CN105765853A - 驱动装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种能够使移动体稳定地移动、难以产生后退、能够实现移动速度的稳定化的驱动装置。驱动装置(1)具备：板状的驱动单元(3)，其具有板状的弹性体(11)、和与板状的弹性体的至少一个主面接合的压电元件(12)；和移动体(4)，其被插入到弹性体的开口部(11c)，通过驱动驱动单元而以间距馈送进行移动。通过驱动压电元件，驱动单元构成为利用弯曲振动和与弯曲振动不同的至少1种其他振动模式或者弯曲振动与其他振动模式的耦合模式的振动来产生振动，所述振动具有实现如下状态的各振动姿态：移动体与弹性体的开口部的内壁摩擦卡合以使得能够使移动体移动的可移动状态、弹性体的开口部的内壁相对于移动体被隔开或者以比可移动状态低的摩擦卡合力与移动体接触的释放状态。

Description

驱动装置
技术领域
本发明涉及驱动压电元件来使移动体移动的驱动装置，更详细地，涉及利用了多种振动模式的驱动装置。
背景技术
以往，作为使镜头等移动的驱动装置，提出了各种使用压电元件的驱动装置。在下述的专利文献1中，使用的是基于压电体的伸缩动作而在轴向移位的驱动部件。被驱动部件通过摩擦力而与该驱动部件卡合并能够移动。在专利文献1中，通过反复进行在与极化方向相同的方向上向压电体施加电压来驱动的动作、和在相反方向上施加电压来驱动的动作，从而将被驱动部件在轴向上间距馈送。
另一方面，在下述的专利文献2中，公开了一种利用弯曲振动和其他振动的超声波电机。这里，构成为筒状的滑块被插入到圆板状的基体的贯通孔，并且该滑块在其轴向移动。在圆板状的基体的两面设置压电元件，使基体产生圆板的弯曲振动与径向振动的复合谐振。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利第4492756号
专利文献2：日本特开平1-298968号公报
发明内容
-发明要解决的课题-
在专利文献1所述的驱动装置中，移动体不能充分地追随驱动部件的轴的伸缩。因此，不能可靠地间距馈送移动体。此外，可能在向前方的移动期间内后退。因此，难以提高移动体的移动速度，并且移动速度不稳定。
另一方面，在专利文献2中，利用了弯曲振动与径向振动的复合谐振。在该情况下，不容易使弯曲振动和径向的伸缩振动在同一周期内产生。因此，难以间距馈送移动体，移动体的移动速度的稳定化也比较困难。
本发明的目的在于，提供一种能够使移动体稳定地移动、难以产生后退、并且能够实现移动速度的稳定化的驱动装置。
-解决课题的手段-
本发明所涉及的驱动装置具备：板状的驱动单元，其具有：具有对置的第1主面、第2主面并且在中央具有从第1主面向第2主面贯通的开口部的板状的弹性体、及与该板状的弹性体的至少一个主面接合的压电元件；和移动体，其被插入到所述板状的弹性体的开口部，通过驱动所述驱动单元来在连结所述板状的弹性体的第1主面与第2主面的方向上移动，通过驱动所述压电元件，所述板状的驱动单元构成为利用弯曲振动、和与所述弯曲振动不同的至少一种其他振动，或者利用弯曲振动和与所述弯曲振动不同的至少一种所述其他振动耦合而成的耦合模式的振动来产生振动，所述其他振动或者所述耦合模式的振动具有实现可移动状态与释放状态的振动姿态，在所述可移动状态下，所述弹性体的所述开口部的内壁与所述移动体摩擦卡合，以使得能够使所述移动体移动，在所述释放状态下，所述弹性体的所述开口部的内壁相对于所述移动体被隔开或者以比所述可移动状态低的摩擦卡合力与所述移动体接触的释放状态，通过所述驱动单元的所述弯曲振动以及所述其他振动，或者通过所述耦合模式的振动来使所述移动体移动。
在本发明所涉及的驱动装置的某个特定的方面，构成为：通过驱动所述压电元件，所述板状的驱动单元利用所述弯曲振动和与所述弯曲振动不同的至少一种所述其他振动来产生振动，所述其他振动具有实现所述可移动状态与所述释放状态的振动姿态，在所述可移动状态下，所述弹性体的所述开口部的内壁与所述移动体摩擦卡合以使得能够利用所述弯曲振动来使所述移动体移动，在所述释放状态下所述弹性体的所述开口部的内壁相对于所述移动体被隔开或者以比所述可移动状态低的摩擦卡合力来与所述移动体接触，利用所述驱动单元的所述弯曲振动以及所述其他振动，通过间距馈送来使所述移动体移动。
在本发明所涉及的驱动装置的又一其他特定的方面，所述弯曲振动和所述其他振动被驱动为同一周期。
在本发明所涉及的驱动装置的又一其他特定的方面，构成为：通过驱动所述压电元件，所述板状的驱动单元利用所述耦合模式的振动来产生振动，所述耦合模式的振动具有实现可移动状态与释放状态的振动姿态，在所述可移动状态下，所述弹性体的所述开口部的内壁与所述移动体摩擦卡合，以使得能够使所述移动体移动，在所述释放状态下，所述弹性体的所述开口部的内壁相对于所述移动体被隔开或者以比所述可移动状态低的摩擦卡合力与所述移动体接触，利用所述驱动单元的所述耦合模式的振动来使所述移动体移动。
在本发明所涉及的驱动装置的又一其他特定的方面，所述弹性体的尺寸被调整为所述弯曲振动与所述其他振动耦合，所述耦合模式被激励。
在本发明所涉及的驱动装置的又一特定的方面，所述移动体的俯视形状是非圆形的具有各向异性的形状。
在本发明所涉及的驱动装置的又一其他特定的方面，所述开口部的俯视形状是非圆形的具有各向异性的形状。
在本发明所涉及的驱动装置的又一其他特定的方面，所述移动体具有在所述移动方向上延伸并且能够与所述弹性体的开口部摩擦卡合的侧面，在所述侧面，设置提高相对于所述弹性体的所述开口部的摩擦卡合力的压接部件。
在本发明所涉及的驱动装置的又一其他特定的方面，所述压接部件是在所述侧面在所述移动体的周方向上延伸并在比平时缩径的状态下被安装的环状部件，在被安装于所述移动体的侧面的状态下发现从该侧面向外侧的弹发力。
在本发明所涉及的驱动装置的又一其他特定的方面，所述环状部件具有环的一部分被切口的形状。
在本发明所涉及的驱动装置的又一其他特定的方面，在所述移动体的侧面形成沟槽，所述压接部件的一部分与所述沟槽嵌合。
在本发明所涉及的驱动装置的又一其他特定的方面，所述压接部件是将第1端部和与第1端部相反的一侧的第2端部连结的方向为长度方向的多个弹簧部件，各弹簧部件构成为第1端部与第2端部之间的部分能够在与所述长度方向正交的方向上发生位移，所述弹簧部件的所述第1端部、第2端部被固定在所述移动体的所述侧面，第1端部与第2端部之间的弹簧部件部分被弯曲为向远离移动体的侧面的方向施力，弯曲的部分的顶点与所述弹性体的所述开口部压接。
在本发明所涉及的驱动装置的又一其他特定的方面，所述板状的弹性体与所述压电元件的俯视形状不同。
在本发明所涉及的驱动装置的又一其他特定的方面，所述压电元件在中央具有开口部，压电元件的开口部比所述弹性体的开口部大，所述压电元件未达到所述弹性体的开口部的周边。
在本发明所涉及的驱动装置的又一其他特定的方面，设置有多个所述压电元件。
在本发明所涉及的驱动装置的又一其他特定的方面，所述其他振动是多种振动。
在本发明所涉及的驱动装置的又一其他特定的方面，所述压电元件被设置在所述弹性体的第1主面以及第2主面之中的一个主面。
在本发明所涉及的驱动装置的又一其他特定的方面，还具备驱动脉冲源，其与所述压电元件电连接，向所述压电元件提供驱动脉冲以使得所述弯曲振动以及其他振动在同一周期发现。
根据本发明的驱动装置的其他广泛的方面，提供一种驱动装置，具备：板状的驱动单元，其具有：具有对置的第1主面、第2主面并且在中央具有从第1主面向第2主面贯通的开口部的板状的弹性体、及与该板状的弹性体的至少一个主面接合的压电元件；和移动体，其被插入到所述板状的弹性体的开口部，通过驱动所述驱动单元而在连结所述板状的弹性体的第1主面与第2主面的方向上移动，通过驱动所述压电元件，所述板状的驱动单元构成为利用弯曲振动、和与所述弯曲振动不同的至少一种其他振动，或者利用弯曲振动和与所述弯曲振动不同的至少一种所述其他振动耦合而成的耦合模式的振动来产生振动，所述其他振动或者所述耦合模式的振动具有实现可移动状态与释放状态的振动姿态，在所述可移动状态下，所述弹性体的所述开口部的内壁与所述移动体摩擦卡合，以使得能够使所述移动体移动，在所述释放状态下，所述弹性体的所述开口部的内壁相对于所述移动体被隔开或者以比所述可移动状态低的摩擦卡合力与所述移动体接触，还具备：驱动脉冲源，其与所述压电元件电连接，向所述压电元件提供驱动脉冲，以使得所述弯曲振动以及其他振动或者所述耦合模式的振动产生，通过所述驱动单元的所述弯曲振动以及所述其他振动，或者通过所述耦合模式的振动来使所述移动体移动。
在本发明所涉及的驱动装置的又一其他特定的方面，所述板状的驱动单元构成为利用所述弯曲振动和与所述弯曲振动不同的至少一种所述其他振动来产生振动，所述驱动脉冲源向所述压电元件提供所述驱动脉冲，以使得所述弯曲振动以及所述其他振动在同一周期发现，由此能够通过所述驱动单元的所述弯曲振动以及所述其他振动来使所述移动体间距馈送。
在本发明所涉及的驱动装置的又一其他特定的方面，所述驱动单元构成为利用所述耦合模式的振动来产生振动，所述驱动脉冲源向所述压电元件提供驱动脉冲，以使得产生所述耦合模式的振动。
在本发明所涉及的驱动装置的又一其他特定的方面，所述驱动单元的所述移动体的俯视形状是非圆形的具有各向异性的形状。
在本发明所涉及的驱动装置的又一其他特定的方面，所述驱动单元的所述弹性体的开口部的俯视形状是非圆形的具有各向异性的形状。
-发明效果-
在本发明所涉及的驱动装置中，通过在上述板状的驱动单元被激励的弯曲振动以及其他振动、或者通过上述耦合模式的振动，能够在不导致后退的情况下使移动体稳定并且可靠地移动，也能够实现移动速度的稳定化。
附图说明
图1(a)以及图1(b)是本发明的第1实施方式所涉及的驱动装置的正面剖视图以及驱动单元的俯视图。
图2是表示本发明的第1实施方式所涉及的驱动装置的外观的立体图。
图3(a)是本发明的第1实施方式中使用的驱动单元的主视图，图3(b)是表示压电元件的详细的剖视图。
图4是表示本发明中使用的驱动单元的变形例的正面剖视图。
图5是表示本发明的第1实施方式中使用的支撑台的立体图。
图6是表示本发明的第1实施方式中使用的移动体的立体图。
图7是表示本发明的第1实施方式中被安装于移动体的压接部件的立体图。
图8是表示压接部件的变形例的立体图。
图9是表示本发明的第1实施方式中的驱动单元的谐振特性的图。
图10(a)以及图10(b)是在本发明的第1实施方式中，表示初始状态以及把持移动体的状态的各示意图。
图11(a)以及图11(b)是分别说明在本发明的第1实施方式的驱动装置中，实现了间距馈送的状态、和使板状的弹性体从移动体脱离的工序的各示意图。
图12是表示在本发明的第1实施方式的驱动装置中，驱动时施加的驱动脉冲信号、驱动单元的弯曲振动、和扩展振动的关系的图。
图13是表示在本发明的第1实施方式的动作时，被施加的驱动脉冲信号与移动体的位移量的关系的图。
图14是表示本发明的第2实施方式所涉及的驱动装置的外观的立体图。
图15是本发明的第2实施方式中的驱动单元的示意性俯视图。
图16是表示本发明的第3实施方式所涉及的驱动装置中的弯曲模式的振动姿态的示意性立体图。
图17是用于说明本发明的第3实施方式中的驱动单元的波状振动模式的振动姿态的示意性立体图。
图18是表示本发明的第3实施方式中的驱动单元的阻抗特性的图。
图19是表示本发明的第4实施方式所涉及的驱动装置中使用的驱动单元的立体图。
图20是表示本发明的第4实施方式的驱动装置中的驱动单元的阻抗特性的图。
图21是本发明的第5实施方式所涉及的驱动装置的俯视图。
图22是从本发明的第5实施方式的驱动装置的底面侧来观察的立体图。
