CN105990185A - 对半导体对象执行操作的处理方法、系统及装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种对半导体对象执行操作的处理方法、系统及装置。其中，该处理方法包括：接收对半导体对象执行操作的操作请求；判断操作请求所指示的操作的操作权限是否被锁定；若操作的操作权限被锁定，则拒绝操作请求；若操作的操作权限未被锁定，则执行操作请求，并锁定半导体对象对应操作的操作权限。通过本发明，解决了现有技术中对同一个FOUP中的不同Lot同时执行操作，执行操作的对象不能全被操作成功，导致系统与实际帐料不符的问题，提高了同时对Lot/FOUP执行操作的成功率。

Description

对半导体对象执行操作的处理方法、系统及装置

技术领域

本发明涉及数据处理领域，具体而言，涉及一种对半导体对象执行操作的处理方法、系统及装置。

背景技术

现在的晶圆生产基本达到了100％的自动化生产，为了保证线上的自动化生产的顺利进行，需要保证MES系统业务记录高可靠性的成功率，否则就会打断线上的自动化生产，并需要人为干预才能恢复自动化生产，若打断了线上的自动化生产，轻则会影响Lot(即批次，同一批次生产的一批晶圆属于一个Lot)的生产周期，重则会影响机台的产能，给FAB的效益带来重大影响。

其中，MES为Manufacturing Execution System，即制造执行系统，是一套面向制造企业车间执行层的生产信息化管理系统；FAB为Fabrication，即晶圆加工厂。

300mm MES是在FactoryWorks 200mm的产品基础上开发了许多In-house Solution(即内部解决方案)而逐步发展成为一个成熟的300mm MES系统，在FW2.X产品(即FactoryWorks 200mm的产品)的基础上开发了FOUP(Front Open Unified Pod，即前开式晶圆盒)系统和Multi-Lot in one FOUP功能，以满足300mm晶圆制造的基本要求。

如何确保Lot/FOUP同时做帐成功已经成为了MES要解决的首要问题，也是决定300mm MES系统成败的关键所在，因为Lot和FOUP分别属于FW2.X和In-houseSolution两个不同的系统，因此经常会出现Lot和FOUP不能同时做帐成功的情况。

例如，如图1所示的FOUP A中有两个Lot：AA和BB，其中AA有两片晶圆，分别是AA#01和AA#02；Lot BB也有两片晶圆：BB#01和BB#02。如果操作员甲对Lot AA做in-FOUP分批的动作，将AA#02分批成Lot AA.01；与此同时，操作员乙对Lot BB做in-FOUP分批的动作，将BB#02分批成Lot BB.01。因为Lot AA和Lot BB属于不同的对象，因此对两者执行的分批动作不存在冲突，所以Lot对象的分批动作都会成功；但是，因为两个分批动作都要操作同一个FOUP A对象，因此上述的两个分批动作会发生冲突，可能只有一个分批动作会成功，而另一个分批动作会失败，如，对FOUP A的Lot AA分批操作成功，而对FOUP A的Lot BB分批操作失败。

在现有技术中，对同一个FOUP A中的不同对象同时执行分批操作，将导致系统与实体帐料不符，因此会导致FOUP A中的所有Lot都不能被操作，直至操作员手动将系统与实体的帐料恢复一致。这样就会大大增加Lot的生产周期，严重影响FAB的效益。

针对现有技术中对同一个FOUP中的不同Lot同时执行操作，执行操作的对象不能全被操作成功，导致系统与实际帐料不符的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种对半导体对象执行操作的处理方法、系统及装置，以解决现有技术中对同一个FOUP中的不同Lot同时执行操作，执行操作的对象不能全被操作成功，导致系统与实际帐料不符的问题。

为了实现上述目的，根据本发明实施例的一个方面，提供了一种对半导体对象执行操作的处理方法。

根据本发明的处理方法包括：接收对半导体对象执行操作的操作请求；判断操作请求所指示的操作的操作权限是否被锁定；若操作的操作权限被锁定，则拒绝操作请求；若操作的操作权限未被锁定，则执行操作请求，并锁定半导体对象对应操作的操作权限。

进一步地，判断操作请求所指示的操作的操作权限是否被锁定包括：判断操作的权限标识是否为预设值；若操作的权限标识为预设值，则判断出操作的操作权限被锁定；若操作的权限标识不为预设值，则判断出操作的操作权限未被锁定。

进一步地，在拒绝操作请求之后，处理方法包括：在第一预设时间段内每隔第二预设时间段重新判断操作请求所指示的操作的操作权限是否被锁定；若在第一预设时间段内判断出操作的操作权限未被锁定，则执行操作请求；若在第一预设时间段内未判断出操作的操作权限未被锁定，则生成拒绝操作请求的异常信息。

进一步地，在第一预设时间段内每隔第二预设时间段重新判断操作请求所指示的操作的操作权限是否被锁定包括：判断当前时刻是否达到预先设置的重复判断的时间间隔，其中，预先设置的重复判断的时间间隔为第二预设时间段；若当前时刻达到预先设置的重复判断的时间间隔，则判断操作请求所指示的操作的操作权限是否被锁定，获取判断结果；若判断结果指示操作的操作权限未被锁定，则确定在第一预设时间段内判断出操作的操作权限未被锁定；若判断结果指示操作的操作权限被锁定，则判断当前时刻距离接收到操作请求的时间是否达到第一预设时间段；若当前时刻距离接收到操作请求的时间达到第一预设时间段，则确定在第一预设时间段内未判断出操作的操作权限未被锁定；若当前时刻距离接收到操作请求的时间未达到第一预设时间段，则返回执行判断当前时刻是否达到预先设置的重复判断的时间间隔的步骤。

