CN106122627A - 一种密封圈 - Google Patents

一种密封圈 Download PDF

Info

Publication number
CN106122627A
CN106122627A CN201610498806.7A CN201610498806A CN106122627A CN 106122627 A CN106122627 A CN 106122627A CN 201610498806 A CN201610498806 A CN 201610498806A CN 106122627 A CN106122627 A CN 106122627A
Authority
CN
China
Prior art keywords
wire coil
sealing ring
seal body
nearly
sealing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201610498806.7A
Other languages
English (en)
Other versions
CN106122627B (zh
Inventor
邢杰
张弢
蒋德念
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shanghai Huali Microelectronics Corp
Original Assignee
Shanghai Huali Microelectronics Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shanghai Huali Microelectronics Corp filed Critical Shanghai Huali Microelectronics Corp
Priority to CN201610498806.7A priority Critical patent/CN106122627B/zh
Publication of CN106122627A publication Critical patent/CN106122627A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN106122627B publication Critical patent/CN106122627B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L23/00—Flanged joints
    • F16L23/16—Flanged joints characterised by the sealing means
    • F16L23/18—Flanged joints characterised by the sealing means the sealing means being rings
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L23/00—Flanged joints
    • F16L23/006—Attachments

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Abstract

本发明公开了一种密封圈，包括：环形密封本体，设于两个连接部件的密封面之间，用于对连接部件进行防漏液密封；至少一金属线圈，环绕密封本体的周向埋设于其近表面的内部；通过对金属线圈的电阻值进行检测，并与一设定阈值进行比较，以在其电阻值达到或超过该设定阈值时，判断密封本体发生漏液。本发明可在保证不存在漏液危险的条件下，对各种液体都达到密封圈最大的使用限度，从而可避免需要对各种不同液体制定不同使用周期的困境，因此可在有效防止漏液的基础上，真正做到对密封圈的使用周期进行控制。

Description

一种密封圈
技术领域
本发明涉及化学机械研磨设备技术领域，更具体地，涉及一种用于化学机械研磨设备的密封圈。
背景技术
在化学机械研磨工艺中，无论是在化学机械研磨设备的研磨机械部分或是清洗机械部分，由于普遍有液体的存在，为防止漏液，在很多部件的连接处都会增加密封圈(O-ring)来防止漏液。
请参阅图1，图1是现有化学机械研磨设备中的一种法兰连接部件结构示意图。如图1所示，两个法兰1之间通过法兰面进行连接，为确保连接面处不漏液，通常是在两个法兰的法兰面之间增加一个密封圈2来确保其不漏液。
在现实生活中，由于密封圈的材质多为橡胶，因而极易破损(例如自然老化龟裂或被液体腐蚀)；而有些密封圈由于价格又较贵，故而确定的使用周期(lifetime)较长。
然而，由于化学机械研磨工艺中使用液体的多样性特点，以及密封圈本身品质的差异，很多时候会出现密封圈在使用周期内、却因破损造成漏液的情况。
在化学机械研磨工艺中，当遇到密封圈提前损耗时，通常将发生漏水(漏液)的危险；而有时密封圈在使用周期到达进行更换时却还完好无损，完全可继续使用更长的时间。
此外，由于化学机械研磨工艺中使用到多种的液体，因此，在各个使用场所还需要针对各种不同液体制定密封圈不同的使用周期。
上述情况使得难以真正控制密封圈的使用周期，更难以做到物尽其用。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种新型密封圈，可有效防止漏液，并可真正控制密封圈的使用周期。
为实现上述目的，本发明的技术方案如下：
一种密封圈，应用于化学机械研磨设备，所述密封圈包括：
环形密封本体，设于两个连接部件的密封面之间，用于对连接部件进行防漏液密封；
至少一金属线圈，环绕密封本体的周向埋设于其近表面的内部；
其中，通过对所述金属线圈的电阻值进行检测，并与一设定阈值进行比较，以在其电阻值达到或超过该设定阈值时，判断所述密封本体发生漏液，所述设定阈值大于所述金属线圈的固有阻值。
优选地，所述金属线圈为两个，分设于密封本体近上、下表面的内部。
优选地，所述金属线圈为一大一小的两个，同心分设于密封本体近内、外侧表面的内部。
优选地，所述金属线圈为两大两小的四个，其中两个一大一小的金属线圈同心分设于密封本体近上表面且近内、外侧表面的内部，另两个一大一小的金属线圈同心分设于密封本体近下表面且近内、外侧表面的内部。
优选地，所述金属线圈呈平滑形、蛇形或波浪形分布。
优选地，还包括检测装置，与所述金属线圈连接，用于对所述金属线圈的电阻值进行检测。
优选地，还包括信号处理装置，与所述检测装置连接，并在所述检测装置检测到所述金属线圈的电阻值达到或超过所述设定阈值时，发出报警信号。
优选地，所述密封本体设有金属线圈的连接插口，所述检测装置通过所述连接插口连接所述金属线圈。
优选地，所述检测装置为万用表。
优选地，所述金属线圈为闭路线圈。
从上述技术方案可以看出，本发明通过在密封圈的密封本体内埋设金属线圈，并对金属线圈的电阻值进行检测，利用金属线圈遇液体电阻变大的特性来制定密封圈的使用周期，可在保证不存在漏液危险的条件下，对各种液体都达到其最大的使用限度，从而可避免需要对各种不同液体制定不同使用周期的困境，因此可在有效防止漏液的基础上，真正做到对密封圈的使用周期进行控制。
附图说明
图1是现有化学机械研磨设备中的一种法兰连接部件结构示意图；
图2是本发明一较佳实施例的一种密封圈结构示意图；
图3是本发明一较佳实施例的一种具有两个相同直径金属线圈的密封圈结构示意图；
图4是本发明一较佳实施例的一种具有两个不同直径金属线圈的密封圈结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图，对本发明的具体实施方式作进一步的详细说明。
需要说明的是，在下述的具体实施方式中，在详述本发明的实施方式时，为了清楚地表示本发明的结构以便于说明，特对附图中的结构不依照一般比例绘图，并进行了局部放大、变形及简化处理，因此，应避免以此作为对本发明的限定来加以理解。
在以下本发明的具体实施方式中，请参阅图2，图2是本发明一较佳实施例的一种密封圈结构示意图。如图2所示，本发明的一种密封圈，可应用于化学机械研磨设备，用于对各类连接部件进行防漏液密封。所述密封圈至少包括一个环形密封本体3和埋设于密封本体内的至少一个金属线圈4两个主要组成部分。所述密封圈密封本体的材质可同于现有的各类绝缘密封圈的材质，本发明不作限定。所述密封本体的形状也并不局限于标准的圆环形，可包括对其可预见的变形，例如近似的圆环形，椭圆形，圆孔方形，方孔圆形，以及其他异型等等。
请参阅图2。环形密封本体可设于化学机械研磨设备的研磨机械部分或清洗机械部分中任意两个连接部件的密封面之间，例如图1所示的两个连接法兰之间，用于对连接部件进行防漏液密封。当然，密封本体的尺寸应满足适应与所密封的连接部件的配合状态。在密封本体3的内部埋设有至少一个金属线圈4，图中示例性显示了一个金属线圈。所述金属线圈可采用图示的闭路线圈形式，其材质例如可以是常用的铜、铝等金属导线。金属线圈4环绕密封本体3的周向埋设，并可适当靠近密封本体的表面，例如靠近密封本体的上、下表面以及侧面，但不可露出，以便当密封本体发生自然老化龟裂或被液体腐蚀时，金属线圈能够及时接触到由裂口进入的液体。
在将密封圈的密封本体与连接部件进行安装、例如图1所示的在两个法兰的法兰面之间安装一个密封圈后，可通过对所述金属线圈的电阻值进行检测，例如利用设于外部的检测装置对所述金属线圈的电阻值进行检测，并与一设定阈值进行比较。当检测到的金属线圈电阻值达到或超过该设定阈值时，即可判断所述密封本体(即密封圈)发生了漏液的情况。通常金属线圈在正常状态下具有一个固有阻值，因此，可以将所述阈值设定为大于所述金属线圈的固有阻值一个适当的幅度。此适当的幅度可以视密封圈的允许破损度而定，或者根据统计经验积累进行设定，例如可将阈值设定为大于金属线圈固有阻值的10％-30％不等。
请参阅图3，图3是本发明一较佳实施例的一种具有两个相同直径金属线圈的密封圈结构示意图，其显示密封圈(密封本体)的侧向视图。如图3所示，可以在密封本体3的内部埋设两个相同直径的金属线圈4，并将两个金属线圈分别埋设在密封本体近上、下表面(图示为左、右两侧的表面)的内部。
请参阅图4，图4是本发明一较佳实施例的一种具有两个不同直径金属线圈的密封圈结构示意图。如图4所示，也可以在密封本体3的内部埋设一大一小的两个不同直径的金属线圈4，并将两个金属线圈以同心或大致同心的方式分别埋设在密封本体近内、外侧表面的内部。
还可以将图3和图4的两种情形相结合设置四个金属线圈，例如，所述金属线圈可以是两大两小的四个线圈，其中两个一大一小的金属线圈同心分设于密封本体近上表面且近内、外侧表面的内部，另两个一大一小的金属线圈同心分设于密封本体近下表面且近内、外侧表面的内部。根据需要，还可以有其他的设置方式，不再一一例举。
上述的金属线圈可以采用平滑的环形、蛇形或波浪形或其他适用形状的结构分布在密封本体的内部。
请参阅图3和图4。在所述密封本体3的外侧部可设有金属线圈的连接插口5，用于通过所述连接插口将所述金属线圈与独立设于密封本体外部的检测装置(图略)进行连接，以便对所述金属线圈的电阻值进行检测。
还可以通过设置信号处理装置(图略)，并与所述检测装置进行连接。在所述检测装置检测到所述金属线圈的电阻值达到或超过所述设定阈值时，可通过该信号处理装置发出报警信号，提醒对密封圈进行检查及更换。
上述的检测装置可以采用万用表，通过万用表来检测所述金属线圈的电阻值。也可以采用其他可以间接量测金属线圈电阻变化的仪器，例如可以通过一个恒流检测回路来检测金属线圈的电压变化，以反映金属线圈的电阻变化，并据此判断密封圈是否发生漏液。
当所述金属线圈的电阻值达到或超过所述设定阈值时，即可作为所述密封本体(即密封圈)使用周期到达的判断依据。
本发明的上述密封圈同样也可应用于其他需要对液体进行隔绝密封的使用场所中的各类连接部件进行防漏液密封。
综上所述，本发明通过在密封圈的密封本体内埋设金属线圈，并对金属线圈的电阻值进行检测，利用金属线圈遇液体电阻变大的特性来制定密封圈的使用周期，可在保证不存在漏液危险的条件下，对各种液体都达到其最大的使用限度，从而可避免需要对各种不同液体制定不同使用周期的困境，因此可在有效防止漏液的基础上，真正做到对密封圈的使用周期进行控制。
以上所述的仅为本发明的优选实施例，所述实施例并非用以限制本发明的专利保护范围，因此凡是运用本发明的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在本发明的保护范围内。

