CN105649970A - 一种用于多级干式真空泵的脉冲水冷系统 - Google Patents

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王光玉
孔祥玲
汤剑
雷震霖
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Abstract

本发明涉及干式真空泵领域，具体涉及一种用于多级干式真空泵的脉冲水冷系统。本发明包括循环水冷源、流量传感器、第一单向阀、水路分配器、多个电磁阀、多个水冷装置、第二单向阀、多个温度传感器和控制主板。本发明的冷却水由进气水路通过流量传感器和单向阀进入水路分配器，根据各支路的电磁阀开启大小以不同流量流经到各支路水冷块(排)，对泵组各部进行冷却降温；根据安置在其对应部位的温度传感器反馈给控制主板，控制系统据此对各电磁阀发出控制指令，电磁阀的开启大小控制分支水路流量，达到闭环控制；总进水路在通过水路分配器后按不同流量呈脉冲方式对各分支水路进行冷却水的分配，以实现对泵体各部温度的实时控制。

Description

一种用于多级干式真空泵的脉冲水冷系统
技术领域
本发明涉及干式真空泵领域，具体涉及一种用于多级干式真空泵的脉冲水冷系统。
背景技术
泵组运行时，温度较高，会影响电机、轴承等部件的正常工作。向多级干式真空泵内通入冷却水，能实现真空泵电机、轴承、齿轮、及各级腔体与转子的冷却。泵体各部温度相对均匀也对转子保持动态精度有积极影响。
目前多级干式真空泵的水路系统，多数由流量阀和单向阀来监控流量，而分水器也采用定流量分水，即水路的多路输出只能按唯一的流量比例，不能改变。这样的水路系统流量输出比例不能变化，并且不能实现各局部的温度控制，在机组发热(气载较小等工况)不大的情况下，产生能源浪费。
发明内容
针对现有技术中存在的上述不足之处，本发明要解决的技术问题是提供一种用于多级干式真空泵的脉冲水冷系统。
本发明为实现上述目的所采用的技术方案是：一种用于多级干式真空泵的脉冲水冷系统，包括：
循环水冷源，用于提供水源；
流量传感器，用于检测循环水冷源的出水流量；
第一单向阀，用于连通/关闭循环水冷源和水路分配器；
水路分配器，用于对水源分流；
多个电磁阀，分别连通水路分配器的出水口和各个水冷支路，用于控制支路水流量；
多个水冷装置，分别联通在各个水冷支路上，用于对泵组各部分进行水冷；
第二单向阀，用于连通/关闭循环水冷源和多个水冷装置的输出端；
多个温度传感器，安置在各支路上，用于采集各支路的温度信息；
控制主板，根据采集到的流量传感器的水流量信息和多个温度传感器的温度信息，控制多个电磁阀的开启程度。
所述多个水冷装置包括电机水冷块、轴承水冷块、齿轮水冷块、腔体水冷排。
还包括报警系统，连接控制主板，用于实现分水路流量控制与总水路无冷却水、水流量不足情况下发出报警信号。
所述控制主板还连接阀组开关，用于在报警系统发出报警信号时关闭阀组开关。
所述控制主板根据冷却水流量和温度传感器的反馈信号对电磁阀进行控制。
本发明具有以下优点及有益效果：
1.冷却水由进气水路通过流量传感器和单向阀进入水路分配器，根据各支路的电磁阀开启大小以不同流量流经到各支路水冷块(排)，对泵组各部进行冷却降温；
2.根据安置在其对应部位的温度传感器反馈给控制主板，控制系统据此对各电磁阀发出控制指令，电磁阀的开启大小控制分支水路流量，达到闭环控制；
3.总进水路在通过水路分配器后按不同流量呈脉冲方式对各分支水路进行冷却水的分配，以实现对泵体各部温度的实时控制。
附图说明
图1为本发明整体结构图。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本发明做进一步的详细说明。
参见图1，本发明由循环水冷源处起，冷却水由流量传感器和单向阀1进入水路分配器，总进水路由此变为分支水路，4个分支水路分别有一个电磁阀(图示电磁阀1-4)来控制分支水流量，各分水路分别流经电机水冷块、轴承水冷块、齿轮水冷块、腔体水冷排对泵组各部进行水冷，之后合流为回水路，通过单向阀2返回至循环水冷源，完成水冷循环；安置在各支水路的温度传感器1-4，采集到的温度信息变为电信号反馈给控制主板，控制主板通过初始设置控制电磁阀1-4的开启程度，实现对各分水路的脉冲控制；另外，此系统的流量传感器能把有无冷却水或冷却水的流量信息反馈给控制主板，由此实现冷却水报警和冷却水压不足报警。

Claims (5)

1.一种用于多级干式真空泵的脉冲水冷系统，其特征在于，包括：
循环水冷源，用于提供水源；
流量传感器，用于检测循环水冷源的出水流量；
第一单向阀，用于连通/关闭循环水冷源和水路分配器；
水路分配器，用于对水源分流；
多个电磁阀，分别连通水路分配器的出水口和各个水冷支路，用于控制支路水流量；
多个水冷装置，分别联通在各个水冷支路上，用于对泵组各部分进行水冷；
第二单向阀，用于连通/关闭循环水冷源和多个水冷装置的输出端；
多个温度传感器，安置在各支路上，用于采集各支路的温度信息；
控制主板，根据采集到的流量传感器的水流量信息和多个温度传感器的温度信息，控制多个电磁阀的开启程度。
2.根据权利要求1所述的一种用于多级干式真空泵的脉冲水冷系统，其特征在于，所述多个水冷装置包括电机水冷块、轴承水冷块、齿轮水冷块、腔体水冷排。
3.根据权利要求1所述的一种用于多级干式真空泵的脉冲水冷系统，其特征在于，还包括报警系统，连接控制主板，用于实现分水路流量控制与总水路无冷却水、水流量不足情况下发出报警信号。
4.根据权利要求3所述的一种用于多级干式真空泵的脉冲水冷系统，其特征在于，所述控制主板还连接阀组开关，用于在报警系统发出报警信号时关闭阀组开关。
5.根据权利要求1所述的一种用于多级干式真空泵的脉冲水冷系统，其特征在于，所述控制主板根据冷却水流量和温度传感器的反馈信号对电磁阀进行控制。
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107256040A (zh) * 2017-07-27 2017-10-17 福建省瑞奥麦特轻金属有限责任公司 一种提高模具控温精度的水冷数字阀组
CN107538270A (zh) * 2016-06-28 2018-01-05 维嘉数控科技（苏州）有限公司 一种冷却控制系统和方法
CN108592490A (zh) * 2018-05-21 2018-09-28 深圳市瑞德森智能设备有限责任公司 制冷设备及制冷系统
CN110265370A (zh) * 2019-07-01 2019-09-20 联想(北京)有限公司 散热装置和电子设备
CN112230692A (zh) * 2020-10-27 2021-01-15 浙江大学 一种多路温控系统
CN114109831A (zh) * 2021-11-08 2022-03-01 陕西飞机工业有限责任公司 一种用于真空泵组的水循环控制装置
CN114396372A (zh) * 2021-12-24 2022-04-26 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 一种干式真空泵冷却系统
CN116498526A (zh) * 2023-04-24 2023-07-28 北京通嘉宏瑞科技有限公司 真空泵冷却装置的减缓堵塞的控制方法和系统

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001194489A (ja) * 2000-01-12 2001-07-19 Toshiba Corp 原子炉給水装置
CN102566605A (zh) * 2012-01-17 2012-07-11 华为技术有限公司 单板冷却装置
CN103104453A (zh) * 2011-11-11 2013-05-15 三菱重工业株式会社 冷却系统的控制方法及装置
CN103697719A (zh) * 2013-12-30 2014-04-02 国核华清（北京）核电技术研发中心有限公司 一种并联多支路冷却水分配与调节系统

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001194489A (ja) * 2000-01-12 2001-07-19 Toshiba Corp 原子炉給水装置
CN103104453A (zh) * 2011-11-11 2013-05-15 三菱重工业株式会社 冷却系统的控制方法及装置
CN102566605A (zh) * 2012-01-17 2012-07-11 华为技术有限公司 单板冷却装置
CN103697719A (zh) * 2013-12-30 2014-04-02 国核华清（北京）核电技术研发中心有限公司 一种并联多支路冷却水分配与调节系统

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107538270A (zh) * 2016-06-28 2018-01-05 维嘉数控科技（苏州）有限公司 一种冷却控制系统和方法
CN107256040A (zh) * 2017-07-27 2017-10-17 福建省瑞奥麦特轻金属有限责任公司 一种提高模具控温精度的水冷数字阀组
CN108592490A (zh) * 2018-05-21 2018-09-28 深圳市瑞德森智能设备有限责任公司 制冷设备及制冷系统
CN110265370A (zh) * 2019-07-01 2019-09-20 联想(北京)有限公司 散热装置和电子设备
CN110265370B (zh) * 2019-07-01 2021-07-16 联想(北京)有限公司 散热装置和电子设备
CN112230692A (zh) * 2020-10-27 2021-01-15 浙江大学 一种多路温控系统
CN112230692B (zh) * 2020-10-27 2022-03-22 浙江大学 一种多路温控系统
CN114109831A (zh) * 2021-11-08 2022-03-01 陕西飞机工业有限责任公司 一种用于真空泵组的水循环控制装置
CN114109831B (zh) * 2021-11-08 2023-05-23 陕西飞机工业有限责任公司 一种用于真空泵组的水循环控制装置
CN114396372A (zh) * 2021-12-24 2022-04-26 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 一种干式真空泵冷却系统
CN116498526A (zh) * 2023-04-24 2023-07-28 北京通嘉宏瑞科技有限公司 真空泵冷却装置的减缓堵塞的控制方法和系统
CN116498526B (zh) * 2023-04-24 2024-03-22 北京通嘉宏瑞科技有限公司 真空泵冷却装置的减缓堵塞的控制方法和系统

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