进一步地，在执行操作请求之后，处理方法还包括：释放操作请求所指示对半导体对象执行的操作的操作权限。

进一步地，判断操作请求所指示的操作的操作权限是否被锁定包括：获取操作请求所请求执行的操作的操作类型；若操作的操作类型为获取操作权的操作，则判断操作请求所指示的操作的操作权限是否被锁定；若操作的操作类型为释放操作权的操作，则设置操作请求所指向的半导体对象的操作权限为未被锁定。

为了实现上述目的，根据本发明实施例的另一方面，提供了一种对半导体对象执行操作的处理系统。

根据本发明的处理系统包括：调度子系统，用于接收对半导体对象执行操作的操作请求，并将操作请求发送至锁定子系统；锁定子系统，与调度子系统连接，用于判断操作请求所指示的操作的操作权限是否被锁定；若操作的操作权限被锁定，则拒绝操作请求；若操作的操作权限未被锁定，则将操作请求通过调度子系统发送至操作子系统，并锁定半导体对象的操作的操作权限；操作子系统，与调度子系统连接，用于执行操作请求。

进一步地，锁定子系统包括：第一处理单元，用于判断操作的权限标识是否为预设值；若操作的权限标识为预设值，则判断出操作的操作权限被锁定；若操作的权限标识不为预设值，则判断出操作的操作权限未被锁定。

进一步地，处理系统还包括：重试子系统，与调度子系统连接，用于在锁定子系统拒绝操作请求之后，通过调度子系统获取操作请求，并在第一预设时间段内每隔第二预设时间段重新判断操作请求所指示的操作的操作权限是否被锁定；若在第一预设时间段内判断出操作的操作权限未被锁定，则将操作请求返回至调度子系统；若在第一预设时间段内未判断出操作的操作权限未被锁定，则将拒绝操作请求的异常信息返回至调度子系统。

进一步地，处理系统还包括：调度子系统接收到重试子系统返回的操作请求之后，还用于将操作请求发送至操作子系统，以执行操作请求；调度子系统接收到重试子系统返回的异常信息之后，还用于将异常信息返回至用户。

为了实现上述目的，根据本发明实施例的另一方面，提供了一种对半导体对象执行操作的处理装置。

根据本发明的处理装置包括：接收模块，用于接收对半导体对象执行操作的操作请求；判断模块，用于判断操作请求所指示的操作的操作权限是否被锁定；拒绝模块，用于若操作的操作权限被锁定，则拒绝操作请求；处理模块，用于若操作的操作权限未被锁定，则执行操作请求，并锁定半导体对象对应操作的操作权限。

根据发明实施例，在对半导体对象(如Lot、FOUP或晶圆)执行操作(如分批操作)时，通过判断该半导体对象对应该操作的操作权限是否被锁定来判断是否可执行该操作，如果该操作权限被锁定，则拒绝操作请求；如果该操作权限未被锁定，则允许执行该操作并锁定该半导体对象对应操作的操作权限，从而可以在对一个FOUP的一个lot执行分批操作时，拒绝对该FOUP的其他lot执行操作，避免了现有技术中对同一FOUP中不同Lot同时执行多个操作而导致系统与实体帐料不符，从而中断晶圆自动化生产的问题，通过上述实施例，可以缩短Lot的生产周期，提高FAB的效益。通过本发明实施例，解决了现有技术中对同一个FOUP中的不同Lot同时执行操作，执行操作的对象不能全被操作成功，导致系统与实际帐料不符的问题，提高了同时对Lot/FOUP执行操作的成功率，从而提高了MES系统业务记录的可靠性、确保了晶圆生产自动化的顺利进行。

附图说明

构成本申请的一部分的附图用来提供对本发明的进一步理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1是根据现有技术的对同一FOUP中不同Lot同时执行分批操作的示意图；

图2是根据本发明实施例的对半导体对象执行操作的处理方法的流程图；

图3是根据本发明实施例的一种可选的锁定子系统处理操作请求的流程图；

图4是根据本发明实施例的一种可选的重试子系统处理操作请求的流程图；

图5是根据本发明实施例的一种可选的对半导体对象执行操作的处理流程图；

图6是根据本发明实施例的对半导体对象执行操作的处理系统的示意图；

图7是根据本发明实施例的一种可选的对半导体对象执行操作的处理系统的示意图；以及

图8是根据本发明实施例的对半导体对象执行操作的处理装置的示意图。

具体实施方式

首先，在对本发明实施例进行描述的过程中出现的部分名词或术语适用于如下解释：

MES为Manufacturing Execution System，即制造执行系统，是一套面向制造企业车间执行层的生产信息化管理系统。

FAB为Fabrication，即晶圆加工厂。

Lot为批次，同一批次生产的一批晶圆属于一个Lot。

FOUP为Front Open Unified Pod，即前开式晶圆盒。

FW2.X为FactoryWorks 200mm的产品。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本发明。

为了使本技术领域的人员更好地理解本发明方案，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本发明保护的范围。

需要说明的是，本发明的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本发明的实施例。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。

本发明实施例提供了一种对半导体对象执行操作的处理方法。

图2是根据本发明实施例的对半导体对象执行操作的处理方法的流程图。如图2所示，该处理方法可以包括步骤如下：

步骤S202，接收对半导体对象执行操作的操作请求。

步骤S204，判断操作请求所指示的操作的操作权限是否被锁定。

其中，在操作的操作权限被锁定的情况下，执行步骤S206；在操作的操作权限未被锁定的情况下，执行步骤S208。

步骤S206，拒绝操作请求。

步骤S208，执行操作请求，并锁定半导体对象对应操作的操作权限。

采用本发明实施例，在接收到对半导体对象执行操作的操作请求之后，判断该操作请求所指示的操作的操作权限是否被锁定，在请求执行的操作的操作权限被锁定的情况下，拒绝该操作请求；在请求执行的操作的操作权限未被锁定的情况下，执行该操作请求并锁定半导体对象对应操作的操作权限。在本发明上述实施例中，在对半导体对象(如Lot、FOUP或晶圆)执行操作(如分批操作)时，通过判断该半导体对象对应该操作的操作权限是否被锁定来判断是否可执行该操作，如果该操作权限被锁定，则拒绝操作请求；如果该操作权限未被锁定，则允许执行该操作并锁定该半导体对象对应操作的操作权限，从而可以在对一个FOUP的一个lot执行分批操作时，拒绝对该FOUP的其他lot执行操作，避免了现有技术中对同一FOUP中不同Lot同时执行多个操作而导致系统与实体帐料不符，从而中断晶圆自动化生产的问题，通过上述实施例，可以缩短Lot的生产周期，提高FAB的效益。通过本发明实施例，解决了现有技术中对同一个FOUP中的不同Lot同时执行操作，执行操作的对象不能全被操作成功，导致系统与实际帐料不符的问题，提高了同时对Lot/FOUP执行操作的成功率，从而提高了MES系统业务记录的可靠性、确保了晶圆生产自动化的顺利进行。

在本发明的上述实施例中，半导体对象可以为FOUP、Lot或晶圆(如300mm晶圆)。

通过本发明上述实施例，在300mm晶圆制造的过程中，当出现对Lot/FOUP同时执行的操作冲突时，通过锁定操作的操作权限，可以有效地避免同时对Lot/FOUP执行多个操作的冲突，可控制各个操作请求顺序执行，确保各个操作都能成功执行，保证了晶圆生产自动化的顺利进行，进而确保了FAB获得良好的效益。

根据本发明上述实施例，判断操作请求所指示的操作的操作权限是否被锁定可以包括：判断操作的权限标识是否为预设值；若操作的权限标识为预设值，则判断出操作的操作权限被锁定；若操作的权限标识不为预设值，则判断出操作的操作权限未被锁定。

具体地，判断接收到的操作请求所指示的操作的权限标识是否为预设值，在该操作的权限标识为预设值的情况下，判断出该操作的操作权限被锁定，并拒绝接收到的操作请求；在该操作的权限标识不为预设值的情况下，判断出该操作的操作权限未被锁定，执行接收到的操作请求，并锁定该操作对应的半导体对象的操作权限。

其中，在上述实施例中，若接收到的操作请求所指示的操作的权限标识为空，则判断出该权限标识不为预设值。

通过本发明上述实施例，使用预设值标识操作的操作权限，通过判断操作的操作权限的权限标识是否为预设值来判断该操作的操作权限是否被锁定，可以有效地识别被锁定的操作权限，可以有效地避免同时对Lot/FOUP执行多个操作的冲突，保证了晶圆生产自动化的顺利进行。

在本发明的上述实施例中，在拒绝操作请求之后，处理方法可以包括：在第一预设时间段内每隔第二预设时间段重新判断操作请求所指示的操作的操作权限是否被锁定；若在第一预设时间段内判断出操作的操作权限未被锁定，则执行操作请求；若在第一预设时间段内未判断出操作的操作权限未被锁定，则生成拒绝操作请求的异常信息。

具体地，在拒绝操作请求之后，在第一预设时间段内每个第二预设时间段重新判断该操作请求所指示的操作的操作权限是否被锁定，在第一预设时间段内判断出操作的操作权限未被锁定的情况下，执行该操作请求；在第一预设时间段内未判断出操作的操作权限未被锁定的情况下，生成拒绝操作请求的异常信息，并将该异常信息反馈至用户，以通知用户其发送的操作请求被拒绝。

可选地，第一预设时间段可以为1分钟，第二预设时间段可以为1秒钟，通过本发明上述实施例，将在1分钟内重复60次重新判断用户发送的操作请求所指示的操作的操作权限是否被锁定。

在本发明上述实施例中，通过预先设置第一预设时间段(如，1分钟)和第二预设时间段(如，1秒钟)，可以在1分钟内重复60次重新判断用户发送的操作请求所指示的操作的操作权限是否被锁定，在接收到该操作请求时，若该操作请求所指示的操作的操作权限已被锁定，通过上述实施例可以多次重新尝试判断是否可以执行接收到的操作请求，以及时在已被锁定的操作权限被释放时，执行接收到的操作请求，避免了直接拒绝操作请求导致用户需多次手动重复发起操作请求的问题，提高了执行各个操作请求的效率，进而确保了FAB的效益。

进一步地，在第一预设时间段内每隔第二预设时间段重新判断操作请求所指示的操作的操作权限是否被锁定可以包括：判断当前时刻是否达到预先设置的重复判断的时间间隔，其中，预先设置的重复判断的时间间隔即为第二预设时间段；若当前时刻达到预先设置的重复判断的时间间隔，则判断操作请求所指示的操作的操作权限是否被锁定，获取判断结果；若判断结果指示操作的操作权限未被锁定，则确定在第一预设时间段内判断出操作的操作权限未被锁定；若判断结果指示操作的操作权限被锁定，则判断当前时刻距离接收到操作请求的时间是否达到第一预设时间段；若当前时刻距离接收到操作请求的时间达到第一预设时间段，则确定在第一预设时间段内未判断出操作的操作权限未被锁定；若当前时刻距离接收到操作请求的时间未达到第一预设时间段，则返回执行判断当前时刻是否达到预先设置的重复判断的时间间隔的步骤。

具体地，判断当前时刻是否达到预先设置的重复判断的时间间隔(即上述实施例中的第二预设时间段)，在当前时刻达到第二预设时间段(如1秒钟)，时，判断该操作请求所指示的操作的操作权限是否被锁定，并获取判断结果；若该判断结果指示该操作的操作权限未被锁定，则确定在第一预设时间段(如1分钟)内判断出操作的操作权限未被锁定，并执行该操作请求；若判断结果指示操作的操作权限被锁定，则继续判断当前时刻距离接收到该操作请求的时间是否达到第一预设时间段，若该时间未达到第一预设时间段时，则返回执行判断当前时刻是否达到预先设置的重复判断的时间间隔的步骤；在该时间达到第一预设时间段时，确定在第一预设时间段内未判断出操作的操作权限未被锁定，并生成拒绝该操作请求的异常信息。

根据本发明上述实施例，在执行操作请求之后，处理方法还可以包括：释放操作请求所指示对半导体对象执行的操作的操作权限。

下面结合图3详细介绍本发明上述实施例，如图3所述的处理流程可以包括：

步骤S302，休眠时间结束。

具体地，在判断出请求执行操作的操作权限被锁定之后，将操作请求发送至重试子系统，重试子系统的休眠时间结束。

步骤S304，判断是否达到发送操作请求的时间间隔。

具体地，该实施例中的步骤S302对应本发明上述实施例中的判断当前时刻是否达到预先设置的重复判断的时间间隔(即上述实施例中的第二预设时间段)。

其中，若未达到发送操作请求的时间间隔，则执行步骤S306；若达到发送操作请求的时间间隔，则执行步骤S308。

步骤S306，进入休眠。

具体地，在未达到发送操作请求的时间间隔，即当前时刻未达到预先设置的重复判断的时间间隔时，进入休眠状态。

步骤S308，发送对Lot/FOUP的操作请求。

具体地，若重试子系统发送操作请求的时间间隔达到第二预设时间段，则发送该操作请求至调度子系统，通过调度子系统向锁定子系统请求获取操作权限。

步骤S310，判断该操作请求是否获得操作权限。

其中，若该操作请求获得操作权限，则执行步骤S314；若该操作请求未获得操作权限，则执行步骤S312。

在本发明的上述实施例中，若锁定子系统判断出该操作权限被锁定，则无法获得操作权限；若锁定子系统判断出该操作权限未被锁定，则可以获得操作权限。

具体地，在该操作请求获得操作权限的情况下，从重试子系统中删除该操作请求，并通过调度子系统将该操作请求发送至操作子系统，以执行该操作请求。

步骤S312，判断获取操作权限是否超时。

其中，若获取操作权限超时，则执行步骤S314；若获取操作权限未超时，则执行步骤S306。

在该实施例中，超时通过重试子系统接收到操作请求时记录时间，若记录的时间达到第一预设时间段，则判断出获取操作权限超时。

步骤S314，删除该操作请求。

具体地，在获取操作权限超时的情况下，从重试子系统中删除该操作请求，并生成拒绝操作请求的异常信息，以通知用户其发送的操作请求被拒绝。

进一步地，在执行该操作请求之后，将操作请求所指示的对半导体对象执行的操作的操作权限释放，以便后续接收到的操作请求可以对该半导体对象执行操作。

在本发明上述实施例中，判断操作请求所指示的操作的操作权限是否被锁定可以包括：获取操作请求所请求执行的操作的操作类型；若操作的操作类型为获取操作权的操作，则判断操作请求所指示的操作的操作权限是否被锁定；若操作的操作类型为释放操作权的操作，则设置操作请求所指向的半导体对象的操作权限为未被锁定。

具体地，获取接收到的操作请求所请求执行的操作的操作性类型，若操作的操作类型为获取操作权的操作，那么判断该操作请求所指示的操作的操作权限是否被锁定；若操作的操作类型为释放操作权的操作，则将该操作请求所指向的半导体对象的操作权限设置为未被锁定。

下面结合图4详细介绍本发明上述实施例。如图4所示的处理流程可以包括：

步骤S402，接收操作请求。

具体地，接收对半导体对象(如Lot、FOUP或晶圆)执行操作(如分批操作)的操作请求。

步骤S404，判断操作请求所请求执行的操作的操作类型是否为请求操作权。

其中，若操作请求所请求执行的操作的操作类型为请求操作权(即上述实施例中的获取操作权)，则执行步骤S406；若操作请求所请求执行的操作的操作类型为释放操作权，则执行步骤S408。

进一步地，可以获取操作请求所请求执行操作的操作类型；若操作的操作类型为获取操作权的操作，则执行步骤S406，以判断操作请求所指示的操作的操作权限是否被锁定；若操作的操作类型为释放操作权的操作，则执行步骤S408：释放对LotX/FOUPY的锁定，以设置操作请求所指向的半导体对象的操作权限为未被锁定的状态。

步骤S406，判断LotX和FOUPY是否已被其他操作锁定。

其中，上述的X和Y仅作区分Lot和FOUP，X和Y没有实际意义。

其中，在LotX和FOUPY已被其他操作锁定时，执行步骤S410；在LotX和FOUPY未被其他操作锁定时，执行步骤S412。

具体地，可以通过判断操作请求所请求执行的操作的权限标识是否为预设值来判断操作请求所指示的操作的操作权限是否被锁定。

步骤S410，拒绝对LotX/FOUPY的操作请求。

步骤S412，锁定LotX和FOUPY。

具体地，锁定LotX和FOUPY即本发明上述实施例中的锁定半导体对象对应操作的操作权限。

步骤S414，授予对LotX/FOUPY的操作权。

具体地，在授予操作请求对应的操作权(即本发明上述实施例中的操作权限)之后，对LotX或FOUPY执行该操作请求。

下面结合图5详细介绍本发明实施例，如图5所示，本发明上述实施例可以通过如下步骤实现：

步骤S502，发送对Lot/FOUP的操作请求。

具体地，用户90根据需要向MES系统发送对Lot/FOUP的操作请求，该操作请求将被发送至调度子系统10(即中心调度子系统)。

步骤S504，请求获取该操作请求的操作权限。

具体地，调度子系统10向锁定子系统30请求获取操作Lot/FOUP的操作权限。

步骤S506，判断是否授予该操作请求对应的操作权限。

其中，锁定子系统判断是否授予该操作请求对应的操作权限，若授予该操作请求对应的操作权限，则将操作请求发送至操作子系统，操作子系统执行步骤S508；若锁定子系统未授予该操作请求请求执行操作的操作权限(即拒绝该操作请求)，则将操作请求发送至重试子系统，重试子系统执行步骤S510。

具体地，如果没有别的操作在该Lot/FOUP上，则锁定子系统将操作权限赋予该操作请求，并在该Lot/FOUP上打上标记(即设置权限标识的值为预设值)；如果其他操作已经获得了该Lot/FOUP的操作权限(如权限标识的值为预设值)，则锁定子系统拒绝该操作请求。

步骤S508，执行对Lot/FOUP的操作。

在上述实施例中，在锁定子系统赋予操作权限之后，通过操作子系统50在Lot/FOUP上执行该操作请求所指示的操作。具体地，中心调度子系统将该操作请求发送到FW2.X子系统或FOUP子系统，以对Lot或FOUP执行操作，其中，FW2.X子系统执行对lot的操作，FOUP子系统执行对FOUP的操作。

步骤S510，将操作请求发送至重试子系统。

具体地，如果该操作请求没有获得操作权限，中心调度子系统将该操作请求发送给等待/重试子系统(即图5中的重试子系统70)，该子系统会按照系统设定在一定时间(即本发明上述实施例中的第一预设时间段)内定期向锁定申请操作权。

步骤S512，定期为该操作请求申请操作权限。

该步骤的实现过程与图3所示的实施例的实现方法一致，在此不再赘述。

步骤S514，判断是否授予该操作请求对应的操作权限。

其中，若授予该操作请求对应的操作权限，则执行步骤S508；若不授予该操作请求对应的操作权限，则执行步骤S516。

具体地，如果该操作请求在规定时间(即本发明上述实施例中的第一预设时间段)内没有获得操作权限，等待/重试子系统(即上述实施例中重试子系统)会将异常信息(如，操作请求获取操作权限失败的失败信息)发送给中心调度子系统，并最终返回给用户；如果获得操作权，等待/重试子系统将请求返回给中心调度子系统，并执行步骤S508。

步骤S516，将结果信息发送至用户。

其中，结果信息中包括上述实施例中的异常信息和操作结果信息。

步骤S518，显示结果信息。

步骤S520，释放Lot/FOUP的操作权限。

具体地，在执行完该操作请求所对应的操作之后，释放该Lot/FOUP的操作权限，以便后续的操作请求对该Lot/FOUP执行操作。

本发明实施例还提供了一种对半导体对象执行操作的处理系统，如图6所示，该处理系统可以包括：调度子系统10，用于接收对半导体对象执行操作的操作请求，并将操作请求发送至锁定子系统30；锁定子系统30，与调度子系统10连接，用于判断操作请求所指示的操作的操作权限是否被锁定；若操作的操作权限被锁定，则拒绝操作请求；若操作的操作权限未被锁定，则将操作请求通过调度子系统10发送至操作子系统50，并锁定半导体对象的操作的操作权限；操作子系统50，与调度子系统10连接，用于执行操作请求。

采用本发明实施例，在接收到对半导体对象执行操作的操作请求之后，判断该操作请求所指示的操作的操作权限是否被锁定，在请求执行的操作的操作权限被锁定的情况下，拒绝该操作请求；在请求执行的操作的操作权限未被锁定的情况下，执行该操作请求并锁定半导体对象对应操作的操作权限。在本发明上述实施例中，在对半导体对象(如Lot、FOUP或晶圆)执行操作(如分批操作)时，通过判断该半导体对象对应该操作的操作权限是否被锁定来判断是否可执行该操作，如果该操作权限被锁定，则拒绝操作请求；如果该操作权限未被锁定，则允许执行该操作并锁定该半导体对象对应操作的操作权限，从而可以在对一个FOUP的一个lot执行分批操作时，拒绝对该FOUP的其他lot执行操作，避免了现有技术中对同一FOUP中不同Lot同时执行多个操作而导致系统与实体帐料不符，从而中断晶圆自动化生产的问题，通过上述实施例，可以缩短Lot的生产周期，提高FAB的效益。通过本发明实施例，解决了现有技术中对同一个FOUP中的不同Lot同时执行操作，执行操作的对象不能全被操作成功，导致系统与实际帐料不符的问题，提高了同时对Lot/FOUP执行操作的成功率，从而提高了MES系统业务记录的可靠性、确保了晶圆生产自动化的顺利进行。

在本发明的上述实施例中，半导体对象可以为FOUP、Lot或晶圆(如300mm晶圆)。

通过本发明上述实施例，在300mm晶圆制造的过程中，当出现对Lot/FOUP同时执行的操作冲突时，通过锁定操作的操作权限，可以有效地避免同时对Lot/FOUP执行多个操作的冲突，确保各个操作都能成功执行，保证了晶圆生产自动化的顺利进行，进而确保了FAB获得良好的效益。

根据本发明上述实施例，锁定子系统可以包括：第一处理单元，用于判断操作的权限标识是否为预设值；若操作的权限标识为预设值，则判断出操作的操作权限被锁定；若操作的权限标识不为预设值，则判断出操作的操作权限未被锁定。

具体地，第一处理单元判断接收到的操作请求所指示的操作的权限标识是否为预设值，在该操作的权限标识为预设值的情况下，判断出该操作的操作权限被锁定；在该操作的权限标识不为预设值的情况下，判断出该操作的操作权限未被锁定。

在该实施例中，锁定子系统是解决Lot/FOUP同时操作时出现操作冲突的核心子系统，它确保了当出现多个对同一Lot/FOUP进行操作的请求时，只有一个请求可以获得操作权限。

通过本发明上述实施例，使用了锁定机制，确保当出现Lot/FOUP同时操作时，只有一方(LotX或FOUPY)能获得操作权，这样就避免了冲突，确保了帐料的一致性。

根据本发明上述实施例，处理系统还可以包括：重试子系统，与调度子系统连接，用于在锁定子系统拒绝操作请求之后，通过调度子系统获取操作请求，并在第一预设时间段内每隔第二预设时间段重新判断操作请求所指示的操作的操作权限是否被锁定；若在第一预设时间段内判断出操作的操作权限未被锁定，则将操作请求返回至调度子系统；若在第一预设时间段内未判断出操作的操作权限未被锁定，则将拒绝操作请求的异常信息返回至调度子系统。

具体地，在锁定子系统拒绝操作请求之后，重试子系统在第一预设时间段内每个第二预设时间段重新判断该操作请求所指示的操作的操作权限是否被锁定，在第一预设时间段内判断出操作的操作权限未被锁定的情况下，执行该操作请求；在第一预设时间段内未判断出操作的操作权限未被锁定的情况下，生成拒绝操作请求的异常信息，并将该异常信息反馈至用户，以通知用户其发送的操作请求被拒绝。

可选地，第一预设时间段可以为1分钟，第二预设时间段可以为1秒钟，通过本发明上述实施例，将在1分钟内重复60次重新判断用户发送的操作请求所指示的操作的操作权限是否被锁定。

在本发明上述实施例中，通过预先设置第一预设时间段(如，1分钟)和第二预设时间段(如，1秒钟)，可以在1分钟内重复60次重新判断用户发送的操作请求所指示的操作的操作权限是否被锁定，在接收到该操作请求时，若该操作请求所指示的操作的操作权限已被锁定，通过上述实施例可以多次重新尝试判断是否可以执行接收到的操作请求，以及时在已被锁定的操作权限被释放时，执行接收到的操作请求，避免了直接拒绝操作请求导致用户需多次手动重复发起操作请求的问题，提高了执行各个操作请求的效率，进而确保了FAB的效益。

在该实施例中，重试子系统是当出现Lot/FOUP同时操作时，确保MES系统的高成功率的核心子系统。

通过本发明上述实施例，通过重试子系统，采用等待/重试机制，确保了当出现Lot/FOUP同时操作时，这些操作可以在一个规定的时间范围(即本发明上述实施例中的第一预设时间段，如1分钟)内进行有序、顺序的执行，保证所有操作都可以被成功执行，保证生产自动化的顺利进行。

进一步地，处理系统还可以包括：调度子系统接收到重试子系统返回的操作请求之后，将操作请求发送至操作子系统，以执行操作请求；调度子系统接收到重试子系统返回的异常信息之后，将异常信息返回至用户。

具体地，若调度子系统接收到重试子系统返回的操作请求，则将操作请求发送至操作子系统，以执行操作请求；若调度子系统接收到重试子系统返回的异常信息，则将异常信息返回至用户，以通知用户其发送的操作请求被拒绝。

在本发明上述实施例中，通过预先设置第一预设时间段(如，1分钟)和第二预设时间段(如，1秒钟)，可以在1分钟内重复60次重新判断用户发送的操作请求所指示的操作的操作权限是否被锁定，在接收到该操作请求时，若该操作请求所指示的操作的操作权限已被锁定，通过上述实施例可以多次重新尝试判断是否可以执行接收到的操作请求，以及时在已被锁定的操作权限被释放时，执行接收到的操作请求，避免了直接拒绝操作请求导致用户需多次手动重复发起操作请求的问题，提高了执行各个操作请求的效率，进而确保了FAB的效益。

下面结合图7详细介绍本发明上述实施例。

本发明上述实施例中的处理系统可以设置在MES系统中，该系统可以如图7所示的子系统：调度子系统10(即中心调度子系统)、操作子系统50、锁定子系统30以及重试子系统(即等待/重试子系统70)。其中，操作子系统50可以包括FW2.X子系统51和FOUP子系统53。

在该实施例中，中心调度子系统主要负责同外部进行交互，所有的操作请求都要首先经过该系统被进行调度；FW2.X子系统主要负责Lot的操作；FOUP子系统主要负责FOUP的操作；锁定子系统主要负责当出现Lot/FOUP同时操作的时候，确保只有一方可以获得操作权限；等待/重试子系统主要负责当出现Lot/FOUP同时操作时，这些操作可以在一个规定的时间范围内进行有序、顺序的执行，保证所有操作都可以被成功执行。

本发明实施例还提供了一种对半导体对象执行操作的处理装置。该处理装置可以通过本发明上述实施例中的对半导体对象执行操作的处理方法实现其功能。

图8是根据本发明实施例的对半导体对象执行操作的处理装置的示意图。如图8所示，该处理装置可以包括：接收模块20，用于接收对半导体对象执行操作的操作请求；判断模块40，用于判断操作请求所指示的操作的操作权限是否被锁定；拒绝模块60，用于若操作的操作权限被锁定，则拒绝操作请求；处理模块80，用于若操作的操作权限未被锁定，则执行操作请求，并锁定半导体对象对应操作的操作权限。

采用本发明实施例，在接收到对半导体对象执行操作的操作请求之后，判断该操作请求所指示的操作的操作权限是否被锁定，在请求执行的操作的操作权限被锁定的情况下，拒绝该操作请求；在请求执行的操作的操作权限未被锁定的情况下，执行该操作请求并锁定半导体对象对应操作的操作权限。在本发明上述实施例中，在对半导体对象(如Lot、FOUP或晶圆)执行操作(如分批操作)时，通过判断该半导体对象对应该操作的操作权限是否被锁定来判断是否可执行该操作，如果该操作权限被锁定，则拒绝操作请求；如果该操作权限未被锁定，则允许执行该操作并锁定该半导体对象对应操作的操作权限，从而可以在对一个FOUP的一个lot执行分批操作时，拒绝对该FOUP的其他lot执行操作，避免了现有技术中对同一FOUP中不同Lot同时执行多个操作而导致系统与实体帐料不符，从而中断晶圆自动化生产的问题，通过上述实施例，可以缩短Lot的生产周期，提高FAB的效益。通过本发明实施例，解决了现有技术中对同一个FOUP中的不同Lot同时执行操作，执行操作的对象不能全被操作成功，导致系统与实际帐料不符的问题，提高了同时对Lot/FOUP执行操作的成功率，从而提高了MES系统业务记录的可靠性、确保了晶圆生产自动化的顺利进行。

在本发明的上述实施例中，半导体对象可以为FOUP、Lot或晶圆(如300mm晶圆)。

通过本发明上述实施例，在300mm晶圆制造的过程中，当出现对Lot/FOUP同时执行的操作冲突时，通过锁定操作的操作权限，可以有效地避免同时对Lot/FOUP执行多个操作的冲突，确保各个操作都能成功执行，保证了晶圆生产自动化的顺利进行，进而确保了FAB获得良好的效益。

本实施例中所提供的各个模块与方法实施例对应步骤所提供的使用方法相同、应用场景也可以相同。当然，需要注意的是，上述模块涉及的方案可以不限于上述实施例中的内容和场景，且上述模块可以运行在计算机终端或移动终端，可以通过软件或硬件实现。

从以上的描述中，可以看出，本发明实现了如下技术效果：

采用本发明实施例，在接收到对半导体对象执行操作的操作请求之后，判断该操作请求所指示的操作的操作权限是否被锁定，在请求执行的操作的操作权限被锁定的情况下，拒绝该操作请求；在请求执行的操作的操作权限未被锁定的情况下，执行该操作请求并锁定半导体对象对应操作的操作权限。在本发明上述实施例中，在对半导体对象(如Lot、FOUP或晶圆)执行操作(如分批操作)时，通过判断该半导体对象对应该操作的操作权限是否被锁定来判断是否可执行该操作，如果该操作权限被锁定，则拒绝操作请求；如果该操作权限未被锁定，则允许执行该操作并锁定该半导体对象对应操作的操作权限，从而可以在对一个FOUP的一个lot执行分批操作时，拒绝对该FOUP的其他lot执行操作，避免了现有技术中对同一FOUP中不同Lot同时执行多个操作而导致系统与实体帐料不符，从而中断晶圆自动化生产的问题，通过上述实施例，可以缩短Lot的生产周期，提高FAB的效益。通过本发明实施例，解决了现有技术中对同一个FOUP中的不同Lot同时执行操作，执行操作的对象不能全被操作成功，导致系统与实际帐料不符的问题，提高了同时对Lot/FOUP执行操作的成功率，从而提高了MES系统业务记录的可靠性、确保了晶圆生产自动化的顺利进行。

显然，本领域的技术人员应该明白，上述的本发明的各模块或各步骤可以用通用的计算装置来实现，它们可以集中在单个的计算装置上，或者分布在多个计算装置所组成的网络上，可选地，它们可以用计算装置可执行的程序代码来实现，从而，可以将它们存储在存储装置中由计算装置来执行，或者将它们分别制作成各个集成电路模块，或者将它们中的多个模块或步骤制作成单个集成电路模块来实现。这样，本发明不限制于任何特定的硬件和软件结合。

以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (11)

1.一种对半导体对象执行操作的处理方法，其特征在于，包括：

接收对半导体对象执行操作的操作请求；

判断所述操作请求所指示的所述操作的操作权限是否被锁定；

若所述操作的所述操作权限被锁定，则拒绝所述操作请求；

若所述操作的所述操作权限未被锁定，则执行所述操作请求，并锁定所述半导体对象对应所述操作的操作权限。

2.根据权利要求1所述的处理方法，其特征在于，判断所述操作请求所指示的所述操作的操作权限是否被锁定包括：

判断所述操作的权限标识是否为预设值；

若所述操作的权限标识为所述预设值，则判断出所述操作的所述操作权限被锁定；

若所述操作的权限标识不为所述预设值，则判断出所述操作的所述操作权限未被锁定。

3.根据权利要求1所述的处理方法，其特征在于，在拒绝所述操作请求之后，所述处理方法包括：

在第一预设时间段内每隔第二预设时间段重新判断所述操作请求所指示的所述操作的所述操作权限是否被锁定；

若在所述第一预设时间段内判断出所述操作的操作权限未被锁定，则执行所述操作请求；

若在所述第一预设时间段内未判断出所述操作的操作权限未被锁定，则生成拒绝所述操作请求的异常信息。

4.根据权利要求3所述的处理方法，其特征在于，在第一预设时间段内每隔第二预设时间段重新判断所述操作请求所指示的所述操作的操作权限是否被锁定包括：

判断当前时刻是否达到预先设置的重复判断的时间间隔，其中，所述预先设置的重复判断的时间间隔为所述第二预设时间段；

若所述当前时刻达到所述预先设置的重复判断的时间间隔，则判断所述操作请求所指示的所述操作的操作权限是否被锁定，获取判断结果；

若所述判断结果指示所述操作的所述操作权限未被锁定，则确定在所述第一预设时间段内判断出所述操作的操作权限未被锁定；

若所述判断结果指示所述操作的所述操作权限被锁定，则判断所述当前时刻距离接收到所述操作请求的时间是否达到所述第一预设时间段；

若所述当前时刻距离接收到所述操作请求的时间达到所述第一预设时间段，则确定在所述第一预设时间段内未判断出所述操作的操作权限未被锁定；

若所述当前时刻距离接收到所述操作请求的时间未达到所述第一预设时间段，则返回执行判断当前时刻是否达到预先设置的重复判断的时间间隔的步骤。

5.根据权利要求1至4中任意一项所述的处理方法，其特征在于，在执行所述操作请求之后，所述处理方法还包括：

释放所述操作请求所指示对所述半导体对象执行的所述操作的所述操作权限。

6.根据权利要求1至4中任意一项所述的处理方法，其特征在于，判断所述操作请求所指示的所述操作的操作权限是否被锁定包括：

获取所述操作请求所请求执行的操作的操作类型；

若所述操作的所述操作类型为获取操作权的操作，则判断所述操作请求所指示的所述操作的操作权限是否被锁定；

若所述操作的所述操作类型为释放操作权的操作，则设置所述操作请求所指向的所述半导体对象的操作权限为未被锁定。

7.一种对半导体对象执行操作的处理系统，其特征在于，包括：

调度子系统，用于接收对半导体对象执行操作的操作请求，并将所述操作请求发送至锁定子系统；

所述锁定子系统，与所述调度子系统连接，用于判断所述操作请求所指示的所述操作的操作权限是否被锁定；若所述操作的所述操作权限被锁定，则拒绝所述操作请求；若所述操作的所述操作权限未被锁定，则将所述操作请求通过所述调度子系统发送至操作子系统，并锁定所述半导体对象的所述操作的所述操作权限；

所述操作子系统，与所述调度子系统连接，用于执行所述操作请求。

8.根据权利要求7所述的处理系统，其特征在于，所述锁定子系统包括：

第一处理单元，用于判断所述操作的权限标识是否为预设值；若所述操作的权限标识为所述预设值，则判断出所述操作的所述操作权限被锁定；若所述操作的权限标识不为所述预设值，则判断出所述操作的所述操作权限未被锁定。

9.根据权利要求7所述的处理系统，其特征在于，所述处理系统还包括：

重试子系统，与所述调度子系统连接，用于在所述锁定子系统拒绝所述操作请求之后，通过所述调度子系统获取所述操作请求，并在第一预设时间段内每隔第二预设时间段重新判断所述操作请求所指示的所述操作的操作权限是否被锁定；若在所述第一预设时间段内判断出所述操作的操作权限未被锁定，则将所述操作请求返回至所述调度子系统；若在所述第一预设时间段内未判断出所述操作的操作权限未被锁定，则将拒绝所述操作请求的异常信息返回至所述调度子系统。

10.根据权利要求9所述的处理系统，其特征在于，所述处理系统还包括：

所述调度子系统接收到所述重试子系统返回的所述操作请求之后，还用于将所述操作请求发送至所述操作子系统，以执行所述操作请求；

所述调度子系统接收到所述重试子系统返回的所述异常信息之后，还用于将所述异常信息返回至用户。

11.一种对半导体对象执行操作的处理装置，其特征在于，包括：

接收模块，用于接收对半导体对象执行操作的操作请求；

判断模块，用于判断所述操作请求所指示的所述操作的操作权限是否被锁定；

拒绝模块，用于若所述操作的所述操作权限被锁定，则拒绝所述操作请求；

处理模块，用于若所述操作的所述操作权限未被锁定，则执行所述操作请求，并锁定所述半导体对象对应所述操作的操作权限。