CN106124596A - 一种生化测试片的制备工艺 - Google Patents
一种生化测试片的制备工艺 Download PDFInfo
- Publication number
- CN106124596A CN106124596A CN201610505160.0A CN201610505160A CN106124596A CN 106124596 A CN106124596 A CN 106124596A CN 201610505160 A CN201610505160 A CN 201610505160A CN 106124596 A CN106124596 A CN 106124596A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- test sheet
- biochemical test
- dry film
- preparation technology
- metal oxide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/416—Systems
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0035—Multiple processes, e.g. applying a further resist layer on an already in a previously step, processed pattern or textured surface
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Apparatus Associated With Microorganisms And Enzymes (AREA)
Abstract
本发明公开了一种生化测试片的制备工艺,全程利用黄光蚀刻制程制备出生化测试片的金属电极导线层、金属氧化物反应层和中隔层;本发明所述生化测试片的制备工艺,可以在低成本的情况下达成高精度的要求,并且具有阻止测试液扩散的中隔层,可以更精准的控制反应液体量,导线材料使用低价的金属电极,来降低黄金电极的成本,反应区材料使用稳定的金属氧化物电极,可以提升电极的长期稳定性,不会随时间拉长而产生变异,造成量测不准。
Description
技术领域
本发明生化测试技术领域,具体涉及一种生化测试片的制备工艺。
背景技术
目前一般使用丝网印刷法的生化测试片的精准度只能达到20%,很难达成ISO15197:2013规范的15%精度要求,而且丝印法的批次一致性不佳、产品长时间的稳定性也不好。另外,也有厂商在高阶的生化试片,使用黄金镀层当导电层与反应层电极,试片可以达到精度要求,也具备高稳定性与一致性,但是黄金电极的靶材极其昂贵,而且不容易蚀刻,一般常用激光雕刻出线路,生产效率较低,黄金镀层也无法回收,其他也有使用Lift-off制程,虽然可以回收部分黄金,但是经过贴膜、UV光照、脱膜后的基材,表面再进行黄金溅镀,其金镀层附着力就会大大降低。
要达成高精度、低成本的要求,一定要在材料上使用低价的金属电极、制程上运用精度高的光蚀刻制程,来提高试片制作精度、降低金属电极的成本、同时也提高量产的效率。本发明由此而来。
发明内容
本发明的目的在于提供一种生化测试片的制备工艺,可以在低成本的情况下达成高精度的要求,并且具有阻止测试液扩散的中隔层,可以更精准的控制反应液体量。
为实现上述发明目的,本发明采用了如下技术方案:
提供一生化测试片原材,所述生化测试片原材包括:
一基材;
一金属氧化物反应层,其附着于所述基材的表面;
一金属电极层,其附着于所述金属氧化物反应层上;
所述制备工艺包括如下步骤:
步骤一,利用黄光蚀刻制程工艺在所述生化测试片原材表面贴合干膜,经过曝光、显影、蚀刻和剥膜工艺,制备出所述金属电极层的图案;
步骤二,利用黄光蚀刻制程工艺在所述金属电极层上贴合干膜,经过曝光、显影、蚀刻和剥膜工艺,制备出所述金属氧化物反应层的图案;
