CN106200271A - 涂布机 - Google Patents

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张余堂
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    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor

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Abstract

本发明提供一种涂布机，用于向基板上涂布光刻胶，所述涂布机设有驱动马达、线性喷嘴和挡片，所述驱动马达用于驱动所述线性喷嘴进行前后或上下运动，所述线性喷嘴包括用于向下方喷涂所述光刻胶的喷口，所述挡片设置在所述喷口的端部，以用于阻挡所述喷口的所述端部向所述基板涂布所述光刻胶。根据本发明的涂布机无需在基板的边缘区域进行光刻胶涂布，能够省去基板的曝边工艺，从而能够节省曝边机的设备成本，并且降低产品不良的风险。

Description

涂布机
技术领域
本发明涉及机械加工领域，尤其是一种涂布机。
背景技术
在现有的TFT-LCD(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display,薄膜晶体管液晶显示器)产品的生产制程中，曝光制程是其必要过程。
目前曝光制程工艺流程中，首先需要在基板上涂布光刻胶，完成涂布后，然后会对光刻胶进行曝光显影处理。但是曝光后还需要对非图案区域的边缘区域进行曝光处理后再进行显影处理。因此，在建厂阶段进行设备投资时，需要增加购买曝边机的设备成本，占用无尘室空间，增加无尘室建设成本。并且还需要增加曝边工艺，增加制程工艺流程，增加整体设备运行成本，而且在增加工艺流程的过程中会增加产品不良风险。
发明内容
本发明提供一种涂布机，无需在基板的边缘区域进行光刻胶涂布，能够省去基板的曝边工艺，从而能够节省曝边机的设备成本，并且降低产品不良的风险。
本发明提供一种涂布机，用于向基板上涂布光刻胶，其特征在于，所述涂布机设有驱动马达、线性喷嘴和挡片，所述驱动马达用于驱动所述线性喷嘴进行前后或上下运动，所述线性喷嘴包括用于向下方喷涂所述光刻胶的喷口，所述挡片设置在所述喷口的端部，以用于阻挡所述喷口的所述端部向所述基板涂布所述光刻胶。
其中，所述挡片的宽度能够调整。
其中，所述挡片与所述线性喷嘴之间形成卡扣配合。
其中，所述挡片的数量为三个，其中两个所述挡片分别设置在所述喷口的两端部，另一所述挡片设置在所述喷口的中央位置，三个所述挡片中的相邻两个所述挡片将所述喷口分割成第一喷口和第二喷口。
其中，所述驱动马达包括线性马达和上升马达，所述线性马达用于驱动所述线性喷嘴前进或后退，所述上升马达用于驱动所述线性喷嘴上升或下降。
其中，还包括控制器，所述控制器分别与所述线性马达和所述上升马达电连接。
其中，所述线性喷嘴还包括主体部，所述喷口位于所述主体部的朝向所述基板的一侧，所述挡片固定在所述主体部上。
其中，所述挡片包括上折沿，所述挡片通过所述上折沿固定在所述主体部上。
其中，所述挡片的材质与所述主体部的材质相同。
其中，所述基板为玻璃基板。
相较于现有技术，根据本发明的涂布机设有线性喷嘴，线性喷嘴的喷口的端部设置有挡片，当涂布机向位于线性喷嘴下方的基板涂布光刻胶时，挡片能够阻挡喷口的端部向基板的边缘区域涂布光刻胶，并且涂布机的驱动马达能够驱动线性喷嘴前进、后退、上升或下降，线性喷嘴下降到一定位置时，才会进行涂布工作，因而通过控制线性喷嘴的运动，能够避免向基板的另一方向的边缘区域涂布光刻胶，以实现基板的四周边缘位置均无光刻胶涂布，能够省去基板的曝边工艺，从而能够节省曝边机的设备成本，并且降低产品不良的风险。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是根据本发明的涂布机的线性喷嘴的结构示意图；
图2是根据本发明的完成涂布处理后的基板的平面示意图；
图3是根据本发明的涂布机的电路结构示意图；
图4是根据本发明的涂布机的线性喷嘴在工作时的运动过程示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
参照图1和图2，其中图1示出根据本发明的涂布机的线性喷嘴1的结构示意图，图2示出根据本发明的完成涂布处理后的基板2，图2中的箭头方向表示线性喷嘴1的前进方向。在图1中，线性喷嘴1用于为基板2涂布光刻胶3，线性喷嘴1包括主体部11和喷口12，该线性喷嘴1的喷口两端和中间位置设有挡片4，相邻的挡片4将喷口12分割成第一喷口121和第二喷口122，挡片4通过其外折沿41固定到主体部11上，挡片4用于阻挡喷口12向基板2的第一边缘区域21和第一中间区域22涂布光刻胶，该第一边缘区域21和第一中间区域22的宽度与挡片4的宽度相适应，并且延伸方向与线性喷嘴1的运动方向一致。涂布机还设有驱动马达(未示出)和线性导轨(未示出)，该驱动马达用于驱动线性喷嘴1进行前后或上下运动，其中，线性喷嘴1会沿着线性导轨做前后运动。线性喷嘴1在运动过程中，会进行上升或下降运动，线性喷嘴1在上升状态时，停止喷涂，其下降到一定位置，才会向基板2喷涂光刻胶，因此通过精准地控制线性喷嘴1的前进和上升，能够避免向平行于线性喷嘴的方向上延伸的第二边缘区域23和第二中间区域24上涂布光刻胶，以实现基板的四周边缘位置和中间位置均无光刻胶涂布，形成如图2所示的四个“口”字形区域，因而在满足基板2的特定涂布需求时，能够省去基板2的曝边工艺，从而能够节省曝边机的设备成本，并且降低产品不良的风险。
当然，根据基板2的涂布要求，位于线性喷嘴1的中间位置处的挡片4可以省去，仍能够省去基板2的曝边工艺，从而能够节省曝边机的设备成本，并且降低产品不良的风险。
优选地，挡片4与线性喷嘴1形成卡扣配合，因此挡片4可以更换，从而可以利用不同宽度的挡片4进行涂布作业，从而可以适应基板2的不同涂布工作的要求。
优选地，挡片4的材质与主体部11的材质相同，例如均为金属，以提高挡片4和主体部11的耐用性，并且保证统一的外观。
参照图3，示出根据本发明的涂布机的电路结构示意图，其中，涂布机的驱动马达包括线性马达51和上升马达52，线性马达51用于驱动线性喷嘴1前进或后退，上升马达52用于驱动线性喷嘴1上升或下降，并且涂布机还设有控制器6，控制器6分别与线性马达51和上升马达52电连接，控制器6用于控制线性马达51和上升马达52，从而能够精准地控制线性喷嘴1的前进或上升，从而完成光刻胶的涂布。
参照图4，示出根据本发明的涂布机的线性喷嘴1在工作时的运动过程示意图，线性喷嘴1在第二边缘区域23上方处于上升状态，继续运动超过第二边缘区域23时，线性喷嘴1下降至一定位置，对基板2涂布光刻胶3，当运动到第二中间区域24处时，线性喷嘴1上升至第二中间区域24的上方，并停止喷涂作业，当超过第二中间区域24时，线性喷嘴1下降，继续向基板2涂布光刻胶3，当运动至基板2的另一端的第二边缘区域23时，线性喷嘴1继续上升至此处的第二边缘区域23的上方，停止喷涂作业。线性喷嘴1的运动由线性马达51和上升马达52驱动，并由控制器6进行精准控制，因此，能够避免向平行于线性喷嘴1的方向上延伸的第二边缘区域23和第二中间区域24上涂布光刻胶，以实现基板的四周边缘位置和中间位置均无光刻胶涂布，在满足基板2的特定涂布需求时，能够省去基板2的曝边工艺，从而能够节省曝边机的设备成本，并且降低产品不良的风险。
当然，本实施例中提供的基板2可以为玻璃基板，也可以为其他材料的透明基板，这里不再一一举例。
以上所揭露的仅为本发明较佳实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程，并依本发明权利要求所作的等同变化，仍属于发明所涵盖的范围。

