CN105444785B - 一种扫描平面激光的光程补偿装置及其方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种扫描平面激光的光程补偿装置及其方法，包括扫描导轨平台、扫描反射机构和折返补偿机构，扫描反射机构和折返补偿机构均能够在扫描导轨平台上移动，折返补偿机构用于将激光片光源反射至扫描反射机构，扫描反射机构用于将激光片光源反射至三维标量场中，补偿机构和扫描机构并排放置于扫描导轨平台上，由两个电机分别驱动，同步运动，补偿机构的速度为扫描机构速度的一半。本发明提供的扫描平面激光的光程补偿装置合理安排光路折转方式，使装置紧凑，便于安装扫描反射机构和折返补偿机构，扫描反射机构和折返补偿机构的排布方式以及同步运动关系使激光片光源的光腰保持在水槽中部位置，保证在水槽中的扫描区域内片光厚度小于要求。

Description

一种扫描平面激光的光程补偿装置及其方法

技术领域

本发明涉及光学检测技术领域，特别是涉及一种基于3DLIF的扫描平面激光的光程补偿装置及其方法。

背景技术

3DLIF技术，即“三维激光诱导荧光技术”，是在PLIF技术基础上，移动激光片光源扫描测量空间，同步控制片光源扫描、相机和激光器运行，采集多截面二维信息和位置信息，再通过标定、校正以及三维重建技术，获得三维浓度(温度)场。3DLIF技术不仅可以定性揭示流动的内部结构，而且与图像处理技术结合可以进行浓度场、温度场、压力场以及速度场的定量测量，已经成为解决流体力学领域重大基础科学问题的新技术和新设备，具有重要的科学意义和价值。

该测量过程为：在水槽流体中加入荧光物质，将特定波长的激光片光源从底部照射到测量区域，从而激发出荧光图像，使用高速相机从水槽侧面获取荧光图像。利用扫描平台搭载片光源去扫描测量空间，同步采集和处理多截面二维图像信息，通过三维重建就可获得三维浓度(温度)场。

以往国内外的片光源扫描解决方案都是通过圆柱透镜获得片光源，采用振镜、旋转鼓、旋转扫描器实现片光源扫描，片光源之间不平行，对测量精度和校正影响较大。

在3DLIF水体标量场测量仪器中，图像采集部分采用相机与激光片光源同步移动的方法，以避免图像采集过程中的调焦变焦带来的后续处理与校正等问题。该测量方法要求片光的光束腰保持位于水槽中部，才能保证水槽中片光的厚度小于一定值，为保证片光光束腰在水槽中的位置，则需要对扫描片光源进行光程补偿。该测量仪器所用激光片光源横向宽度较大(500mm-1000mm)，同时具有较高的扫描速度和加速度(1m/s以上，10m/s以上)。则需要发明一种稳定的光程补偿装置和方法来实现平面激光光源的扫描。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提出一种扫描平面激光的光程补偿装置及其方法，以提高检测仪器的测量精度和校正准确性。

本发明提供的扫描平面激光的光程补偿装置包括扫描导轨平台、扫描反射机构和折返补偿机构，所述扫描反射机构和折返补偿机构均能够在所述扫描导轨平台上移动，所述折返补偿机构用于将激光片光源反射至扫描反射机构，所述扫描反射机构用于将激光片光源反射至三维标量场中。

在本发明的一些实施例中，所述扫描导轨平台上设置有定子导轨，所述定子导轨的两侧分别设置有支撑导轨，所述扫描反射机构和折返补偿机构并排地安装于定子导轨、支撑导轨上，以使扫描反射机构和折返补偿机构能够沿着定子导轨移动。

在本发明的一些实施例中，所述扫描导轨平台还包括主动滑块、从动滑块和固定平台，所述固定平台上开设有若干个通孔，用于固定扫描反射机构和折返补偿机构，所述固定平台通过主动滑块卡接于定子导轨上，通过从动滑块卡接于支撑导轨上，从而使所述主动滑块带动固定平台沿着所述定子导轨移动。可选地，用于带动扫描反射机构的主动滑块和用于带动折返补偿机构的主动滑块由两个电机分别驱动。

