CN106196884B - 一种从氖气中分离21Ne的方法 - Google Patents
一种从氖气中分离21Ne的方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN106196884B CN106196884B CN201610627757.2A CN201610627757A CN106196884B CN 106196884 B CN106196884 B CN 106196884B CN 201610627757 A CN201610627757 A CN 201610627757A CN 106196884 B CN106196884 B CN 106196884B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- neon
- heat exchanger
- low
- rectifying tower
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 36
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 150
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 135
- GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N neon atom Chemical compound [Ne] GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 133
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 118
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 102
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims abstract description 62
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 51
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims abstract description 26
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 23
- 238000009833 condensation Methods 0.000 claims description 97
- 230000005494 condensation Effects 0.000 claims description 93
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 16
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 12
- 238000004821 distillation Methods 0.000 claims description 8
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 8
- 238000010992 reflux Methods 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 abstract 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 13
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 description 9
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 238000000197 pyrolysis Methods 0.000 description 5
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 4
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 4
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000009776 industrial production Methods 0.000 description 2
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 2
- 238000011160 research Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- YZCKVEUIGOORGS-OUBTZVSYSA-N Deuterium Chemical compound [2H] YZCKVEUIGOORGS-OUBTZVSYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 229910052729 chemical element Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 229910052805 deuterium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000005372 isotope separation Methods 0.000 description 1
