CN105479173A - 微孔激光-高温化学同步复合加工装置及加工方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种微孔激光-高温化学同步复合加工装置及加工方法,包括激光加工单元、工作台和化学加工单元,其中,激光加工单元包括依次连接的激光器、光纤和激光加工头,化学加工单元包括储液箱、输出管道和喷头,输出管道的一端与储液箱连通,另一端与喷头连接,喷头安装在激光加工头的下端,工作台上固定工件,所述激光加工头安装在工件的上端;工作台的下端安装有用于调节工作台倾斜角度的角度调节机构。本发明的装置结构简单易行,激光加工与高温化学加工同步自动进行,加工精度、表面质量和效率高。化学液在激光加工的高温区会与工件发生化学反应,不在激光加工的区域由于温度较低,不会发生化学反应,不会对工件造成过度加工,可以保证微孔加工的精密度。
Description
技术领域
本发明属于激光与化学复合加工领域,具体涉及一种微孔激光-高温化学同步复合加工装置及加工方法。
背景技术
难加工材料是指切削加工性比较差的材料。通常采用系数Kr表示材料的相对切削加工性,一般认为Kr<0.5时,属难加工材料。它们难加工的原因一般有以下几个方面:高硬度,高强度,高塑性和高韧性,低塑性和高脆性,低导热性,有微观的硬质点或硬夹杂物等。不锈钢的相对切削性Kr约为0.3~0.5之间,难加工性主要表现在硬度高、塑性和韧性高、导热率低等。汽油喷油器的喷油板零件采用不锈钢(SUS304)材料,喷油板上的喷油孔对尺寸精度和表面质量要求高,现有的放电/电火花加工(EDM)效率低,由于EDM是高温烧蚀加工,因此存在缺陷层,如:重铸层、热影响区、微裂纹等。
激光加工是一种现代精密加工方法,是难加工材料中运用较广的加工方法之一。激光加工是利用连续或脉冲聚焦高能激光束直接作用于被加工材料,使材料局部瞬间熔/气化,或者利用热应力使材料内产生内裂纹并使裂纹沿着规定的方向扩展,从而达到加工工件的目的。激光加工微孔的过程可以分为以下三个阶段:1、表面加热。当激光开始作用于材料表面时,由于材料的表面反射,加热比较缓慢,热量向内部传导;2、表面熔化。在激光持续作用下,当表面温度超过熔点后材料开始熔化,材料的吸收率增大,热量剧增,熔化量加大,材料气化开始;3、熔化材料的去除。随着激光的持续作用,气化比例剧增,蒸气粒子吸收激光能量进一步加热并电离,形成高速膨胀的等离子体,蒸气和等离子体在材料表面产生的巨大冲击力使大部分熔化物向外喷射出来,被加工工件上形成微孔。但激光加工存在以下问题:一方面,由于它是利用激光逐点烧蚀加工工件,所以加工效率较低;另一方面,因为激光加工过程中有熔体的喷溅,加工表面存在大量熔渣,当采用提高激光功率密度的方法来提高激光加工的效率时,会因表面温度梯度大而产生较大的热应力,很容易在材料表面产生微裂纹。这两个因素造成激光加工表面存在缺陷层(如:重铸层、热影响区、微裂纹等),因此加工质量较低。
化学加工是利用化学液与金属材料发生化学溶解反应从而去除材料的一种加工方法,因此利用化学加工方法对激光加工后的缺陷层进行溶解去除可以提高被加工工件的表面质量。然而,现有的激光与化学串行加工方法是:首先对工件进行激光加工,然后再进行化学加工,现有方法存在的缺点:一是工序长、加工精度和效率低,因为第一道工序是激光加工,第二道工序是化学加工,因此需要二次定位和装夹,二次定位误差将降低加工精度,串行加工工序也降低了加工效率;二是化学液在室温或者加热到一定温度与浸泡在化学液中的工件发生化学溶解反应,对于工件上不需要加工的表面容易造成过度加工,为此需要在加工之前增加保护层和加工之后去除保护层,因此使得工艺过程复杂、加工困难、加工精度和效率低。
