CN106094420B - 掩模板及其制作方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种掩模板及其制作方法。所述掩模板包括：边框，所述边框包括至少四框体分段，至少四所述框体分段首尾连接；掩模膜，所述掩模膜设置在所述边框的第一上表面上，所述掩模膜上设置有至少两透光孔，所述透光孔用于在显示面板的预定部件的制作过程中透过照射到所述掩模膜上的光线的至少一部分，以使从所述掩模膜透过的光线照射到待形成的所述预定部件所对应的材料层上。本发明能避免所述掩模膜上的所述透光孔的实际形状或尺寸与目标形状或尺寸具有较大的差异。

Description

掩模板及其制作方法
【技术领域】
本发明涉及掩模技术领域，特别涉及一种掩模板及其制作方法。
【背景技术】
传统的显示面板中的像素电极等一般都需要借助掩模板来形成。
传统的掩模板一般为FMM(Fine Metal Mask，高精度金属掩模板)。
上述传统的掩模板的制作过程中一般是将在金属薄片上设置用于形成像素电极的孔洞，然后将具有所述孔洞的所述金属薄片焊接在金属框上。
在实践中，发明人发现现有技术至少存在以下问题：
在将金属薄片焊接在金属框的过程中，需要对所述金属片进行拉伸，以保持所述金属薄片平整。
然而，上述对所述金属薄片进行拉伸的操作很容易导致所述孔洞变形，从而使得通过所述掩模板制作出来的显示面板上的像素的实际形状或尺寸与目标形状或尺寸差距较大，这会严重影响显示面板的显示质量。
故，有必要提出一种新的技术方案，以解决上述技术问题。
【发明内容】
本发明的目的在于提供一种掩模板及其制作方法，其能避免掩模膜上的透光孔的实际形状或尺寸跟目标形状或尺寸具有较大的差异。
为解决上述问题，本发明的技术方案如下：
一种掩模板，所述掩模板包括：边框，所述边框包括至少四框体分段，至少四所述框体分段首尾连接；掩模膜，所述掩模膜设置在所述边框的第一上表面上，所述掩模膜上设置有至少两透光孔，所述透光孔用于在显示面板的预定部件的制作过程中透过照射到所述掩模膜上的光线的至少一部分，以使从所述掩模膜透过的光线照射到待形成的所述预定部件所对应的材料层上；所述掩模膜是通过在至少四所述框体分段所围成的中间区域放置一支承板，再在所述支承板的第二上表面上以及所述第一上表面上涂布光刻胶材料，以形成光刻胶层，并对所述光刻胶层进行烘干，将烘干后的所述光刻胶层的两边缘部固定在所述边框的两相对的所述框体分段上，然后对烘干后的所述光刻胶层实施黄光制程和显影制程，以在烘干后的所述光刻胶层上形成所述透光孔，以及将所述支承板与所述边框相分离来形成的；其中，所述第二上表面与所述第一上表面共面，并且所述支承板在所述中间区域中与两相对的所述框体分段耦接；所述支承板为塑料板，所述塑料板的两相对的侧边与所述边框的两相对的所述框体分段的内侧面相抵接。
在上述掩模板中，所述掩模膜包括第一边缘部和第二边缘部，所述第一边缘部固定在所述边框的两相对的所述框体分段上与所述第一上表面对应的表面上，并且，所述掩模膜覆盖至少四所述框体分段所围成的中间区域的至少一部分。
在上述掩模板中，所述光刻胶层的厚度处于20微米至50微米的范围内。
在上述掩模板中，所述透光孔的形状与待形成的所述预定部件的形状对应，所述预定部件为所述显示面板的导线、电极、色阻块、遮光块、间隔件中的至少一者。
