CN105570530A - 具有改进的密封机构的开关微型阀 - Google Patents

Abstract

一种具有改进的密封机构的开关微型阀。微型阀包括第一板，该第一板具有表面、设置在表面内的凹入区域、设置在凹入区域内的流体端口和绕流体端口延伸的密封结构。第二板限定非可动部分和可动部分，可动部分形成在第一开口内并具有轴线。非可动部分的表面抵靠第一板的表面，非可动部分具有贯穿其中形成的第一和第二开口。第一开口具有形成在它的两个纵向延伸侧壁中的每个上的凹口。可动部分限定了由形成在第二开口中的旋绕弹簧连接到非可动部分的可移动构件。可移动构件具有从它的两个纵向延伸侧壁中的每个向外延伸的突片，每个突片定位在凹口中的一个内。可移动构件在第一开口内的关闭位置与打开位置之间是滑动地且轴向地可移动的。

Description

具有改进的密封机构的开关微型阀

相关申请的交叉引用

本申请要求2014年8月14日提交的美国临时申请编号62/037,319的权益，其公开内容通过引用并入本文。

技术领域

本发明总体涉及用于控制流体通过流体回路的流动的微型阀。特别地，本发明涉及一种用于开关微型阀的改进结构，其抵抗与板式微型阀的可移动构件的自由运动的干扰，所述干扰否则可能会由包含在流过其中的流体中的颗粒污染物的存在产生。

背景技术

一般而言，微机电系统是这样一种系统，它不仅包括电气部件和机械部件两者，而且又在实体上较小，其通常包括具有在十微米的范围内或更小尺寸的特征。术语“微机械加工”通常被理解为涉及这样的微机电系统设备的三维结构和运动部件的生产。在过去，微机电系统中使用改良的集成电路(例如，计算机芯片)制造技术(诸如化学蚀刻)和材料(诸如硅半导体材料)，所述材料被微机械加工以提供这些非常小的电气和机械部件。然而，最近，其他的微机械加工技术和材料已变得可用。

如本文所使用的，术语“微机械加工设备”指的是包括具有的尺寸在微米的范围内或更小的特征的设备，并且由此至少部分地通过微机械加工形成。同样如本文所使用的，术语“微型阀”指的是包括具有的尺寸在微米的范围内或更小的特征的阀，并且由此至少部分地通过微机械加工形成。最后，如本文所使用的，术语“微型阀设备”指的是不仅包括微型阀并且还包括其他部件的微机械加工设备。应当注意的是，如果不是微型阀的部件包括在所述微型阀设备内，这些其他部件可以或者是微机械加工部件或者是标准尺寸(即更大)部件。类似地，微机械加工设备可既包括微机械加工部件又包括标准尺寸部件。

多种微型阀结构在本领域中已知用于控制流体通过流体回路的流动。一种公知的微型阀结构包括可移动构件，其支撑在设置于阀体中的封闭的内部空腔内，用于在关闭位置与打开位置之间的枢转运动、轴向运动或其他运动。当置于关闭位置时，所述可移动构件基本上堵塞了否则与第二流体端口流体连通的第一流体端口，从而防止流体在第一与第二流体端口之间的流动。当置于打开位置时，所述可移动构件基本没有堵塞第一流体端口与第二流体端口的流体连通，从而允许流体在第一与第二流体端口之间的流动。

在这种常规的微型阀结构中，封闭的内部腔体的厚度通常仅稍大于设置在其中的可移动构件的厚度。由此，相对较小的空间设置在可移动构件与微型阀的限定封闭内部腔体的相邻部分之间。当可移动构件被布置在关闭位置中时，这样做能够尽量减少穿过其中的不期望泄漏的量。然而，已经发现的是，当这种传统的微型阀结构用于控制含有固体颗粒(例如可能包含在流体中的颗粒污染物)的流体流动时，这样的颗粒可能变得卡在可移动构件与微型阀的限定封闭内部腔体的相邻部分之间。在某些情况下，这样的颗粒堵塞能够不期望地干扰可移动构件在关闭与打开位置之间的自由运动。由此，所期望的是提供一种用于微型阀的改进结构，其能够抵抗与微型阀的可移动构件的自由运动的干扰，所述干扰否则可能由包含在流过其中的流体内的颗粒污染物的存在产生。