申请号为2006100415950,喷射液束电解-激光复合加工方法及其装置,是利用激光发生装置产生激光光束在工件上进行孔、缝、槽的加工,在激光加工的基础上增加了高速喷射液束的冲刷、冷却以及在激光辐照条件下的喷射液束电解的复合加工作用,从而实现在激光加工过程中“在线”去除再铸层。虽然该装置可以去除再铸层,但是该装置需要外界电源的配合,在激光加工区进行电化学阳极溶解,由于在液束与工件之间加上电压,因此,除了激光加工区发生电化学阳极溶解外,工件的其他区域也会发生阳极溶解,容易造成其他不需要加工的区域也发生过渡加工;其工作台不能实现倾斜角度的调整,不能适应于各种倾斜角度的开孔。
发明内容
本发明的目的为了解决现有技术中存在的技术问题,提出一种微孔激光-高温化学同步复合加工装置及加工方法。
为了达到以上目的,本发明的技术方案为:
微孔激光-高温化学同步复合加工装置,包括激光加工单元、工作台和化学加工单元,其中,激光加工单元包括依次连接的激光器、光纤和激光加工头,化学加工单元包括储液箱、输出管道和喷头,输出管道的一端与储液箱连通,另一端与喷头连接,喷头安装在激光加工头的下端,工作台上固定工件,所述激光加工头安装在工件的上端;工作台的下端安装有用于调节工作台倾斜角度的角度调节机构。
角度调节机构调节工作台的倾斜角度,保证所加工微孔的中心线与工件法线之间的夹角,加工出符合规定的具有特定倾斜角度的微孔。
所述的喷嘴,由锥体和密封盖构成,安装在激光加工头的底部,其功能为将化学液喷射到激光加工的微孔区域,同时聚焦激光束穿过喷嘴聚焦到被加工的喷油板零件上,实现聚焦激光束与化学液的同轴输送;保证在激光烧蚀加工微孔的同时化学液在激光辐照的高温区域发生高温化学反应,去除激光加工后的缺陷层。
优选的,所述角度调节机构安装在工作台的下端,包括底座、支撑座、转轴、楔块和调节杆,底座位于最下方,支撑座安装在底座上,工作台安装在支撑座上,支撑座的一端通过转轴与底座连接,楔块安装在支撑座与底座之间,楔块的斜面与支撑座的下底面重合,所述调节杆活动安装在底座上,调节杆与楔块连接,楔块的运动轨迹与转轴垂直或与转轴呈设定角度。
进一步优选的,所述调节杆与转轴垂直安装或相对于转轴设定角度安装,优选为垂直于转轴安装。
调节杆的运动带动楔块的运动,楔块的运动抵住支撑座,使支撑座绕着转轴作旋转运动,进而调节了支撑座与底座之间的夹角。
更进一步优选的,所述调节杆为调节螺钉,底座的上表面设置凸台,贯穿凸台设置螺纹孔,调节螺钉安装在螺纹孔中。
凸台对调节螺钉起到固定和导向作用,使调节螺钉便于调节和使用,方便角度的调节。
优选的,底座与支撑座之间靠近转轴的位置安装用于测量底座与支撑座之间夹角的刻度盘。
优选的,所述刻度盘为扇形透明板,刻度盘上设有角度刻线,刻度盘的零刻度线与底座的上表面重合。
零刻线与底座上表面重合,支撑座指示的角度即为底座与支撑座之间的夹角,显示直接,观察方便。
优选的,所述工作台为旋转轴,旋转轴为圆柱形阶梯轴,旋转轴的下端通过联轴器与电机相连,旋转轴的上端加工成设定形状,便于工件的定位固定。
进一步优选的,旋转轴的上端均布有若干个向下倾斜设置的便于熔渣和化学液流下的凹槽。
更进一步优选的,所述旋转轴采用铁磁性材料制成,铁磁性环状压板与旋转轴配合,将工件固定在旋转轴上。
圆环形薄板结构,保证被加工的喷油板零件端面中心区域外露,便于激光加工,与被加工的喷油板零件外侧面相切,采用磁性材料制成,与旋转轴之间产生磁力可以夹紧喷油板零件。
优选的,化学加工单元还包括液体回收装置,液体回收装置包括液体回收腔室和回收管道,液体回收腔室通过回转轴安装在旋转轴上,液体回收腔室的下端通过回收管道与储液箱连通。
液体回收腔室通过回转轴安装在旋转轴上,可以避免旋转轴的转动带动液体回收腔室运动,保证装置的稳定性。
