CN106094238A - 光学对准系统 - Google Patents
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Abstract
本申请公开了一种光学对准系统，包括载台导轨、主机台导轨、第一连杆和第二连杆；第一连杆设在主机台导轨上，第一连杆的一端固定第一激光发射器，另一端固定第二激光发射器；第二连杆设在载台导轨上，第二连杆的一端固定第一全反射透镜，另一端固定第二全反射透镜；第一激光发射器发射的光束能够经过第一全反射透镜90度反射到透明镜片上，第二激光发射器发射的光束能够经过第二全反射透镜90度反射到透明镜片上；透明镜片位于第一全反射透镜与第二全反射透镜的连线上；第一激光发射器和第二激光发射器之间的距离与第一全反射透镜和第二全反射透镜之间的距离相等。使用本发明的光学对准系统进行轨道对接时，对准情况直观可视，省时且成功率高。
Description
技术领域
本公开一般涉及光学对准系统，具体涉及解决对接式进片台对准问题的光学对准系统。
背景技术
在晶圆片级芯片规模封装(Wafer Level Chip Scale Packaging，WLCSP)制备工艺中，背胶涂布使用DEK背胶刷片机，DEK背胶刷片机的刷背胶载片台和主机腔是分离设计，使用时载台轨道物理对接到主机，其中DEK为英国的一个设备供应商的名字。在实际刷背胶工艺中，往往由于载台轨道与主机对接不准，载台从滑轨传送到主机时，会出现因接口不准导致的传送阻碍，从而造成进一步的故障。
发明内容
鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种解决对接式进片台对准问题的光学对准系统。
为了实现上述目的，本发明采取的技术方案是：
一种光学对准系统，包括载台导轨、主机台导轨、第一连杆和第二连杆；
所述第一连杆设置在主机台导轨上，所述第一连杆的一端固定有第一激光发射器，另一端固定有第二激光发射器；
所述第二连杆设置在载台导轨上，所述第二连杆的一端固定有第一全反射透镜，另一端固定有第二全反射透镜；
所述第一激光发射器发射的第一光束能够经过所述第一全反射透镜90度反射到透明镜片上，所述第二激光发射器发射的第二光束能够经过所述第二全反射透镜90度反射到透明镜片上；
所述透明镜片位于所述第一全反射透镜与第二全反射透镜的连线上；
所述第一激光发射器和所述第二激光发射器之间的距离与所述第一全反射透镜和所述第二全反射透镜之间的距离相等。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
本发明解决了对接式进片台对准问题，通过采用两个光发射源分别照射到镜面并反射，光源重合即对准。使用本发明的光学对准系统进行轨道对接时，对准情况直观可视、简单且有效、省时且成功率高、误差小，圆片定位准确也会在一定程度上提高背胶机的工艺性能，并可扩展到其他类似结构的轨道对准时辅助使用。
附图说明
通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
图1为本发明实施例提供的光学对准系统的俯视图；
图2本发明实施例提供的光学对准系统的正面侧俯视图。
图中：1载台导轨，2主机台导轨，3第一连杆，4第二连杆，5第一激光发射器，6第二激光发射器，7第一全反射透镜，8第二全反射透镜，9透明镜片，10第一光束，11第二光束。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关发明，而非对该发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与发明相关的部分。
需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。
参见图1和图2，一种光学对准系统，包括载台导轨1、主机台导轨2、第一连杆3和第二连杆4；
第一连杆3设置在主机台导轨2上，第一连杆3的一端固定有第一激光发射器5，另一端固定有第二激光发射器6；
第二连杆4设置在载台导轨1上，第二连杆4的一端固定有第一全反射透镜7，另一端固定有第二全反射透镜8；
第一激光发射器5发射的第一光束10能够经过第一全反射透镜7后90度反射到透明镜片9上，第二激光发射器6发射的第二光束11能够经过第二全反射透镜8后90度反射到透明镜片9上；
透明镜片9位于第一全反射透镜7的反射点与第二全反射透镜8的反射点的连线上；
第一激光发射器5和第二激光发射器6之间的距离与第一全反射透镜7和第二全反射透镜之间8的距离相等。
本发明使用辅助工具保证背胶刷片机的光学对准，解决对接式进片台对准问题。使用本发明的光学对准系统进行轨道对接时，对准情况直观可视，具有简单、省时且对准成功率高、误差小的优点。
本实施例在上述实施例的基础上，第一连杆3为能够调节长度的伸缩杆。
本实施例在上述实施例的基础上，第二连杆4为能够调节长度的伸缩杆。
本发明的第一连杆和第二连杆可调节长度，能够适应不同距离的载台轨道，可伸缩调节的连杆，也能够调节使得第一激光发射器和第二激光发射器之间的距离与第一全反射透镜和第二全反射透镜之间的距离相等，从而保证了第一光束、第二光束及载台轨道之间相互平行。
本实施例在上述实施例的基础上，为了便于连接固定，第一连杆3的两端卡接固定在主机台导轨2上。
本实施例在上述实施例的基础上，为了便于连接固定，第二连杆4的两端卡接固定在载台导轨1上。
本实施例在上述实施例的基础上，透明镜片9的中心位于第一全反射透镜7与第二全反射透镜8的连线上。
本发明两个反射透镜，即第一全反射透镜与第二全反射透镜反射的光都会落在透明镜片9上面，可以直接通过透明镜片9上存在的光点情况来判断是否平行，存在一个点平行，两个点即是不平行，需要调整为平行。
本实施例在上述实施例的基础上，为了便于判断光点是否很好重合，第一激光发射器5和第二激光发射器6用于发射相同颜色的可见光。
一般都是选用同种颜色的可见光，红光最多，而且选用实际操作环境比较亮的光，当然也可以选用其他颜色，即使选用的颜色看不到光束，也可以通过透明镜片上的光点判断。不同颜色的光有些颜色会把其他颜色盖掉，不容易判断第一全反射透镜与第二全反射透镜反射的光是否落在透明镜片上的同一个点。因此最好选用同一种颜色的光。
本发明在DEK背胶机台的现有轨道结构上，安装一种光学对准辅助装置系统，第一激光发射器和第二激光发射器均为微型激光发射器，固定在相应的第一连杆上，第一连杆长短可伸缩；第一全反射透镜、第二全反射透镜和透明镜片组成一个接收装置，由第二连杆固定，第二连杆长短可伸缩；透明镜片为透明小玻璃镜片。使用时将第一连杆固定在主机台导轨上，第二连杆固定在载片台的导轨上，打开激光发生器电源，第一激光发射器和第二激光发射器同为发射端，第一激光发射器发射出红色可见光，第一激光发射器发射出绿色可见光，红色可见光和绿色可见光经全反射透镜接收光线，并90度反射到透明镜片上，当两组光斑重合时，载片台导轨和主机台导轨即呈线性，对接完成。
以上描述仅为本申请的较佳实施例以及对所运用技术原理的说明。本领域技术人员应当理解，本申请中所涉及的发明范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖在不脱离所述发明构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本申请中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。
Claims (7)
1.一种光学对准系统，其特征在于，包括载台导轨、主机台导轨、第一连杆和第二连杆；
所述第一连杆设置在主机台导轨上，所述第一连杆的一端固定有第一激光发射器，另一端固定有第二激光发射器；
所述第二连杆设置在载台导轨上，所述第二连杆的一端固定有第一全反射透镜，另一端固定有第二全反射透镜；
所述第一激光发射器发射的第一光束能够经过所述第一全反射透镜90度反射到透明镜片上，所述第二激光发射器发射的第二光束能够经过所述第二全反射透镜90度反射到透明镜片上；
所述透明镜片位于所述第一全反射透镜与第二全反射透镜的连线上；
所述第一激光发射器和所述第二激光发射器之间的距离与所述第一全反射透镜和所述第二全反射透镜之间的距离相等。
2.根据权利要求1所述的光学对准系统，其特征在于，所述第一连杆为能够调节长度的伸缩杆。
3.根据权利要求1所述的光学对准系统，其特征在于，所述第二连杆为能够调节长度的伸缩杆。
4.根据权利要求1所述的光学对准系统，其特征在于，所述第一连杆的两端卡接固定在所述主机台导轨上。
5.根据权利要求1所述的光学对准系统，其特征在于，所述第二连杆的两端卡接固定在所述载台导轨上。
6.根据权利要求1-5任一项所述的光学对准系统，其特征在于，所述透明镜片的中心位于所述第一全反射透镜的反射点与第二全反射透镜的反射点的连线上。
7.根据权利要求6所述的光学对准系统，其特征在于，所述第一激光发射器和所述第二激光发射器用于发射相同颜色的可见光。
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Publications (2)
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Citations (5)
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| CN106094238B (zh) | 2018-09-28 |
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