一种掩模板的制作方法，所述方法包括以下步骤：A、形成边框，其中，所述边框包括至少四框体分段，至少四所述框体分段首尾连接；B、在至少四所述框体分段所围成的中间区域的至少一部分上以及所述边框的第一上表面上形成掩模膜，其中，所述掩模膜上设置有至少两透光孔，所述透光孔用于在显示面板的预定部件的制作过程中透过照射到所述掩模膜上的光线的至少一部分，以使从所述掩模膜透过的光线照射到待形成的所述预定部件所对应的材料层上；所述步骤B包括：b 1、在所述中间区域放置一支承板，其中，所述支承板的第二上表面与所述第一上表面共面，并且所述支承板在所述中间区域中与两相对的所述框体分段耦接；b2、在所述支承板的第二上表面上以及所述第一上表面上涂布光刻胶材料，以形成光刻胶层；b3、对所述光刻胶层进行烘干；b4、将烘干后的所述光刻胶层的两边缘部固定在所述边框的两相对的所述框体分段上；b5、对烘干后的所述光刻胶层实施黄光制程和显影制程，以在烘干后的所述光刻胶层上形成所述透光孔；b6、将所述支承板与所述边框相分离；所述支承板为塑料板，所述塑料板的两相对的侧边与所述边框的两相对的所述框体分段的内侧面相抵接。
在上述掩模板的制作方法中，所述掩模膜包括第一边缘部和第二边缘部，所述第一边缘部固定在所述边框的两相对的所述框体分段上与所述第一上表面对应的表面上，并且，所述掩模膜覆盖所述中间区域的至少一部分。
在上述掩模板的制作方法中，所述光刻胶层的厚度处于20微米至50微米的范围内。
在上述掩模板的制作方法中，所述透光孔的形状与待形成的所述预定部件的形状对应，所述预定部件为所述显示面板的导线、电极、色阻块、遮光块、间隔件中的至少一者。
相对现有技术，本发明能避免掩模膜上的透光孔的实际形状或尺寸与目标形状或尺寸具有较大的差异。
为让本发明的上述内容能更明显易懂，下文特举优选实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。
【附图说明】
图1至图5是本发明的掩模板的制作方法的示意图；
图6是本发明的掩模板的制作方法的流程图；
图7是图6中形成掩模膜的步骤的流程图。
【具体实施方式】
本说明书所使用的词语“实施例”意指实例、示例或例证。此外，本说明书和所附权利要求中所使用的冠词“一”一般地可以被解释为“一个或多个”，除非另外指定或从上下文可以清楚确定单数形式。
如图1至图5所示，本发明的掩模板包括边框101和掩模膜。
所述边框101包括至少四框体分段1011，至少四所述框体分段1011首尾连接。
所述掩模膜设置在所述边框101的第一上表面上，所述掩模膜上设置有至少两透光孔，所述透光孔用于在显示面板的预定部件的制作过程中透过照射到所述掩模膜上的光线的至少一部分，以使从所述掩模膜透过的光线照射到待形成的所述预定部件所对应的材料层上。
所述显示面板可以是TFT-LCD(Thin Film Transistor Liquid CrystalDisplay，薄膜晶体管液晶显示面板)、OLED(Organic Light Emitting Diode，有机发光二极管显示面板)等。
所述透光孔以一维阵列或二维阵列排列。
所述掩模膜包括半透光区3011，所述半透光区3011由所述透光孔和所述掩模膜中位于相邻两所述透光孔之间的不透光的部分组成。
在本发明的掩模板中，所述掩模膜包括第一边缘部和第二边缘部，所述第一边缘部固定在所述边框101的两相对的所述框体分段1011上与所述第一上表面对应的表面上，并且，所述掩模膜覆盖至少四所述框体分段1011所围成的中间区域1012的至少一部分。
在本发明的掩模板中，所述掩模膜是通过在所述中间区域1012放置一支承板201，再在所述支承板201的第二上表面上以及所述第一上表面上涂布光刻胶材料，以形成光刻胶层301，并对所述光刻胶层301进行烘干，将烘干后的所述光刻胶层301的两边缘部固定在所述边框101的两相对的所述框体分段1011上，然后对烘干后的所述光刻胶层301实施黄光制程和显影制程，以在烘干后的所述光刻胶层301上形成所述透光孔，以及将所述支承板201与所述边框101相分离来形成的。
其中，所述第二上表面与所述第一上表面共面，并且所述支承板201在所述中间区域1012中与所述两相对的框体分段1011耦接。
所述支承板201为塑料板，所述塑料板与所述边框101相卡设。具体地，所述塑料板的两相对的侧边与所述边框101的两相对的所述框体分段1011的内侧面相抵接。