发明内容

本发明涉及一种用于开关微型阀的改进结构，其抵抗与微型阀的可移动构件的自由运动的干扰，所述干扰否则可能由包含在流过其中的流体内的颗粒污染物的存在产生。开关微型阀包括第一板，其具有表面、设置在所述表面内的凹入区域、设置在所述凹入区域内的流体端口，和绕所述流体端口延伸的密封结构。第二板限定非可动部分和形成在第一开口内并具有轴线的可动部分。非可动部分的表面抵靠在第一板的表面上，所述非可动部分具有穿过其中形成的第一和第二开口。第一开口具有形成在它的两个纵向延伸侧壁中的每个上的凹口。可动部分限定了由形成在第二开口中的旋绕弹簧连接到非可动部分的可移动构件。可移动构件具有从它的两个纵向延伸侧壁中的每个向外延伸的突片，每个突片定位在一个凹口内。可移动构件在第一开口内的关闭位置与打开位置之间是滑动地并且轴向地可移动的，在所述关闭位置中，可移动构件与所述密封结构协作以防止通过流体端口的流体连通，在所述打开位置中，可移动构件与所述密封结构的至少一部分不协作，以防止通过流体端口的流体连通。凹口限定止动表面，其将可移动构件的行程限制在关闭位置与打开位置之间。

当考虑附图阅读时，本发明的多种方面从优选实施例的以下详细描述中对本领域技术人员将变得显而易见。

附图说明

图1是一种已知微型阀的分解透视图。

图2是一种根据本发明的改进的先导式开关板式微型阀的分解透视图。

图3是图2所示的盖板的内表面的平面图。

图4是图2所示的基板的内表面的平面图。

图5是图2中所示的微型阀的剖切正视图，其示出为组装好的并示出处于关闭位置的中间板。

图6是在图2和图5中示出的微型阀的第一可选剖切正视图，其示出了处于打开位置的中间板。

具体实施方式

现在参照附图，一种已知微型阀设备的实施例在图1中整体用10表示。所示微型阀设备10是先导式微型阀设备，类似于在Hunnicutt的美国专利编号6,540,203中公开的微型阀设备的实施例，其公开内容以其整体并入本文。

所述微型阀设备10包括在具有盖板、中间板和基板的一个设备中直接作用的先导阀和滑阀，其详细描述提供在美国专利编号6,540,203中。

如图1所示，微型阀设备10包括端口或基板12、中间板14和盖板16。基板12具有外表面18和内表面20。中间板14具有第一表面22和第二表面24，并限定了第一和第二可动部分或如下所述的微型阀30和32，以及非可动部分34。基板12具有内表面26和外表面28。

当微型阀设备10被组装时(未示出)，基板12的内表面20接合中间板14的非可动部分34的第一表面22，而盖板16的内表面26接合中间板14的非可动部分34的第二表面24。基板12、中间板14和盖板16可以以任何期望的方式被保持在这个朝向上。

基板12的内表面20的结构示于图1中。如其中所示，基板12包括第一凹入区域36、第二个凹入区域38和第三凹入区域40。第一和第二先导端口(分别是42和44)形成在第二凹入区域38的内表面20上。第一和第二排出端口(分别是46和48)以及第一和第二主端口(分别是50和52)形成在第三凹入区域40内的内表面20上。

也如图1所示，盖板16包括贯穿其中形成的第一和第二电引线开口(分别为54和56)。对应于凹入区域36、38和40的凹入区域(未示出)形成在盖板16的内表面26上。

中间板14的结构详细地示于图1中。如其中所示，中间板14包括构造为直接作用的先导阀30的第一微型阀，和构造为滑阀32的第二微型阀。中间板14还包括用于控制先导阀30的运动的致动器58。致动器58包括附接到先导阀30的横梁30a的细长脊60。先导阀30大致是T形的，并且包括在一端附接到致动器58的脊60的细长横梁30a，和附接到横梁30a的相对端的块部分30b。