- 239000002075 main ingredient Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000004064 recycling Methods 0.000 description 1
- 238000005057 refrigeration Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J3/00—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification
- F25J3/08—Separating gaseous impurities from gases or gaseous mixtures or from liquefied gases or liquefied gaseous mixtures
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J2200/00—Processes or apparatus using separation by rectification
- F25J2200/04—Processes or apparatus using separation by rectification in a dual pressure main column system
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J2215/00—Processes characterised by the type or other details of the product stream
- F25J2215/32—Neon
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J2220/00—Processes or apparatus involving steps for the removal of impurities
- F25J2220/90—Separating isotopes of a component, e.g. H2, O2
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J2270/00—Refrigeration techniques used
- F25J2270/90—External refrigeration, e.g. conventional closed-loop mechanical refrigeration unit using Freon or NH3, unspecified external refrigeration
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Separation By Low-Temperature Treatments (AREA)
Abstract
本发明提供了从氖气中分离21Ne的方法,其采用低温精馏法实施,主要包括如下步骤:将高纯Ne原料气与循环氖气合并、压缩、冷却,然后进入分离设备(2),依次经高温段换热器(3)、液氮冷却器(4)和低温段换热器(6)冷却得到低温氖气,分流为三股,第一股通过调节阀(7)节流减压后进入精馏塔(11)进行精馏;第二股通过调节阀(8)节流减压后,生成液体Ne,被输送入冷凝蒸发器(9)而作为冷源;第三股通过调节阀(13)节流减压后,生成液体Ne,被输送入冷凝蒸发器(15)而作为冷源;同时合理回收利用多种物料的冷量;最终21Ne气体从塔顶抽出后也先被回收冷量,再作为产品输出,21Ne的纯度和产量均优于现有技术。
Description
技术领域
本发明涉及一种Ne同位素的分离提纯方法,具体涉及一种通过低温精馏法从氖气中分离21Ne的方法。
背景技术
Ne(氖)是一种化学元素,它的原子序数为10,在自然界中以单质存在,称为氖气,是一种稀有的惰性气体。Ne主要具有三种同位素:20Ne、21Ne和22Ne,其中20Ne约占90.48%,22Ne约占9.25%,而21Ne则仅约占0.257%。由此可见,21Ne的分离纯化相对于Ne的其它同位素而言更加困难。
现有技术中,1956年《The Journal Of Chemical Physics》第24期报道了克劳修斯等人用一般的热扩散柱制备出了99%以上的22Ne和20Ne以及13%的21Ne,然后用氘甲烷作辅助气体将21Ne进一步浓缩到99.6%;而在1940年,克劳修斯的研究团队成功地提取了99.8%的20Ne和99.7%的22Ne各2.5升。
1969年美国原子能委员会Mound实验室报告,他们采用四柱四级热扩散塔级联分离氖同位素,能够以4.2升/天的产量得到99.95%的20Ne,以0.56升/天的产量得到2.0%的21Ne,以0.22升/天的产量得到99.8%的22Ne。然而,采用该方法制备高丰度的Ne同位素气体,往往存在产量低和生产周期长的缺陷。
目前,热扩散法是Ne同位素分离提纯中较为成熟的方法,但热扩散法仍然存在产量低,周期长等缺陷,也不适于大规模工业化生产。
因此,研发出一种适于大规模工业化生产的分离21Ne的方法,成为当今本领域研发人员的研究热点之一。
发明内容
本发明旨在克服上述现有技术中存在的种种缺陷,特别是针对21Ne产量低、浓缩难度大的技术问题,提供了一种从氖气中高效分离出高纯度21Ne的方法。为达到此目的,发明人拟采用低温精馏法,以大规模分离出高纯度21Ne,且获得所需的产量。
因此,本发明提供了一种从氖气中分离21Ne的方法,其采用低温精馏法实施,具体包括如下步骤:
将高纯Ne原料气与循环氖气合并,输送入压缩机1压缩至7~9MPa(g),接着经冷却器进行冷却,得到压缩冷却的氖气;然后,将所述压缩冷却的氖气输送入分离设备2;
在所述分离设备2内:所述压缩冷却的氖气先进入高温段换热器3进行降温,接着进入液氮冷却器4冷却,最后进入低温段换热器6进一步冷却,输出低温氖气;
