CN105445895B - 一种反射镜支撑调整装置 - Google Patents

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Abstract

一种反射镜支撑调整装置属于反射镜面形检测技术领域，目的在于解决现有技术存在的功能单一和价格昂贵的问题，本发明的一种反射镜支撑调整装置包括转动轴承、滑动台、立板和底板；两个所述立板垂直固定在底板相对的两个边上，两个立板内侧设置有导向沟槽B，所述滑动台放置在底板中间位置，所述滑动台和两个立板相对的侧壁上设置有导向沟槽A，滑动台的两个侧壁上的导向沟槽A分别和两个立板上的导向沟槽B配合相对滑动，所述转动轴承垂直放置在所述滑动台上方中间位置，反射镜设置在转动轴承上端，所述导向沟槽A为圆弧形，所述圆弧形导向沟槽A的圆心和反射镜球面同心。实现被测试反射镜转动和摆动的姿态调整。

Description

一种反射镜支撑调整装置
技术领域
本发明属于反射镜面形检测技术领域，具体涉及一种反射镜支撑调整装置。
背景技术
极紫外光刻相关技术中，对光学元件面形检测精度达到了亚纳米量级，这对光学检测技术提出了极高的要求。在高精度光学元件面形检测方法中，要求被测试光学元件能绕其回转中心按固定角度旋转，并能够以被测球面的球心为原点延球面切线方向做一定角度的摆动，实现多维姿态调整。
现有技术中大多为独立的旋转机构、转台、直线位移机构和倾斜调整台等，能同时满足要求的产品很少，通过进口的电机驱动位移调整装置价格极其昂贵，不适用于前期实验，不具备经济性。
发明内容
本发明的目的在于提出一种反射镜支撑调整装置，解决现有技术存在的功能单一和价格昂贵的问题，实现被测试反射镜的支撑调整功能，使反射镜绕回转中心按固定角度旋转，并能够以被测球面的球心为原点沿球面切线方向做一定角度的摆动。
为实现上述目的，本发明的一种反射镜支撑调整装置包括转动轴承、滑动台、立板和底板；
两个所述立板垂直固定在底板相对的两个边上，两个立板内侧设置有导向沟槽B，所述滑动台放置在底板中间位置，所述滑动台和两个立板相对的侧壁上设置有导向沟槽A，滑动台的两个侧壁上的导向沟槽A分别和两个立板上的导向沟槽B配合相对滑动，所述转动轴承垂直放置在所述滑动台上方中间位置，反射镜设置在转动轴承上端，所述导向沟槽A为圆弧形，所述圆弧形导向沟槽A的圆心和反射镜球面球心处于同一高度。
所述导向沟槽A和导向沟槽B配合处设置有滚珠。
所述支撑调整装置还包括定位珠固定板和定位珠，相对设置的两个定位珠固定板的下端固定在滑动台上表面，侧壁和转动轴承外圆柱面贴合，定位珠固定板和转动轴承外圆柱面贴合位置固定有定位珠，所述转动轴承外圆柱面上圆周均布六个定位球窝，所述定位球窝和定位珠位于同一水平面上。
本发明的有益效果为：本发明的一种反射镜支撑调整装置中转动轴承外圆周面上设置有六个圆周方向上均匀分布的定位球窝，在反射镜依靠转动轴承转动过程中定位球嵌入定位球窝中，以实现转动角度的定位。滑动台两侧设置有导向沟槽A，导向沟槽A沿圆弧形分布，圆弧形的导向沟槽A的圆心和反射镜球面球心处于同一高度。两个立板上设置有导向沟槽B，分别安置于底板两侧，与滑动台两侧的导向沟槽A配合中间安置有滚珠，进而实现滑动台的在沿导向沟槽方向的摆动。
装置中心设置有转动轴承，使被测试反射镜绕其回转中心旋转。装置两侧设置有导向沟槽A和导向沟槽B，配合处设置有滚珠，使反射镜球面的球心为原点延球面切线方向做一定角度的摆动。将本装置置于干涉测量系统成像光路中，完成反射镜的多维姿态调整需求。
附图说明
图1为本发明的一种反射镜支撑调整装置结构示意图；
图2为本发明的一种反射镜支撑调整装置内部结构示意图；
其中：1、反射镜，2、转动轴承，201、定位球窝，3、定位珠固定板，4、滑动台，401、导向沟槽A，5、立板，501、导向沟槽B，6、底板，7、定位珠，8、滚珠。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的实施方式作进一步说明。
参见附图1和附图2，本发明的一种反射镜支撑调整装置包括转动轴承2、滑动台4、立板5和底板6；
两个所述立板5垂直固定在底板6相对的两个边上，两个立板5内侧设置有导向沟槽B501，所述滑动台4放置在底板6中间位置，所述滑动台4和两个立板5相对的侧壁上设置有导向沟槽A401，滑动台4的两个侧壁上的导向沟槽A401分别和两个立板5上的导向沟槽B501配合相对滑动，所述转动轴承2垂直放置在所述滑动台4上方中间位置，反射镜1设置在转动轴承2上端，所述导向沟槽A401为圆弧形，所述圆弧形导向沟槽A401的圆心和反射镜1球面球心处于同一高度，滑动台4通过滚珠8和导向沟槽A401、导向沟槽B501放置在整个装置的中心位置。
所述导向沟槽A401和导向沟槽B501配合处设置有滚珠8。
所述支撑调整装置还包括定位珠固定板3和定位珠7，相对设置的两个定位珠固定板3的下端固定在滑动台4上表面，侧壁和转动轴承2外圆柱面贴合，定位珠固定板3和转动轴承2外圆柱面贴合位置固定有定位珠7，所述转动轴承2外圆柱面上圆周均布六个定位球窝201，所述定位球窝201和定位珠7位于同一水平面上。
本发明的运动过程为：反射镜1安置于转动轴承2上方，转动轴承2带动反射镜1绕其轴向方向转动。转动轴承2的外圆周面上设置有六个均匀分布的定位球窝201。定位珠固定板3安置于滑动台4上，将定位珠7固定，在转动轴承2运动时，定位珠7将嵌入定位球窝201内，用于转动轴承2的角度定位。所述滑动台4两侧立面设置有导向沟槽，用于滚珠8的运动导向。转动轴承2垂直安置于滑动台4上方。通过以上调整装置实现反射镜1的转动和摆动姿态的调整。