进一步优选的,液体回收腔室的上端设置有防护罩。可以回收化学液,防止化学液的蒸发和溅出。
进一步优选的,所述储液箱包括箱体、过滤网和箱盖,过滤网将箱体分隔成第一腔室和第二腔室,第一腔室中设置潜水泵,潜水泵与所述液体输送管道连接,第二腔室与所述液体回收管道连通。
优选的,所述喷嘴包括椎体和密封盖,椎体为中空,密封盖盖合在椎体的大开口端,密封盖采用透明材料制成,椎体的小开口端朝向工件,液体输送管道与椎体的侧面连通。
椎体的上端开口较大,安装有透明玻璃材料制成的密封盖,以便聚焦激光束通过,下端开口较小,保证化学液和聚焦激光束同轴输送。密封盖的设置是为了防止化学液泄漏,保证激光束通过。
优选的,所述激光加工头包括扩束透镜、聚焦透镜和外壳,扩束透镜和聚焦透镜均安装在外壳内部,扩束透镜安装在聚焦透镜的上端,扩束透镜和聚焦透镜均为圆盘形凸透镜。
扩束透镜是将激光束直径扩大和准直,聚焦透镜是将激光束聚焦到工件上的微小加工区域。外壳为圆柱形中空管状结构,对扩束透镜和聚焦透镜进行集成和防护。
上述微孔激光-高温化学同步复合加工装置的加工方法,包括如下步骤:
1)根据工件上的孔的倾斜角度,调节工作台下方的角度调节机构,使工作台倾斜设定角度。
2)将被加工的工件放置并定位于旋转轴的上端;
3)激光加工开始,激光器输出的激光束经光纤输入到激光加工头,激光加工头将激光束进行准直和聚焦,将激光束通过激光加工头聚焦到工件上,化学液与激光同步且同轴输送到工件上;
4)加工完一个孔后,暂停激光输出,将工作台旋转设定角度后,重复步骤2)加工下一孔,其他孔的加工重复上述步骤。
优选的,所述孔的直径为0.08~0.17mm。
优选的,步骤1)中,工作台调节的倾斜角度为5~15°。
优选的,所述工件为喷油器的喷油板零件,因为喷油孔是在喷油板上,喷油器工作时,燃油通过喷油板零件上的喷油孔进入燃烧室。
优选的,所述化学液由以下体积份的组分组成:磷酸(H3PO4)45-55份、硫酸(H2SO4)25-35份、硝酸(HNO3)10-15份、乙酸(HAC)3-7份、尿素(CO(NH2)22-5份;
或化学液的输送速度为0.3-0.8m/s。
该化学液在高温下可以对待加工工件起到良好的腐蚀作用,而在温度较低时不会对待加工工件有腐蚀作用,所以,激光加工与化学液加工配合,提高了加工精度和工件表面的加工质量,并且不会发生加工过度的情况,保证了微孔加工的精密度。
优选的,所述激光的峰值功率为500MW,频率为10-1000KHz,光束质量M2<1.3。
本发明的有益技术效果为:
1、本发明的装置结构简单易行,激光加工与高温化学加工同步自动进行,加工精度、表面质量和效率高。
2、化学液在激光加工的高温区会与工件发生化学反应,不在激光加工的区域由于温度较低,不会发生化学反应,不会对工件造成过度加工,可以保证微孔加工的精密度。
附图说明
图1为本发明的结构示意图;
图2为加工区域的局部放大图;
图3为本发明的三维结构示意图。
其中,1、激光器;2、光纤;3、调节螺钉;4、底座;5、支撑座;6、楔块;7、转轴;8、刻度盘;9、箱体;10、泵;11、过滤网;12、箱盖;13、回流管道;14、输出管道;15、旋转轴;16、密封盖;17、外壳;18、扩束透镜、19、聚焦透镜;20、锥体;21、喷油板;22、环状压板;23、防护罩;24、回收箱体。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步说明。
实施例
如图1、图2和图3所示,所述的激光-高温化学同步复合加工装置,由激光加工单元、工作台和化学加工单元构成,其中,激光加工单元,由激光器1、光纤2和激光加工头构成。