在本发明的一些实施例中，所述扫描反射机构包括固定板、斜向板和扫描反射棱镜，所述斜向板的一侧固定连接于固定板的中间部位，所述固定板和斜向板之间呈钝角，所述固定板的两侧开设有若干个安装孔，所述安装孔与固定平台上的通孔通过连接部件固定安装，所述斜向板在与固定板呈钝角的侧面上安装扫描反射棱镜。

在本发明的一些实施例中，所述扫描反射机构还包括扫描卡块和扫描卡簧，所述扫描卡块安装于斜向板的另一侧，用于将扫描反射棱镜卡装在斜向板上，所述扫描卡簧安装在扫描反射棱镜的两端，用于将扫描反射棱镜紧固在斜向板上；和/或

所述斜向板与固定板的连接处凸起形成凸块，所述凸起与斜向板之间向内凹陷形成卡槽，所述卡槽与凸块相互配合，用以装卡扫描反射棱镜。

在本发明的一些实施例中，所述折返补偿机构包括V字型转接底座、固定在V字型转接底座内的折返反射棱镜、固定底座和斜向底座，所述斜向底座板的一侧固定连接于固定底座的中间部位，所述固定底座和斜向底座之间呈钝角，所述固定底座的侧边开设有若干个安装孔，所述安装孔与固定平台上的通孔通过连接部件固定安装，所述斜向底座在与固定底座呈钝角的侧面上安装V字型转接底座。

在本发明的一些实施例中，所述V字型转接底座的夹角处凹陷形成卡接凹槽，所述卡接凹槽用于卡入折返反射棱镜的棱角处；和/或

所述折返补偿机构还包括折返卡块和折返卡簧，所述折返卡块安装在V字型转接底座的开口侧，用于将折返反射棱镜卡装在V字型转接底座内，所述折返卡簧安装在折返反射棱镜的两端，用于将折返反射棱镜紧固在V字型转接底座内。

在本发明的一些实施例中，还包括第一反射镜和第二反射镜，所述第一反射镜用于将激光片光源反射至第二反射镜，所述第二反射镜用于将激光片光源反射至折返补偿机构。

在本发明的一些实施例中，所述激光器及光学系统位于扫描导轨平台的下方，所述扫描反射机构和折返补偿机构位于扫描导轨平台的上方，第一反射镜和第二反射镜位于扫描导轨平台的一侧，且所述第二反射镜位于第一反射镜的上方，所述扫描反射机构位于第二反射镜与折返补偿机构之间，所述扫描反射机构和折返补偿机构能够朝着或者远离第二反射镜的方向移动。

本发明还提供一种采用上述扫描平面激光的光程补偿装置进行光程补偿的方法，包括以下步骤：所述扫描反射机构和折返补偿机构一起运动，折返补偿机构的运动速度为扫描反射机构的运动速度的一半。

从上面的所述可以看出，本发明提供的扫描平面激光的光程补偿装置合理安排光路折转方式，使装置紧凑，同时便于安装扫描反射机构和折返补偿机构，扫描反射机构和折返补偿机构的排布方式以及同步运动关系使激光片光源的光腰保持在水槽中部位置，保证在水槽中的扫描区域内片光厚度小于要求。本发明能够实现激光片光源的快速稳定的等光程扫描，完成测量，从而使激光片光源平行扫描测量区域，保证了仪器的测量精度，利于后期的标定和校正以及三维重建。因此，本发明可实现3DLIF水体标量场测量仪器中的激光片光源稳定扫描和光程补偿，降低光源扫描平台的复杂度，提高扫描稳定性，同时确保激光片光源的束腰始终位于水槽的中间，可使相机获得高质量的稳定的图像，提高测量精度。该装置具有设计简洁，结构简单稳定，测量精度高等特点。

附图说明

图1为本发明实施例扫描平面激光的光程补偿装置的光路折转示意图；

图2为本发明实施例扫描平面激光的光程补偿装置的光程补偿示意图；

图3为本发明实施例扫描平面激光的光程补偿装置的扫描导轨平台的俯视图；

图4为本发明实施例扫描平面激光的光程补偿装置的扫描底座的结构示意图；

图5为本发明实施例扫描平面激光的光程补偿装置的扫描底座的侧视图；

图6为本发明实施例扫描平面激光的光程补偿装置的扫描反射机构的结构示意图；

图7为本发明实施例扫描平面激光的光程补偿装置的扫描反射机构的侧视图；

图8为本发明实施例扫描平面激光的光程补偿装置的V字型转接底座的结构示意图；

图9为本发明实施例扫描平面激光的光程补偿装置的V字型转接底座的侧视图；

图10为本发明实施例扫描平面激光的光程补偿装置的折返补偿机构的结构示意图；

图11为本发明实施例扫描平面激光的光程补偿装置的折返补偿机构的侧视图。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本发明进一步详细说明。

