CN106012026A - 一种用于led晶片制作的退火装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种用于LED晶片制作的退火装置，包括圆筒状的退火炉，所述退火炉下面设有鼓风机，底部水平设有若干根加热管，所述加热管上方水平设有隔离网，所述退火炉一侧通过氮气管道连接有氮气供应装置，另一侧通过氧气管道连接有氧气供应装置。进行LED晶片退火时，将LED晶片置于隔离网上，打开氮气控制阀和出气口，通一段时间氮气后，将退火炉中的空气赶出退火炉外，再关闭氮气控制阀和出气口，打开氧气控制阀、加热管开关和鼓风机开关。本发明结构简单，操作方便，且退火效果好。

Description

一种用于LED晶片制作的退火装置
技术领域
本发明涉及一种退火装置，特别涉及一种用于LED晶片制作的退火装置。
背景技术
退火是将金属迅速加热到一定温度，保持足够的时间，然后以适宜的速度冷却的一种金属热处理工艺，目的是使经过铸造、锻轧、焊接或切削加工的材料或工件软化，改善塑性和韧性，使化学成分均匀化，去除残余应力，或得到预期的物理性能。LED晶片退火过程为退火炉经氮气吹扫后，用红外加热至300～500摄氏度，硅片表面和氧气发生反应，使硅片表面形成二氧化硅保护层，但是现有的退火装置结构复杂，操作不便。为此，我们提出一种用于LED晶片制作的退火装置。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种用于LED晶片制作的退火装置，结构简单，操作方便，可以有效解决背景技术中的问题。
为实现上述目的，本发明采取的技术方案为：
一种用于LED晶片制作的退火装置，包括圆筒状的退火炉，所述退火炉下面设有鼓风机，底部水平设有若干根加热管，所述加热管上方水平设有隔离网，所述退火炉一侧通过氮气管道连接有氮气供应装置，另一侧通过氧气管道连接有氧气供应装置。
进一步的，所述退火炉上设有出气口，顶部设有密封盖，所述出气口和密封盖上均设有锁扣。
进一步的，所述退火炉一侧设有氮气入口，另一侧设有氧气入口。
进一步的，所述氮气管道和氧气管道上分别设有氮气控制阀和氧气控制阀。
进一步的，所述隔离网为惰性金属网。
进一步的，所述密封盖与退火炉连接处设有密封圈。
进一步的，所述加热管为红外加热管。
进行LED晶片退火时，将LED晶片置于隔离网上，打开氮气控制阀和出气口，通一段时间氮气后，将退火炉中的空气赶出退火炉外，再关闭氮气控制阀和出气口，打开氧气控制阀、加热管开关和鼓风机开关。本发明结构简单，操作方便，且退火效果好。
附图说明
图1为本发明的整体结构示意图；
图2为本发明退火炉的剖视图。
图中：1、退火炉；2、鼓风机；3、出风口；4、氮气供应装置；5、氮气控制阀；6、氮气管道；7、锁扣；8、密封盖；9、氧气管道；10、氧气控制阀；11、氧气供应装置；12、隔离网；13、氮气入口；14、氧气入口；15、加热管；16、密封圈。
具体实施方式
为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。
如图1和2所示，一种用于LED晶片制作的退火装置，包括圆筒状的退火炉，所述退火炉下面设有鼓风机，底部水平设有若干根加热管，所述加热管上方水平设有隔离网，所述退火炉一侧通过氮气管道连接有氮气供应装置，另一侧通过氧气管道连接有氧气供应装置。
优选的，所述退火炉上设有出气口，将空气排除退火炉外，顶部设有密封盖，退火时防止氧气逸出退火炉外，所述出气口和密封盖上均设有锁扣，退火时将出风口和密封盖锁紧。
优选的，所述退火炉一侧设有氮气入口，另一侧设有氧气入口，保证氮气和氧气通入退火炉。
优选的，所述氮气管道和氧气管道上分别设有氮气控制阀和氧气控制阀，控制氮气和氧气的通入。
优选的，所述隔离网为惰性金属网，避免与氧气发生反应消耗氧气，造成氧气的浪费。
优选的，所述密封盖与退火炉连接处设有密封圈，增加密封性，防止氧气逸出退火炉。
优选的，所述加热管为红外加热管，红外加热管升温迅速，省电、寿命长。
以上只通过说明的方式描述了本发明的某些示范性实施例，毋庸置疑，对于本领域的普通技术人员，在不偏离本发明的精神和范围的情况下，可以用各种不同的方式对所描述的实施例进行修正。因此，上述附图和描述在本质上是说明性的，不应理解为对本发明权利要求保护范围的限制。

Claims (7)

1.一种用于LED晶片制作的退火装置，包括圆筒状的退火炉，其特征在于：所述退火炉下面设有鼓风机，底部水平设有若干根加热管，所述加热管上方水平设有隔离网，所述退火炉一侧通过氮气管道连接有氮气供应装置，另一侧通过氧气管道连接有氧气供应装置。
2.根据权利要求1所述的一种用于LED晶片制作的退火装置，其特征在于：所述退火炉上设有出气口，顶部设有密封盖，所述出气口和密封盖上均设有锁扣。
3.根据权利要求1所述的一种用于LED晶片制作的退火装置，其特征在于：所述退火炉一侧设有氮气入口，另一侧设有氧气入口。
4.根据权利要求1所述的一种用于LED晶片制作的退火装置，其特征在于：所述氮气管道和氧气管道上分别设有氮气控制阀和氧气控制阀。
5.根据权利要求1所述的一种用于LED晶片制作的退火装置，其特征在于：所述隔离网为惰性金属网。
6.根据权利要求2所述的一种用于LED晶片制作的退火装置，其特征在于：所述密封盖与退火炉连接处设有密封圈。
7.根据权利要求1所述的一种用于LED晶片制作的退火装置，其特征在于：所述加热管为红外加热管。
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