所述的激光器1为光纤激光器,其所输出的脉冲激光具有峰值功率高、光束质量高、重复频率高和免维护的特点。光纤2,其一端跟激光器1对接,另一端跟激光加工头对接,其功能是将激光器1输出的激光束传输到激光加工头。
所述的激光加工头,由扩束透镜18、聚焦透镜19和外壳17构成。扩束透镜18和聚焦透镜19安装在外壳17内部,扩束透镜18安装在聚焦透镜19的上端。扩束透镜18和聚焦透镜19均为圆盘形凸透镜,材料为透明玻璃,功能分别是将激光束直径扩大和准直以及将激光束聚焦到工件上的微小加工区域。外壳17为圆柱形中空不锈钢管状结构,其功能是对扩束透镜和聚焦透镜进行集成和防护。
工作台的下端设置支撑及角度调节机构,工作台为旋转轴15,旋转轴15上设置与定位夹紧机构。其功能为实现工件的定位和夹紧,保证所加工微孔的中心线与喷油板法线之间的夹角。
所述的角度调节机构,由底座4、支撑座5、转轴7、楔块6、调节螺钉3和刻度盘8构成。底座4的上表面的一侧,一端设有一个凸台,凸台上加工出孔,用于安装旋转轴15;另一侧设有两个凸台,凸台上加工出螺纹孔用于安装角度调节螺钉3,底座4中间开有方槽,留出空间便于安装电机。
所述的支撑座5,一端设有两个凸台,凸台上加工出孔,用于安装转轴7;其中心处设有圆柱孔,用于安装旋转轴15。
所述的转轴7,为圆柱形结构,与底座4和支撑座5凸台上的圆柱孔配合,其功能为转动支撑作用。
楔块6的横截面为直角梯形,直角腰所在平面的中心处设有定位孔,用于安放调节螺钉3的前端,斜腰与支撑座5接触,两块楔块6对称安装在底座4和支撑座5之间。由调节螺钉3驱动楔块6前进或后退即可调节支撑座5与底座4之间的夹角,也就是所加工微孔的倾斜角度。
所述的调节螺钉3,安装在底座4凸台的螺纹孔中,前端安放于楔块6的定位孔中,调节螺钉3左右旋转可以调节支撑座5与底座4之间的夹角,从而减小或增大所加工的喷油板上微细喷油斜孔的倾斜角度。
所述的刻度盘8,为扇形透明有机玻璃板,也可以为其他的材质制成,上面设有角度刻线,用于标示支撑座5与底座4之间的夹角,刻度盘的零刻度线与底座4的上表面重合,支撑座5指示的角度即为支撑座5与底座4之间的夹角,也就是所加工的喷油孔中心线与喷油板法线之件的夹角。
所述的定位夹紧机构为环状压板22,环状压板22采用铁磁性材料制备而成,为圆环形薄板结构,保证被加工的喷油板零件端面中心区域外露,便于激光加工,与被加工的喷油板零件外侧面相切,旋转轴15也采用铁磁性材料制备而成。
旋转轴15,为圆柱形阶梯轴,下端通过联轴器跟电机相连,可进行自动旋转定位,从而实现喷油板上多个孔的圆周均布定位;中间为凹凸密封结构,防止化学液和熔渣进入;上端加工成与喷油板内表面相切的形状,便于喷油板的定位;轴的上端中间加工出圆周均布的四个斜槽,便于熔渣和化学液流下;该旋转轴15采用铁磁性材料制造而成,将工件放在旋转轴15的上端,将环状压板22盖合在工件的上端,以便旋转轴15与环状压板22之间产生磁力夹紧喷油板零件。
所述的化学加工单元,由储液箱、输送装置和回收装置构成。储液箱,由箱体9、箱盖12和过滤网11构成,采用封闭式结构,防止化学液蒸发。过滤网11将箱体9划分为两部分。箱体9,为长方体中空结构,采用耐腐蚀材料制成,用于储存化学液。箱盖12,为长方体中空结构,采用耐腐蚀材料制成,用于盖在箱体9上防止化学液蒸发。箱盖9上设有两个孔,分别用于输出管道和回流管道穿过。过滤网11为带有微纳米孔的多层过滤网,安装在箱体9的中间部位,其功能为将回流的化学液过滤去除熔渣和杂物后再利用。
所述的输送装置,由泵10、输出管道14和喷嘴构成,其功能是将化学液输送到工件的被加工区域。泵10为潜水泵,安放在储液箱中,采用耐腐材料制成,其功能是将化学液从箱体9泵出到输出管道14。输出管道14为中空耐腐蚀管道,一端与泵10连接,另一端与喷嘴连接,把泵出的化学液输送到喷嘴。