需要说明的是，发明实施例中所有使用“第一”和“第二”的表述均是为了区分两个相同名称非相同的实体或者非相同的参量，可见“第一”“第二”仅为了表述的方便，不应理解为对发明实施例的限定，后续实施例对此不再一一说明。

参见图1，其为本发明实施例扫描平面激光的光程补偿装置的光路折转示意图。作为本发明的一个实施例，所述光程补偿装置包括扫描导轨平台6、扫描反射机构4和折返补偿机构5，所述扫描反射机构4和折返补偿机构5均能够在所述扫描导轨平台6上移动，所述折返补偿机构5用于将激光片光源反射至扫描反射机构4，所述扫描反射机构4用于将激光片光源反射至三维标量场中。

在本发明的又一个实施例中，所述扫描平面激光的光程补偿装置还包括第一反射镜2和第二反射镜3，所述第一反射镜2用于将激光片光源反射至第二反射镜3，所述第二反射镜3用于将激光片光源反射至折返补偿机构5。如图1所示，若所述被测量为水槽7中的流体的三维标量场，激光器及光学系统1发出的激光片光源依次经过第一反射镜2、第二反射镜3、折返补偿机构5以及扫描反射机构4的反射后，进入水槽7中，从而实现激光片光源在水槽7中的扫描。

在本发明的又一个实施例中，所述激光器及光学系统1位于扫描导轨平台6的下方，所述扫描反射机构4和折返补偿机构5位于扫描导轨平台6的上方，第一反射镜2和第二反射镜3位于扫描导轨平台6的一侧，且所述第二反射镜3位于第一反射镜2的上方，所述扫描反射机构4位于第二反射镜3与折返补偿机构5之间，所述扫描反射机构4和折返补偿机构5能够朝着或者远离第二反射镜3的方向移动。

为了避免扫描运动中光程不同带来的影响，本发明采用折返补偿机构5折转光路，对光程进行补偿，扫描反射机构4和折返补偿机构5一起运动，折返补偿机构5的运动速度为扫描反射机构4的运动速度的一半，以确保激光束腰位于被测水槽7的中部。

如图2所示，其为本发明实施例扫描平面激光的光程补偿装置的光程补偿示意图。从图中可以看出，本发明利用扫描反射机构4和折返补偿机构5的同步运动来实现光程补偿，扫描反射机构4和折返补偿机构5一起运动，折返补偿机构5的运动速度为扫描反射机构4的运动速度的一半，也就是说，扫描反射机构4移动L，折返补偿机构5同步移动L/2。这样，无论扫描平台运动到那个位置进行测量，激光片光源的光程都是一样的，由此确保激光束腰位于被测水槽的中部位置。

具体地，设扫描反射机构4和折返补偿机构5相距最近时的距离为x，三维标量场的扫描距离为a，若以此时为扫描开始位置，则扫描完成时扫描反射机构4和折返补偿机构5的距离最远，扫描过程中光程保持不变，则扫描完成时距离y＝x+a/2；若以扫描反射机构4和折返补偿机构5相距最近时的位置为扫描结束位置，则扫描开始时扫描反射机构4和折返补偿机构5应保持一定的距离y＝x+a/2，才能保证在扫描过程中这两个机构不会相撞，考虑扫描反射机构4和折返补偿机构5中光学元件以及安装部件的尺寸，预留安全距离，预先设计x值，即得到扫描反射机构4和折返补偿机构5距离最远时的距离y。

参见图3，其为本发明实施例扫描平面激光的光程补偿装置的扫描导轨平台的俯视图。在本发明的一个实施例中，所述扫描导轨平台6上设置有定子导轨61，所述定子导轨61的两侧分别设置有支撑导轨62，所述扫描反射机构4和折返补偿机构5均安装于定子导轨61、支撑导轨62上，以使扫描反射机构4和折返补偿机构5能够沿着定子导轨61移动。所述定子导轨61和支撑导轨62均为直线式导轨。所述扫描反射机构4和折返补偿机构5并排安装，扫描反射机构4和折返补偿机构5的移动由各自电机驱动。较佳地，本发明选用直线电机作为驱动。

由于扫描反射机构4和折返补偿机构5比较宽，尺寸特殊，又要实现快速扫描，为了保证运动时反射镜的稳定性，解决悬臂问题，本发明在定子导轨61的两侧对称加装两个支撑导轨62，扫描反射机构4和折返补偿机构5分别通过滑块安装在定子导轨61及其两侧的支撑导轨62上，以支撑扫描反射机构4和折返补偿机构5。作为本发明的又一个实施例，所述扫描导轨平台6还包括主动滑块63、从动滑块和固定平台64，所述固定平台64上开设有若干个通孔，用于固定扫描反射机构4和折返补偿机构5，所述运动滑块63、从动滑块均固定连接于固定平台64的下方，并通过主动滑块63卡接于定子导轨61上，通过从动滑块卡接于支撑导轨62上，从而使所述主动滑块63带动固定平台64沿着所述定子导轨61移动(从动滑块也随之移动，用于支撑起固定平台64，以保证固定平台64的移动稳定性)。优选地，所述固定平台64的数量为两个，分别用于安装扫描反射机构4和折返补偿机构5，分别带动扫描反射机构4和折返补偿机构5移动。尽管两个机构的运动速度不一致，但根据运动规划，两个固定平台64始终不会相遇。优选地，可以在两个固定平台64之间加装电子防撞装置，以防止意外相撞。本发明采用单定子双动子的导轨排布方式，扫描机构的滑块和补偿机构的滑块共用一个导轨，使用不同电机分别驱动，并在两侧平行放置支撑导轨。

结合图4-7，在本发明的一个较佳实施例中，所述扫描反射机构4包括扫描底座41和固定于扫描底座41上的扫描反射棱镜42，本发明采用反射棱镜来折转片光源，以降低反射镜对激光的能量损耗，通过全反射形式反射激光片光源。较佳地，该扫描反射棱镜42的长度略大于激光片光源的通光孔径，以便于装卡在扫描底座41上。优选地，如图5所示，所述扫描底座41包括固定板411和斜向板412，所述斜向板412的一侧固定连接于固定板411的中间部位，所述固定板411和斜向板412之间呈钝角，所述固定板411的侧边开设有若干个安装孔416，所述安装孔416与固定平台64上的通孔通过螺栓或者螺钉等连接部件固定安装，所述斜向板412在与固定板411呈钝角的侧面上安装扫描反射棱镜42，从而使扫描反射棱镜42可以将激光片光源射入三维标量场内。优选地，在扫描反射棱镜42的反射面采用点胶方式固定于斜向板412的侧面上。优选地，所述固定板411和斜向板412之间的夹角为45°(135°)，保证激光片光源水平入射，然后垂直向上出射。

在本发明的一个较佳实施例中，所述扫描反射机构4还包括扫描卡块44和扫描卡簧43，如图6和图7所示，所述扫描卡块44安装于斜向板412的另一侧，用于将扫描反射棱镜42卡装在斜向板412上，所述扫描卡簧43安装在扫描反射棱镜42的两端，用于将扫描反射棱镜42紧固在斜向板412上。本发明采用支撑并点胶固定方式固定扫描反射棱镜42，同时在其两端用扫描卡簧43紧固，以为防止高速运动时扫描反射棱镜42脱出。需要说明的是，所述扫描卡块44与斜向板412之间可以采用螺钉45固定连接，所述扫描卡簧43的两端也可以通过螺钉45将其固定在扫描底座41上，以提高其移动稳定性。

在本发明的一个优选实施例中，所述固定板411的两端向内凹陷形成安装槽415，所述扫描卡簧43的一端部安装在此处，以便于安装该扫描卡簧43，同时也能够提高该扫描卡簧43与扫描反射棱镜42的贴合度。

由于扫描反射棱镜42的宽度较大，在保证其稳定性的同时，还需要保证其通光性，本发明通过在扫描底座41上设计卡槽来实现。如图5和图7所示，所述斜向板412与固定板411的连接处凸起形成凸块414，所述凸起414与斜向板412之间向内凹陷形成卡槽413，所述卡槽413与凸块414相互配合，用以装卡扫描反射棱镜42，从而保证其稳定性。

结合图8-11，在本发明的另一个较佳实施例中，所述折返补偿机构5包括V字型转接底座51、固定在V字型转接底座51内的折返反射棱镜52、固定底座55和斜向底座56，所述斜向底座板56的一侧固定连接于固定底座55的中间部位，所述固定底座55和斜向底座56之间呈钝角，所述固定底座55的侧边开设有若干个安装孔551，所述安装孔551与固定平台64上的通孔通过螺栓或者螺钉等连接部件固定安装，所述斜向底座56在与固定底座55呈钝角的侧面上安装V字型转接底座51，如图11所示，从而使折返反射棱镜52可以将激光片光源反射至扫描反射棱镜42上。优选地，在折返反射棱镜52的反射面采用点胶方式固定于V字型转接底座51的内表面上。优选地，所述固定底座55和斜向底座56之间的夹角为45°，以保证激光片光源水平入射，折转返回后水平出射。

本发明采用反射棱镜来折转片光源，以降低反射镜对激光的能量损耗，通过全反射形式反射激光片光源。优选地，折返反射棱镜52与扫描反射棱镜42选型相同，同为直角反射棱镜，长度相同，但宽度可以为扫描反射棱镜的2倍，采用两个直角面作为反射面，来折转激光片光源。较佳地，该折返反射棱镜52的长度略大于激光片光源的通光孔径，以便于装卡在V字型转接底座51上。

在本发明的一个较佳实施例中，所述固定底座55和斜向底座56的数量可以为多个，可以在V字型转接底座51的长度方向上均匀分布多个固定底座55和斜向底座56，以提高该V字型转接底座51的稳定性。在本发明的一个优选实施例中，在V字型转接底座51的长度方向上均匀分布三个固定底座55和三个斜向底座56，每个固定底座55的侧边均开设有多个安装孔551，以将较长的V字型转接底座51牢固地安装在固定平台64上。

如图9所示，作为本发明的一个优选实施例，所述V字型转接底座51的夹角处凹陷形成卡接凹槽511，所述卡接凹槽511用于卡入折返反射棱镜52的棱角处，以提高折返反射棱镜52在V字型转接底座51内的安装牢固性。

在本发明的一个较佳实施例中，所述折返补偿机构5还包括折返卡块54和折返卡簧53，如图10和图11所示，所述折返卡块54安装在V字型转接底座51的开口侧，用于将折返反射棱镜52卡装在V字型转接底座51内，所述折返卡簧53安装在折返反射棱镜52的两端，用于将折返反射棱镜52紧固在V字型转接底座51内。本发明采用支撑并点胶固定方式固定折返反射棱镜52，同时在其两端用折返卡簧53紧固，以为防止高速运动时折返反射棱镜52脱出。需要说明的是，所述折返卡块54与V字型转接底座51之间可以采用螺钉57固定连接，所述折返卡簧53的两端也可以通过螺钉57将其固定在V字型转接底座51内，以提高其移动稳定性。

由此可见，本发明提供的扫描平面激光的光程补偿装置合理安排光路折转方式，使装置紧凑，同时便于安装扫描反射机构和折返补偿机构，扫描反射机构和折返补偿机构的排布方式以及同步运动关系使激光片光源的光腰保持在水槽中部位置，保证在水槽中的扫描区域内片光厚度小于要求。

本发明主要应用于基于3DLIF技术的水体三维标量场测量仪器中，该装置可以实现测量仪器大尺寸激光片光源进行稳定的等光程的扫描，降低光源扫描平台的复杂度，提高扫描稳定性，使激光片光源的光腰保持在水槽中部位置，保证在水槽中的扫描区域内片光厚度小于要求，使激光片光源平行扫描测量区域，保证了仪器的测量精度，利于后期的标定和校正以及三维重建。该装置具有设计简洁，结构简单稳定，测量精度高等特点。