所述光刻胶材料可例如为正型光刻胶。
在本发明的掩模板中，所述光刻胶层301的厚度处于20微米至50微米的范围内。
例如，所述厚度为20微米、22微米、24微米、26微米、28微米、30微米、32微米、34微米、36微米、38微米、40微米、42微米、44微米、46微米、48微米、50微米。
在本发明的掩模板中，所述透光孔的形状与待形成的所述预定部件的形状对应，所述预定部件为所述显示面板的导线、电极、色阻块、遮光块、间隔件中的至少一者。
例如，所述透光孔的形状为线条状、矩形状、圆形状等形状。
如图1至图7所示，本发明的掩模板的制作方法包括以下步骤：
A(步骤601)、形成边框101，其中，所述边框101包括至少四框体分段1011，至少四所述框体分段1011首尾连接。
B(步骤602)、在至少四所述框体分段1011所围成的中间区域1012的至少一部分上以及所述边框101的第一上表面上形成掩模膜，其中，所述掩模膜上设置有至少两透光孔，所述透光孔用于在显示面板的预定部件的制作过程中透过照射到所述掩模膜上的光线的至少一部分，以使从所述掩模膜透过的光线照射到待形成的所述预定部件所对应的材料层上。
所述透光孔以一维阵列或二维阵列排列。
所述掩模膜包括半透光区3011，所述半透光区3011由所述透光孔和所述掩模膜中位于相邻两所述透光孔之间的不透光的部分组成。
在本发明的掩模板的制作方法中，所述掩模膜包括第一边缘部和第二边缘部，所述第一边缘部固定在所述边框101的两相对的所述框体分段1011上与所述第一上表面对应的表面上，并且，所述掩模膜覆盖所述中间区域1012的至少一部分。
在本发明的掩模板的制作方法中，所述步骤B(步骤602)包括：
b 1(步骤6021)、在所述中间区域1012放置一支承板201，其中，所述第二上表面与所述第一上表面共面，并且所述支承板201在所述中间区域1012中与所述两相对的框体分段1011耦接。
b2(步骤6022)、在所述支承板201的第二上表面上以及所述第一上表面上涂布光刻胶材料，以形成光刻胶层301。
b3(步骤6023)、对所述光刻胶层301进行烘干。
b4(步骤6024)、将烘干后的所述光刻胶层301的两边缘部固定在所述边框101的两相对的所述框体分段1011上。
b5(步骤6025)、对烘干后的所述光刻胶层301实施黄光制程和显影制程，以在烘干后的所述光刻胶层301上形成所述透光孔。
b6(步骤6026)、将所述支承板201与所述边框101相分离。
所述支承板201为塑料板，所述塑料板与所述边框101相卡设。具体地，所述塑料板的两相对的侧边与所述边框101的两相对的所述框体分段1011的内侧面相抵接。
所述光刻胶材料可例如为正型光刻胶。
在本发明的掩模板的制作方法中，所述光刻胶层301的厚度处于20微米至50微米的范围内。
例如，所述厚度为20微米、22微米、24微米、26微米、28微米、30微米、32微米、34微米、36微米、38微米、40微米、42微米、44微米、46微米、48微米、50微米。
在本发明的掩模板的制作方法中，所述透光孔的形状与待形成的所述预定部件的形状对应，所述预定部件为所述显示面板的导线、电极、色阻块、遮光块、间隔件中的至少一者。
例如，所述透光孔的形状为线条状、矩形状、圆形状等形状。
通过上述技术方案，由于本发明使用通过光刻胶材料制作的掩模膜来代替传统的金属薄片，所述掩模膜与所述边框101相固定的操作以及所述掩模膜上的透光孔的形成是在同一道工序中执行的，即，在将具有透光孔的掩模膜固定在所述边框101上的过程中无需对具有透光孔的掩模膜进行拉伸，因此不会造成所述透光孔变形，即，有利于避免所述透光孔的实际形状或尺寸与目标形状或尺寸具有较大的差异，从而有利于确保显示面板的显示质量。
综上所述，虽然本发明已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。