所述低温氖气分流为三股:其中第一股通过调节阀7节流减压至0.1~0.2MPa(g)后,进入精馏塔11进行精馏;其中第二股通过调节阀8节流减压至0.02MPa(g)后,生成液体Ne,被输送入设置在精馏塔11顶部的冷凝蒸发器9而作为冷源;其中第三股通过调节阀13节流减压至0.02MPa(g)后,生成液体Ne,被输送入设置在精馏塔17顶部的冷凝蒸发器15而作为冷源;
其中,所述液氮冷却器4、所述低温段换热器6、所述精馏塔11、所述冷凝蒸发器9、所述精馏塔17和所述冷凝蒸发器15均被容纳于冷屏5围成的空间中,且所述空间保持1×10-6Pa至1×10-2Pa的真空度;其中,所述冷屏5内部通液氮,用于维持所述空间中的低温工况;所述冷凝蒸发器9具有冷凝蒸发器外壳10,所述精馏塔11的底部设置有精馏塔底电加热器12,通过该精馏塔底电加热器12对塔底液体加热得到上升气;所述冷凝蒸发器15具有冷凝蒸发器外壳16,所述精馏塔17的底部设置有精馏塔底电加热器18,通过该精馏塔底电加热器18对塔底液体加热得到上升气;
其中,所述精馏塔11内部填有规整填料,待分离的氖气中主要含有22Ne、21Ne和20Ne组分;其中,22Ne与21Ne的沸点相对较高,所以在液体中积聚;20Ne的沸点相对较低,所以在气体中积聚。
因此,所述精馏塔11的塔顶生成20Ne气体,分流为两部分输出,一部分依次经所述低温段换热器6和所述高温段换热器3回收冷量,之后从所述分离设备2排出;另一部分通过所述冷凝蒸发器9,并从其冷凝侧生成冷凝Ne液,回流至所述精馏塔11内,成为塔内的下降液体;所述精馏塔11的底部生成一股21Ne与22Ne的混合氖液,通过调节阀14进入所述精馏塔17;
同样地,所述精馏塔17内部填有规整填料,21Ne与22Ne的混合氖液中,22Ne的沸点相对较高,所以在液体中积聚;21Ne沸点相对较低,所以在气体中积聚。
其中,所述冷凝蒸发器15的冷凝侧生成冷凝Ne液,回流至所述精馏塔17内,成为塔内的下降液体;随着精馏的进行,21Ne气体在所述精馏塔17的塔顶不断富集,直至纯度达到99.8%后,从塔顶抽出,依次经所述低温段换热器6和所述高温段换热器3回收冷量后,作为21Ne气体产品从所述分离设备2输出;所述精馏塔17的底部生成一股主要含22Ne的氖液,依次经所述低温段换热器6和所述高温段换热器3回收冷量,之后从所述分离设备2排出;
所述冷凝蒸发器9与所述冷凝蒸发器15的顶部以及所述冷凝蒸发器15的蒸发侧分别生成一股制冷循环氖气,合并后,依次经所述低温段换热器6和所述高温段换热器3回收冷量,生成所述循环氖气。
此外,值得说明的是,所述精馏塔11内的压力比所述冷凝蒸发器9的蒸发压力高,产生了所述冷凝蒸发器9两侧的温差,使两侧热量可以交换;冷凝蒸发器9冷凝侧温度比蒸发侧温度高1℃以上时,换热可进行。同理可知,所述精馏塔17内的压力比所述冷凝蒸发器15的蒸发压力高,其换热条件与上述情况相同,即所述冷凝蒸发器15两侧存在温差且冷凝侧温度比蒸发侧温度高1℃以上。
优选地,在上述方法中,所述冷却器设置在所述压缩机1内或者独立于所述压缩机1设置。
优选地,在上述方法中,在所述分离设备2内,所述压缩冷却的氖气先进入高温段换热器3降温至-140℃~-150℃,接着进入液氮冷却器4冷却至-190℃~-195℃,最后进入低温段换热器6进一步冷却至-219℃~-224℃,输出低温氖气。
进一步优选地,在上述方法中,在所述分离设备2内,所述压缩冷却的氖气先进入高温段换热器3降温至-145℃,接着进入液氮冷却器4冷却至-193℃,最后进入低温段换热器6进一步冷却至-221℃,输出低温氖气。
优选地,在上述方法中,所述液氮冷却器4的冷源为所述分离设备2外部独立提供的液氮或与所述冷屏5内部共用的液氮。
优选地,在上述方法中,所述主要含22Ne的氖液中22Ne的纯度为99.5%。
优选地,在上述方法中,所述高纯Ne原料气与所述循环氖气的流量比为3:62。
优选地,在上述方法中,在所述分离设备(2)内,所述低温氖气分流为三股,其中,第一股低温氖气的流量:第二股低温氖气的流量:第三股低温氖气的流量= 3:33.4:28.6。
与现有技术相比,本发明具有以下优点:
①通过抽真空和通液氮确保所述分离设备2内的最低工作温度为24.5K,并确保所述冷屏5围成的空间中的工况温度低于77K,有效地防止辐射传热损失,使得主要工艺过程实现了绝热;②合理回收利用多种物料的冷量,例如,所述制冷循环氖气的冷量,以用于冷却高纯Ne原料气,从而有效减少冷却降温的成本;③利用调节阀对所述低温氖气进行节流减压,从而产生27.7K的低温冷量,高效实施低温精馏;④采用本发明所提供的方法分离纯化的21Ne气体产品,不但纯度(丰度)达标,而且产量很高;此外,还能够同时分离获得纯度为99.5%的22Ne副产品。
附图说明
图1为本发明所述从氖气中分离21Ne的方法的工艺流程示意图;
其中:1-压缩机,2-分离设备,3-高温段换热器,4-液氮冷却器,5-冷屏,6-低温段换热器,7-调节阀,8-调节阀,9-冷凝蒸发器,10-冷凝蒸发器外壳,11-精馏塔,12-精馏塔底电加热器,13-调节阀,14-调节阀,15-冷凝蒸发器,16-冷凝蒸发器外壳,17-精馏塔,18-精馏塔底电加热器。
具体实施方式
下面结合具体实施方式对本发明作进一步阐述,但本发明并不限于以下实施方式。
一种从氖气中分离21Ne的方法,其采用低温精馏法实施,具体包括如下步骤:
将高纯Ne原料气与循环氖气合并,输送入压缩机1压缩至7~9MPa(g),接着经冷却器进行冷却,得到压缩冷却的氖气;然后,将所述压缩冷却的氖气输送入分离设备2;
在所述分离设备2内:所述压缩冷却的氖气先进入高温段换热器3进行降温,接着进入液氮冷却器4冷却,最后进入低温段换热器6进一步冷却,输出低温氖气;
所述低温氖气分流为三股:其中第一股通过调节阀7节流减压至0.1~0.2MPa(g)后,进入精馏塔11进行精馏;其中第二股通过调节阀8节流减压至0.02MPa(g)后,生成液体Ne,被输送入设置在精馏塔11顶部的冷凝蒸发器9而作为冷源;其中第三股通过调节阀13节流减压至0.02MPa(g)后,生成液体Ne,被输送入设置在精馏塔17顶部的冷凝蒸发器15而作为冷源;
其中,所述液氮冷却器4、所述低温段换热器6、所述精馏塔11、所述冷凝蒸发器9、所述精馏塔17和所述冷凝蒸发器15均被容纳于冷屏5围成的空间中,且所述空间保持1×10-6Pa至1×10-2Pa的真空度;其中,所述冷屏5内部通液氮,用于维持所述空间中的低温工况;所述冷凝蒸发器9具有冷凝蒸发器外壳10,所述精馏塔11的底部设置有精馏塔底电加热器12,通过该精馏塔底电加热器12对塔底液体加热得到上升气;所述冷凝蒸发器15具有冷凝蒸发器外壳16,所述精馏塔17的底部设置有精馏塔底电加热器18,通过该精馏塔底电加热器18对塔底液体加热得到上升气;
所述精馏塔11的塔顶生成20Ne气体,分流为两部分输出,一部分依次经所述低温段换热器6和所述高温段换热器3回收冷量,之后从所述分离设备2排出;另一部分通过所述冷凝蒸发器9,并从其冷凝侧生成冷凝Ne液,回流至所述精馏塔11内,成为塔内的下降液体;所述精馏塔11的底部生成一股21Ne与22Ne的混合氖液,通过调节阀14进入所述精馏塔17;
所述冷凝蒸发器15的冷凝侧生成冷凝Ne液,回流至所述精馏塔17内,成为塔内的下降液体;随着精馏的进行,21Ne气体在所述精馏塔17的塔顶不断富集,直至纯度达到99.8%后,从塔顶抽出,依次经所述低温段换热器6和所述高温段换热器3回收冷量后,作为21Ne气体产品从所述分离设备2输出,以直接输送给各企业用户或者进行储存、备用。所述精馏塔17的底部生成一股主要含22Ne的氖液,依次经所述低温段换热器6和所述高温段换热器3回收冷量,之后从所述分离设备2排出。
所述冷凝蒸发器9与所述冷凝蒸发器15的顶部以及所述冷凝蒸发器15的蒸发侧分别生成一股制冷循环氖气,合并后,依次经所述低温段换热器6和所述高温段换热器3回收冷量,生成所述循环氖气。
在一个优选实施例中,所述冷却器设置在所述压缩机1内或者独立于所述压缩机1设置。
在一个优选实施例中,在所述分离设备2内,所述压缩冷却的氖气先进入高温段换热器3降温至-140℃~-150℃,接着进入液氮冷却器4冷却至-190℃~-195℃,最后进入低温段换热器6进一步冷却至-219℃~-224℃,输出低温氖气。
在一个进一步优选的实施例中,在所述分离设备2内,所述压缩冷却的氖气先进入高温段换热器3降温至-145℃,接着进入液氮冷却器4冷却至-193℃,最后进入低温段换热器6进一步冷却至-221℃,输出低温氖气。
在一个优选实施例中,所述液氮冷却器4的冷源为所述分离设备2外部独立提供的液氮或与所述冷屏5内部共用的液氮。
在一个优选实施例中,所述主要含22Ne的氖液中22Ne的纯度为99.5%。
在一个优选实施例中,所述高纯Ne原料气与所述循环氖气的流量比为3:62。
在一个优选实施例中,在所述分离设备(2)内,所述低温氖气分流为三股,其中,第一股低温氖气的流量:第二股低温氖气的流量:第三股低温氖气的流量= 3:33.4:28.6。
实施例1
采用如图1所示的工艺流程从氖气中分离出21Ne气体产品:
将3 Nm³/h高纯Ne原料气与62 Nm³/h循环氖气合并,输送入压缩机1压缩至7 MPa(g),接着经设置在压缩机1内的冷却器进行冷却,得到压缩冷却的氖气;然后,将所述压缩冷却的氖气输送入分离设备2;将所述压缩冷却的氖气先进入高温段换热器3降温至-140℃,接着进入液氮冷却器4冷却至-192℃,最后进入低温段换热器6进一步冷却至-220℃,输出低温氖气;其中,所述液氮冷却器4的冷源为所述分离设备2外部独立提供的液氮;
然后,将所述低温氖气分流为三股:其中第一股通过调节阀7节流减压至0.1~0.2MPa(g)后,进入精馏塔11进行精馏;其中第二股通过调节阀8节流减压至0.02MPa(g)后,生成液体Ne,被输送入设置在精馏塔11顶部的冷凝蒸发器9而作为冷源;其中第三股通过调节阀13节流减压至0.02MPa(g)后,生成液体Ne,被输送入设置在精馏塔17顶部的冷凝蒸发器15而作为冷源;
其中,所述液氮冷却器4、所述低温段换热器6、所述精馏塔11、所述冷凝蒸发器9、所述精馏塔17和所述冷凝蒸发器15均被容纳于冷屏5围成的空间中,且所述空间保持1×10-4Pa的真空度;其中,所述冷屏5内部通液氮,用于维持所述空间中的低温工况;所述冷凝蒸发器9具有冷凝蒸发器外壳10,所述精馏塔11的底部设置有精馏塔底电加热器12,功率为100W;所述冷凝蒸发器15具有冷凝蒸发器外壳16,所述精馏塔17的底部设置有精馏塔底电加热器18,功率为100W;所述精馏塔底电加热器12、18分别用于对塔底液体加热,得到塔内上升气;
所述精馏塔11的塔顶生成20Ne气体,分流为两部分输出,一部分以2.762 Nm³/h的流量依次经所述低温段换热器6和所述高温段换热器3回收冷量,之后从所述分离设备2排出;另一部分以5.671 Nm³/h的流量通过所述冷凝蒸发器9,并从其冷凝侧生成冷凝Ne液,回流至所述精馏塔11内,成为塔内的下降液体;所述精馏塔11的底部生成一股21Ne与22Ne的混合氖液,以0.2377 Nm³/h的流量通过调节阀14进入所述精馏塔17,并且压差损失很小;
其中,所述冷凝蒸发器15的冷凝侧生成冷凝Ne液,回流至所述精馏塔17内,成为塔内的下降液体;随着精馏的进行,21Ne气体在所述精馏塔17的塔顶不断富集,直至纯度达到99.8%后,从塔顶抽出,依次经所述低温段换热器6和所述高温段换热器3回收冷量后,作为21Ne气体产品从所述分离设备2输出,其产量为3.21 L/h;所述精馏塔17的底部生成一股纯度99.5%的22Ne液,依次经所述低温段换热器6和所述高温段换热器3回收冷量,之后从所述分离设备2排出,其流量为0.2338 Nm³/h。
所述冷凝蒸发器9与所述冷凝蒸发器15的顶部以及所述冷凝蒸发器15的蒸发侧分别生成一股制冷循环氖气,合并后,依次经所述低温段换热器6和所述高温段换热器3回收冷量,生成所述循环氖气。
实施例2
采用如图1所示的工艺流程从氖气中分离出21Ne气体产品:
将3 Nm³/h高纯Ne原料气与62 Nm³/h循环氖气合并,输送入压缩机1压缩至8 MPa(g),接着经设置在压缩机1内的冷却器进行冷却,得到压缩冷却的氖气;然后,将所述压缩冷却的氖气输送入分离设备2;将所述压缩冷却的氖气先进入高温段换热器3降温至-145℃,接着进入液氮冷却器4冷却至-193℃,最后进入低温段换热器6进一步冷却至-221℃,输出低温氖气;其中,所述液氮冷却器4的冷源为所述分离设备2外部独立提供的液氮;
然后,将所述低温氖气分流为三股:其中第一股通过调节阀7节流减压至0.1~0.2MPa(g)后,进入精馏塔11进行精馏;其中第二股通过调节阀8节流减压至0.02MPa(g)后,生成液体Ne,被输送入设置在精馏塔11顶部的冷凝蒸发器9而作为冷源;其中第三股通过调节阀13节流减压至0.02MPa(g)后,生成液体Ne,被输送入设置在精馏塔17顶部的冷凝蒸发器15而作为冷源;
其中,所述液氮冷却器4、所述低温段换热器6、所述精馏塔11、所述冷凝蒸发器9、所述精馏塔17和所述冷凝蒸发器15均被容纳于冷屏5围成的空间中,且所述空间保持1×10-4Pa的真空度;其中,所述冷屏5内部通液氮,用于维持所述空间中的低温工况;所述冷凝蒸发器9具有冷凝蒸发器外壳10,所述精馏塔11的底部设置有精馏塔底电加热器12,功率为100W;所述冷凝蒸发器15具有冷凝蒸发器外壳16,所述精馏塔17的底部设置有精馏塔底电加热器18,功率为100W;所述精馏塔底电加热器12、18分别用于对塔底液体加热,得到塔内上升气;
所述精馏塔11的塔顶生成20Ne气体,分流为两部分输出,一部分以2.762 Nm³/h的流量依次经所述低温段换热器6和所述高温段换热器3回收冷量,之后从所述分离设备2排出;另一部分以5.671 Nm³/h的流量通过所述冷凝蒸发器9,并从其冷凝侧生成冷凝Ne液,回流至所述精馏塔11内,成为塔内的下降液体;所述精馏塔11的底部生成一股21Ne与22Ne的混合氖液,以0.2381 Nm³/h的流量通过调节阀14进入所述精馏塔17,并且压差损失很小;
其中,所述冷凝蒸发器15的冷凝侧生成冷凝Ne液,回流至所述精馏塔17内,成为塔内的下降液体;随着精馏的进行,21Ne气体在所述精馏塔17的塔顶不断富集,直至纯度达到99.8%后,从塔顶抽出,依次经所述低温段换热器6和所述高温段换热器3回收冷量后,作为21Ne气体产品从所述分离设备2输出,其产量为3.24 L/h;所述精馏塔17的底部生成一股纯度99.5%的22Ne液,依次经所述低温段换热器6和所述高温段换热器3回收冷量,之后从所述分离设备2排出,其流量为0.2349 Nm³/h。
所述冷凝蒸发器9与所述冷凝蒸发器15的顶部以及所述冷凝蒸发器15的蒸发侧分别生成一股制冷循环氖气,合并后,依次经所述低温段换热器6和所述高温段换热器3回收冷量,生成所述循环氖气。
实施例3
采用如图1所示的工艺流程从氖气中分离出21Ne气体产品:
将3 Nm³/h高纯Ne原料气与62 Nm³/h循环氖气合并,输送入压缩机1压缩至9 MPa(g),接着经设置在压缩机1内的冷却器进行冷却,得到压缩冷却的氖气;然后,将所述压缩冷却的氖气输送入分离设备2;将所述压缩冷却的氖气先进入高温段换热器3降温至-149℃,接着进入液氮冷却器4冷却至-195℃,最后进入低温段换热器6进一步冷却至-220℃,输出低温氖气;其中,所述液氮冷却器4的冷源为与所述冷屏5内部共用的液氮;
然后,将所述低温氖气分流为三股:其中第一股通过调节阀7节流减压至0.1~0.2MPa(g)后,进入精馏塔11进行精馏;其中第二股通过调节阀8节流减压至0.02MPa(g)后,生成液体Ne,被输送入设置在精馏塔11顶部的冷凝蒸发器9而作为冷源;其中第三股通过调节阀13节流减压至0.02MPa(g)后,生成液体Ne,被输送入设置在精馏塔17顶部的冷凝蒸发器15而作为冷源;
其中,所述液氮冷却器4、所述低温段换热器6、所述精馏塔11、所述冷凝蒸发器9、所述精馏塔17和所述冷凝蒸发器15均被容纳于冷屏5围成的空间中,且所述空间保持1×10-4Pa的真空度;其中,所述冷屏5内部通液氮,用于维持所述空间中的低温工况;所述冷凝蒸发器9具有冷凝蒸发器外壳10,所述精馏塔11的底部设置有精馏塔底电加热器12,功率为100W;所述冷凝蒸发器15具有冷凝蒸发器外壳16,所述精馏塔17的底部设置有精馏塔底电加热器18,功率为100W;所述精馏塔底电加热器12、18分别用于对塔底液体加热,得到塔内上升气;
所述精馏塔11的塔顶生成20Ne气体,分流为两部分输出,一部分以2.762 Nm³/h的流量依次经所述低温段换热器6和所述高温段换热器3回收冷量,之后从所述分离设备2排出;另一部分以5.671 Nm³/h的流量通过所述冷凝蒸发器9,并从其冷凝侧生成冷凝Ne液,回流至所述精馏塔11内,成为塔内的下降液体;所述精馏塔11的底部生成一股21Ne与22Ne的混合氖液,以0.2375 Nm³/h的流量通过调节阀14进入所述精馏塔17,并且压差损失很小;
其中,所述冷凝蒸发器15的冷凝侧生成冷凝Ne液,回流至所述精馏塔17内,成为塔内的下降液体;随着精馏的进行,21Ne气体在所述精馏塔17的塔顶不断富集,直至纯度达到99.8%后,从塔顶抽出,依次经所述低温段换热器6和所述高温段换热器3回收冷量后,作为21Ne气体产品从所述分离设备2输出,其产量为3.18 L/h;所述精馏塔17的底部生成一股纯度99.5%的22Ne液,依次经所述低温段换热器6和所述高温段换热器3回收冷量,之后从所述分离设备2排出,其流量为0.2354 Nm³/h。
所述冷凝蒸发器9与所述冷凝蒸发器15的顶部以及所述冷凝蒸发器15的蒸发侧分别生成一股制冷循环氖气,合并后,依次经所述低温段换热器6和所述高温段换热器3回收冷量,生成所述循环氖气。
实施例4
采用如图1所示的工艺流程从氖气中分离出21Ne气体产品:
将3 Nm³/h高纯Ne原料气与62 Nm³/h循环氖气合并,输送入压缩机1压缩至7 MPa(g),接着经设置在压缩机1内的冷却器进行冷却,得到压缩冷却的氖气;然后,将所述压缩冷却的氖气输送入分离设备2;将所述压缩冷却的氖气先进入高温段换热器3降温至-150℃,接着进入液氮冷却器4冷却至-195℃,最后进入低温段换热器6进一步冷却至-224℃,输出低温氖气;其中,所述液氮冷却器4的冷源为与所述冷屏5内部共用的液氮;
然后,将所述低温氖气分流为三股:其中第一股通过调节阀7节流减压至0.1~0.2MPa(g)后,进入精馏塔11进行精馏;其中第二股通过调节阀8节流减压至0.02MPa(g)后,生成液体Ne,被输送入设置在精馏塔11顶部的冷凝蒸发器9而作为冷源;其中第三股通过调节阀13节流减压至0.02MPa(g)后,生成液体Ne,被输送入设置在精馏塔17顶部的冷凝蒸发器15而作为冷源;
其中,所述液氮冷却器4、所述低温段换热器6、所述精馏塔11、所述冷凝蒸发器9、所述精馏塔17和所述冷凝蒸发器15均被容纳于冷屏5围成的空间中,且所述空间保持1×10-4Pa的真空度;其中,所述冷屏5内部通液氮,用于维持所述空间中的低温工况;所述冷凝蒸发器9具有冷凝蒸发器外壳10,所述精馏塔11的底部设置有精馏塔底电加热器12,功率为100W;所述冷凝蒸发器15具有冷凝蒸发器外壳16,所述精馏塔17的底部设置有精馏塔底电加热器18,功率为100W;所述精馏塔底电加热器12、18分别用于对塔底液体加热,得到塔内上升气;
所述精馏塔11的塔顶生成20Ne气体,分流为两部分输出,一部分以2.762 Nm³/h的流量依次经所述低温段换热器6和所述高温段换热器3回收冷量,之后从所述分离设备2排出;另一部分以5.671 Nm³/h的流量通过所述冷凝蒸发器9,并从其冷凝侧生成冷凝Ne液,回流至所述精馏塔11内,成为塔内的下降液体;所述精馏塔11的底部生成一股21Ne与22Ne的混合氖液,以0.2379 Nm³/h的流量通过调节阀14进入所述精馏塔17,并且压差损失很小;
其中,所述冷凝蒸发器15的冷凝侧生成冷凝Ne液,回流至所述精馏塔17内,成为塔内的下降液体;随着精馏的进行,21Ne气体在所述精馏塔17的塔顶不断富集,直至纯度达到99.8%后,从塔顶抽出,依次经所述低温段换热器6和所述高温段换热器3回收冷量后,作为21Ne气体产品从所述分离设备2输出,其产量为3.20 L/h;所述精馏塔17的底部生成一股纯度99.5%的22Ne液,依次经所述低温段换热器6和所述高温段换热器3回收冷量,之后从所述分离设备2排出,其流量为0.2351 Nm³/h。
所述冷凝蒸发器9与所述冷凝蒸发器15的顶部以及所述冷凝蒸发器15的蒸发侧分别生成一股制冷循环氖气,合并后,依次经所述低温段换热器6和所述高温段换热器3回收冷量,生成所述循环氖气。
实施例5
采用如图1所示的工艺流程从氖气中分离出21Ne气体产品:
将3 Nm³/h高纯Ne原料气与62 Nm³/h循环氖气合并,输送入压缩机1压缩至8 MPa(g),接着经设置在压缩机1内的冷却器进行冷却,得到压缩冷却的氖气;然后,将所述压缩冷却的氖气输送入分离设备2;将所述压缩冷却的氖气先进入高温段换热器3降温至-140℃,接着进入液氮冷却器4冷却至-190℃,最后进入低温段换热器6进一步冷却至-219℃,输出低温氖气;其中,所述液氮冷却器4的冷源为与所述冷屏5内部共用的液氮;
然后,将所述低温氖气分流为三股:其中第一股通过调节阀7节流减压至0.1~0.2MPa(g)后,进入精馏塔11进行精馏;其中第二股通过调节阀8节流减压至0.02MPa(g)后,生成液体Ne,被输送入设置在精馏塔11顶部的冷凝蒸发器9而作为冷源;其中第三股通过调节阀13节流减压至0.02MPa(g)后,生成液体Ne,被输送入设置在精馏塔17顶部的冷凝蒸发器15而作为冷源;
其中,所述液氮冷却器4、所述低温段换热器6、所述精馏塔11、所述冷凝蒸发器9、所述精馏塔17和所述冷凝蒸发器15均被容纳于冷屏5围成的空间中,且所述空间保持1×10-4Pa的真空度;其中,所述冷屏5内部通液氮,用于维持所述空间中的低温工况;所述冷凝蒸发器9具有冷凝蒸发器外壳10,所述精馏塔11的底部设置有精馏塔底电加热器12,功率为100W;所述冷凝蒸发器15具有冷凝蒸发器外壳16,所述精馏塔17的底部设置有精馏塔底电加热器18,功率为100W;所述精馏塔底电加热器12、18分别用于对塔底液体加热,得到塔内上升气;
所述精馏塔11的塔顶生成20Ne气体,分流为两部分输出,一部分以2.762 Nm³/h的流量依次经所述低温段换热器6和所述高温段换热器3回收冷量,之后从所述分离设备2排出;另一部分以5.671 Nm³/h的流量通过所述冷凝蒸发器9,并从其冷凝侧生成冷凝Ne液,回流至所述精馏塔11内,成为塔内的下降液体;所述精馏塔11的底部生成一股21Ne与22Ne的混合氖液,以0.2382 Nm³/h的流量通过调节阀14进入所述精馏塔17,并且压差损失很小;
其中,所述冷凝蒸发器15的冷凝侧生成冷凝Ne液,回流至所述精馏塔17内,成为塔内的下降液体;随着精馏的进行,21Ne气体在所述精馏塔17的塔顶不断富集,直至纯度达到99.8%后,从塔顶抽出,依次经所述低温段换热器6和所述高温段换热器3回收冷量后,作为21Ne气体产品从所述分离设备2输出,其产量为3.23 L/h;所述精馏塔17的底部生成一股纯度99.5%的22Ne液,依次经所述低温段换热器6和所述高温段换热器3回收冷量,之后从所述分离设备2排出,其流量为0.2344 Nm³/h。
所述冷凝蒸发器9与所述冷凝蒸发器15的顶部以及所述冷凝蒸发器15的蒸发侧分别生成一股制冷循环氖气,合并后,依次经所述低温段换热器6和所述高温段换热器3回收冷量,生成所述循环氖气。
以上对本发明的具体实施例进行了详细描述,但其只是作为范例,本发明并不限制于以上描述的具体实施例。对于本领域技术人员而言,任何对本发明进行的等同修改和替代也都在本发明的范畴之中。因此,在不脱离本发明的精神和范围下所作的均等变换和修改,都应涵盖在本发明的范围内。
Claims (7)
1.一种从氖气中分离21Ne的方法,其采用低温精馏法实施,其特征在于,包括如下步骤:
将高纯Ne原料气与循环氖气合并,输送入压缩机(1)压缩至7~9MPa(g),接着经冷却器进行冷却,得到压缩冷却的氖气;然后,将所述压缩冷却的氖气输送入分离设备(2);
在所述分离设备(2)内:所述压缩冷却的氖气先进入高温段换热器(3)进行降温,接着进入液氮冷却器(4)冷却,最后进入低温段换热器(6)进一步冷却,输出低温氖气;
所述低温氖气分流为三股:其中第一股通过调节阀(7)节流减压至0.1~0.2MPa(g)后,进入精馏塔(11)进行精馏;其中第二股通过调节阀(8)节流减压至0.02MPa(g)后,生成液体Ne,被输送入设置在精馏塔(11)顶部的冷凝蒸发器(9)而作为冷源;其中第三股通过调节阀(13)节流减压至0.02MPa(g)后,生成液体Ne,被输送入设置在精馏塔(17)顶部的冷凝蒸发器(15)而作为冷源;
其中,所述液氮冷却器(4)、所述低温段换热器(6)、所述精馏塔(11)、所述冷凝蒸发器(9)、所述精馏塔(17)和所述冷凝蒸发器(15)均被容纳于冷屏(5)围成的空间中,且所述空间保持1×10-6Pa至1×10-2Pa的真空度;其中,所述冷屏(5)内部通液氮,用于维持所述空间中的低温工况;所述冷凝蒸发器(9)具有冷凝蒸发器外壳(10),所述精馏塔(11)的底部设置有精馏塔底电加热器(12);所述冷凝蒸发器(15)具有冷凝蒸发器外壳(16),所述精馏塔(17)的底部设置有精馏塔底电加热器(18);
所述精馏塔(11)的塔顶生成20Ne气体,分流为两部分输出,一部分依次经所述低温段换热器(6)和所述高温段换热器(3)回收冷量,之后从所述分离设备(2)排出;另一部分通过所述冷凝蒸发器(9),并从其冷凝侧生成冷凝Ne液,回流至所述精馏塔(11)内,成为塔内的下降液体;所述精馏塔(11)的底部生成一股21Ne与22Ne的混合氖液,通过调节阀(14)进入所述精馏塔(17);
其中,所述冷凝蒸发器(15)的冷凝侧生成冷凝Ne液,回流至所述精馏塔(17)内,成为塔内的下降液体;随着精馏的进行,21Ne气体在所述精馏塔(17)的塔顶不断富集,直至纯度达到99.8%后,从塔顶抽出,依次经所述低温段换热器(6)和所述高温段换热器(3)回收冷量后,作为21Ne气体产品从所述分离设备(2)输出;所述精馏塔(17)的底部生成一股主要含22Ne的氖液,依次经所述低温段换热器(6)和所述高温段换热器(3)回收冷量,之后从所述分离设备(2)排出;
所述冷凝蒸发器(9)与所述冷凝蒸发器(15)的顶部以及所述冷凝蒸发器(15)的蒸发侧分别生成一股制冷循环氖气,合并后,依次经所述低温段换热器(6)和所述高温段换热器(3)回收冷量,生成所述循环氖气;
其中,在所述分离设备(2)内,所述低温氖气分流为三股,其中,第一股低温氖气的流量:第二股低温氖气的流量:第三股低温氖气的流量=3:33.4:28.6。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述冷却器设置在所述压缩机(1)内或者独立于所述压缩机(1)设置。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在所述分离设备(2)内,所述压缩冷却的氖气先进入高温段换热器(3)降温至-140℃~-150℃,接着进入液氮冷却器(4)冷却至-190℃~-195℃,最后进入低温段换热器(6)进一步冷却至-219℃~-224℃,输出低温氖气。
4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,在所述分离设备(2)内,所述压缩冷却的氖气先进入高温段换热器(3)降温至-145℃,接着进入液氮冷却器(4)冷却至-193℃,最后进入低温段换热器(6)进一步冷却至-221℃,输出低温氖气。
5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述液氮冷却器(4)的冷源为所述分离设备(2)外部独立提供的液氮或与所述冷屏(5)内部共用的液氮。
6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述主要含22Ne的氖液中22Ne的纯度为99.5%。
7.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述高纯Ne原料气与所述循环氖气的流量比为3:62。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201610627757.2A CN106196884B (zh) | 2016-08-03 | 2016-08-03 | 一种从氖气中分离21Ne的方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201610627757.2A CN106196884B (zh) | 2016-08-03 | 2016-08-03 | 一种从氖气中分离21Ne的方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN106196884A CN106196884A (zh) | 2016-12-07 |
CN106196884B true CN106196884B (zh) | 2019-03-08 |
Family
ID=57497535
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201610627757.2A Active CN106196884B (zh) | 2016-08-03 | 2016-08-03 | 一种从氖气中分离21Ne的方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN106196884B (zh) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5100446A (en) * | 1991-01-07 | 1992-03-31 | Union Carbide Industrial Gases Technology Corporation | Crude neon production system |
CN1513587A (zh) * | 2002-12-04 | 2004-07-21 | 上海化工研究院 | 中丰度22Ne同位素的分离提纯方法 |
CN101218479A (zh) * | 2005-02-18 | 2008-07-09 | 普莱克斯技术有限公司 | 用于制备氖的低温精馏系统 |
CN201750988U (zh) * | 2010-06-09 | 2011-02-23 | 上海化工研究院 | 一种同位素低温精馏装置 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9168467B1 (en) * | 2012-03-20 | 2015-10-27 | Vitaly Leonidovich Bondarenko | Assembly for separating gas mixtures in fractionating columns |
-
2016
- 2016-08-03 CN CN201610627757.2A patent/CN106196884B/zh active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5100446A (en) * | 1991-01-07 | 1992-03-31 | Union Carbide Industrial Gases Technology Corporation | Crude neon production system |
CN1513587A (zh) * | 2002-12-04 | 2004-07-21 | 上海化工研究院 | 中丰度22Ne同位素的分离提纯方法 |
CN101218479A (zh) * | 2005-02-18 | 2008-07-09 | 普莱克斯技术有限公司 | 用于制备氖的低温精馏系统 |
CN201750988U (zh) * | 2010-06-09 | 2011-02-23 | 上海化工研究院 | 一种同位素低温精馏装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN106196884A (zh) | 2016-12-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN103123203A (zh) | 利用含氮废气进行再低温精馏制取纯氮的方法 | |
CN102564066A (zh) | 基于小型低温制冷机的用于气体分离和纯化的低温装置 | |
CN111333484A (zh) | 一种超高纯甲烷氯化物生产系统以及工艺 | |
CN106196884B (zh) | 一种从氖气中分离21Ne的方法 | |
CN104803357B (zh) | 一种在四氯乙烯装置中提纯高纯度氯化氢的方法 | |
CN109292743A (zh) | 一种液氧中浓缩氪氙浓缩物的设备及其方法 | |
CN109631495A (zh) | 一种集成高纯氮和氩气回收的方法及装置 | |
CN211716983U (zh) | 一种分离提纯氪和氙的装置 | |
CN106731837B (zh) | 一种氖气生产稳定同位素的精馏工艺和装置 | |
CN106052302B (zh) | 一种从氖气中分离22Ne的方法 | |
CN106052301B (zh) | 一种从氖气中分离20Ne的方法 | |
CN205939929U (zh) | 一种从氖气中分离21Ne的装置 | |
CN209442638U (zh) | 一种F32装置副产HCl精制设备 | |
CN111174530A (zh) | 一种分离提纯氪和氙的方法及装置 | |
CN109279587A (zh) | 一种液氧中浓缩氪氙浓缩物的设备及其方法 | |
CN106016968A (zh) | 二氧化碳液化提纯的方法及设备 | |
CN205939930U (zh) | 一种从氖气中分离20Ne的装置 | |
CN205939931U (zh) | 一种从氖气中分离22Ne的装置 | |
CN216946234U (zh) | 一种制备半导体用超纯氨的装置 | |
US20200070062A1 (en) | Device and Method for Multistage Continuous Preparation of Deuterium Depleted Water | |
CN109883139A (zh) | 一种基于富氧空分的高效提氩工艺 | |
CN102506560B (zh) | 从废氩气中制取纯氩的方法 | |
CN209428132U (zh) | 一种液氧中浓缩氪氙浓缩物的设备 | |
CN207729907U (zh) | 通过低温精馏从空气中生产高纯氮、氧气和液氧的设备 | |
CN108190916A (zh) | 合成氨分离的方法和系统 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant | ||
TR01 | Transfer of patent right | ||
TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20210514 Address after: 201800 rooms 202 and 204, building 3, 150 Heyu Road, Jiading District, Shanghai Patentee after: SHANGHAI QIYUAN GAS DEVELOPMENT Co.,Ltd. Address before: 201800 150 Heyu Road, Jiading District, Shanghai Patentee before: SHANGHAI QIYUAN AIR SEPARATE TECHNOLOGY DEVELOPMENT Co.,Ltd. |