Claims (2)

1.一种反射镜支撑调整装置，其特征在于，包括转动轴承(2)、滑动台(4)、立板(5)和底板(6)；
两个所述立板(5)垂直固定在底板(6)相对的两个边上，两个立板(5)内侧设置有导向沟槽B(501)，所述滑动台(4)放置在底板(6)中间位置，所述滑动台(4)和两个立板(5)相对的侧壁上设置有导向沟槽A(401)，滑动台(4)的两个侧壁上的导向沟槽A(401)分别和两个立板(5)上的导向沟槽B(501)配合相对滑动，所述转动轴承(2)垂直放置在所述滑动台(4)上方中间位置，反射镜(1)设置在转动轴承(2)上端，所述导向沟槽A(401)为圆弧形，所述圆弧形导向沟槽A(401)的圆心和反射镜(1)球面球心处于同一高度；
所述支撑调整装置还包括定位珠固定板(3)和定位珠(7)，相对设置的两个定位珠固定板(3)的下端固定在滑动台(4)上表面，侧壁和转动轴承(2)外圆柱面贴合，定位珠固定板(3)和转动轴承(2)外圆柱面贴合位置固定有定位珠(7)，所述转动轴承(2)外圆柱面上圆周均布六个定位球窝(201)，所述定位球窝(201)和定位珠(7)位于同一水平面上。
2.根据权利要求1所述的一种反射镜支撑调整装置，其特征在于，所述导向沟槽A(401)和导向沟槽B(501)配合处设置有滚珠(8)。
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