Claims (8)

1.一种掩模板，其特征在于，所述掩模板包括：
边框，所述边框包括至少四框体分段，至少四所述框体分段首尾连接；
掩模膜，所述掩模膜设置在所述边框的第一上表面上，所述掩模膜上设置有至少两透光孔，所述透光孔用于在显示面板的预定部件的制作过程中透过照射到所述掩模膜上的光线的至少一部分，以使从所述掩模膜透过的光线照射到待形成的所述预定部件所对应的材料层上；
所述掩模膜是通过在至少四所述框体分段所围成的中间区域放置一支承板，再在所述支承板的第二上表面上以及所述第一上表面上涂布光刻胶材料，以形成光刻胶层，并对所述光刻胶层进行烘干，将烘干后的所述光刻胶层的两边缘部固定在所述边框的两相对的所述框体分段上，然后对烘干后的所述光刻胶层实施黄光制程和显影制程，以在烘干后的所述光刻胶层上形成所述透光孔，以及将所述支承板与所述边框相分离来形成的；
其中，所述第二上表面与所述第一上表面共面，并且所述支承板在所述中间区域中与两相对的所述框体分段耦接；
所述支承板为塑料板，所述塑料板的两相对的侧边与所述边框的两相对的所述框体分段的内侧面相抵接。
2.根据权利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述掩模膜包括第一边缘部和第二边缘部，所述第一边缘部固定在所述边框的两相对的所述框体分段上与所述第一上表面对应的表面上，并且，所述掩模膜覆盖至少四所述框体分段所围成的中间区域的至少一部分。
3.根据权利要求2所述的掩模板，其特征在于，所述光刻胶层的厚度处于20微米至50微米的范围内。
4.根据权利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述透光孔的形状与待形成的所述预定部件的形状对应，所述预定部件为所述显示面板的导线、电极、色阻块、遮光块、间隔件中的至少一者。
5.一种掩模板的制作方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：
A、形成边框，其中，所述边框包括至少四框体分段，至少四所述框体分段首尾连接；
B、在至少四所述框体分段所围成的中间区域的至少一部分上以及所述边框的第一上表面上形成掩模膜，其中，所述掩模膜上设置有至少两透光孔，所述透光孔用于在显示面板的预定部件的制作过程中透过照射到所述掩模膜上的光线的至少一部分，以使从所述掩模膜透过的光线照射到待形成的所述预定部件所对应的材料层上；
所述步骤B包括：
b1、在所述中间区域放置一支承板，其中，所述支承板的第二上表面与所述第一上表面共面，并且所述支承板在所述中间区域中与两相对的所述框体分段耦接；
b2、在所述支承板的第二上表面上以及所述第一上表面上涂布光刻胶材料，以形成光刻胶层；
b3、对所述光刻胶层进行烘干；
b4、将烘干后的所述光刻胶层的两边缘部固定在所述边框的两相对的所述框体分段上；
b5、对烘干后的所述光刻胶层实施黄光制程和显影制程，以在烘干后的所述光刻胶层上形成所述透光孔；
b6、将所述支承板与所述边框相分离；
所述支承板为塑料板，所述塑料板的两相对的侧边与所述边框的两相对的所述框体分段的内侧面相抵接。
6.根据权利要求5所述的掩模板的制作方法，其特征在于，所述掩模膜包括第一边缘部和第二边缘部，所述第一边缘部固定在所述边框的两相对的所述框体分段上与所述第一上表面对应的表面上，并且，所述掩模膜覆盖所述中间区域的至少一部分。
7.根据权利要求5所述的掩模板的制作方法，其特征在于，所述光刻胶层的厚度处于20微米至50微米的范围内。
8.根据权利要求5所述的掩模板的制作方法，其特征在于，所述透光孔的形状与待形成的所述预定部件的形状对应，所述预定部件为所述显示面板的导线、电极、色阻块、遮光块、间隔件中的至少一者。
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