CN105867073A - 一种防静电曝光机系统及其制造方法 - Google Patents

一种防静电曝光机系统及其制造方法 Download PDF

Info

Publication number
CN105867073A
CN105867073A CN201610386293.0A CN201610386293A CN105867073A CN 105867073 A CN105867073 A CN 105867073A CN 201610386293 A CN201610386293 A CN 201610386293A CN 105867073 A CN105867073 A CN 105867073A
Authority
CN
China
Prior art keywords
exposure
film
coating
conductive
diaphragm
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201610386293.0A
Other languages
English (en)
Other versions
CN105867073B (zh
Inventor
何忠亮
朱争鸣
叶文
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shenzhen Dinghua Xintai Technology Co.,Ltd.
Original Assignee
SHENZHEN COSLED LIGHTING Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SHENZHEN COSLED LIGHTING Co Ltd filed Critical SHENZHEN COSLED LIGHTING Co Ltd
Priority to CN201610386293.0A priority Critical patent/CN105867073B/zh
Publication of CN105867073A publication Critical patent/CN105867073A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN105867073B publication Critical patent/CN105867073B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
    • G03F7/70908—Hygiene, e.g. preventing apparatus pollution, mitigating effect of pollution or removing pollutants from apparatus

Landscapes

  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Epidemiology (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Atmospheric Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Elimination Of Static Electricity (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Abstract

本发明公开了一种防静电曝光机系统，其在曝光机上下框使用具备导电能力的麦拉膜，机身设计了导电通道可以将产生的静电通过通道接地释放，避免曝光过程中曝光台面、麦拉膜与菲林之间摩擦产生静电，杜绝静电吸附灰尘导致开短路及静电导致抽真空不良的问题。

Description

一种防静电曝光机系统及其制造方法
技术领域
本发明涉及曝光机设备，尤其涉及一种防静电曝光机及制造方法。
背景技术
传统曝光机系统，曝光框上装载的麦拉膜、玻璃、使用的菲林工具及其保护膜均为不导电材料。根据静电产生的原理，摩擦两种不导电物体会生成大量的静电。而不导电的物体，又是保留电荷的优良材料。所以曝光操作过程中，曝光台面上的玻璃、麦拉与菲林会产生并保留大量的静电，吸附漂浮在操作环境中的尘埃粒子，导致产品产生开短路、缺口等报废。
传统的曝光机，为了确保抽真空紧密（不导电的界面因静电相互排斥），需要手动赶气。赶气的操作也会造成菲林错位、变形以及麦拉膜的损伤；如果赶气不净，则造成产品良率下降。为了解决以上问题，传统的方案是不仅在菲林上打抽气孔、用辅助导气条、静电辘除尘等还需要有赶气的过程，操作的效率低下，还会产生其他耗材的成本。因此对于需要使用到曝光系统的线路板、半导体等高精密行业，静电的控制尤为重要。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种不会在曝光台面产生静电荷聚集的曝光机系统。
本发明另一个要解决的技术问题是提供一种上述曝光机的制造方法。
为了解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是，一种防静电曝光机。针对静电产生的原理，将曝光台面所用的麦拉膜、菲林保护膜、曝光玻璃台面、菲林基材面等接触界面，成为具备导电能力的材料（比如：通过涂覆抗静电剂的方式），将表面电阻率降低到108Ω·m以下。使用的防静电剂需具备良好的透光性、快干性，且不会受UV光照射而发生变化。
通过如上的设计方案，整个曝光台面相接触的材质使用有一定导电能力的材料，消除在使用过程中相互摩擦产生的静电，曝光机身设计有静电释放的接地通道，将曝光台面的静电，通过此接地通道释放消除。
因为静电接地通道的存在，静电就无法在曝光台面上聚集，曝光台面就不会吸附灰尘，造成被曝光物体的开短路；也不会因为静电的存在造成抽真空速度慢或者抽真空不良的问题。
[ 附图说明 ]
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。
图1是本发明实施的主视图。
图2是本发明实施的侧视图。
图3是本发明实施的斜视图。
图4是本发明实施工作台面的截面图。
具体实施方式 ]
1、曝光框所用的麦拉膜选择导电性材料，或使用防静电剂对麦拉膜进行涂覆，必须使得麦拉膜表面具备导电能力；
2、菲林基材面可以使用防静电剂对进行涂覆，使得菲林基材面具备导电能力；
3、菲林药膜面所贴保护膜，必须使用导电性材料；
4、如果所用的感光性材料为干膜，那么干膜表面的聚酯保护膜可以使用导电性材料；
5、曝光框上设计有导电通道，必须能够将曝光台面上产生的静电，通过导电的麦拉膜、曝光框、曝光机身与接地装置，释放接地而不会在曝光台面上聚集。
实施要则：
A、麦拉膜表面需要具备导电性，实现该目的可以采取使用导电材质制作的麦拉膜，或使用防静电剂涂覆在麦拉膜的表面；
B、菲林表面可以使用防静电剂涂覆来实现导电性，或使用导电性的菲林保护膜，通常考虑成本与操作性会优选导电性的菲林保护膜；
C、曝光框与曝光机壳为金属材质，通过连接导电线路的方式，将曝光台面上产生的静电，通过导电线路传递到曝光机壳；
D、曝光机壳通过导电线路接地，将静电释放到地面。
本发明以上实施案例利用将曝光台面上相接触界面的材料成具备导电能力，能够预防静电的堆积，并及时将静电荷通过专用通道接地释放，可以广泛应用于线路板、半导体、液晶屏等行业所用的曝光机设备。