Claims (10)

1.一种涂布机，用于向基板上涂布光刻胶，其特征在于，所述涂布机设有驱动马达、线性喷嘴和挡片，所述驱动马达用于驱动所述线性喷嘴进行前后或上下运动，所述线性喷嘴包括用于向下方喷涂所述光刻胶的喷口，所述挡片设置在所述喷口的端部，以用于阻挡所述喷口的所述端部向所述基板涂布所述光刻胶。
2.如权利要求1所述的涂布机，其特征在于，所述挡片的宽度能够调整。
3.如权利要求2所述的涂布机，其特征在于，所述挡片与所述线性喷嘴之间形成卡扣配合。
4.如权利要求1-3任一项所述的涂布机，其特征在于，所述挡片的数量为三个，其中两个所述挡片分别设置在所述喷口的两端部，另一所述挡片设置在所述喷口的中央位置，三个所述挡片中的相邻两个所述挡片将所述喷口分割成第一喷口和第二喷口。
5.如权利要求4所述的涂布机，其特征在于，所述驱动马达包括线性马达和上升马达，所述线性马达用于驱动所述线性喷嘴前进或后退，所述上升马达用于驱动所述线性喷嘴上升或下降。
6.如权利要求5所述的涂布机，其特征在于，还包括控制器，所述控制器分别与所述线性马达和所述上升马达电连接。
7.如权利要求6所述的涂布机，其特征在于，所述线性喷嘴还包括主体部，所述喷口位于所述主体部的朝向所述基板的一侧，所述挡片固定在所述主体部上。
8.如权利要求7所述的涂布机，其特征在于，所述挡片包括上折沿，所述挡片通过所述上折沿固定在所述主体部上。
9.如权利要求8所述的涂布机，其特征在于，所述挡片的材质与所述主体部的材质相同。
10.如权利要求9所述的涂布机，其特征在于，所述基板为玻璃基板。
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