图23是表示本发明的第5实施方式中使用的移动体与压接部件的立体图。
图24是本发明的第5实施方式中使用的压接部件的立体图。
图25是表示在比较例的动作时，被施加的驱动脉冲信号、弯曲振动的位移、和移动体的位移量的关系的图。
图26是本发明的第6实施方式中使用的移动体的立体图。
图27是表示本发明的第6实施方式中使用的压接部件的立体图。
图28是在本发明的第6实施方式中，在移动体安装有压接部件的构造的正面剖视图。
图29是表示在本发明的第7实施方式中使用的移动体的立体图。
图30是表示在本发明的第7实施方式中，在移动体安装有4个压接部件的构造的正面剖视图。
图31是表示在本发明的第7实施方式中使用的移动体安装有2个压接部件的构造的正面剖视图。
图32是表示驱动单元的板状的弹性体的厚度与弯曲振动以及扩展振动的阻抗的关系的图。
图33是表示通过弯曲振动与扩展振动的耦合模式来使移动体前进的情况下的驱动单元的振动姿态的图。
图34是表示通过弯曲振动与扩展振动的耦合模式来使移动体后退的情况下的驱动单元的振动姿态的图。
图35是表示本发明的第8实施方式中的驱动单元的耦合模式的振动的阻抗-频率特性的图。
图36是表示本发明的第8实施方式中的耦合模式的振动以及第1实施方式中的驱动单元的振动中扩展振幅与弯曲振幅的关系的图。
图37是表示在本发明的第8实施方式中，前进模式时的驱动脉冲与弯曲振动以及扩展振动的位移量的关系的图。
图38是表示在本发明的第8实施方式中，后退模式时的驱动脉冲与弯曲振动以及扩展振动的位移量的关系的图。
图39是表示本发明的第8实施方式中的驱动脉冲电压与移动体的移动量、即位移量的图。
图40是表示本发明的第8实施方式中的驱动脉冲的驱动频率与移动体的移动速度的关系的图。
具体实施方式
以下，参照附图来说明本发明的具体实施方式，从而使本发明清楚明了。
图2是表示本发明的第1实施方式所涉及的驱动装置的外观的立体图，图1(a)是其正面剖视图。
本实施方式的驱动装置1具有支撑台2。驱动单元3被固定在支撑台2上。在本实施方式中，通过驱动单元3，从而移动体4被移动。
如图2中立体图所示，移动体4具有圆筒状的支架5。在该支架5的内部配置有多个镜头6、6。此外，透明板7被安装成密封支架5的开口端面。
本实施方式的驱动装置1使具有镜头6、6的移动体4在圆筒状的支架5的轴向移动。这种驱动装置1能够被适当地使用为例如包含照相机镜头的镜头驱动装置。另外，图1(a)中的箭头Z是上述轴向，在驱动装置1中，设为能够将移动体在轴向Z上间距馈送。
构成上述移动体4的支架5的材料并不被特别限定。支架5例如能够由金属、陶瓷或者合成树脂等形成。
另外，如图6所示，在支架5的侧面，沟槽5a形成为在圆周方向上延伸。安装环状的压接部件8以使得与该沟槽5a嵌合。在本实施方式中，如图7所示，压接部件8具有将圆环状的环的一部分切口的形状。压接部件8由金属构成。此外，压接部件8缩小切口的部分并在比平时缩径的状态下被安装于支架5。因此，上述切口的部分扩展的方向上的力起作用，压接部件8在扩径方向上发现弹发力。
在本实施方式中，上述压接部件8的外周面与后述的驱动单元3的弹性体11的开口部11c的内壁摩擦卡合。
另外，如图8所示，也可以使用闭合的环状的压接部件8。作为这种闭合的环状的压接部件8，能够举例有圆筒状或者角筒状等筒状的压接部件8。在该情况下，将压接部件8外插并固定于筒状的支架5即可。
支撑台2由金属、陶瓷或者合成树脂构成。如图5所示，支撑台2具有矩形板状的板部2a。在板部2a的中央设置贯通孔2b。如图1(a)所示，贯通孔2b是使移动体4插入的部分。
在板部2a的拐角部分，设置向上方突出的支撑突起2c。驱动单元3被固定于多个支撑突起2c的上表面。因此，如图1(a)所示，在板部2a与驱动单元3之间设置空间A。由于设置有空间A，因此驱动单元3的后述振动难以被妨碍。
驱动单元3具有：板状的弹性体11、和与板状的弹性体11的下表面接合的压电元件12。在本实施方式中，板状的弹性体11由不锈钢等金属板构成。并且，也可以由金属板以外的板状的弹性材料来形成弹性体11。
另外，虽然压电元件12与弹性体11的下表面接合，但也可以如图1(a)中单点划线B所示，在弹性体11的上表面接合压电元件。进一步地，也可以在弹性体11的下表面以及上表面的双方接合压电元件12。
优选地，压电元件12仅形成在弹性体11的上表面以及下表面之中的任意一面。在该情况下，能够减少成本。此外，在本实施方式中，将后述的扩展振动利用为其他振动，在压电元件12仅被设置于弹性体11的单面的情况下，扩展振动更容易被激励。
另外，虽然在本实施方式中，在弹性体11的下表面设置了压电元件12，但为了使移动体4向上方移动，优选仅在弹性体11的上表面设置压电元件12。不过，为了防止压电元件12与外部的接触，最好如本实施方式这样，压电元件12被配置于支撑台2一侧。
上述板状的弹性体11具有：作为第1主面的上表面11a、和作为第2主面的下表面11b。此外，弹性体11在中央具有从上表面11a贯通到下表面11b的开口部11c。开口部11c是使移动体4插入的部分，并且开口部11c的内壁是与所述的被安装于移动体4的压接部件8的外周面摩擦卡合的部分。压电元件12也具有贯通孔12a。
在图1(a)、图2以及图3(a)中，未详细表示压电元件12，但如图3(b)所示，实际上，在压电体13的两面形成有电极14、15。从该电极14侧起将压电元件12与弹性体11接合。另外，在弹性体11是金属板的情况下，也可以省略电极14，将弹性体11用作为一个电极。
另外，也可以取代使用单层的压电体13的结构，而使用以往公知的层叠型的压电元件。也就是说，也可以使用具有多个压电体层和多个内部电极的层叠型压电元件。
