CN105441885A - 一种真空镀膜冷却装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及泡沫金属生产领域,特别涉及一种真空镀膜冷却装置。该真空镀膜冷却装置,包括壳体,壳体上下分别设有法兰;所述壳体内壁上设有N组相对的阴极靶和冷却装置;所述冷却装置与循环管相连,阴极靶与设在壳体外壁的溅射电源相连;所述冷却装置与密封室连接,该密封室固定在壳体内壁上;所述溅射电源等通过PCL控制器控制。本发明为镀膜区域提供良好的温度环境,其膜芯温度在-10℃~80℃范围内可控;本发明冷却机构与膜芯充分接触,利用冷却机构里的冷却介质将膜芯上的热量带走。避免造成膜芯结构的损伤,从而达到提高泡沫金属的产品质量之目的。
Description
(一)技术领域
本发明涉及泡沫金属生产领域,特别涉及一种真空镀膜冷却装置。
(二)背景技术
泡沫金属是一种具有海绵状三维多孔结构的金属材料。连续泡沫金属(例如:泡沫镍)的规模化生产开始于21世纪初,是一种应用领域广泛的新技术材料。其中泡沫镍、泡沫铜可用于镍氢电池、燃料电池的电极材料,汽车催化剂转换器、催化燃烧、柴油车黑烟净化器的催化剂载体,可用作过滤器材料,处理流体中磁性粒子的磁流导体,用于储氢媒介、热交换媒介。
随着泡沫金属的应用领域的不断扩大,泡沫金属的生产效率和成本成为其生产企业的瓶颈问题。在泡沫金属的生产过程中涉及泡沫金属产品模芯导电化处理过程,模芯导电化处理可采用真空镀膜技术、化学镀或浸涂导电胶的方法。真空镀膜工艺具有产品纯度高、无污染,成品阻值均匀等显著优势,在泡沫金属生产中已逐步替代化学镀和浸涂导电胶工艺。
用于连续泡沫金属生产模芯导电化处理过程的真空镀膜过程要在10-1Pa高真空环境下进行。由于真空状态下热量的对流、辐射要比大气状态下差得多。真空镀膜时,镀膜区域温度达到300℃,这就会造成高分子泡绵基体材料结构的损伤,从而影响了泡沫金属的产品质量。
(三)发明内容
本发明为了弥补现有技术的不足,提供了一种真空镀膜冷却装置,可以为镀膜区域提供良好的温度环境,改善镀膜区域的冷却条件,降低膜芯的温度,进而提高泡沫金属产品的质量。
本发明是通过如下技术方案实现的:
一种真空镀膜冷却装置,其特征在于:包括壳体,壳体内设有N组相对的阴极靶和冷却装置;所述阴极靶固定在壳体内壁上,冷却装置与密封室连接,该密封室固定在壳体内壁上;所述冷却装置与循环管相连,阴极靶与设备的溅射电源相连;所述溅射电源等通过PCL控制器控制。
所述阴极靶表面为平面,冷却装置为长方体冷却板。
所述壳体内连接有密封室,密封室通过螺母固定有冷却板,该冷却板设有N条冷却管道;所述冷却板上端设有回水管,下端设有进水管。
所述冷却管道末端设有通水口,该通水口交错排列。
所述壳体内连接有密封室,密封室通过螺母固定有冷却板,该冷却板设有冷却盘管;所述冷却板上端设有回水管,下端设有进水管。
所述阴极靶表面为弧面,冷却装置为圆柱形冷却辊。
所述壳体内连接有密封室,密封室通过法兰固定连接有冷却辊;所述密封室内设有与壳体相通的进水道和出水道,进水道与设在壳体外的进水孔相连,出水道与设在壳体外的出水孔相连;所述冷却辊内部设有中空的中轴,该中轴内设有输水管;所述输水管一端通过进水道与进水口相连,输水管另一端与进水管相连;所述进水管与设在冷却辊表面内的冷却管道相连,冷却管道另一端连接有回水管;所述回水管与中轴连接,该中轴通过出水道与出水孔相连。
所述冷却管道末端设有通水口,该通水口交错排列。
所述壳体内连接有密封室,密封室通过法兰固定连接有冷却辊;所述密封室内设有与壳体相通的进水道和出水道,进水道与设在壳体外的进水孔相连,出水道与设在壳体外的出水孔相连;所述冷却辊内部设有中空的中轴,该中轴内设有输水管;所述输水管一端通过进水道与进水口相连,输水管另一端与进水管相连;所述进水管与设在冷却辊表面内的冷却盘管相连,冷却盘管另一端连接有回水管;所述回水管与中轴连接,该中轴通过出水道与出水孔相连。
镀膜设备工作时,设备抽到一定的真空度,冲入氩气,根据工艺要求开启镀膜电源,阴极靶材在工作介质的作用下,以一定的能量和速度附着到膜芯上。同时冷却介质经冷却板(辊)的进水口,经内部的焊接盘管或加工成型的冷却管道流到回水口,再通过密封室将真空镀膜产生的热量带到镀膜室外。依此反复循环实现膜芯的直接冷却。
本发明的有益效果是:
本发明为镀膜区域提供良好的温度环境,其膜芯温度在-10℃~80℃范围内可控;本发明冷却机构与膜芯充分接触,利用冷却机构里的冷却介质将膜芯上的热量带走。避免造成膜芯(高分子泡绵基体材料)结构的损伤,从而达到提高泡沫金属的产品质量之目的。