喷嘴,由锥体20和密封盖16构成,安装在激光加工头的底部,其功能为将化学液喷射到激光加工的微孔区域,同时聚焦激光束穿过喷嘴聚焦到被加工的喷油板零件上,实现聚焦激光束与化学液的同轴输送;保证在激光烧蚀加工微孔的同时化学液在激光辐照的高温区域发生高温化学反应,去除激光加工后的缺陷层。
锥体20的侧面设有凸台,凸台中间加工出孔,用于安装输出管道14,化学液由此进入喷嘴。锥体20的上端开口较大,安装有透明玻璃材料制成的密封盖16,以便聚焦激光束通过,下端开口较小,保证化学液和聚焦激光束同轴输送。所述的密封盖16采用透明玻璃材料制成,其功能为防止化学液泄漏,保证激光束通过。
回收装置,由回收箱和回流管道13构成,其功能是回收化学液和熔渣,防止化学液流失和蒸发。其中,回收箱由回收箱体24和防护罩23构成,防护罩盖合在回收箱体24的上端,其功能是回收化学液,防止化学液蒸发。
回收箱体24,采用耐腐蚀材料制成,与回转轴配合安装,底部设有回流孔,用于安装回流管道13。防护罩23的上端设有开口,便于安装喷嘴。
回流管道13为中空耐腐蚀管道,一端与回收箱体24连接,另一端与储液箱盖12连接,用于将化学液和熔渣送回储液箱中。
利用上述激光-高温化学同步复合加工装置加工喷油孔的方法如下:
根据被加工的喷油板零件上喷油斜孔的倾斜角度,转动调节螺钉3,调节支撑座5与底座4的夹角,即调节所加工喷油孔的倾斜角度。
将被加工的喷油板21工件放置并定位于旋转轴15的上端,然后再放置环状压板22,旋转轴15与环状压板22之间产生的磁力将工件夹紧。
盖好防护罩23,开启输送化学液的泵10,化学液经过输出管道14进入喷嘴,再通过喷嘴喷射到喷油板零件上的激光加工区域。
激光加工开始,激光器输出的激光束经光纤输入到激光加工头,激光加工头将激光束进行准直和聚焦,由激光头输出的激光束穿过喷嘴聚焦到被加工的喷油板零件上,由于聚焦激光在焦点处能量密度极高,将喷油板上局部微小区域的材料烧蚀去除,加工出微孔。由于激光束与化学液是同轴输送的,因此在激光加工微孔的同时,激光照射的微孔内化学液温度较高,化学液与微孔表面发生高温化学溶解反应,去除激光加工微孔表面的重铸层、微裂纹、热影响区等缺陷层,从而获得高质量的微孔表面,实现激光-高温化学同步复合加工。其他区域处于室温,化学液与工件不发生化学溶解反应。
加工完一个孔之后,激光输出暂停。根据喷油板零件上微孔的数量,旋转轴回转一定角度(如果喷油板上有2个孔,则旋转180度,如果有4个孔,则旋转90度),实现微孔分度定位。激光输出再次开始,实现第二个孔的加工。根据图纸需要,重复上述步骤可实现多个孔的加工。
上述虽然结合附图对本发明的具体实施方式进行了描述,但并非对发明保护范围的限制,所属领域技术人员应该明白,在本发明的技术方案的基础上,本领域技术人员不需要付出创造性劳动即可做出的各种修改或变形仍在本发明的保护范围内。
Claims (10)
1.微孔激光-高温化学同步复合加工装置,其特征在于:包括激光加工单元、工作台和化学加工单元,其中,激光加工单元包括依次连接的激光器、光纤和激光加工头,化学加工单元包括储液箱、输出管道和喷头,输出管道的一端与储液箱连通,另一端与喷头连接,喷头安装在激光加工头的下端,工作台上固定工件,所述激光加工头安装在工件的上端;工作台的下端安装有用于调节工作台倾斜角度的角度调节机构。
2.根据权利要求1所述的微孔激光-高温化学同步复合加工装置,其特征在于:所述角度调节机构安装在工作台的下端,包括底座、支撑座、转轴、楔块和调节杆,底座位于最下方,支撑座安装在底座上,工作台安装在支撑座上,支撑座的一端通过转轴与底座连接,楔块安装在支撑座与底座之间,楔块的斜面与支撑座的下底面重合,所述调节杆活动安装在底座上,调节杆与楔块连接,楔块的运动轨迹与转轴垂直或与转轴呈设定角度。
3.根据权利要求1所述的微孔激光-高温化学同步复合加工装置,其特征在于:所述调节杆与转轴垂直安装或相对于转轴设定角度安装,优选为垂直于转轴安装;
优选的,所述调节杆为调节螺钉,底座的上表面设置凸台,贯穿凸台设置螺纹孔,调节螺钉安装在螺纹孔中;
优选的,底座与支撑座之间靠近转轴的位置安装用于测量底座与支撑座之间夹角的刻度盘;
优选的,所述刻度盘为扇形透明板,刻度盘上设有角度刻线,刻度盘的零刻度线与底座的上表面重合。
4.根据权利要求1所述的微孔激光-高温化学同步复合加工装置,其特征在于:所述工作台为旋转轴,旋转轴为圆柱形阶梯轴,旋转轴的下端通过联轴器与电机相连,旋转轴的上端加工成设定形状,便于工件的定位固定;
优选的,旋转轴的上端均布有若干个向下倾斜设置的便于熔渣和化学液流下的凹槽;
优选的,所述旋转轴采用铁磁性材料制成,铁磁性环状压板与旋转轴配合,将工件固定在旋转轴上。
5.根据权利要求1所述的微孔激光-高温化学同步复合加工装置,其特征在于:化学加工单元还包括液体回收装置,液体回收装置包括液体回收腔室和回收管道,液体回收腔室通过回转轴安装在旋转轴上,液体回收腔室的下端通过回收管道与储液箱连通;
优选的,液体回收腔室的上端设置有防护罩;
优选的,所述储液箱包括箱体、过滤网和箱盖,过滤网将箱体分隔成第一腔室和第二腔室,第一腔室中设置潜水泵,潜水泵与所述液体输送管道连接,第二腔室与所述液体回收管道连通。
6.根据权利要求1所述的微孔激光-高温化学同步复合加工装置,其特征在于:所述喷嘴包括椎体和密封盖,椎体为中空,密封盖盖合在椎体的大开口端,密封盖采用透明材料制成,椎体的小开口端朝向工件,液体输送管道与椎体的侧面连通;
优选的,所述激光加工头包括扩束透镜、聚焦透镜和外壳,扩束透镜和聚焦透镜均安装在外壳内部,扩束透镜安装在聚焦透镜的上端,扩束透镜和聚焦透镜均为圆盘形凸透镜。
7.权利要求1-6任一所述微孔激光-高温化学同步复合加工装置的加工方法,其特征在于:包括如下步骤:
1)根据工件上的孔的倾斜角度,调节工作台下方的角度调节机构,使工作台倾斜设定角度。
2)将被加工的工件放置并定位于旋转轴的上端;
3)激光加工开始,激光器输出的激光束经光纤输入到激光加工头,激光加工头将激光束进行准直和聚焦,将激光束通过激光加工头聚焦到工件上,化学液与激光同步且同轴输送到工件上;
4)加工完一个孔后,暂停激光输出,将工作台旋转设定角度后,重复步骤2)加工下一孔,其他孔的加工重复上述步骤。
8.根据权利要求7所述的加工方法,其特征在于:所述孔的直径为0.08~0.17mm;
优选的,步骤1)中,工作台调节的倾斜角度为5~15°。
9.根据权利要求7所述的加工方法,其特征在于:所述化学液由以下体积份的组分组成:磷酸45-55份、硫酸25-35份、硝酸10-15份、乙酸3-7份、尿素2-5份;
或化学液的输送速度为0.3-0.8m/s。
10.根据权利要求7所述的加工方法,其特征在于:所述激光的峰值功率为500MW,频率为10-1000KHz,光束质量M2<1.3。
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107350809A (zh) * | 2017-08-31 | 2017-11-17 | 南通大学 | 一种铁钻工冲扣钳辊子结构化表面的制备装置及制备方法 |
CN107538140A (zh) * | 2017-09-14 | 2018-01-05 | 孙树峰 | 一种激光旋切加工斜孔装置 |
CN107598771A (zh) * | 2017-10-09 | 2018-01-19 | 格林精密部件(苏州)有限公司 | 一种新型托板托平装置 |