压电元件12的俯视形状被设为与弹性体11的俯视形状相同。不过，压电元件12的俯视形状也可以与弹性体11的俯视形状不同。优选地，如图4所示的变形例那样，最好使压电元件12A的贯通孔12a的直径比弹性体11的开口部11c的直径大。在该情况下，压电元件12A的贯通孔12a的内周面比开口部11c的开口边缘更位于外侧。因此，能够进一步可靠地防止压电元件12A与移动体4的接触。
作为构成上述压电体13的压电陶瓷，能够使用PZT系陶瓷等适当的压电陶瓷。电极14、15能够由适当的金属或合金形成。
在本实施方式中，向上述压电元件12提供脉冲状的驱动电场来使压电元件12激励。由此，在驱动单元3产生弯曲振动和其他振动，并利用弯曲振动和其他振动。
也就是说，若激励压电元件12，则将压电元件12与弹性体11贴合而成的驱动单元3产生振动。在该驱动单元3中，产生驱动单元3的主面中央在上下方向发生位移的弯曲振动。同时，上述开口部11c的直径变大或者变小的扩展振动也被激励。在本实施方式中，利用弯曲振动和该扩展振动。
在本实施方式中，在从图1(a)示意性表示的驱动脉冲源16向压电元件12提供驱动脉冲的情况下，同一周期的弯曲振动和扩展振动被激励。
为了如上所述那样，使弯曲振动和扩展振动在同一周期内产生，将两个振动的谐振频率调整为相同，或者根据驱动脉冲来将两个振动的谐振频率调整为特定的频率间隔即可。该频率间隔能够通过弹性体11的材质或厚度、俯视形状的尺寸的变更来进行调整。
图9表示本实施方式的驱动单元3的谐振特性，这里，在由箭头C所示的位置出现弯曲振动的谐振，在比其更高的由箭头D所示的位置出现扩展振动的谐振。该弯曲振动的谐振频率是0.059MHz，扩展振动的谐振频率是0.169MHz。在该情况下，能够通过后述的驱动脉冲信号在同一周期产生弯曲振动以及扩展振动。因此，能够容易地对驱动单元3进行驱动，以使得弯曲振动与扩展振动的周期相同。
参照图10以及图11来说明基于本实施方式的驱动装置1的移动体4的间距馈送动作。
如上所述，使用弯曲振动和扩展振动。这里，扩展振动具有实现如下状态的各振动姿态：弹性体11的开口部11c的内壁与移动体4摩擦卡合的可移动状态、弹性体11的开口部11c的内壁相对于移动体4被隔开或者以比可移动状态低的摩擦卡合力来与移动体4接触的释放状态。
图10(a)表示初始状态。在间距馈送时，首先，如图10(b)所示，通过扩展振动，如箭头所示，弹性体11发生位移以使得开口部11c变窄。其结果，实现了可移动状态、即弹性体11把持移动体4的把持状态。在该状态下，由于驱动单元3通过弯曲振动而以相同相位发生位移，因此如图11(a)所示，驱动单元3发生位移，移动体4向上方移动。
接下来，在扩展振动中，弹性体11发生位移以使得成为所述的释放状态，成为弹性体11的开口部11c的内壁相对于移动体4被隔开或者以比上述可移动状态低的摩擦卡合力来与移动体4接触的释放状态。同时，在该释放状态中，如图11(b)所示，通过弯曲振动，从而在驱动单元3中，弹性体11的开口部11c附近向下方移动。
在此之后，通过接下来的驱动脉冲，再次成为把持状态，并且通过基于弯曲振动的位移，从而图11(b)所示，移动体4再次向上方移动。这样，移动体4被向上方间距馈送。
在本实施方式中，从驱动脉冲源提供驱动脉冲信号，以使得上述弯曲振动的周期与上述扩展振动的周期相同。参照图12以及图13更具体地对其进行说明。图12是表示上述间距馈送时的驱动脉冲信号与弯曲振动以及扩展振动的关系的图。实线是驱动脉冲信号，虚线表示扩展振动的位移量，单点划线表示弯曲振动的位移量。驱动脉冲信号的电场强度进行变化以使得具有实线所示的周期。由此，上述弯曲振动以及扩展振动被激励，根据图12可知，弯曲振动的周期与扩展振动的周期几乎一致。
图13是表示将上述驱动脉冲信号提供给驱动单元3的情况下的移动体4的位移量即间距馈送状态的图。实线是驱动脉冲信号，虚线表示移动体的位移量。
根据图13可知，通过将驱动脉冲提供给驱动单元3，能够可靠地间距馈送移动体4。特别地，在本实施方式中，在移动体4的间距馈送时，在相对于移动体4为释放状态下，弹性体11的开口部11c的内壁向后方即下方移动。因此，几乎没有移动体4在间距馈送时后退的担心。因此，能够稳定地将移动体4向上方间距馈送。并且，根据图13的虚线可知，间距馈送时的每1个间距的移动速度几乎恒定，驱动速度的稳定化也能够实现。这是由于不仅利用用于使移动体4向前方移动的弯曲振动，而且为了实现上述把持状态和释放状态而利用扩展振动，并且上述弯曲振动与扩展振动的周期相同。
为了比较，准备了除了不使用扩展振动而仅使用弯曲振动的、其他与上述实施方式同样构成的驱动装置。图25中表示该比较例的动作。在图25中，实线是驱动脉冲信号，单点划线表示弯曲振动的波形，虚线表示移动体的位移量。根据图25的虚线可知，在比较例中，在位移刚刚开始之后存在移动体几乎不移动的期间X。因此可知，驱动后的响应性不良。并且，如箭头Y所示，在间距馈送开始的阶段，在每个间距都看到后退现象。
与此相对地，根据图13的虚线可知，根据本实施方式，能够在不引起这种后退的情况下使移动体4移动。并且，在刚刚驱动之后能够迅速地使移动体4在其轴向稳定地移动。
另外，在第1实施方式中，若使驱动脉冲的占空比反转，则能够使其后退。
图14是本发明的第2实施方式所涉及的驱动装置的立体图，图15是表示第2实施方式中使用的驱动单元与移动体的关系的示意性俯视图。
如图14所示，驱动装置31具有：支撑台2、和固定在支撑台2上的驱动单元33。如图15所示，驱动单元33的俯视形状具有矩形框状的形状。在驱动单元33中，在矩形框状的弹性体34的上表面接合压电元件35。压电元件35也具有矩形框状的形状。
此外，在矩形框状的弹性体34的开口部34c内配置移动体4。移动体4与第1实施方式同样地构成。移动体4的外周面与上述弹性体34的4个内侧壁的各中央摩擦卡合。
通过向压电元件35施加交变电场，压电元件35被激励。并且，压电元件35被贴付于弹性体34的驱动单元33与第1实施方式同样地，通过弯曲振动和扩展振动来产生振动。并且，在本实施方式中，也与第1实施方式同样地，能够通过弯曲振动来使移动体4向前方移动，能够通过扩展振动来实现把持移动体4的把持状态和所述释放状态。
另外，虽然在图14以及图15中省略了图示，但也可以将第1实施方式中使用的压接部件8采用于本实施方式。
在本实施方式中，能够分别任意调整弯曲振动的谐振频率和扩展振动的谐振频率。这是由于使用矩形框状的弹性体11以及矩形框状的压电元件35，因此通过调整该矩形框状的形状的尺寸，能够容易地调整弯曲振动的谐振频率和扩展振动的谐振频率。例如，能够通过调整弹性体的俯视形状的尺寸而容易地调整扩展振动的谐振频率。此外，能够通过调整弹性体的框状部分的尺寸或厚度而容易地调整弯曲振动的谐振频率。例如，通过使用具有8.5mm×8.5mm×厚度1.2mm的外形且框状部分的宽度为1.0mm的不锈钢，能够容易地将弯曲振动以及扩展振动的谐振频率调整为85kHz左右。
在所述第1实施方式中，弹性体11的俯视形状的外形是矩形，开口部11c的俯视形状是圆形。在该情况下，由于开口部具有等方性的形状，因此能够通过调整弹性体的材质、厚度、俯视形状的尺寸，来调整弯曲振动和扩展振动的谐振频率。与此相对地，在第2实施方式中，弹性体34的俯视形状的外形是矩形，并且开口部34c的俯视形状是矩形。在该情况下，通过如上述那样进行弹性体的材质、厚度、俯视形状的尺寸的变更，能够进一步容易地调整扩展振动和弯曲振动的谐振频率。另外，在弹性体的俯视形状的外形是圆形，并且开口部的俯视形状是圆形的情况下，即使调整弹性体的材质、厚度、俯视形状的尺寸，也不能任意调整弯曲振动和扩展振动的谐振频率。
因此，优选如上述那样，弹性体的俯视形状的外形以及开口部的俯视形状是非圆形。由此，能够容易地调整为扩展振动的谐振频率与弯曲振动的谐振频率的频率间隔，以使得通过驱动脉冲信号在同一周期被驱动。
在第2实施方式中，能够容易地调整弯曲振动的谐振频率与扩展振动的谐振频率，以使得通过驱动脉冲信号来在同一周期产生弯曲振动的谐振频率与扩展振动的谐振频率。因此，能够进一步高精度地使弯曲振动与扩展振动在同一周期产生。因此，与第1实施方式相比，能够以更低的驱动电压，更可靠地间距馈送移动体4。进一步地，间距馈送时的移动速度的稳定性也能够进一步提高。
在上述第1以及第2实施方式中，利用了弯曲振动和作为其他振动的扩展振动。在本发明中，其他振动也可以是除了扩展振动以外的振动。
参照图16～图18，作为第3实施方式，说明其他振动是波状振动的驱动装置。
在第3实施方式中，与第2实施方式同样地，使用矩形框状的驱动单元33。驱动单元33与第2实施方式同样地构成。并且，在本实施方式中，如图16中所示振动姿态那样，驱动单元33通过弯曲模式来发生振动。同时，如图17中所示振动姿态那样，驱动单元33也通过波状振动来发生振动。在本实施方式中，在通过某个驱动脉冲信号来驱动的情况下，两个振动的谐振频率间隔被调整为弯曲振动以及扩展振动在同一周期产生。因此，在本实施方式中也设计了驱动单元33。
图18是表示第3实施方式的驱动单元33的阻抗特性的图。在箭头C1所示的位置出现弯曲模式的响应。此外，在箭头D1所示的位置出现波状振动的响应。两者的谐振频率与第2实施方式同样地，能够通过调整驱动单元33的弹性体的尺寸或压电元件的尺寸来容易地调整。
此外，在第1～第3实施方式中，作为其他振动模式，利用了扩展振动或者波状振动的1种振动，但也可以利用多种振动来作为其他振动。
进一步地，其他振动也可以是宽度方向振动或长度方向的振动等。
此外，在第1实施方式中，在弹性体11的单面贴合了1个压电元件12，但也可以如图19所示的第4实施方式那样，将多个压电元件42与弹性体41接合。在本实施方式中，作为板状的弹性体，使用矩形框状的弹性体41。在该弹性体41的单面，接合多个压电元件42、42、42、42。各压电元件42在矩形框状的一边，与弹性体41的上表面接合。
通过向上述压电元件42施加交变电场来激励压电元件42。其结果，驱动单元43产生弯曲振动和扩展振动。
图20是表示驱动单元43的阻抗特性的图。在箭头C2所示的位置出现弯曲振动的响应，在箭头D2所示的位置出现扩展振动的响应。在本实施方式中，也对两个振动的谐振频率的间隔进行选择，以使得弯曲振动与扩展振动在同一周期产生。因此，能够准确地间距馈送移动体。这样，也可以在弹性体的单面或者双面接合多个压电元件。
图21是本发明的第5实施方式所涉及的驱动装置的俯视图，图22是从其底面侧来观察的立体图。
驱动装置51具有驱动单元53。在本实施方式中，驱动单元53具有矩形框状的俯视形状。指出：在图21以及图22中，只是示意性地图示了包含弹性体11的驱动单元53的外形。也就是说，仅图示了弹性体11、移动体54和压接部件58。关于压电元件等，能够与所述的第1～第4实施方式同样地构成。
在本实施方式中，弹性体11的俯视形状的外形是矩形，开口部11c的俯视形状也是矩形。在该弹性体11的开口部11c内配置移动体54。移动体54具有长方体状，更详细来讲，具有矩形板状的形状。这样，在本发明中，移动体的形状并不限定于筒状体或柱状体，也能够设为长方体状等各种形状。
如图23所示，在本实施方式中，在移动体54的对置的一对侧面，分别固定压接部件58。如图24所示，压接部件58由金属构成，具有第1端部58a和第2端部58b。压接部件58在第1端部58a以及第2端部58b，被固定在移动体54的侧面。并且，具有将第1端部58a与第2端部58b连结的长度方向。如图21所示，该长度方向中央部被施力为从移动体54的侧面远离。压接部件58具有上述形状，作为板簧片而起作用。
上述第1端部58a与第2端部58b之间的弹发部58c与开口部11c的内侧面接触即压接。这样，在本实施方式中，也可以使用板簧片状的压接部件58。另外，并不局限于板簧片，也可以使用将直线状的弹性部件形成为在中央部具有弹发力而成的线性弹簧。
图26是本发明的第6实施方式中使用的移动体61的立体图。移动体61具有大致矩形板状的形状。并且，在移动体61的一个主面上，在长度方向两端设置突出部61a、61a。在另一主面上，也在长度方向两端设置突出部61b、61b。
图27是表示本实施方式中被安装于移动体的压接部件62的立体图。压接部件62由金属板构成，通过使其弯曲来作为板簧片而起作用。
该压接部件62的长度比上述突出部61a与突出部61a之间的距离长。
如图28所示，使上述压接部件62弯曲，并安装于突出部61a、61a之间。由此，压接部件62作为板簧片而起作用。在突出部61b、61b之间也同样地安装由板簧片构成的压接部件62。
这种在移动体61安装有压接部件62的构造例如能够与第5实施方式中使用的具有矩形框状的开口部的弹性体11组合使用。
此外，图29是本发明的第7实施方式中使用的移动体的立体图。移动体71具有长方体状的形状。也就是说，俯视形状几乎为正方形。在移动体71的上表面71A，突出部71a、71a被设置为沿着侧面71C、71D所成的边缘。突出部71a、71a比上表面71A更向上方突出。此外，突出部71a、71a比侧面71C、71D更向外侧突出。同样地，在下表面71B，突出部71b、71b被设置为沿着下表面71B与侧面71C、71D所成的各边缘。
如图29所示的移动体71那样，也可以使用俯视形状为正方形的移动体71。这里，图27所示的压接部件62利用上述突出部71a、71a或者突出部71b、71b而被安装。
如图30所示，在上表面71A，也可以将压接部件62安装在突出部71a、71a之间。进一步地，在下表面71B，能够将压接部件62安装在突出部71b、71b之间。进一步地，在侧面71C、71D，也能够在突出部71a与突出部71b之间安装压接部件62。
或者，如图31所示，也可以仅在侧面71C、71D安装压接部件62、62。
在如第6以及第7实施方式那样，由板簧片构成压接部件62的情况下，仅通过研究移动体61、71的形状，就能够容易地将压接部件安装于移动体。
另外，若改变表现，则图26中设置有突出部61a、61a、61b、61b的构成也能够表现为在矩形板状的移动体61的上表面以及下表面形成有凹部的构造。也就是说，也可以通过在上表面形成凹部以使得具有一对对置壁61a1、61a1，来形成突出部61a、61a。或者，也可以如所述那样，将突出部61a、61a形成为从矩形板状的状态的上表面向上方突出。
(利用了耦合模式的第8实施方式)
在本发明的驱动装置中，板状的驱动单元也可以构成为通过弯曲振动和与所述弯曲振动不同的至少一种振动耦合而成的耦合模式的振动来产生振动。以下，对利用了这种耦合模式的振动的第8实施方式进行说明。
另外，在第8实施方式所涉及的驱动装置中，使用图19所示的压电元件。此外，关于其它结构，除了构成为在板状的驱动单元产生耦合模式，其他与第1实施方式的驱动装置相同。因此，在第8实施方式的说明中，援引参照表示第1实施方式所涉及的驱动装置的图1(a)以及图1(b)～图8以及图1～图8、表示第4实施方式的图19来进行了说明的说明。
具体来讲，在第8实施方式中，构成为通过调整板状的驱动单元3的弹性体11的尺寸，来激励将弯曲振动与扩展振动耦合而成的耦合模式。关于其它结构，除了驱动方法以外，与第1实施方式相同。
作为上述驱动单元3中的弹性体11，准备了由不锈钢构成、8.5mm×8.5mm并且连结矩形的开口边缘与外周边的宽度方向的尺寸为1.0mm的弹性体11。在该弹性体11中，使厚度各种变化，在弹性体表面贴合压电元件12，构成了驱动单元3。驱动该厚度不同的驱动单元3的压电元件并使其振动。图32中表示该情况下的弯曲振动以及扩展振动的谐振频率的变化。根据图32可知，随着弹性体的厚度增加，弯曲振动的谐振频率即使厚度增加也不上升。与此相对地，扩展振动的谐振频率随着弹性体11的厚度增加而上升，可知在厚度为1.2mm～1.5mm的范围内，接近弯曲振动的谐振频率。特别地，可知在厚度为1.3mm～1.4mm时，弯曲振动的谐振频率与扩展振动的谐振频率接近于几乎一致的程度。在该情况下，弯曲振动与扩展振动耦合，产生耦合模式的振动。设定弹性体11的厚度以使得产生这种耦合模式的振动。
更具体来讲，将厚度设为1.37mm，使频率变化的同时施加驱动脉冲信号。图35中表示该驱动单元3的谐振特性。根据图35可知，存在驱动频率为90.2kHz时具有谐振频率的模式1、和驱动频率为87kHz的情况下出现谐振频率的模式2。图33是表示模式1的情况下的驱动单元3的振动姿态的立体图。图34是表示模式2的情况下的耦合模式的振动姿态的立体图。
在上述弯曲振动与扩展振动的耦合模式的振动中，具有实现如下状态的振动姿态：弹性体11的开口部11c的内壁与移动体4摩擦卡合的可移动状态、开口部11c的内壁相对于移动体被隔开或者以比可移动状态低的摩擦卡合力来与移动体4接触的释放状态。这种振动姿态在模式1以及模式2的任意情况下都产生。其中，在模式1中，在可移动状态下，通过耦合模式，移动体4被移动以使得移动体4前进。另一方面，在模式2中，在可移动状态下，开口部11c的内壁使移动体4后退。
换言之，在本实施方式中，在上述耦合模式是模式1的情况下，能够通过上述耦合模式的振动来使移动体4前进。另一方面，在希望使其后退的情况下，通过切换驱动频率以使得产生模式2，从而能够使移动体4后退。
在本实施方式中，上述耦合模式的振动是通过弯曲振动与扩展振动耦合而形成的。为了使其耦合，优选弯曲振动的谐振频率与扩展振动的谐振频率一致即可。并且，双方的谐振频率也可以不完全一致，几乎一致即可。更具体来讲，弯曲振动的谐振频率与扩展振动的谐振频率的差的绝对值在模式1中的谐振频率与模式2中的谐振频率的平均值±15％的范围内，更优选在平均值±5％的范围内即可。若是这种范围内，则能够进一步可靠地发现上述模式1以及模式2。