(四)附图说明
下面结合附图对本发明作进一步的说明。
图1为本发明平板式结构示意图。
图2为本发明旋转式结构示意图。
图3为本发明冷却板示意图。
图4为本发明冷却辊示意图。
图中,1牵引辊,2膜芯,3阴极靶,4冷却装置,5过渡辊,6放卷机构,7收卷机构,8壳体,9密封室,10溅射电源,11循环管,12冷却管道,13回水管,14进水管,15通水口,16进水道,17出水道,18中轴,19输水管。
(五)具体实施方式
实施例1
该实施例如图1所示,包括壳体8,壳体8上下分别设有法兰;所述壳体8内壁上设有N组相对的阴极靶3和冷却装置4;所述冷却装置4与循环管11相连,阴极靶3与设在壳体8外壁的溅射电源10相连;所述冷却装置4与密封室9连接,该密封室9固定在壳体8内壁上;所述溅射电源10通过PCL控制器控制。所述阴极靶3表面为平面,冷却装置4为长方体冷却板。所述壳体8内连接有密封室9,密封室9通过螺母固定有冷却板,该冷却板设有N条冷却管道12;所述冷却板上端设有回水管13,下端设有进水管14。所述冷却管道末端设有通水口15,该通水口15交错排列。
膜芯2由放卷机构6经过渡辊5到牵引辊1,以一定的角度贴附在冷却板上,最后经牵引辊1、过渡辊5到收卷机构7实现整个传动。
实施例2
该实施例如图1所示,包括壳体8,壳体8上下分别设有法兰;所述壳体8内壁上设有N组相对的阴极靶3和冷却装置4;所述冷却装置4与循环管11相连,阴极靶3与设在壳体8外壁的溅射电源10相连;所述冷却装置4与密封室9连接,该密封室9固定在壳体8内壁上;所述溅射电源10通过PCL控制器控制。所述阴极靶3表面为平面,冷却装置4为长方体冷却板。所述壳体8内连接有密封室9,密封室9通过螺母固定有冷却板,该冷却板设有冷却盘管。
膜芯2由放卷机构6经过渡辊5到牵引辊1,以一定的角度贴附在冷却板上,最后经牵引辊1、过渡辊5到收卷机构7实现整个传动。
实施例3
该实施例如图2所示,包括壳体8,壳体8上下分别设有法兰;所述壳体8内壁上设有N组相对的阴极靶3和冷却装置4;所述冷却装置4与循环管11相连,阴极靶3与设在壳体8外壁的溅射电源10相连;所述冷却装置4与密封室9连接,该密封室9固定在壳体8内壁上;所述溅射电源10通过PCL控制器控制。所述阴极靶表面为弧面,冷却装置4为圆柱形冷却辊。所述壳体8内连接有密封室9,密封室9通过法兰固定连接有冷却辊;所述密封室9内设有与壳体8相通的进水道16和出水道17,进水道16与设在壳体8外的进水孔相连,出水道17与设在壳体8外的出水孔相连;所述冷却辊内部设有中空的中轴18,该中轴18内设有输水管19;所述输水管19一端通过进水道16与进水口相连,输水管19另一端与进水管14相连;所述进水14管与设在冷却辊表面内的冷却管道相连,冷却管道另一端连接有回水管13;所述回水管13与中轴18连接,该中轴18通过出水道17与出水孔相连。所述冷却管道末端设有通水口,该通水口交错排列。
膜芯2由放卷机构6经过渡辊5到牵引辊1,以一定的角度贴附在冷却辊上,最后经牵引辊1、过渡辊5到收卷机构7实现整个传动。
实施例4
该实施例如图2所示,包括壳体8,壳体8上下分别设有法兰;所述壳体8内壁上设有N组相对的阴极靶3和冷却装置4;所述冷却装置4与循环管11相连,阴极靶3与设在壳体8外壁的溅射电源10相连;所述冷却装置4与密封室9连接,该密封室9固定在壳体8内壁上;所述溅射电源10通过PCL控制器控制。所述阴极靶表面为弧面,冷却装置4为圆柱形冷却辊。所述壳体8内连接有密封室9,密封室9通过法兰固定连接有冷却辊;所述密封室9内设有与壳体8相通的进水道16和出水道17,进水道16与设在壳体8外的进水孔相连,出水道17与设在壳体8外的出水孔相连;所述冷却辊内部设有中空的中轴18,该中轴18内设有输水管19;所述输水管19一端通过进水道16与进水口相连,输水管19另一端与进水管14相连;所述进水管14与设在冷却辊表面内的冷却盘管相连,冷却盘管另一端连接有回水管13;所述回水管13与中轴18连接,该中轴18通过出水道16与出水孔相连。
膜芯2由放卷机构6经过渡辊5到牵引辊1,以一定的角度贴附在冷却辊上,最后经牵引辊1、过渡辊5到收卷机构7实现整个传动。
Claims (9)