Claims (8)

1.一种防静电曝光机系统，其特征为曝光玻璃面、上下麦拉、曝光菲林、菲林保护膜、涂覆感光材料的PCB板及其感光材料保护膜，其中，在曝光过程中会因摩擦、接触产生静电的界面（曝光玻璃、麦拉、菲林、保护膜等）材料，至少有一面使用导电性的材料或涂层，导电材料和涂层均有接地通路。
2.根据权利要求1所述的麦拉膜，其具备抗静电能力。
3.根据权利要求1所述的导电性涂层，其可以使用胺的衍生物，季铵盐，硫酸酯、磷酸酯以及聚乙二醇的衍生物等材料。
4.根据权利要求1所述的菲林或菲林面，其可以使用具备导电能力的涂层或材料。
5.根据权利要求1所述的菲林保护膜，其可以使用具备导电能力的涂层或材料。
6.根据权利要求1所述的感光材料，可以为干膜或湿膜、阻焊油墨等材料。
7.根据权利要求1所述的感光材料保护膜，其可以使用具备导电能力的材料（用于干膜产品）或涂层。
8.根据权利要求1所述的曝光机，其设计有导电通道，将曝光台面的静电通过导电通道，接地释放。
CN201610386293.0A 2016-06-04 2016-06-04 一种防静电曝光机系统及其制造方法 Active CN105867073B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610386293.0A CN105867073B (zh) 2016-06-04 2016-06-04 一种防静电曝光机系统及其制造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610386293.0A CN105867073B (zh) 2016-06-04 2016-06-04 一种防静电曝光机系统及其制造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN105867073A true CN105867073A (zh) 2016-08-17
CN105867073B CN105867073B (zh) 2019-03-19

Family

ID=56676115

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201610386293.0A Active CN105867073B (zh) 2016-06-04 2016-06-04 一种防静电曝光机系统及其制造方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN105867073B (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106602292A (zh) * 2016-11-28 2017-04-26 云南科威液态金属谷研发有限公司 一种抑制电力设备表面电荷积聚的方法

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4321297A (en) * 1980-07-07 1982-03-23 The Crowell Corporation Sheet packaging material
CN101101396A (zh) * 2006-07-03 2008-01-09 元太科技工业股份有限公司 防止静电聚集的玻璃基板载具
CN101634809A (zh) * 2008-07-23 2010-01-27 比亚迪股份有限公司 一种单面柔性线路板的曝光方法
CN201472830U (zh) * 2009-04-10 2010-05-19 深圳市栢兴实业有限公司 防静电复合环保包装薄膜
CN201892817U (zh) * 2010-09-30 2011-07-06 广州南沙华卓化工有限公司 一种底片保护膜
CN102869188A (zh) * 2012-09-18 2013-01-09 武汉芯宝科技有限公司 一种具有全方位抗静电功能的印刷电路板及其制造方法
CN203104933U (zh) * 2012-12-26 2013-07-31 深圳市航盛电路科技股份有限公司 一种线路板曝光机静电消除装置
CN103945640A (zh) * 2014-05-13 2014-07-23 张伯平 防静电线路板及其制作方法
CN204009360U (zh) * 2014-08-26 2014-12-10 杨晔 菲林对位机
CN105039611A (zh) * 2015-07-08 2015-11-11 四川大学 抗静电黄牛鞋面革及其制备方法