通过利用上述耦合模式的振动，在第8实施方式中，与第1实施方式相比，能够增大弯曲振幅。这是由于振动是单振动的形式，因此能够增大弯曲振幅。参照图36来对此进行说明。图36的实线是表示上述模式1的情况下的位移滞后的图，虚线是表示第1实施方式的情况下的位移滞后的图。
如图36的虚线所示，在第1实施方式中，在扩展振幅为负的情况和为正的情况下，释放状态以及可移动状态被实现，并且能够使移动体4仅前进弯曲振幅的大小。
另一方面，在由实线所示的第8实施方式中，通过耦合模式，扩展振幅为负的情况下的释放状态和扩展振幅为正侧的可移动状态被实现，任何情况下弯曲振幅都非常大。因此，能够使移动体高速地移动，并且能够得到较大的位移量。参照图37～图40来对此更具体地进行说明。
图37是表示所述模式1的情况下的驱动脉冲与弯曲振动以及扩展振动的位移量的关系的图。另外，该弯曲振动的位移以及扩展振动的位移耦合，实现了模式1的耦合模式的振动。在模式1的情况下，弯曲振动与扩展振动被耦合为弯曲振动与扩展振动几乎为相反相位。因此，能够使移动体4前进。
与此相对地，如图38所示，在模式2的情况下，两者被耦合为弯曲振动的相位与扩展振动的相位几乎一致。因此，在模式2中，能够使移动体4后退。
无论如何，弯曲振动的位移量在前进时以及后退时都相当大，此外，弯曲振动以正弦波的形式发生位移，因此可知能够得到较大的位移量。
图39是表示第8实施方式的驱动装置的驱动脉冲以及移动体4的位移量的时间变化的图。根据图39可知，在第8实施方式中，能够使移动体4从驱动最初开始起移动，并且能够使其高速地移动。此外，根据图39可知，在第8实施方式中，移动体4的后退也难以产生。
图40是表示上述驱动脉冲的驱动频率与移动体的速度的关系的图。
在第8实施方式中，若使上述驱动脉冲的频率变化，则如上述那样，模式1或者模式2的耦合模式被较强地激励。图40是表示模式1产生的驱动频率附近的驱动频率与移动体速度的关系的图。在本实施方式中，可知若设为93kHz，则能够使移动体4以最高速进行移动。此外，可知若驱动频率在90～97kHz的范围内，则能够使移动体4充分高速地移动。其原因是，在这种频率范围内，模式1的耦合模式被较强地激励。
另外，虽然图40中未图示，但在比90kHz低的频率区域，出现所述模式2的耦合模式被较强地激励的频率范围。因此，通过使驱动频率变化，能够利用模式1或者模式2，使移动体4高速地前进或者后退。
虽然在第8实施方式中，使用了弯曲振动与扩展振动的耦合模式，但与弯曲振动耦合的其他振动并不局限于扩展振动。也就是说，只要能够与弯曲振动耦合，就能够使用与所述第1实施方式中的其他振动同样的其他振动。
此外，虽然在第8实施方式中，通过调整弹性体11的厚度，使耦合模式的振动产生，但也可以不仅是弹性体11的厚度，而是考虑其他尺寸或材质等，来使上述耦合模式的振动产生。
如所述那样，第8实施方式在利用了上述耦合模式的振动方面与第1、第4实施方式不同，因此，关于其它结构，如第1实施方式以及第1实施方式的变形例、以及第2、第3以及第5～第7实施方式所示，能够适当地变形。因此，针对第1实施方式的变形例、第2、第3以及第5～第7实施方式的说明也援引于第8实施方式的驱动装置的说明。
另外，根据上述第1～第8实施方式可知，弹性体的开口部或外形的俯视形状可以是圆形，也可以是矩形等具有各向异性的非圆形的形状。并且，在非圆形的具有各向异性的形状的情况下，能够如所述那样，通过调整弹性体的尺寸，容易地调整弯曲振动的谐振频率与其他振动的谐振频率。因此，弹性体的俯视形状和开口部的俯视形状最好是非圆形的具有各向异性的形状。更优选地，优选弹性体的外形的俯视形状与开口部的俯视形状两者都是非圆形的。
-符号说明-
1…驱动装置
2…支撑台
2a…板部
2b…贯通孔
2c…支撑突起
3…驱动单元
4…移动体
5…支架
5a…沟槽
6…镜头
7…透明板
8…压接部件
11…弹性体
11a…上表面
11b…下表面
11c…开口部
12、12A…压电元件
12a…贯通孔
13…压电体
14、15…电极
16…驱动脉冲源
31…驱动装置
33…驱动单元
34…弹性体
34c…开口部
35…压电元件
41…弹性体
42…压电元件
43…驱动单元
51…驱动装置
53…驱动单元
54…移动体
58…压接部件
58a、58b…第1、第2端部
58c…弹发部
61、71…移动体
61a、61b、71a、71b…突出部
61a1…对置壁
62…压接部件
71A…上表面
71B…下表面
71C、71D…侧面

Claims (23)

1.一种驱动装置，具备：
板状的驱动单元，其具有：具有对置的第1主面、第2主面并且在中央具有从第1主面向第2主面贯通的开口部的板状的弹性体、及与该板状的弹性体的至少一个主面接合的压电元件；和
移动体，其被插入到所述板状的弹性体的开口部，通过驱动所述驱动单元而在连结所述板状的弹性体的第1主面与第2主面的方向上移动，
该驱动装置构成为：通过驱动所述压电元件，所述板状的驱动单元利用弯曲振动、及与所述弯曲振动不同的至少一种其他振动，或者利用弯曲振动及与所述弯曲振动不同的至少一种所述其他振动耦合而成的耦合模式的振动来产生振动，
所述其他振动或者所述耦合模式的振动具有实现可移动状态与释放状态的振动姿态，在所述可移动状态下，所述弹性体的所述开口部的内壁与所述移动体摩擦卡合，以使得能够使所述移动体移动，在所述释放状态下，所述弹性体的所述开口部的内壁相对于所述移动体被隔开或者以比所述可移动状态低的摩擦卡合力与所述移动体接触，
通过所述驱动单元的所述弯曲振动以及所述其他振动、或者所述耦合模式的振动来使所述移动体移动。
2.根据权利要求1所述的驱动装置，其中，