1.一种真空镀膜冷却装置,其特征在于:包括壳体,壳体内设有N组相对的阴极靶和冷却装置;所述阴极靶固定在壳体内壁上,冷却装置与密封室连接,该密封室固定在壳体内壁上;所述冷却装置与循环管相连,阴极靶与设备的溅射电源相连;所述溅射电源等通过PCL控制器控制。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜冷却装置,其特征在于:所述阴极靶表面为平面,冷却装置为长方体冷却板。
3.根据权利要求2所述的真空镀膜冷却装置,其特征在于:所述壳体内连接有密封室,密封室通过螺母固定有冷却板,该冷却板设有N条冷却管道;所述冷却板上端设有回水管,下端设有进水管。
4.根据权利要求3所述的真空镀膜冷却装置,其特征在于:所述冷却管道末端设有通水口,该通水口交错排列。
5.根据权利要求2所述的真空镀膜冷却装置,其特征在于:所述壳体内连接有密封室,密封室通过螺母固定有冷却板,该冷却板设有冷却盘管;所述冷却板上端设有回水管,下端设有进水管。
6.根据权利要求1所述的真空镀膜冷却装置,其特征在于:所述阴极靶表面为弧面,冷却装置为圆柱形冷却辊。
7.根据权利要求6所述的真空镀膜冷却装置,其特征在于:所述壳体内连接有密封室,密封室通过法兰固定连接有冷却辊;所述密封室内设有与壳体相通的进水道和出水道,进水道与设在壳体外的进水孔相连,出水道与设在壳体外的出水孔相连;所述冷却辊内部设有中空的中轴,该中轴内设有输水管;所述输水管一端通过进水道与进水口相连,输水管另一端与进水管相连;所述进水管与设在冷却辊表面内的冷却管道相连,冷却管道另一端连接有回水管;所述回水管与中轴连接,该中轴通过出水道与出水孔相连。
8.根据权利要求7所述的真空镀膜冷却装置,其特征在于:所述冷却管道末端设有通水口,该通水口交错排列。
9.根据权利要求6所述的真空镀膜冷却装置,其特征在于:所述壳体内连接有密封室,密封室通过法兰固定连接有冷却辊;所述密封室内设有与壳体相通的进水道和出水道,进水道与设在壳体外的进水孔相连,出水道与设在壳体外的出水孔相连;所述冷却辊内部设有中空的中轴,该中轴内设有输水管;所述输水管一端通过进水道与进水口相连,输水管另一端与进水管相连;所述进水管与设在冷却辊表面内的冷却盘管相连,冷却盘管另一端连接有回水管;所述回水管与中轴连接,该中轴通过出水道与出水孔相连。
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CN108130516A (zh) * | 2018-01-03 | 2018-06-08 | 梧州三和新材料科技有限公司 | 一种使用泡沫金属增强冷却的真空镀阴极靶 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3534907A1 (de) * | 1984-10-04 | 1986-04-10 | TDK Corporation, Tokio/Tokyo | Verfahren zum herstellen eines magnetaufzeichnungstraegers |
CN103726021A (zh) * | 2014-01-22 | 2014-04-16 | 温岭市通茂电子装备有限公司 | 一种镀膜机的蒸镀鼓 |
CN205329149U (zh) * | 2015-12-31 | 2016-06-22 | 菏泽天宇科技开发有限责任公司 | 一种真空镀膜冷却装置 |
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---|---|---|---|---|
DE3534907A1 (de) * | 1984-10-04 | 1986-04-10 | TDK Corporation, Tokio/Tokyo | Verfahren zum herstellen eines magnetaufzeichnungstraegers |
CN103726021A (zh) * | 2014-01-22 | 2014-04-16 | 温岭市通茂电子装备有限公司 | 一种镀膜机的蒸镀鼓 |
CN205329149U (zh) * | 2015-12-31 | 2016-06-22 | 菏泽天宇科技开发有限责任公司 | 一种真空镀膜冷却装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN108130516A (zh) * | 2018-01-03 | 2018-06-08 | 梧州三和新材料科技有限公司 | 一种使用泡沫金属增强冷却的真空镀阴极靶 |
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