滑阀32也大致是T形的，其布置在贯穿中间板14形成的阀开口62中，并且在打开位置与关闭位置之间可动。

中间板14还包括旋绕弹簧64，其布置在弹簧开口66中。旋绕弹簧64将中间板14的非可动部分34可动地连接到滑阀32，并优选地将滑阀32偏压到第一位置。旋绕弹簧64还将滑阀32保持在阀开口62中。一对电结合焊盘(分别为68a和68b)形成在中间板14的非可动部分34的第二表面24上，并将中间板14电连接到电引线(未示出)。

所示的微型阀设备10的操作的详细描述在Hunnicutt的美国专利编号6,540,203中公开。如其中所述，致动器58控制先导阀30的位置。依次地，先导阀30的位置控制作用在滑阀32的第一端(在观看图1时的上端)上的流体压力。作用在滑阀32的相对端上的流体力之差依次控制所述滑阀32在阀开口62内的位置。滑阀32在阀开口62内的位置然后控制在第一与第二主要端口(分别是50和52)之间的流体流动。

第一相对小空间限定在设置于基板12的内表面20上的凹入区域36、38和40与先导阀30和滑阀32的邻近第一表面22之间。此第一相对小空间的厚度传统上一直是约3μm，以防止通过微型阀设备10的过多泄漏。

类似地，第二相对小空间限定在设置于盖板16的内表面26上的凹入区域(未示出)与先导阀30和滑阀32的邻近第二表面24之间。此第二相对小空间的厚度常规上一直是约3μm，以防止通过微型阀设备10的过多泄漏。

为了最小化通过图1中所示的传统微型阀设备10的泄漏，所期望的是相对小空间的厚度尽可能地小。然而，由于这些相对小空间的厚度不仅相对较小，而且在先导阀30和滑阀32的整个表面区域上是恒定的，因而包含在通过这样的相对小空间泄漏的流体中的一个或多个颗粒(未示出)卡在其间的可能性增加。换句话说，颗粒可能或者卡在(1)设置在基板12的内表面20上的凹入区域36、38和40与先导阀30和滑阀32的邻近第一表面22之间，或者卡在(2)设置在盖板16的内表面26上的相应凹入区域(未示出)与先导阀30和滑阀32的邻近第二表面24之间。

图2至图6示出了一种总体表示为100的改进微型阀的一部分，其根据本发明第一实施例最小化了这种不期望堵塞的可能性。所示微型阀100是先导式开关板式微型阀，其包括在下面详细描述的改进密封结构。

如图2所示，微型阀100包括盖板102、中间板103和基板104。盖板102具有外表面105和内表面106。盖板102还具有贯穿其中形成的流体出口112。中间板103具有第一表面107和第二表面108。基板104具有内表面109和外表面110。基板104还具有贯穿其中形成的流体入口114和压力控制端口116。

当微型阀100被如图5和图6所示地组装时，盖板102的内表面106接合中间板103的非可动部分118的第一表面107，而基板104的内表面109接合中间板103的非可动部分118的第二表面108。盖板102、中间板103和基板104可以以任何期望的方式保持在这种朝向中。例如，盖板102和/或基板104的一部分可以通过上述用于粘结微型阀100的组成板的任何方法粘结到中间板103的非可动部分。盖板102、中间板103和基板104可以由任何期望的材料或材料的组合制成，诸如硅、单晶硅和/或类似的材料。

盖板102的内表面106的结构详细地示于图3中。如其中所示，盖板102包括具有约3μm的第一深度的第一凹入区域122。第二凹入区域124和第三凹入区域126在第一凹入区域122内形成，并且具有大约50μm的第二深度。一对第四凹入区域120在内表面106上邻近第二凹入区域124且在其相对侧上形成。第四凹入区域120也具有大约50μm的第二深度。第五凹入区域127邻近第二凹入区域124(在观看图3时位于第二凹入区域124之下)设置在内表面106上，并具有约50μm的第二深度。流体出口112贯穿第二凹入区域124形成。压力平衡槽128也形成在第二凹入区域124内的内表面106上。

盖板102还包括第一密封结构130，其从第二凹入区域124的底表面延伸，并且完全围绕第一压力平衡槽128的周边。通道135形成在盖板102的内表面106上，并且贯穿壁132的将第二凹入区域124与第五凹入区域127隔开的部分。通道135流体地连接所述第二凹入区域124和第五凹入区域127，并且限定反馈端口。在所示实施例中，示出了两个通道135。可选地，可提供任何期望数量的通道135，包括一个通道135和三个或更多的通道135。

如图5所示，在所示实施例中，密封结构130是一个壁，其通常是梯形横截面形状，并且在其顶部具有约70μm的宽度W。可选地，宽度W可以在大约40μm至120μm的范围内。密封结构130包括四个直线延伸的壁段，其邻近所述压力平衡槽128的四个边延伸。然而，密封结构130可以形成为具有任何期望的横截面形状或形状的组合，并且还可以以任何期望的方式(直线地或其他方式)绕压力平衡槽128延伸。例如，密封结构130可以基本上如图5和图6所示地形成，但也可以在相邻的直线延伸壁段之间具有圆角，具有一个或多个非直线延伸的壁段，或者是完全非直线的形状。

中间板103的结构详细地示于图2中。如其中所示，第一或板开口134以及相邻并且优选是矩形的第二或弹簧开口136形成在中间板103上。板开口134和弹簧开口136彼此流体连通。

板开口134具有第一端138和与第一端138相对的第二端140。板开口134的在第一端138与第二端140之间延伸的每个壁134a和134b具有多个形成于其中的向外延伸的凹部142，其目的将在下面描述。一对向外延伸的凹口144也在板开口134的第一端138和第二端140的中间形成在壁134a和134b上。流体流动凹口145形成在板开口134的第二端140处，并且允许在压力控制端口116与板开口134之间的流体流动。

中间板103还包括构造为可移动构件或板146的可动部分，其在板开口134的第一与第二端138与140之间布置在板开口134中。可移动板146具有最靠近板开口134的第一端138布置并限定轴线A的第一端146a。可移动板146具有最靠近板开口134的第二端140布置的第二端146b。

可移动板146具有穿过其中形成的相对较大并且居中地形成的流体流动开口148。压力平衡端口150也贯穿可移动板146邻近流体流动开口148形成。

可移动板146还具有限定在其侧壁上的多个突起152。如图2所示，当可移动板146处于关闭位置时，各个突起152与形成在板开口134的壁上的凹部142中的相应一个对准。当突起152与凹部142对准时，突起152和凹部142之间的泄漏路径被最小化。突起152足够浅；即，具有最小化的厚度，以便不妨碍可移动板146在板开口134内的行程。但是，当可移动板146处于打开位置时，如图6所示，可移动板146上的向外延伸的突起152不再与相应的向外延伸的凹部142对准，并且所述突起152更靠近板开口134的壁的非凹陷部分，并相对于所述非凹陷部分具有减小的间隙。

一对突片153在第一与第二端(分别是146a与146b)的中间从可移动板146的侧壁向外延伸。每个突片153与形成在板开口134的壁134a和134b上的凹口144中的相应一个对准，并且定位在其内。凹口144限定止动表面，其限制了可移动板146在关闭位置与打开位置之间的行程。

中间板103还包括布置在弹簧开口136中的旋绕弹簧154。旋绕弹簧154将中间板103的非可动部分118可动地连接到可移动板146，并优选到将可移动板146偏压到关闭位置。旋绕弹簧154还将可移动板146保持在板开口134中，在制造过程中简化了中间板103的处理。当可移动板146处于打开位置中时，可变容积区域156限定在可移动板146与板开口134的第二端140之间。

可移动板146在关闭或关位置与打开或开位置之间是可动的，在所述关闭或关位置中，如在图2和图5中示出并在下面详细描述的，所述流体入口114被关闭，而在所述打开或开位置中，如在图6中最佳地示出的，第二端146b与板开口134的第二端140以一定距离隔开，并且其中，所述流体入口端口114是打开的，使得流体可以从中流过。

基板104的内表面109的结构详细地示于图4中。如其中所示，基板104包括具有约3μm的第一深度的第一凹入区域156。第二凹入区域158和第三凹入区域160在第一凹入区域156内形成，并且具有大约50μm的第二深度。一对第四凹入区域162在内表面109上邻近第二凹入区域158且在第二凹入区域158的相对侧上形成。第四凹入区域162也具有大约50μm的第二深度。第五凹入区域164邻近第二凹入区域158(在观看图4时位于第二凹入区域158之下)设置在内表面109上，并具有约50μm的第二深度。流体入口114贯穿第二凹入区域158形成。压力控制端口116贯穿基板104邻近第三凹入区域160(在观看图4时位于第三凹入区域160之上)形成。

基板104还包括第二密封结构166，其从第二凹入区域158的底表面延伸，并且完全围绕流体入口114的周边。通道168形成在基板104的内表面109上，并且贯穿壁170的将第二凹入区域158与第五凹入区域164隔开的部分。通道168流体地连接所述第二凹入区域158和第五凹入区域164，并且限定反馈端口。在所示实施例中，示出了两个通道168。可选地，可设置通道168的任何期望数量，包括一个通道168和三个或更多的通道168。有利地，上述反馈端口135和反馈端口168允许改进的微型阀100被用作开关阀或比例节流阀中的任一种。

例如，通过压力控制端口116进入微型阀100的指令压力作用在可移动板146的第二端146b上，并促使可移动板146移向打开位置(在观看图2时向下)。来自通过流体入口114进入微型阀100的流体的压力会增加在基板104的第二凹入区域158和盖板102的相应第二凹入区域124中的压力。这种在凹入区域158和124中的压力通过分别形成在基板104中的通道168和形成在盖板102中的通道135传送到基板104的第五凹入区域164和盖板102的相应第五凹入区域127。然后，在区域164和127中的流体压力将作用在可移动板146的第一端146a上，以平衡指令压力并促使可移动板146朝向关闭位置移动(在观看图2时向上)。

如图5所示，在所示实施例中，密封结构166是一个壁，其通常是梯形横截面形状，并且在其顶部具有约70μm的宽度W。可选地，宽度W可以在大约40μm至162μm的范围内。密封结构166包括四个直线延伸的壁段，其邻近所述流体入口114的四个边延伸。然而，密封结构166可以形成为具有任何期望的横截面形状或形状的组合，并且还可以以任何期望的方式(直线地或其他方式)绕流体入口114延伸。例如，密封结构166可以基本上如图5和图6所示地形成，但也可以在相邻的直线延伸壁段之间具有圆角，具有一个或多个非直线延伸的壁段，或者是完全非直线的形状。

如图5和图6所示，第一空间S1限定在基板104的凹入区域158、160、162(仅示于图4中)和164的底表面与中间板103的可移动板146的第二表面108之间。第二空间S2也限定在盖板104的凹入区域120(仅示于图3中)、124、126和127的底表面与中间板103的可移动板146的第一表面107之间。第一和第二空间S1、S2的厚度可以是不太可能导致包含在流过第一和第二空间S1和S2的流体中的一个或多个颗粒(未示出)卡在其中的任何期望的值。例如，第一和第二空间S1和S2的厚度可以是大约50μm。

此外，相对小的第三空间S3限定在基板104的密封结构166的顶表面与中间板103的可移动板146的第二表面108之间，并且在盖板102的密封结构130的顶表面与中间板103的可移动板146的第一表面107之间。相对小的第三空间S3的厚度可以是不太可能导致上述过分泄露的任何期望的值。例如，相对小第三空间S3的厚度可以是大约3μm。

相对小第四空间S4限定在盖板102的第一凹入区域122的底表面与中间板103的可移动板146的第一表面107之间，并且在基板104的第一凹入区域156的底表面与中间板103的可移动板146的第二表面108之间。相对小的第四空间S4的厚度可以是任何期望的值。例如，相对小的第四空间S4的厚度可以是大约3μm。

本文所述的先导式开关板式微型阀100的操作类似于上述微型阀设备10的滑阀32的操作，并且类似于在Hunnicutt的美国专利编号6,540,203中公开的滑阀的操作。例如，并且如以上所描述的，微型阀设备10的致动器58控制先导阀30的位置。依次地，先导阀30的位置控制作用在滑阀32的第一端(在观看图1时的上端)上的流体压力。作用在滑阀32的相对端上的流体力之差依次控制所述滑阀32在阀开口62内的位置。滑阀32在阀开口62内的位置然后控制在第一与第二主要端口(分别是50和52)之间流动的流体。

在使用过程中，微型阀100可用常规方式操作(或以其它方式)，以在关闭位置(在图2和图5中所示的)与打开位置(在图6中所示的)之间选择性地移动所述可移动板146。当可移动板146位于关闭位置时，理想的是尽可能少的流体在流体入口114与压力平衡槽128与流体出口112两者之间流动。这是通过提供第二密封结构166以及第一密封结构130实现的，所述第二密封结构166从第二凹入区域158的底表面并且完全地围绕流体入口114的周边延伸，而所述第一密封结构130从第二凹入区域124的底表面并且完全地围绕压力平衡槽128的周边延伸。

同时，微型阀100的几何形状抵抗与微型阀100的可移动板146的自由运动的干扰，所述干扰否则可能会由包含在流过其中的流体中的颗粒污染物的存在产生。这是通过提供(1)第一空间S1和(2)第二空间S2实现的，所述第一空间S1在设置在基板104上的凹入区域158、160、162和164与可移动板146和旋绕弹簧154的相邻第二表面108(观看图5和图6时的下表面)之间，而所述第二空间S2在设置在盖板104上的凹入区域120、124、126和127与可移动板146和旋绕弹簧154的相邻第一表面107(观看图5和图6时的上表面)之间。第一和第二空间S1和S2的相对大的厚度被选择，以便防止包含在流过微型阀100的流体中的一个或多个颗粒(未示出)被卡在其间，或者至少最小化可能卡在其间的这种颗粒的数量。

所示的微型阀100是开关板式微型阀，并且可以通过先导阀致动，所述先导阀示意性地在170处示出。先导阀可以是供给指令压力到压力控制端口116的任何所需阀，诸如微型阀或标准尺寸先导阀。

在压力控制端口116的流体压力可促使可移动板146抵抗旋绕弹簧154的力而移动，从而将微型阀100移动到图6所示的打开位置。

本发明的并且在图2至图6中所示的开关板式微型阀100的实施例被构造为常闭阀。然而，可以理解的是，开关板式微型阀100也可以被构造为常开阀。本发明的板式微型阀100的实施例也被封装在流通式构造(flowthroughconfiguration)中，其中，所述流体入口114和流体出口112位于微型阀100的相对侧。然而，将被理解的是，本发明的改进的密封结构可以应用于具有常规U形流动构造的开关板式微型阀。

本发明的原理和操作模式已经在其优选实施例中进行了描述。然而，应当注意的是，在不脱离其范围的情况下，本文所描述的发明可以以不同于具体说明和示出的方式实施。

Claims (19)

1.一种微型阀，包括：

第一板，其包括表面、设置在所述表面内的凹入区域、设置在所述凹入区域内的流体端口，和绕所述流体端口延伸的密封结构；

第二板，其限定非可动部分和可动部分。所述非可动部分的表面抵靠所述第一板的表面，所述非可动部分具有贯穿其中形成的第一和第二开口，所述第一开口具有形成在它的两个纵向延伸侧壁中的每个上的凹口，所述可动部分形成在所述第一开口内并具有轴线，所述可动部分限定了由形成在所述第二开口中的旋绕弹簧连接到所述非可动部分的可移动构件，所述可移动构件具有从它的两个纵向延伸侧壁中的每个向外延伸的突片，每个突片定位在所述凹口中的一个内，所述可移动构件在所述第一开口内的关闭位置与打开位置之间是滑动地并且轴向地可移动的，在所述关闭位置中，所述可移动构件与所述密封结构协作以防止通过所述流体端口的流体连通，在所述打开位置中，所述可移动构件与所述密封结构的至少一部分不协作，以防止通过所述流体端口的流体连通，所述凹口限定止动表面，其将所述可移动构件的行程限制在所述关闭位置与打开位置之间。

2.根据权利要求1所述的微型阀，其中，所述微型阀是开关板式微型阀。

3.根据权利要求1所述的微型阀，其中，所述微型阀是先导式开关板式微型阀。

4.根据权利要求1所述的微型阀，其中，所述微型阀具有U形流通构造。

5.根据权利要求1所述的微型阀，其中，具有第一厚度的第一空间限定在所述可移动构件与所述第一板的凹入区域之间，而具有第二厚度的第二空间限定在所述可移动构件与所述第一板的密封结构之间，其中，所述第一厚度大于所述第二厚度。