CN109365382A (zh) * | 2018-10-25 | 2019-02-22 | 广东合新材料研究院有限公司 | 一种服务器清洗设备及其清洗方法 |
CN109794685A (zh) * | 2017-11-15 | 2019-05-24 | 波音公司 | 包括具有夹紧系统的可移动支架的激光烧蚀系统 |
CN110640487A (zh) * | 2019-10-08 | 2020-01-03 | 太仓戴尔塔精密科技有限公司 | 一种可旋转的穿孔机及其工作方法 |
WO2020215714A1 (zh) * | 2019-04-25 | 2020-10-29 | 孙树峰 | 一种激光-喷射液束自生磨粒流复合加工装置及方法 |
CN112536292A (zh) * | 2020-11-20 | 2021-03-23 | 中国核动力研究设计院 | 一种放射性金属表面高效激光去污系统及方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6229512A (ja) * | 1985-08-01 | 1987-02-07 | Shigeru Kuga | 水虫および足臭治療剤 |
DE19802108A1 (de) * | 1998-01-21 | 1999-07-22 | Lctec Laser Und Computertechni | Vorrichtung und Verfahren zur Laserbearbeitung eines Werkstücks |
US6777647B1 (en) * | 2003-04-16 | 2004-08-17 | Scimed Life Systems, Inc. | Combination laser cutter and cleaner |
CN1919514A (zh) * | 2006-09-18 | 2007-02-28 | 南京航空航天大学 | 喷射液束电解-激光复合加工方法及其装置 |
CN101992351A (zh) * | 2009-08-21 | 2011-03-30 | 株式会社迪思科 | 激光加工装置 |
CN103317234A (zh) * | 2012-03-22 | 2013-09-25 | 江南大学 | 激光诱导低压射流复合刻蚀加工方法及装置 |
CN104084825A (zh) * | 2014-06-27 | 2014-10-08 | 大连交通大学 | 带有垫铁及心轴组件的环周斜孔加工装置及其加工方法 |
CN205414907U (zh) * | 2016-01-20 | 2016-08-03 | 孙树峰 | 微孔激光-高温化学同步复合加工装置 |
-
2016
- 2016-01-20 CN CN201610038910.8A patent/CN105479173B/zh active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6229512A (ja) * | 1985-08-01 | 1987-02-07 | Shigeru Kuga | 水虫および足臭治療剤 |
DE19802108A1 (de) * | 1998-01-21 | 1999-07-22 | Lctec Laser Und Computertechni | Vorrichtung und Verfahren zur Laserbearbeitung eines Werkstücks |