Claims (10)

1.一种密封圈，应用于化学机械研磨设备，其特征在于，所述密封圈包括：
环形密封本体，设于两个连接部件的密封面之间，用于对连接部件进行防漏液密封；
至少一金属线圈，环绕密封本体的周向埋设于其近表面的内部；
其中，通过对所述金属线圈的电阻值进行检测，并与一设定阈值进行比较，以在其电阻值达到或超过该设定阈值时，判断所述密封本体发生漏液，所述设定阈值大于所述金属线圈的固有阻值。
2.根据权利要求1所述的密封圈，其特征在于，所述金属线圈为两个，分设于密封本体近上、下表面的内部。
3.根据权利要求1所述的密封圈，其特征在于，所述金属线圈为一大一小的两个，同心分设于密封本体近内、外侧表面的内部。
4.根据权利要求1所述的密封圈，其特征在于，所述金属线圈为两大两小的四个，其中两个一大一小的金属线圈同心分设于密封本体近上表面且近内、外侧表面的内部，另两个一大一小的金属线圈同心分设于密封本体近下表面且近内、外侧表面的内部。
5.根据权利要求1-4任意一项所述的密封圈，其特征在于，所述金属线圈呈平滑形、蛇形或波浪形分布。
6.根据权利要求1所述的密封圈，其特征在于，还包括检测装置，与所述金属线圈连接，用于对所述金属线圈的电阻值进行检测。
7.根据权利要求6所述的密封圈，其特征在于，还包括信号处理装置，与所述检测装置连接，并在所述检测装置检测到所述金属线圈的电阻值达到或超过所述设定阈值时，发出报警信号。
8.根据权利要求6所述的密封圈，其特征在于，所述密封本体设有金属线圈的连接插口，所述检测装置通过所述连接插口连接所述金属线圈。
9.根据权利要求6-8任意一项所述的密封圈，其特征在于，所述检测装置为万用表。
10.根据权利要求1-4任意一项所述的密封圈，其特征在于，所述金属线圈为闭路线圈。
CN201610498806.7A 2016-06-30 2016-06-30 一种密封圈 Active CN106122627B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610498806.7A CN106122627B (zh) 2016-06-30 2016-06-30 一种密封圈

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610498806.7A CN106122627B (zh) 2016-06-30 2016-06-30 一种密封圈

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN106122627A true CN106122627A (zh) 2016-11-16
CN106122627B CN106122627B (zh) 2019-01-18

Family

ID=57284616

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201610498806.7A Active CN106122627B (zh) 2016-06-30 2016-06-30 一种密封圈

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN106122627B (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021120735A1 (zh) * 2019-12-16 2021-06-24 华为技术有限公司 一种检测装置以及服务器