步骤三,在所述金属电极层和金属氧化物反应层上贴合干膜,经过曝光、显影和剥膜工艺,制备出所述中隔层的图案,所述中隔层由曝光的干膜构成,用于防止测试液扩散,更精准的控制反应液体量。
进一步的,所述黄光蚀刻制程工艺具体包括:1、在所需要制备图案的层上贴合干膜;2、曝光所需制备图案区域的干膜;3、清洗和剥除未曝光的干膜;4、利用蚀刻液蚀刻出所需制备的图案;5、清洗和剥除剩余的干膜。
优选的,所述基材的材质包括PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯),厚度为0.2mm~0.4mm。
优选的,所述金属氧化物反应层的材质包括ITO(氧化铟锡),厚度为0.01μm~0.04μm。
优选的,所述金属电极层的材质包括铜或者铜镍合金或者铜镍钛合金,厚度为0.1μm~0.4μm,导电率为0.1Ω/□~1Ω/□。
利用上述制备工艺制备出的所述生化测试片的结构:
一基材;
一金属氧化物反应层,其附着于所述基材的表明;
一金属电极层,其设置于所述金属氧化物反应层上;
一中隔层,其部分覆盖于所述金属电极层上,所述中隔层为厌水性干膜光阻材料,用于防止测试液扩散,更精准的控制反应液体量。
本发明使用先进的卷对卷黄光制程制作出精密的生化测试片,可以符合ISO15197:2013从2016年6月起的新要求。反应区材料稳定,不会随储存时间拉长而产生变异,造成量测不准确。使用全线黄光制程,产能大、效率高。中隔层以黄光制程惯用的厌水性干膜光阻制作,省去大量人工进行裁切、对位、贴合费用,降低成本,提高产品良率与量测精度。产品一致性高,免用Code Key,降低成本,使用者操作便利,防止因不当操作造成量测误差。
有益效果:
本发明所述生化测试片的制备工艺,完全使用黄光蚀刻制程来制作生化测试片中对精度要求较高的区域,可以在低成本的情况下达成高精度的要求,并且具有阻止测试液扩散的中隔层,可以更精准的控制反应液体量,导线材料使用低价的金属电极,来降低黄金电极的成本,反应区材料使用稳定的金属氧化物电极,可以提升电极的长期稳定性,不会随时间拉长而产生变异,造成量测不准。而且中隔层以黄光制程惯用的厌水性干膜光阻制作,省去大量人工进行裁切、对位、贴合费用,降低成本,提高产品良率与量测精度。
附图说明
图1为本发明所述生化测试片的剖面结构示意图;
图2为本发明所述生化测试片的金属电极层的制备流程图;
图3为本发明所述生化测试片的金属氧化物反应层的制备流程图;
图4为本发明所述生化测试片的中隔层的制备流程图;
其中,1、基材,2、金属氧化物反应层,3、金属电极层、4、中隔层。
具体实施方式
以下实施例对本发明的技术方案作进一步的说明。
实施例1:
一种生化测试片的制备工艺,包括如下步骤:
如图2所示:
S1、金属电极层图案的制备流程:
S11:所述生化测试片原材表面贴合干膜;
S12:对干膜进行曝光和显影,剥除未曝光的干膜;
S13:利用蚀刻液在金属电极层蚀刻出导线图案;
S14:剥除剩余的干膜并清洗;
如图3所示:
S2、金属氧化物反应层图案的制备流程
S21:所述金属电极层表面贴合干膜;
S22:对干膜进行曝光和显影,剥除未曝光的干膜;
S23:利用蚀刻液在金属氧化物反应层蚀刻出反应区图案;
S24:剥除剩余的干膜并清洗;
如图4所示:
S3、中隔层图案的制备流程
S31:所述金属电极层和金属氧化物反应层表面贴合干膜;
S32:对干膜进行曝光和显影,剥除未曝光的干膜并清洗,剩余的已曝光的干膜构成中隔层的图案。
优选的,所述基材的材质包括PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯),厚度为0.2mm~0.4mm。
优选的,所述金属氧化物反应层的材质包括ITO(氧化铟锡),厚度为0.01μm~0.04μm。
优选的,所述金属电极层的材质包括铜或者铜镍合金或者铜镍钛合金,厚度为0.1μm~0.4μm,导电率为0.1Ω/□~1Ω/□。。
如图1所示,利用上述制备工艺制备所得的所述生化测试片的结构包括:
一基材1;
一金属氧化物反应层2,其附着于所述基材1的表面;
一金属电极层3,其设置于所述金属氧化反应层2上;
一中隔层4,其部分覆盖于所述金属电极层3上.
需要指出的是,以上所述者仅为用以解释本发明之较佳实施例,并非企图据以对本发明作任何形式上之限制,是以,凡有在相同之发明精神下所作有关本发明之任何修饰或变更,皆仍应包括在本发明意图保护之范畴。
Claims (5)
1.一种生化测试片的制备工艺,其特征在于,提供一生化测试片原材,所述生化测试片原材包括:
一基材;
一金属氧化物反应层,其附着于所述基材的表面;
一金属电极层,其附着于所述金属氧化物反应层上;
所述制备工艺包括如下步骤:
步骤一,利用黄光蚀刻制程工艺在所述生化测试片原材表面贴合干膜,经过曝光、显影、蚀刻和剥膜制程,制备出所述金属电极层的图案;
步骤二,利用黄光蚀刻制程工艺在所述金属电极层上贴合干膜,经过曝光、显影、蚀刻和剥膜工艺,制备出所述金属氧化物反应层的图案;
步骤三,在所述金属电极层和金属氧化物反应层上贴合干膜,经过曝光、显影和剥膜工艺,制备出所述中隔层的图案,所述中隔层由曝光的干膜构成,用于防止测试液扩散,可以更精准的控制反应液体量。
2.根据权利要求1所述的生化测试片的制备工艺,其特征在于,所述黄光蚀刻制程工艺具体包括:1、在所需要制备图案的层上贴合干膜;2、曝光所需制备图案区域的干膜;3、清洗和剥除未曝光的干膜;4、利用蚀刻液蚀刻出所需制备的图案;5、清洗和剥除剩余的干膜。
3.根据权利要求1所述的生化测试片的制备工艺,其特征在于,所述基材的材质包括PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯),厚度为0.2mm~0.4mm。
4.根据权利要求1所述的生化测试片的制备工艺,其特征在于,所述金属氧化物反应层的材质包括IT0(氧化铟锡),厚度为0.01μm~0.04μm。
5.根据权利要求1所述的生化测试片的制备工艺,其特征在于,所述金属电极层的材质包括铜或者铜镍合金或者铜镍钛合金,厚度为0.1μm~0.4μm,导电率为0.1Ω/□~1Ω/□。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201610505160.0A CN106124596A (zh) | 2016-06-30 | 2016-06-30 | 一种生化测试片的制备工艺 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201610505160.0A CN106124596A (zh) | 2016-06-30 | 2016-06-30 | 一种生化测试片的制备工艺 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN106124596A true CN106124596A (zh) | 2016-11-16 |
Family
ID=57468462
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201610505160.0A Pending CN106124596A (zh) | 2016-06-30 | 2016-06-30 | 一种生化测试片的制备工艺 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN106124596A (zh) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108107089A (zh) * | 2017-12-11 | 2018-06-01 | 百强电子(深圳)有限公司 | 一种血糖试片导电层的制造方法 |
CN108414594A (zh) * | 2017-02-10 | 2018-08-17 | 琦芯科技股份有限公司 | 以不含蚀刻性溶剂制造的生物感测试片及其制作方法 |
CN113207203A (zh) * | 2021-04-19 | 2021-08-03 | 安徽精卓光显技术有限责任公司 | 一种无基材加热膜生产方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1908665A (zh) * | 2005-08-02 | 2007-02-07 | 中国科学院电子学研究所 | 基于混合自组装膜的微型安培免疫传感器及其制备方法 |
WO2009133983A1 (en) * | 2008-04-28 | 2009-11-05 | Keum Pil Lee | Biosensor |
CN102445477A (zh) * | 2010-10-13 | 2012-05-09 | 中国科学院电子学研究所 | 离体神经信息双模检测微电极阵列芯片及制备方法 |
CN102496670A (zh) * | 2011-12-21 | 2012-06-13 | 中国计量学院 | 一种大功率led用铜电极氧化铝陶瓷基板 |
CN103645229A (zh) * | 2013-12-12 | 2014-03-19 | 复旦大学 | 用于检测细菌的阵列式多重电化学恒温扩增芯片及其制备方法 |
CN103558266B (zh) * | 2013-10-24 | 2015-08-12 | 山东师范大学 | 一种石墨烯电容生物传感器及其制作方法、检测方法 |
-
2016
- 2016-06-30 CN CN201610505160.0A patent/CN106124596A/zh active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1908665A (zh) * | 2005-08-02 | 2007-02-07 | 中国科学院电子学研究所 | 基于混合自组装膜的微型安培免疫传感器及其制备方法 |
WO2009133983A1 (en) * | 2008-04-28 | 2009-11-05 | Keum Pil Lee | Biosensor |
CN102445477A (zh) * | 2010-10-13 | 2012-05-09 | 中国科学院电子学研究所 | 离体神经信息双模检测微电极阵列芯片及制备方法 |
CN102496670A (zh) * | 2011-12-21 | 2012-06-13 | 中国计量学院 | 一种大功率led用铜电极氧化铝陶瓷基板 |
CN103558266B (zh) * | 2013-10-24 | 2015-08-12 | 山东师范大学 | 一种石墨烯电容生物传感器及其制作方法、检测方法 |
CN103645229A (zh) * | 2013-12-12 | 2014-03-19 | 复旦大学 | 用于检测细菌的阵列式多重电化学恒温扩增芯片及其制备方法 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
黄朝均: "整合微流体之葡萄糖检测及自动化胰岛素注射系统", 《国立成功大学微机电系统工程研究所硕士论文》 * |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108414594A (zh) * | 2017-02-10 | 2018-08-17 | 琦芯科技股份有限公司 | 以不含蚀刻性溶剂制造的生物感测试片及其制作方法 |
CN108107089A (zh) * | 2017-12-11 | 2018-06-01 | 百强电子(深圳)有限公司 | 一种血糖试片导电层的制造方法 |
CN108107089B (zh) * | 2017-12-11 | 2020-09-08 | 百强电子(深圳)有限公司 | 一种血糖试片导电层的制造方法 |
CN113207203A (zh) * | 2021-04-19 | 2021-08-03 | 安徽精卓光显技术有限责任公司 | 一种无基材加热膜生产方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN106124596A (zh) | 一种生化测试片的制备工艺 | |
CN103635026B (zh) | 厚型气体电子倍增探测器膜板的制作方法 | |
CN104820535A (zh) | 一种纯ito膜结构单层多点的电容式触摸屏制作工艺 | |
CN104765515A (zh) | 一种g1f结构电容式触摸屏的制作工艺 | |
CN107407990A (zh) | 透明导电薄板、触摸面板模块以及触摸面板装置 | |
CN104238782A (zh) | 一种触摸屏电极的制备方法 | |
CN105340023A (zh) | 导电糊剂、导电图案的制造方法及触摸面板 | |
CN102929471B (zh) | 电容式触摸屏的制作方法 | |
CN110474162A (zh) | 自带天线的盖板及其制作方法与电子设备 | |
CN103605448A (zh) | 一种菲林结构电容式触摸屏感应器线路图的一体成型制作方法及其制成的产品 | |
CN103823603A (zh) | Ogs触摸屏及其制作方法 | |
ATE531085T1 (de) | Herstellungsverfahren einer mikrogrössen- elektrode für eine festoxid-brennstoffzelle | |
CN102978567A (zh) | 一种制备蒸镀电极用的免光刻高精度掩模版的方法 | |
CN110660529A (zh) | 一种导电电路的制作方法及导电电路 | |
CN113064517A (zh) | 一种触摸屏铜制程方法及触摸屏 | |
CN108207085A (zh) | 一种分级金手指光模块pcb板表面处理方法 | |
CN1982886A (zh) | 电化学生物感测试片成批制法及其金属电极制法 | |
CN205844253U (zh) | 生化测试片的结构 | |
CN207347449U (zh) | 双面粘接膜 | |
US20180107311A1 (en) | Touch substrate and method of manufacturing the same, touch panel and display device | |
JPS54148484A (en) | Manufacture of semiconductor wafer test device | |
CN102543266A (zh) | 具有铜导线的透明导电膜 | |
CN210805387U (zh) | 一种氮化钽薄膜电阻器制造设备 | |
CN104820534A (zh) | 一种膜结构单层多点的电容式触摸屏感应器制作工艺 | |
CN105677079A (zh) | 触摸屏的制作方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20161116 |
|
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |