CN106052869A - 一种基于渐变滤光片分光的红外光谱辐射计 - Google Patents
一种基于渐变滤光片分光的红外光谱辐射计 Download PDFInfo
- Publication number
- CN106052869A CN106052869A CN201610333257.8A CN201610333257A CN106052869A CN 106052869 A CN106052869 A CN 106052869A CN 201610333257 A CN201610333257 A CN 201610333257A CN 106052869 A CN106052869 A CN 106052869A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- infrared
- light
- focus
- gradual filter
- lens group
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 4
- 230000004446 light reflex Effects 0.000 claims 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 8
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 abstract description 6
- 238000002329 infrared spectrum Methods 0.000 description 3
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 230000011514 reflex Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
本发明公开了一种基于渐变滤光片分光的红外光谱辐射计,入射镜头后部设置有斩光器,斩光器后方设置有可变光阑,可变光阑后方设置有渐变滤光片,可变光阑与渐变滤光片之间设置有第一聚焦透镜组,渐变滤光片后方设置有红外探测器,渐变滤光片与红外探测器之间设置有第二聚焦透镜组;来自入射镜头的光线经斩光器形成第一聚焦点,可变光阑位于第一聚焦点处,光线穿过可变光阑经第一聚焦透镜组形成第二聚焦点,渐变滤光片位于第二聚焦点处,光线穿过渐变滤光片经第二聚焦透镜组形成第三聚焦点,红外探测器位于第三聚焦点处,第一聚焦点、第二聚焦点与第三聚焦点位于同一轴线上。保证了可变光阑的视场控制效果,降低了装调难度,提高了聚焦效果。
Description
技术领域
本发明涉及红外光谱辐射计领域,尤其涉及一种基于渐变滤光片分光的红外光谱辐射计。
背景技术
红外光谱辐射计用于目标红外辐射的分光测试,其分光方式有干涉分光方式、光栅分光方式、渐变滤光片分光方式等,基于不同分光方式的红外光谱辐射计各有特点。其中渐变滤光片分光方式结构简单,环境适应性好,测试速度快。
传统的基于渐变滤光片分光方式的红外光谱辐射计,如图1所示的,包括入射镜头、斩光器、可变光阑、渐变滤光片、聚焦镜组、探测器等,聚焦镜组由两个相向布置的镀金反射镜组成。但这种结构具有以下缺点:
(1)在渐变滤光片与探测器处两次聚焦,由于渐变滤光片与可变光阑本身有一定厚度,加上其夹具与电机固定装置,可变光阑与渐变滤光片之间难免存在一定前后距离,难以保证可变光阑处于焦点位置,但实际应用中,可变光阑对视场的控制要求其尽量处于焦点处,因此,这种结构无法实现仪器良好的视场控制。(2)聚焦采用反射式,相比透镜,反射镜表面精度对光程的影响是双倍的,反射镜表面所需的精度大大提高,增加了制作装调难度。
因此,现有技术有待于更进一步的改进和发展。
发明内容
鉴于上述现有技术的不足,本发明的目的在于提供一种基于渐变滤光片分光的红外光谱辐射计,以保证可变光阑的视场控制效果,降低装调难度,提高聚焦效果。
为解决上述技术问题,本发明方案包括:
一种基于渐变滤光片分光的红外光谱辐射计,其包括入射镜头,其中,入射镜头后部设置有斩光器,斩光器后方设置有可变光阑,可变光阑后方设置有渐变滤光片,可变光阑与渐变滤光片之间设置有第一聚焦透镜组,渐变滤光片后方设置有红外探测器,渐变滤光片与红外探测器之间设置有第二聚焦透镜组;来自入射镜头的光线经斩光器形成第一聚焦点,可变光阑位于第一聚焦点处,光线穿过可变光阑经第一聚焦透镜组形成第二聚焦点,渐变滤光片位于第二聚焦点处,光线穿过渐变滤光片经第二聚焦透镜组形成第三聚焦点,红外探测器位于第三聚焦点处,第一聚焦点、第二聚焦点与第三聚焦点位于同一轴线上。
所述的红外光谱辐射计,其中,上述入射镜头包括镀金非球面反射主镜,镀金非球面反射主镜上设置有出光孔,镀金非球面反射主镜后方设置有镀金非球面反射次镜,光线自镀金非球面反射主镜反射至镀金非球面反射次镜,再经镀金非球面反射次镜反射自出光孔射出。
所述的红外光谱辐射计,其中,上述第一聚焦透镜组与第二聚焦透镜组结构相同,第一聚焦透镜组包括第一红外透镜与第二红外透镜,第一红外透镜与第二红外透镜相向布置,第一红外透镜与第二红外透镜之间的光线为水平光线,水平光线经第二红外透镜形成对应焦点。
本发明提供的一种基于渐变滤光片分光的红外光谱辐射计,目标红外辐射通过入射镜头进行会聚接收,通过斩光器被调制为脉冲光,通过可变光阑实现视场控制,通过聚焦镜组聚焦到渐变滤光片上进行分光,最后通过聚焦镜组聚焦到红外探测器上被探测,其中可变光阑、渐变滤光片、探测器均处于会聚焦点处,进而保证了视场控制效果,保证了渐变滤光片分光的分辨率,保证了探测器探测能量强度,在渐变滤光片与探测器处采用透射式聚焦,装调简单,成像效果好,通过对红外透镜镀增透膜,可有效保证透过率,提高了聚焦效果。
附图说明
图1为现有技术中红外光谱辐射计;
图2为本发明中红外光谱辐射计。
具体实施方式
本发明提供了一种基于渐变滤光片分光的红外光谱辐射计,为使本发明的目的、技术方案及效果更加清楚、明确,以下对本发明进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。
本发明提供了一种基于渐变滤光片分光的红外光谱辐射计,如图2所示的,其包括入射镜头,其中,入射镜头后部设置有斩光器1,斩光器1后方设置有可变光阑2,可变光阑2后方设置有渐变滤光片3,可变光阑2与渐变滤光片3之间设置有第一聚焦透镜组,渐变滤光片3后方设置有红外探测器4,渐变滤光片3与红外探测器4之间设置有第二聚焦透镜组5;来自入射镜头的光线经斩光器1形成第一聚焦点,可变光阑2位于第一聚焦点处,光线穿过可变光阑2经第一聚焦透镜组形成第二聚焦点,渐变滤光片3位于第二聚焦点处,光线穿过渐变滤光片3经第二聚焦透镜组5形成第三聚焦点,红外探测器4位于第三聚焦点处,第一聚焦点、第二聚焦点与第三聚焦点位于同一轴线上。
更进一步的,上述入射镜头包括镀金非球面反射主镜6,镀金非球面反射主镜6上设置有出光孔7,镀金非球面反射主镜6后方设置有镀金非球面反射次镜8,光线自镀金非球面反射主镜6反射至镀金非球面反射次镜8,再经镀金非球面反射次镜8反射自出光孔7射出,自出光孔7射出光线的焦点在斩光器1后方。
在本发明的另一较佳实施例中,上述第一聚焦透镜组与第二聚焦透镜组5结构相同,第一聚焦透镜组包括第一红外透镜9与第二红外透镜10,第一红外透镜9与第二红外透镜10相向布置,第一红外透镜9与第二红外透镜10之间的光线为水平光线,水平光线经第二红外透镜10形成对应焦点。
当然,以上说明仅仅为本发明的较佳实施例,本发明并不限于列举上述实施例,应当说明的是,任何熟悉本领域的技术人员在本说明书的教导下,所做出的所有等同替代、明显变形形式,均落在本说明书的实质范围之内,理应受到本发明的保护。
Claims (3)
1.一种基于渐变滤光片分光的红外光谱辐射计,其包括入射镜头,其特征在于,入射镜头后部设置有斩光器,斩光器后方设置有可变光阑,可变光阑后方设置有渐变滤光片,可变光阑与渐变滤光片之间设置有第一聚焦透镜组,渐变滤光片后方设置有红外探测器,渐变滤光片与红外探测器之间设置有第二聚焦透镜组;来自入射镜头的光线经斩光器形成第一聚焦点,可变光阑位于第一聚焦点处,光线穿过可变光阑经第一聚焦透镜组形成第二聚焦点,渐变滤光片位于第二聚焦点处,光线穿过渐变滤光片经第二聚焦透镜组形成第三聚焦点,红外探测器位于第三聚焦点处,第一聚焦点、第二聚焦点与第三聚焦点位于同一轴线上。
2.根据权利要求1所述的红外光谱辐射计,其特征在于,上述入射镜头包括镀金非球面反射主镜,镀金非球面反射主镜上设置有出光孔,镀金非球面反射主镜后方设置有镀金非球面反射次镜,光线自镀金非球面反射主镜反射至镀金非球面反射次镜,再经镀金非球面反射次镜反射自出光孔射出。
3.根据权利要求1所述的红外光谱辐射计,其特征在于,上述第一聚焦透镜组与第二聚焦透镜组结构相同,第一聚焦透镜组包括第一红外透镜与第二红外透镜,第一红外透镜与第二红外透镜相向布置,第一红外透镜与第二红外透镜之间的光线为水平光线,水平光线经第二红外透镜形成对应焦点。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201610333257.8A CN106052869B (zh) | 2016-05-18 | 2016-05-18 | 一种基于渐变滤光片分光的红外光谱辐射计 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201610333257.8A CN106052869B (zh) | 2016-05-18 | 2016-05-18 | 一种基于渐变滤光片分光的红外光谱辐射计 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN106052869A true CN106052869A (zh) | 2016-10-26 |
CN106052869B CN106052869B (zh) | 2018-10-09 |
Family
ID=57177809
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201610333257.8A Expired - Fee Related CN106052869B (zh) | 2016-05-18 | 2016-05-18 | 一种基于渐变滤光片分光的红外光谱辐射计 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN106052869B (zh) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107144359A (zh) * | 2017-05-16 | 2017-09-08 | 中国电子科技集团公司第四十研究所 | 红外光谱辐射计光谱分辨增强方法、红外光谱辐射计 |
CN107179131A (zh) * | 2017-05-16 | 2017-09-19 | 中国电子科技集团公司第四十研究所 | 一种宽波段高灵敏度红外光谱辐射计 |
WO2019074808A1 (en) * | 2017-10-11 | 2019-04-18 | Kla-Tencor Corporation | LENS DESIGN FOR ELLIPSOMETER OR SPECTROSCOPIC REFLECTOMETER |
CN112504451A (zh) * | 2020-11-10 | 2021-03-16 | 航天新气象科技有限公司 | 一种滤光辐射计 |
Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20040032584A1 (en) * | 2002-08-15 | 2004-02-19 | Tokuyuki Honda | Optical channel monitoring device |
US20120074294A1 (en) * | 2010-09-26 | 2012-03-29 | Raytheon Company | Discrete wavefront sampling using a variable transmission filter |
CN102656499A (zh) * | 2009-12-28 | 2012-09-05 | 索尼公司 | 光学单元和摄像装置 |
CN203084301U (zh) * | 2012-12-14 | 2013-07-24 | 中国电子科技集团公司第十一研究所 | 一种红外搜索和跟踪一体化光学成像系统 |
CN103472029A (zh) * | 2013-09-25 | 2013-12-25 | 江西科技师范大学 | 一种用于食品添加剂成分的检测装置 |
CN203414169U (zh) * | 2013-07-26 | 2014-01-29 | 华东师范大学 | 一种光路装置 |
CN103575402A (zh) * | 2013-11-07 | 2014-02-12 | 中国电子科技集团公司第四十一研究所 | 非制冷红外探测器相对光谱响应温度特性测试装置及方法 |
CN104198054A (zh) * | 2014-08-27 | 2014-12-10 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 可移动式高功率激光光束波前测量装置及其测量方法 |
CN204115872U (zh) * | 2014-10-10 | 2015-01-21 | 中国电子科技集团公司第四十一研究所 | 一种可拆卸红外光谱辐射测量同轴观瞄装置 |
CN104501042A (zh) * | 2014-12-15 | 2015-04-08 | 天津大学 | 基于工程漫射体的红外光谱仪光源系统 |
CN104535302A (zh) * | 2014-12-26 | 2015-04-22 | 上海大学 | 自聚焦光纤聚焦常数g的测量装置和方法 |
CN105043542A (zh) * | 2015-08-05 | 2015-11-11 | 中国电子科技集团公司第四十一研究所 | 基于渐变滤光片的连续可调单色输出装置 |
CN105486665A (zh) * | 2016-01-26 | 2016-04-13 | 深圳大学 | 一种spr检测系统及方法 |
-
2016
- 2016-05-18 CN CN201610333257.8A patent/CN106052869B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20040032584A1 (en) * | 2002-08-15 | 2004-02-19 | Tokuyuki Honda | Optical channel monitoring device |
CN102656499A (zh) * | 2009-12-28 | 2012-09-05 | 索尼公司 | 光学单元和摄像装置 |
US20120074294A1 (en) * | 2010-09-26 | 2012-03-29 | Raytheon Company | Discrete wavefront sampling using a variable transmission filter |
CN203084301U (zh) * | 2012-12-14 | 2013-07-24 | 中国电子科技集团公司第十一研究所 | 一种红外搜索和跟踪一体化光学成像系统 |
CN203414169U (zh) * | 2013-07-26 | 2014-01-29 | 华东师范大学 | 一种光路装置 |
CN103472029A (zh) * | 2013-09-25 | 2013-12-25 | 江西科技师范大学 | 一种用于食品添加剂成分的检测装置 |
CN103575402A (zh) * | 2013-11-07 | 2014-02-12 | 中国电子科技集团公司第四十一研究所 | 非制冷红外探测器相对光谱响应温度特性测试装置及方法 |
CN104198054A (zh) * | 2014-08-27 | 2014-12-10 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 可移动式高功率激光光束波前测量装置及其测量方法 |
CN204115872U (zh) * | 2014-10-10 | 2015-01-21 | 中国电子科技集团公司第四十一研究所 | 一种可拆卸红外光谱辐射测量同轴观瞄装置 |
CN104501042A (zh) * | 2014-12-15 | 2015-04-08 | 天津大学 | 基于工程漫射体的红外光谱仪光源系统 |
CN104535302A (zh) * | 2014-12-26 | 2015-04-22 | 上海大学 | 自聚焦光纤聚焦常数g的测量装置和方法 |
CN105043542A (zh) * | 2015-08-05 | 2015-11-11 | 中国电子科技集团公司第四十一研究所 | 基于渐变滤光片的连续可调单色输出装置 |
CN105486665A (zh) * | 2016-01-26 | 2016-04-13 | 深圳大学 | 一种spr检测系统及方法 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107144359A (zh) * | 2017-05-16 | 2017-09-08 | 中国电子科技集团公司第四十研究所 | 红外光谱辐射计光谱分辨增强方法、红外光谱辐射计 |
CN107179131A (zh) * | 2017-05-16 | 2017-09-19 | 中国电子科技集团公司第四十研究所 | 一种宽波段高灵敏度红外光谱辐射计 |
CN107144359B (zh) * | 2017-05-16 | 2019-03-19 | 中国电子科技集团公司第四十一研究所 | 红外光谱辐射计光谱分辨增强方法、红外光谱辐射计 |
WO2019074808A1 (en) * | 2017-10-11 | 2019-04-18 | Kla-Tencor Corporation | LENS DESIGN FOR ELLIPSOMETER OR SPECTROSCOPIC REFLECTOMETER |
US10739571B2 (en) | 2017-10-11 | 2020-08-11 | Kla-Tencor Corporation | Lens design for spectroscopic ellipsometer or reflectometer |
CN112504451A (zh) * | 2020-11-10 | 2021-03-16 | 航天新气象科技有限公司 | 一种滤光辐射计 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN106052869B (zh) | 2018-10-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101706548B (zh) | 一种电晕放电的光学检测装置 | |
CN106052869A (zh) | 一种基于渐变滤光片分光的红外光谱辐射计 | |
CN109387284B (zh) | 成像光谱仪辐射参数和成像参数定标装置及方法 | |
CN203164522U (zh) | 多谱段图像采集系统 | |
CN102183359B (zh) | 对光束的准直性进行检测的方法和装置 | |
WO2016110935A1 (ja) | Atr測定用対物光学系 | |
CN102175431A (zh) | 大动态范围点源杂光透射系数测量装置 | |
CN103454072B (zh) | 杂光系数和点源透过率复合测试方法及系统 | |
CN113125119A (zh) | 多谱段复合光电设备调焦调轴用离轴目标模拟器及方法 | |
CN108871587A (zh) | 红外热像仪netd测试的智能靶标装置及其使用方法 | |
CN105758566A (zh) | 玻璃表面应力仪 | |
CN104501972A (zh) | 一种复合型夏克-哈特曼波前传感器 | |
CN102032950B (zh) | 一种通过白日观测恒星测量整层大气相干长度的方法 | |
CN103487929B (zh) | 软x射线与极紫外复合型望远镜光轴和焦面的调整方法 | |
CN103884659A (zh) | 角分辨微纳光谱分析装置 | |
CN110553735A (zh) | 一种太阳光谱辐照度监测仪的稳定性测试系统 | |
CN204578635U (zh) | 一种红外相机及其焦面配准设备 | |
US9719922B2 (en) | Optical system and optical quality measuring apparatus | |
CN109030360A (zh) | 光路调试方法 | |
CN205719253U (zh) | 一种具有定位功能的光谱仪 | |
CN112672144A (zh) | 一种大动态环境目标模拟装置 | |
CN103308185B (zh) | 用于四杆靶标扫描的红外辐射计 | |
CN210108947U (zh) | 一种光学积分球和样品太赫兹反射光谱采集装置 | |
CN109060123B (zh) | 一种光谱辐亮度计 | |
US11054365B2 (en) | Microscopic analysis device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20181009 Termination date: 20200518 |
|
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |