CN105486239B - 一种基板测试设备 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种基板测试设备，以减小基板上图形线宽的测试误差，进而提高基板的产品品质。基板检测设备包括用于承载基板的支撑平台；用于采集基板上待测线宽图形位置信息的对位装置；朝向支撑平台设置的光强检测装置；控制装置，分别与对位装置和光强检测装置信号连接，用于根据待测线宽图形位置信息，控制光强检测装置移动经过待测线宽图形的上方；根据光强检测装置的检测数据，确定光强检测装置经过待测线宽图形的时间；根据经过待测线宽图形的时间，确定待测线宽图形的线宽。相比现有技术，本发明实施例大大减小了基板上图形线宽的测试误差，进而提高了基板的产品品质。

Description

一种基板测试设备
技术领域
本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种基板测试设备。
背景技术
在平板显示装置中，TFT-LCD(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display，薄膜晶体管液晶显示器，简称TFT-LCD)具有体积小、功耗低、制造成本相对较低和无辐射等特点，在当前的平板显示器市场占据了主导地位。
TFT-LCD制作的核心工艺是在玻璃基板上形成具有一定线宽的图形，因此，图形线宽的精确性对TFT-LCD的产品品质有着至关重要的影响。
现有技术中，测试玻璃基板上图形线宽的主要方法为：将玻璃基板上的图形放大50倍，然后用具有一定亮度的光源照射玻璃基板上的图形，根据玻璃基板上亮度的变化确定图形的临界位置，进而根据临界位置确定图形的线宽。
现有技术存在的缺陷在于，光源在照射玻璃基板上的图形时，工作人员无法准确确定图形的临界位置，因此导致图形线宽的测试误差较大，甚至会影响玻璃基板的产品品质。
发明内容
本发明的目的是提供一种基板测试设备，以减小基板上图形线宽的测试误差，进而提高基板的产品品质。
本发明实施例提供一种基板测试设备，包括用于承载基板的支撑平台；用于采集基板上待测线宽图形位置信息的对位装置；朝向支撑平台设置的光强检测装置；控制装置，分别与对位装置和光强检测装置信号连接，用于根据待测线宽图形位置信息，控制光强检测装置移动经过待测线宽图形的上方；根据光强检测装置的检测数据，确定光强检测装置经过待测线宽图形的时间；根据经过待测线宽图形的时间，确定待测线宽图形的线宽。
在本发明实施例中，控制装置控制光强检测装置移动经过待测线宽图形的上方，通过光强检测装置检测的数据，可以精确确定光强检测装置经过待测线宽图形的时间，进而可以精确确定待测线宽图形的线宽，相比现有技术，本发明实施例大大减小了基板上图形线宽的测试误差，进而提高了基板的产品品质。
优选的，所述对位装置包括沿第一方向设置的导轨、沿第二方向设置并可沿所述导轨移动的驱动杆以及可沿驱动杆移动的对位镜头。
具体的，所述光强检测装置滑动装配于所述驱动杆。
优选的，所述控制装置，具体用于根据光强检测装置经过待测线宽图形的时间，以及存储的光强检测装置经过标准线宽图形的时间，确定待测线宽图形的线宽。
具体的，所述基板测试设备还包括位于支撑平台上的参照基板，所述参照基板具有标准线宽图形。
具体的，所述控制装置，具体用于根据以下公式，确定待测图形的线宽：
T/L＝t/x
其中，T为光强检测装置经过标准线宽图形的时间，L为标准线宽图形的标准线宽，t为光强检测装置经过待测线宽图形的时间，x为待测线宽图形的线宽。
在本发明实施例中，以控制装置检测的光强检测装置经过标准线宽图形的时间为参照，通过简单的正比关系，即可确定待测线宽图形的线宽。相比现有技术，本技术方案可以大大减小基板上图形线宽的测试误差，进而提高基板的产品品质。
优选的，所述光强检测装置包括光发射装置以及光接收装置。
可选的，所述光发射装置为红外光发射装置。
优选的，所述光发射装置发射的光线与竖直方向成锐角。采用该设计，光强检测装置可以敏锐地检测到光强的变化数据，控制装置可以精确确定光强检测装置移动经过待测线宽图形上方的时间，从而可以精确确定待测线宽图形的线宽，因此，本技术方案大大减小了基板上图形线宽的测试误差，并提高了基板的产品品质。
附图说明
图1为本发明实施例基板测试设备结构示意图；
图2为本发明实施例光强检测装置经过待测线宽图形上方时检测的光强随时间变化的示意图；
图3为本发明实施例光强检测装置经过标准线宽图形上方时检测的光强随时间变化的示意图。
附图标记说明：
2-支撑平台
31-导轨
32-驱动杆
3-对位装置
30-对位镜头
4-光强检测装置
5-待测线宽图形
6-标准线宽图形
具体实施方式
为了减小基板上图形线宽的测试误差，进而提高基板的产品品质，本发明实施例提供了一种基板测试设备。
本发明实施例提供了一种基板测试设备，如图1所示，包括用于承载基板的支撑平台2；用于采集基板上待测线宽图形5位置信息的对位装置3；朝向支撑平台2设置的光强检测装置4；控制装置(图中未示出)，分别与对位装置3和光强检测装置4信号连接，用于根据待测线宽图形5的位置信息，控制光强检测装置4移动经过待测线宽图形5的上方；根据光强检测装置的检测数据，确定光强检测装置经过待测线宽图形的时间；根据经过待测线宽图形的时间，确定待测线宽图形的线宽。
在本发明实施例中，控制装置控制光强检测装置移动经过待测线宽图形的上方，通过光强检测装置检测的数据，可以精确确定光强检测装置经过待测线宽图形的时间，进而可以精确确定待测线宽图形的线宽，相比现有技术，本发明实施例大大减小了基板上图形线宽的测试误差，进而提高了基板的产品品质。
在本发明各实施例中，光强检测装置移动经过待测线宽图形的速度和加速度不做具体限制，但是为了操作简便，计算容易，优选光强检测装置匀速经过待测线宽图形的上方，在本发明各实施例中，若无特殊说明，均设定光强检测装置匀速经过待测线图形的上方。
请继续参照图1所示，对位装置具体包括沿第一方向设置的导轨31、沿第二方向设置并可沿导轨31移动的驱动杆32以及可沿驱动杆32移动的对位镜头30。此外，光强检测装置4滑动装配于驱动杆32，即光强检测装置4可沿驱动杆32移动，具体的，光强检测装置4可以包括光发射装置和光接收装置，其中，光发射装置的具体类型不限，例如可以为红外光发射装置。
在上述实施例中，第一方向与第二方向互相垂直。
在一个具体实施例中，控制装置具体用于根据光强检测装置经过待测线宽图形的时间，以及存储的光强检测装置经过标准线宽图形的时间，确定待测线宽图形的线宽。
在另一个具体实施例中，基板测试设备还包括位于参照基板上的标准线宽图形6，当该基板测试设备测试光强检测装置经过标准线宽图形6的时间时，标准线宽图形即为待测线宽图形，此时，控制装置具体用于根据以下公式，确定待测图形的线宽：
T/L＝t/x
其中，T为光强检测装置经过标准线宽图形的时间，L为标准线宽图形的标准线宽，t为光强检测装置经过待测线宽图形的时间，x为待测线宽图形的线宽。
基于上述实施例，下面详细介绍利用该基板测试设备对基板上图形线宽的测试方法：
(1)对位装置采集参考基板上的标准线宽图形的位置信息；
(2)控制装置根据标准线宽图形的位置信息，控制光强检测装置移动经过标准线宽图形的上方，根据光强检测装置的检测数据，确定光强检测装置经过标准线宽图形的时间T；
(3)对位装置采集基板上的待测线宽图形的位置信息；
(4)控制装置根据待测线宽图形的位置信息，控制光强检测装置移动经过待测线宽图形的上方，根据光强检测装置的检测数据，确定光强检测装置经过待测线宽图形的时间t；
(5)控制装置具体根据公式T/L＝t/x，可得x＝L*t/T，其中，L已知。
在上述方法中，确定T和t的具体方法可以为：在光强检测装置移动经过标准线宽图形上方时，如图2所示，光强检测装置检测到光强发生突变的第一个点时，即光强检测装置经过标准线宽图形的第一临界位置时，控制装置记录时间为T1，光强检测装置检测到光强发生突变的第二个点时，即光强检测装置经过标准线宽图形的第二临界位置时，控制装置记录时间为T2，因此，光强检测装置经过标准线宽图形的时间T＝T2-T1。确定t的方法类似，请参考图3所示，可以确定光强检测装置经过待测线宽图形的时间t＝t2-t1，在此不做赘述。
在本发明的一个优选实施例中，光发射装置发射的光线与竖直方向成锐角。在该实施例中，采用这样的设计，当光发射装置发射的光线照射到待测线宽图形的第一临界位置时，光强检测装置可以敏锐的检测到光强数据的变化，控制装置可以精确记录此时的时间，当光强检测装置照射到待测线宽图形的第二临界位置时，同理，控制装置可以精确记录该时的时间，从而精确确定光强检测装置移动经过待测线宽图形的时间，进而可以减小基板上图形线宽的测试误差，并提高基板的产品品质。
特别的，当光强检测装置匀速经过待测线宽图形的上方时，我们假设光强检测装置的运动速度为v，经过待测线宽图形的时间为t，则待测线宽图形的线宽x＝v*t，这也不失为采用本发明实施例提供的基板检测设备测试待测线宽图形的一种方法。
显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (7)

1.一种基板测试设备，其特征在于，包括：
用于承载基板的支撑平台；
用于采集基板上待测线宽图形位置信息的对位装置；
朝向支撑平台设置的光强检测装置；
控制装置，分别与对位装置和光强检测装置信号连接，用于根据待测线宽图形位置信息，控制光强检测装置移动经过待测线宽图形的上方；根据光强检测装置的检测数据，确定光强检测装置经过待测线宽图形的时间；根据所述经过待测线宽图形的时间，确定待测线宽图形的线宽；
所述基板测试设备还包括位于支撑平台上的参照基板，所述参照基板具有标准线宽图形；
所述控制装置，具体用于根据以下公式，确定待测图形的线宽：
T/L＝t/x
其中，T为光强检测装置经过标准线宽图形的时间，L为标准线宽图形的标准线宽，t为光强检测装置经过待测线宽图形的时间，x为待测线宽图形的线宽。
2.如权利要求1所述的基板测试设备，其特征在于，所述对位装置包括沿第一方向设置的导轨、沿第二方向设置并可沿所述导轨移动的驱动杆以及可沿驱动杆移动的对位镜头。
3.如权利要求2所述的基板测试设备，其特征在于，所述光强检测装置滑动装配于所述驱动杆。
4.如权利要求1所述的基板测试设备，其特征在于，所述控制装置，具体用于根据光强检测装置经过待测线宽图形的时间，以及存储的光强检测装置经过标准线宽图形的时间，确定待测线宽图形的线宽。
5.如权利要求1所述的基板测试设备，其特征在于，所述光强检测装置包括光发射装置以及光接收装置。
6.如权利要求5所述的基板测试设备，其特征在于，所述光发射装置为红外光发射装置。
7.如权利要求5或6所述的基板测试设备，其特征在于，所述光发射装置发射的光线与竖直方向成锐角。
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