US6777647B1 (en) * | 2003-04-16 | 2004-08-17 | Scimed Life Systems, Inc. | Combination laser cutter and cleaner |
CN1919514A (zh) * | 2006-09-18 | 2007-02-28 | 南京航空航天大学 | 喷射液束电解-激光复合加工方法及其装置 |
CN101992351A (zh) * | 2009-08-21 | 2011-03-30 | 株式会社迪思科 | 激光加工装置 |
CN103317234A (zh) * | 2012-03-22 | 2013-09-25 | 江南大学 | 激光诱导低压射流复合刻蚀加工方法及装置 |
CN104084825A (zh) * | 2014-06-27 | 2014-10-08 | 大连交通大学 | 带有垫铁及心轴组件的环周斜孔加工装置及其加工方法 |
CN205414907U (zh) * | 2016-01-20 | 2016-08-03 | 孙树峰 | 微孔激光-高温化学同步复合加工装置 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107350809A (zh) * | 2017-08-31 | 2017-11-17 | 南通大学 | 一种铁钻工冲扣钳辊子结构化表面的制备装置及制备方法 |
CN107538140A (zh) * | 2017-09-14 | 2018-01-05 | 孙树峰 | 一种激光旋切加工斜孔装置 |
CN107598771A (zh) * | 2017-10-09 | 2018-01-19 | 格林精密部件(苏州)有限公司 | 一种新型托板托平装置 |
CN109794685A (zh) * | 2017-11-15 | 2019-05-24 | 波音公司 | 包括具有夹紧系统的可移动支架的激光烧蚀系统 |
CN109794685B (zh) * | 2017-11-15 | 2022-06-21 | 波音公司 | 包括具有夹紧系统的可移动支架的激光烧蚀系统 |
CN109365382A (zh) * | 2018-10-25 | 2019-02-22 | 广东合新材料研究院有限公司 | 一种服务器清洗设备及其清洗方法 |
CN109365382B (zh) * | 2018-10-25 | 2024-03-12 | 广东西江数据科技有限公司 | 一种服务器清洗设备及其清洗方法 |
WO2020215714A1 (zh) * | 2019-04-25 | 2020-10-29 | 孙树峰 | 一种激光-喷射液束自生磨粒流复合加工装置及方法 |
US20210252637A1 (en) * | 2019-04-25 | 2021-08-19 | Shufeng Sun | Laser-jet liquid beam self-generated abrasive particle flow composite processing device and method |
CN110640487A (zh) * | 2019-10-08 | 2020-01-03 | 太仓戴尔塔精密科技有限公司 | 一种可旋转的穿孔机及其工作方法 |
CN112536292A (zh) * | 2020-11-20 | 2021-03-23 | 中国核动力研究设计院 | 一种放射性金属表面高效激光去污系统及方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN105479173B (zh) | 2019-02-05 |
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