为电信号发送到设备，设备会向加液系统发出一个请求加液的信号，加液系统会自动打开气控阀5，同时启动抽液泵2，开始自动抽液到设备本体7。当1号设备加液槽到达设定液位时，设备本体7终止加液请求信号，同时集中加液桶4停止供液，本次自动加液完成，同理其他设备自动加液也是如此。本系统的控制部分的电路图，该系统需24伏直流电源、若干个继电器、电磁阀等部件。工作原理为：设备本体7内部加液槽低于设定液位时，设备会向加液系统发出一个请求加液的信号，驱动继电器控制端13，继电器控制端13的一路闭合驱动频率发生器14工作和第一主电磁阀1，K1继电器的另一路闭合驱动X11电磁阀。分别就K1继电器的工作原理介绍：K1继电器的一路闭合驱动K0频率发生器工作，产生脉冲频率，驱动X1电磁阀，X1电磁阀再驱动Y抽液泵，同时X0电磁阀打开驱动Y0气控阀打开，让液体通过Y0阀。继电器受控端16闭合驱动分电磁阀6，打开气控阀5，使液体通过气控阀5进入到设备本体7。控制流程为：设备本体7的液位传感器3发出加液请求信号，气控阀5打开，抽液泵2开始工作，抽液开始。设备本体7已加满时，液位传感器3停止发出加液请求信号，抽液泵2停止工作，气控阀5自动关闭，本次自动加液完成，同理其他设备自动加液也是如此。压力传感器9为检测该供液系统压缩空气的压力，当压力传感器9检测到压缩空气压力低于设定值时，第二主电磁阀12关闭，确保压缩空气无法驱动后续的气控部件，保护供液系统的安全。手动调节阀11作用是调节气动元件需求的气体压力，通过压力表10能够直接观察压缩空气的压力值。
所述手动调节阀11与分电磁阀6之间安装压力表10。
所述压缩空气罐8与第二主电磁阀12之间安装压力传感器9。
最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (3)

1.一种兼容式掩模化学品供液系统，其特征在于：包括集中加液桶(4)、气控阀(5)、第一主电磁阀(1)、第二主电磁阀(12)、手动调节阀(11)、控制电路和压缩空气罐(8),集中加液桶(4)连接抽液泵(2)，抽液泵(2)与第一主电磁阀(1)的输入端连接，第一主电磁阀(1)的输出端与数个气控阀(5)的输入端连接，气控阀(5)的输出端连接设备本体(7),设备本体(7)内部安装液位传感器(3),压缩空气罐(8)与第二主电磁阀(12)的输入端连接，第二主电磁阀(12)的输出端与手动调节阀(11)的输入端连接，手动调节阀(11)的输出端与分电磁阀(6)的控制端连接；所述控制电路包括继电器控制端(13)、第一主电磁阀(1)和继电器受控端(16)，继电器控制端(13)、第一主电磁阀(1)和继电器受控端(16)的电源输入端均与电源连接，继电器控制端(13)通过导线连接频率发生器(14)和第一主电磁阀(1)，继电器受控端(16)与分电磁阀(6)控制端连接。
2.根据权利要求1所述的兼容式掩模化学品供液系统，其特征在于：所述手动调节阀(11)与分电磁阀(6)之间安装压力表(10)。
3.根据权利要求1所述的兼容式掩模化学品供液系统，其特征在于：所述压缩空气罐(8)与第二主电磁阀(12)之间安装压力传感器(9)。
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