6.根据权利要求1所述的微型阀，其中，所述第二板限定一个平面，并且其中当在所述关闭与打开位置之间运动时，所述可移动构件平行于所述平面运动。

7.根据权利要求1所述的微型阀，其中，所述可移动构件构造为具有贯穿其中形成的流体流动开口的板。

8.根据权利要求1所述的微型阀，其中，所述凹入区域是第一凹入区域，其中第二凹入区域形成在所述第一凹入区域的表面内，并且其中，所述流体端口设置在所述第二凹入区域内。

9.根据权利要求8所述的微型阀，还包括形成在所述第一板的邻近所述第二凹入区域的表面内的第三凹入区域，其中，通道贯穿将所述第二凹入区域与所述第三凹入区域隔开的壁而形成，所述通道将所述第二凹入区域与所述第三凹入区域流体连接并且限定反馈端口。

10.一种微型阀，包括：

基板，包括表面、设置在所述表面内的凹入区域、设置在所述凹入区域内的第一流体端口，以及围绕所述第一流体端口延伸的第一密封结构；

盖板，包括表面、设置在所述表面内的凹入区域、设置在所述凹入区域内的第二流体端口和压力平衡槽，以及围绕所述压力平衡槽延伸的第二密封结构；

中间板，其限定非可动部分和可动部分，所述非可动部分的第一表面抵靠所述基板的表面，并且所述非可动部分的第二表面抵靠所述盖板的表面，所述非可动部分具有贯穿其中形成的第一和第二开口，所述第一开口具有形成在它的两个纵向延伸侧壁中的每个上的凹口，所述可动部分形成在所述第一开口内并具有轴线，所述可动部分限定了由形成在所述第二开口中的旋绕弹簧连接到所述非可动部分的可移动构件，所述可移动构件具有从它的两个纵向延伸侧壁中的每个向外延伸的突片，每个突片定位在所述凹口中的一个内，所述可移动构件在所述第一开口内的关闭位置与打开位置之间是滑动地并且轴向地可移动的，在所述关闭位置中，所述可移动构件与所述第一和第二密封结构中的至少一个协作以防止所述第一与第二流体端口之间的流体连通，在所述打开位置中，所述可移动构件与所述第一和第二密封结构的至少一个的至少一部分不协作，以防止所述第一与第二流体端口之间的流体连通，所述凹口限定止动表面，该止动表面将所述可移动构件的行程限制在所述关闭位置与打开位置之间。

11.根据权利要求10所述的微型阀，其中，所述微型阀是开关板式微型阀。

12.根据权利要求10所述的微型阀，其中，所述微型阀是先导式开关板式微型阀。

13.根据权利要求10所述的微型阀，其中，所述微型阀具有U形流动构造。

14.根据权利要求10所述的微型阀，其中，具有第一厚度的第一空间限定在所述可移动构件与所述基板的凹入区域之间，而具有第二厚度的第二空间限定在所述可移动构件与所述基板的第一密封结构之间，其中，所述第一厚度大于所述第二厚度。

15.根据权利要求14所述的微型阀，其中，具有所述第一厚度的第三空间限定在所述可移动构件与所述盖板的凹入区域之间，而具有所述第二厚度的第四空间限定在所述可移动构件与所述盖板的第二密封结构之间。

16.根据权利要求10所述的微型阀，其中，所述中间板限定一个平面，并且其中，当在所述关闭与打开位置之间运动时，所述可移动构件平行于所述平面运动。

17.根据权利要求10所述的微型阀，其中，所述可移动构件构造为具有贯穿其中形成的流体流动开口的板。

18.根据权利要求10所述的微型阀，其中，所述基板的凹入区域是第一凹入区域，其中，第二凹入区域形成在所述第一凹入区域的表面内，并且其中，所述第一流体端口设置在所述第二凹入区域内。

19.根据权利要求18所述的微型阀，还包括形成在所述基板的邻近所述第二凹入区域的表面内的第三凹入区域，其中，通道贯穿将所述第二凹入区域与所述第三凹入区域隔开的壁而形成，所述通道将所述第二凹入区域与所述第三凹入区域流体连接并且限定反馈端口。