该驱动装置构成为：通过驱动所述压电元件，所述板状的驱动单元利用所述弯曲振动和与所述弯曲振动不同的至少一种所述其他振动来产生振动，所述其他振动具有实现所述可移动状态与所述释放状态的振动姿态，在所述可移动状态下，所述弹性体的所述开口部的内壁与所述移动体摩擦卡合，以使得能够利用所述弯曲振动来使所述移动体移动，在所述释放状态下，所述弹性体的所述开口部的内壁相对于所述移动体被隔开或者以比所述可移动状态低的摩擦卡合力与所述移动体接触，
利用所述驱动单元的所述弯曲振动以及所述其他振动，通过间距馈送来使所述移动体移动。
3.根据权利要求1或者2所述的驱动装置，其中，
所述弯曲振动和所述其他振动被驱动为同一周期。
4.根据权利要求1所述的驱动装置，其中，
该驱动装置构成为：通过驱动所述压电元件，所述板状的驱动单元利用所述耦合模式的振动来产生振动，
所述耦合模式的振动具有实现可移动状态与释放状态的振动姿态，在所述可移动状态下，所述弹性体的所述开口部的内壁与所述移动体摩擦卡合，以使得能够使所述移动体移动，在所述释放状态下，所述弹性体的所述开口部的内壁相对于所述移动体被隔开或者以比所述可移动状态低的摩擦卡合力与所述移动体接触，
利用所述驱动单元的所述耦合模式的振动来使所述移动体移动。
5.根据权利要求4所述的驱动装置，其中，
调整所述弹性体的尺寸，以使得所述弯曲振动与所述其他振动耦合，所述耦合模式被激励。
6.根据权利要求1～5的任意一项所述的驱动装置，其中，
所述移动体的俯视形状是非圆形的具有各向异性的形状。
7.根据权利要求1～6的任意一项所述的驱动装置，其中，
所述开口部的俯视形状是非圆形的具有各向异性的形状。
8.根据权利要求1～7的任意一项所述的驱动装置，其中，
所述移动体具有在所述移动方向上延伸并且能够与所述弹性体的开口部摩擦卡合的侧面，在所述侧面，设置提高相对于所述弹性体的所述开口部的摩擦卡合力的压接部件。
9.根据权利要求8所述的驱动装置，其中，
所述压接部件是在所述侧面在所述移动体的周方向上延伸并比平时缩径的状态下被安装的环状部件，在被安装于所述移动体的侧面的状态下发现从该侧面向外侧的弹发力。
10.根据权利要求9所述的驱动装置，其中，
所述环状部件具有环的一部分被切口的形状。
11.根据权利要求8～10的任意一项所述的驱动装置，其中，
在所述移动体的侧面形成沟槽，所述压接部件的一部分与所述沟槽嵌合。
12.根据权利要求8所述的驱动装置，其中，
所述压接部件是将第1端部和与第1端部相反的一侧的第2端部连结的方向为长度方向的多个弹簧部件，各弹簧部件构成为第1端部与第2端部之间的部分能够在与所述长度方向正交的方向上发生位移，所述弹簧部件的所述第1端部、第2端部被固定在所述移动体的所述侧面，第1端部与第2端部之间的弹簧部件部分被弯曲为向远离移动体的侧面的方向施力，弯曲的部分的顶点与所述弹性体的所述开口部压接。
13.根据权利要求1～12的任意一项所述的驱动装置，其中，
所述板状的弹性体与所述压电元件的俯视形状不同。
14.根据权利要求1～13的任意一项所述的驱动装置，其中，
所述压电元件在中央具有开口部，压电元件的开口部比所述弹性体的开口部大，所述压电元件未达到所述弹性体的开口部的周边。
15.根据权利要求1～14的任意一项所述的驱动装置，其中，
设置有多个所述压电元件。
16.根据权利要求1～15的任意一项所述的驱动装置，其中，
所述其他振动是多种振动。
17.根据权利要求1～16的任意一项所述的驱动装置，其中，
所述压电元件被设置在所述弹性体的第1主面以及第2主面之中的一个主面。
18.根据权利要求1～17的任意一项所述的驱动装置，其中，
该驱动装置还具备：
驱动脉冲源，其与所述压电元件电连接，向所述压电元件提供驱动脉冲，以使得所述弯曲振动以及其他振动在同一周期发现。
19.一种驱动装置，具备：
板状的驱动单元，其具有：具有对置的第1主面、第2主面并且在中央具有从第1主面向第2主面贯通的开口部的板状的弹性体、及与该板状的弹性体的至少一个主面接合的压电元件；和
移动体，其被插入到所述板状的弹性体的开口部，通过驱动所述驱动单元而在连结所述板状的弹性体的第1主面与第2主面的方向上移动，
该驱动装置构成为：通过驱动所述压电元件，所述板状的驱动单元利用弯曲振动、和与所述弯曲振动不同的至少一种其他振动，或者利用弯曲振动及与所述弯曲振动不同的至少一种所述其他振动耦合而成的耦合模式的振动来产生振动，
所述其他振动或者所述耦合模式的振动具有实现可移动状态与释放状态的振动姿态，在所述可移动状态下，所述弹性体的所述开口部的内壁与所述移动体摩擦卡合，以使得能够使所述移动体移动，在所述释放状态下，所述弹性体的所述开口部的内壁相对于所述移动体被隔开或者以比所述可移动状态低的摩擦卡合力与所述移动体接触，
该驱动装置还具备：
驱动脉冲源，其与所述压电元件电连接，向所述压电元件提供驱动脉冲，以使得所述弯曲振动以及其他振动或者所述耦合模式的振动产生，
通过所述驱动单元的所述弯曲振动以及所述其他振动，或者通过所述耦合模式的振动来使所述移动体移动。
20.根据权利要求19所述的驱动装置，其中，
所述板状的驱动单元构成为利用所述弯曲振动和与所述弯曲振动不同的至少一种所述其他振动来产生振动，
所述驱动脉冲源向所述压电元件提供所述驱动脉冲，以使得所述弯曲振动以及所述其他振动在同一周期发现，由此能够通过所述驱动单元的所述弯曲振动以及所述其他振动来使所述移动体间距馈送。
21.根据权利要求19所述的驱动装置，其中，
所述驱动单元构成为利用所述耦合模式的振动来产生振动，
所述驱动脉冲源向所述压电元件提供驱动脉冲，以使得产生所述耦合模式的振动。
22.根据权利要求19～21的任意一项所述的驱动装置，其中，
所述驱动单元的所述移动体的俯视形状是非圆形的具有各向异性的形状。
23.根据权利要求19～22的任意一项所述的驱动装置，其中，
所述驱动单元的所述弹性体的开口部的俯视形状是非圆形的具有各向异性的形状。
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