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4321297A (en) * 1980-07-07 1982-03-23 The Crowell Corporation Sheet packaging material
CN101101396A (zh) * 2006-07-03 2008-01-09 元太科技工业股份有限公司 防止静电聚集的玻璃基板载具
CN101634809A (zh) * 2008-07-23 2010-01-27 比亚迪股份有限公司 一种单面柔性线路板的曝光方法
CN201472830U (zh) * 2009-04-10 2010-05-19 深圳市栢兴实业有限公司 防静电复合环保包装薄膜
CN201892817U (zh) * 2010-09-30 2011-07-06 广州南沙华卓化工有限公司 一种底片保护膜
CN102869188A (zh) * 2012-09-18 2013-01-09 武汉芯宝科技有限公司 一种具有全方位抗静电功能的印刷电路板及其制造方法
CN203104933U (zh) * 2012-12-26 2013-07-31 深圳市航盛电路科技股份有限公司 一种线路板曝光机静电消除装置
CN103945640A (zh) * 2014-05-13 2014-07-23 张伯平 防静电线路板及其制作方法
CN204009360U (zh) * 2014-08-26 2014-12-10 杨晔 菲林对位机
CN105039611A (zh) * 2015-07-08 2015-11-11 四川大学 抗静电黄牛鞋面革及其制备方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106602292A (zh) * 2016-11-28 2017-04-26 云南科威液态金属谷研发有限公司 一种抑制电力设备表面电荷积聚的方法
CN106602292B (zh) * 2016-11-28 2019-07-05 云南科威液态金属谷研发有限公司 一种抑制电力设备表面电荷积聚的方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN105867073B (zh) 2019-03-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN108700795B (zh) 用于相机模块的加热装置和具有该加热装置的相机模块
WO2017049882A1 (zh) 背光模组和显示装置
CN106379037B (zh) 丝网印刷装置以及丝网印刷方法
CN105867073A (zh) 一种防静电曝光机系统及其制造方法
CN203895061U (zh) 一种显示模组
CN207976669U (zh) 一种显示屏
CN208111686U (zh) 电子设备及其弹片组件、弹片
CN109445213A (zh) 显示面板和显示装置
CN108958409A (zh) 一种具有防静电功能的计算机主机箱
CN103925517B (zh) 一种背光模组以及液晶显示装置
CN206893860U (zh) 插座电连接器
CN105633114A (zh) 显示面板及包含其的显示设备
US20160295687A9 (en) Techniques and arrangements for multiple component grounding
CN106908998A (zh) 背光模组及显示装置
CN109818210A (zh) 服务器的扩充面板
CN101742817A (zh) 电路板及具有该电路板的电子产品
CN111221187A (zh) 液晶显示组件和液晶显示器
US10248166B2 (en) Electronic device
CN104640400A (zh) 一种i/o集成板卡无线快速插拔装置
CN210038394U (zh) 一种防电磁干扰的液晶显示模组
CN114326189B (zh) 显示装置及显示装置的制造方法
JP2017102372A (ja) 液晶表示装置
CN109818209A (zh) 服务器的扩充面板
CN203233484U (zh) 一种防静电吸附影像模组装置
CN219266738U (zh) 增强静电放电的黑白lcd屏

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
TR01 Transfer of patent right
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20190528

Address after: 518125 Shajingxinqiao New Industrial Zone, Baoan District, Shenzhen City, Guangdong Province

Patentee after: ACCELERATED PRINTED CIRCUIT INDUSTRIAL CO., LTD

Address before: 518125 Shajingxinqiao New Industrial Zone, Baoan District, Shenzhen City, Guangdong Province

Patentee before: SHENZHEN COSLED LIGHTING CO., LTD.

CP03 Change of name, title or address
CP03 Change of name, title or address

Address after: 518125 No.9, Xinfa 2nd Road, Xinqiao community, Xinqiao street, Bao'an District, Shenzhen City, Guangdong Province

Patentee after: Shenzhen Dinghua Xintai Technology Co.,Ltd.

Address before: 518125 Shajingxinqiao New Industrial Zone, Baoan District, Shenzhen City, Guangdong Province

Patentee before: ACCELERATED PRINTED CIRCUIT BOARD Co.,Ltd.