所属领域的普通技术人员应当理解：以上任何实施例的讨论仅为示例性的，并非旨在暗示本公开的范围(包括权利要求)被限于这些例子；在本发明的思路下，以上实施例或者不同实施例中的技术特征之间也可以进行组合，步骤可以以任意顺序实现，并存在如上所述的本发明的不同方面的许多其它变化，为了简明它们没有在细节中提供。因此，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何省略、修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种扫描平面激光的光程补偿装置，其特征在于，包括扫描导轨平台、扫描反射机构和折返补偿机构，所述扫描反射机构和折返补偿机构均能够在所述扫描导轨平台上移动，所述折返补偿机构用于将激光片光源反射至扫描反射机构，所述扫描反射机构用于将激光片光源反射至三维标量场中；

所述扫描导轨平台还包括主动滑块、从动滑块和固定平台，所述固定平台上开设有若干个通孔，用于固定扫描反射机构和折返补偿机构，所述固定平台通过主动滑块卡接于定子导轨上，通过从动滑块卡接于支撑导轨上，从而使所述主动滑块带动固定平台沿着所述定子导轨移动；

所述扫描反射机构包括固定板、斜向板和扫描反射棱镜，所述斜向板的一侧固定连接于固定板的中间部位，所述固定板和斜向板之间呈钝角，所述固定板的两侧开设有若干个安装孔，所述安装孔与固定平台上的通孔通过连接部件固定安装，所述斜向板在与固定板呈钝角的侧面上安装扫描反射棱镜。

2.根据权利要求1所述的扫描平面激光的光程补偿装置，其特征在于，所述扫描导轨平台上设置有定子导轨，所述定子导轨的两侧分别设置有支撑导轨，所述扫描反射机构和折返补偿机构并排地装于定子导轨、支撑导轨上，以使扫描反射机构和折返补偿机构能够沿着定子导轨移动。

3.根据权利要求1所述的扫描平面激光的光程补偿装置，其特征在于，所述扫描反射机构还包括扫描卡块和扫描卡簧，所述扫描卡块安装于斜向板的另一侧，用于将扫描反射棱镜卡装在斜向板上，所述扫描卡簧安装在扫描反射棱镜的两端，用于将扫描反射棱镜紧固在斜向板上；和/或

所述斜向板与固定板的连接处凸起形成凸块，所述凸块与斜向板之间向内凹陷形成卡槽，所述卡槽与凸块相互配合，用以装卡扫描反射棱镜。

4.根据权利要求1所述的扫描平面激光的光程补偿装置，其特征在于，所述折返补偿机构包括V字型转接底座、固定在V字型转接底座内的折返反射棱镜、固定底座和斜向底座，所述斜向底座板的一侧固定连接于固定底座的中间部位，所述固定底座和斜向底座之间呈钝角，所述固定底座的侧边开设有若干个安装孔，所述安装孔与固定平台上的通孔通过连接部件固定安装，所述斜向底座在与固定底座呈钝角的侧面上安装V字型转接底座。

5.根据权利要求4所述的扫描平面激光的光程补偿装置，其特征在于，所述V字型转接底座的夹角处凹陷形成卡接凹槽，所述卡接凹槽用于卡入折返反射棱镜的棱角处；和/或

所述折返补偿机构还包括折返卡块和折返卡簧，所述折返卡块安装在V字型转接底座的开口侧，用于将折返反射棱镜卡装在V字型转接底座内，所述折返卡簧安装在折返反射棱镜的两端，用于将折返反射棱镜紧固在V字型转接底座内。

6.根据权利要求1所述的扫描平面激光的光程补偿装置，其特征在于，还包括第一反射镜和第二反射镜，所述第一反射镜用于将激光片光源反射至第二反射镜，所述第二反射镜用于将激光片光源反射至折返补偿机构。

7.根据权利要求6所述的扫描平面激光的光程补偿装置，其特征在于，还包括激光器及光学系统，所述激光器及光学系统位于扫描导轨平台的下方，所述扫描反射机构和折返补偿机构位于扫描导轨平台的上方，第一反射镜和第二反射镜位于扫描导轨平台的一侧，且所述第二反射镜位于第一反射镜的上方，所述扫描反射机构位于第二反射镜与折返补偿机构之间，所述扫描反射机构和折返补偿机构能够朝着或者远离第二反射镜的方向移动。

8.一种根据权利要求1-7中任意一项所述的扫描平面激光的光程补偿装置的进行光程补偿的方法，其特征在于，包括以下步骤：

所述扫描反射机构和折返补偿机构一起运动，折返补偿机构的运动速度为扫描反射机构的运动速度的一半。