CN105867073B - 一种防静电曝光机系统及其制造方法 - Google Patents

一种防静电曝光机系统及其制造方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种防静电曝光机系统，其在曝光机上下框使用具备导电能力的麦拉膜，机身设计了导电通道可以将产生的静电通过通道接地释放，避免曝光过程中曝光台面、麦拉膜与菲林之间摩擦产生静电，杜绝静电吸附灰尘导致开短路及静电导致抽真空不良的问题。

Description

一种防静电曝光机系统及其制造方法
技术领域
本发明涉及曝光机设备，尤其涉及一种防静电曝光机及制造方法。
背景技术
传统曝光机系统，曝光框上装载的麦拉膜、玻璃、使用的菲林工具及其保护膜均为不导电材料。根据静电产生的原理，摩擦两种不导电物体会生成大量的静电。而不导电的物体，又是保留电荷的优良材料。所以曝光操作过程中，曝光台面上的玻璃、麦拉与菲林会产生并保留大量的静电，吸附漂浮在操作环境中的尘埃粒子，导致产品产生开短路、缺口等报废。
传统的曝光机，为了确保抽真空紧密（不导电的界面因静电相互排斥），需要手动赶气。赶气的操作也会造成菲林错位、变形以及麦拉膜的损伤；如果赶气不净，则造成产品良率下降。为了解决以上问题，传统的方案是不仅在菲林上打抽气孔、用辅助导气条、静电辘除尘等还需要有赶气的过程，操作的效率低下，还会产生其他耗材的成本。因此对于需要使用到曝光系统的线路板、半导体等高精密行业，静电的控制尤为重要。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种不会在曝光台面产生静电荷聚集的曝光机系统。
本发明另一个要解决的技术问题是提供一种上述曝光机的制造方法。
为了解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是，一种防静电曝光机。针对静电产生的原理，将曝光台面所用的麦拉膜、菲林保护膜、曝光玻璃台面、菲林基材面等接触界面，成为具备导电能力的材料（比如：通过涂覆抗静电剂的方式），将表面电阻率降低到108Ω·m以下。使用的防静电剂需具备良好的透光性、快干性，且不会受UV光照射而发生变化。
通过如上的设计方案，整个曝光台面相接触的材质使用有一定导电能力的材料，消除在使用过程中相互摩擦产生的静电，曝光机身设计有静电释放的接地通道，将曝光台面的静电，通过此接地通道释放消除。
因为静电接地通道的存在，静电就无法在曝光台面上聚集，曝光台面就不会吸附灰尘，造成被曝光物体的开短路；也不会因为静电的存在造成抽真空速度慢或者抽真空不良的问题。
[ 附图说明 ]
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。
图1是本发明实施的主视图。
图2是本发明实施的侧视图。
图3是本发明实施的斜视图。
图4是本发明实施工作台面的截面图。
[具体实施方式]
1、曝光框所用的麦拉膜选择导电性材料，或使用防静电剂对麦拉膜进行涂覆，必须使得麦拉膜表面具备导电能力；
2、菲林基材面可以使用防静电剂对进行涂覆，使得菲林基材面具备导电能力；
3、菲林药膜面所贴保护膜，必须使用导电性材料；
4、如果所用的感光性材料为干膜，那么干膜表面的聚酯保护膜可以使用导电性材料；
5、曝光框上设计有导电通道，必须能够将曝光台面上产生的静电，通过导电的麦拉膜、曝光框、曝光机身与接地装置，释放接地而不会在曝光台面上聚集。
实施要则：
A、麦拉膜表面需要具备导电性，实现该目的可以采取使用导电材质制作的麦拉膜，或使用防静电剂涂覆在麦拉膜的表面；
B、菲林表面可以使用防静电剂涂覆来实现导电性，或使用导电性的菲林保护膜，通常考虑成本与操作性会优选导电性的菲林保护膜；
C、曝光框与曝光机壳为金属材质，通过连接导电线路的方式，将曝光台面上产生的静电，通过导电线路传递到曝光机壳；
D、曝光机壳通过导电线路接地，将静电释放到地面。
本发明以上实施案例利用将曝光台面上相接触界面的材料成具备导电能力，能够预防静电的堆积，并及时将静电荷通过专用通道接地释放，可以广泛应用于线路板、半导体、液晶屏等行业所用的曝光机设备。

Claims (8)

1.一种防静电曝光机系统，包括曝光机身、曝光框、工作台面，其特征在于，所述工作台面包括曝光玻璃面、上下麦拉、上下曝光菲林、上下菲林保护膜、涂覆上下感光材料的PCB板及其上下感光材料保护膜；其中，所述曝光玻璃面、上下麦拉、上下曝光菲林、上下菲林保护膜、涂覆上下感光材料的PCB板及其上下感光材料保护膜，在曝光过程中因摩擦、接触产生静电的界面材料，在每两相接触的界面材料中，至少有一面使用导电性的材料或涂层，导电材料和涂层均有接地通路；
所述麦拉表面具备导电性，所述曝光机身设计有静电释放的接地通道，所述曝光框上设计有导电通道，将工作台面的静电通过导电的麦拉、曝光框、曝光机身与接地通道，接地释放。
2.根据权利要求1所述的防静电曝光机系统，所述上下麦拉具备抗静电能力。
3.根据权利要求1所述的防静电曝光机系统，所述导电性的涂层使用胺的衍生物、硫酸酯、磷酸酯以及聚乙二醇的衍生物。
4.根据权利要求1所述的防静电曝光机系统，所述曝光菲林使用具备导电能力的涂层或材料。
5.根据权利要求1所述的防静电曝光机系统，所述菲林保护膜使用具备导电能力的涂层或材料。
6.根据权利要求1所述的防静电曝光机系统，所述感光材料为干膜或湿膜。
7.根据权利要求1所述的防静电曝光机系统，所述感光材料保护膜使用具备导电能力的材料或涂层。
8.根据权利要求3所述的防静电曝光机系统，所述胺的衍生物为季铵盐。
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