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE29810281U1 (de) * 1998-06-09 1998-09-24 IDT Industrie- und Dichtungstechnik GmbH, 45307 Essen Flachdichtung mit einer eine elektrische Erdungsvorrichtung aufweisenden metallischen Einlage
CN2596159Y (zh) * 2002-12-13 2003-12-31 宁波阿勒法管系机械制造有限公司 一种金属法兰管的绝缘连接结构
WO2008120399A1 (ja) * 2007-04-03 2008-10-09 Nok Corporation 密封構造
CN202416270U (zh) * 2012-02-20 2012-09-05 成都太微电子科技有限公司 一种大坝闸门橡胶密封圈
CN203847862U (zh) * 2014-03-27 2014-09-24 王志坤 一种带密封泄漏检查孔的法兰
US20150021863A1 (en) * 2013-07-22 2015-01-22 Jui-Kung WANG Mutiple-Leak Proof Sealiing System
CN204153142U (zh) * 2014-10-16 2015-02-11 云南国为机械科技有限公司 一种具有破损检测功能的金属包覆垫片
CN104565614A (zh) * 2014-12-22 2015-04-29 洛阳能源密封件有限公司 一种具有多重抗压结构的法兰盘和密封圈结构

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE29810281U1 (de) * 1998-06-09 1998-09-24 IDT Industrie- und Dichtungstechnik GmbH, 45307 Essen Flachdichtung mit einer eine elektrische Erdungsvorrichtung aufweisenden metallischen Einlage
CN2596159Y (zh) * 2002-12-13 2003-12-31 宁波阿勒法管系机械制造有限公司 一种金属法兰管的绝缘连接结构
WO2008120399A1 (ja) * 2007-04-03 2008-10-09 Nok Corporation 密封構造
CN202416270U (zh) * 2012-02-20 2012-09-05 成都太微电子科技有限公司 一种大坝闸门橡胶密封圈
US20150021863A1 (en) * 2013-07-22 2015-01-22 Jui-Kung WANG Mutiple-Leak Proof Sealiing System
CN203847862U (zh) * 2014-03-27 2014-09-24 王志坤 一种带密封泄漏检查孔的法兰
CN204153142U (zh) * 2014-10-16 2015-02-11 云南国为机械科技有限公司 一种具有破损检测功能的金属包覆垫片
CN104565614A (zh) * 2014-12-22 2015-04-29 洛阳能源密封件有限公司 一种具有多重抗压结构的法兰盘和密封圈结构

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021120735A1 (zh) * 2019-12-16 2021-06-24 华为技术有限公司 一种检测装置以及服务器
US20220307947A1 (en) * 2019-12-16 2022-09-29 Huawei Technologies Co., Ltd. Detection apparatus and server
EP4043895A4 (en) * 2019-12-16 2022-12-28 Huawei Technologies Co., Ltd. DETECTION DEVICE AND SERVER

Also Published As

Publication number Publication date
CN106122627B (zh) 2019-01-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101248343B (zh) 带有集成寿命检测能力的结构
US20230383416A1 (en) Test station assemblies for monitoring cathodic protection of structures and related methods
CN106197579A (zh) 具有弹簧激发的密封环的磁性流量计流量管组件
US20110227721A1 (en) Leak detection system for pipes
CN103683996B (zh) 一种逆变器
CN107834283A (zh) 插头、插座及水下电连接器的密封结构
KR101584589B1 (ko) 단지내 배전선로 접지 모니터링 장치
CN106122627A (zh) 一种密封圈
CN106197580A (zh) 具有过程流体排放套件的磁流量计流管
US20230142868A1 (en) Monitoring wafer and monitoring system
US8602065B2 (en) Anticipatory failure indicator and fluid cooling arrangement
CN106463881A (zh) 用于电气设备的可替换的套管
CN107181221A (zh) 一种绝缘套管及用该绝缘套管的充气柜
CN209757484U (zh) 用于深海油气田生产监控的水下耐压密封舱
CN204068120U (zh) 压缩机用高防护等级的电气接线盒装置
CN206864750U (zh) 射频连接器及通信系统
CN202132030U (zh) 一种带承压的绝缘短节
KR101485029B1 (ko) 지중 배전선용 절연케이블
CN208833857U (zh) 一种具有漏电提示功能的配电终端
CN207935768U (zh) 水管接头漏水检测保护装置
CN106248303A (zh) 检测传感器防水密封性能的增压装置
KR101742160B1 (ko) 누수감지 센서
CN207571234U (zh) 漏电报警器
CN103456431A (zh) 一种盆式绝缘子以及使用该绝缘子的高压开关
CN204200220U (zh) 可压缩同轴连接装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant