CN105390362B - 用于更换压力控制阀上的o型圈的系统及方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种用于更换压力控制阀上的O型圈的系统及方法，通过采用短接装置，来短接关闭压力控制阀COM针和关闭压力控制阀互锁装置针，从而给控制装置一个工艺腔和前道真空腔均处于大气状态的假信号，使控制装置允许互锁装置打开，使压力控制阀处于可开启状态，进而实现对压力控制阀上的O型圈的更换，并且使得该更换过程简单安全有效。

Description

用于更换压力控制阀上的O型圈的系统及方法

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，具体涉及一种用于更换压力控制阀上的O型圈的系统及方法。

背景技术

等离子体增强化学气相沉积装置用于在特定工艺气体下且结合等离子体增强条件下，对硅片表面进行化学气相沉积而形成薄膜；它的特点是成膜速度快、成膜均匀度好。图1为现有的等离子体增强化学气相沉积装置各个机构之间的连接关系示意图，如图1所示，等离子体增强化学气相沉积装置的工艺腔连接有前级真空管(foreline)，前级真空管将工艺腔和真空泵相连接；压力控制阀位于前级真空管上，用于控制打开或关闭前级真空管，从而控制工艺腔内的压力；压力控制阀通过O型圈密封，O型圈需要定期更换来确保没有内漏或外漏，从而保证工艺的顺利进行和成膜质量。

然而，通常，要更换O型圈需要打开压力控制阀；而压力控制阀受互锁装置控制，互锁装置受控于控制装置，控制装置具有关闭压力控制阀COM针以及关闭压力控制阀互锁装置针，请参阅图2，现有的等离子体化学气相沉积系统的电路中，关闭压力控制阀CMO电路15和关闭压力控制阀互锁装置电路23的右端分别连接关闭压力控制阀COM针以及关闭压力控制阀互锁装置针，而左端连接有总机；如果工艺腔处于大气状态，前道真空腔处于真空状态，此时开启压力控制阀将导致对工艺腔抽真空动作(pump down)；如果工艺腔处于真空状态，前道真空腔处于大气状态，此时开启压力控制阀将导致大气回流到工艺腔中；因此，控制装置不允许在上述两种情况下开启互锁装置，互锁装置不能开启将导致压力控制阀不能开启；然而上述两种情况是其中一种情况不存在则另一种情况必然存在的，因此，想要打开压力控制阀来更换O型圈是十分困难的；只有当工艺腔和前道真空管均处于大气状态时，控制装置才允许互锁装置打开，并且此时压力控制阀才可开启；那么，如何来实现控制装置允许互锁装置开启是更换O型圈必须要解决的问题。

发明内容

为了克服以上问题，本发明旨在提供了一种用于更换压力控制阀上的O型圈的系统及方法，通过采用短接装置，来短接关闭压力控制阀的COM针和关闭压力控制阀的互锁装置针，从而给控制装置一个工艺腔和前道真空腔均处于大气状态的假信号，使控制装置允许互锁装置打开，使压力控制阀处于可开启状态。

为了达到上述目的，本发明提供了一种用于更换压力控制阀上的O型圈的系统，所述系统包括等离子体增强化学气相沉积装置、对等离子体增强化学气相沉积装置的工艺腔的抽真空装置，将所述工艺腔和所述抽真空装置相连接的前级真空管，位于所述前级真空管上的控制所述前级真空管启闭的压力控制阀，用于将所述压力控制阀与所述工艺腔锁住的互锁装置、用于控制互锁装置启闭的控制装置，所述压力控制阀具有O型圈，所述控制装置具有关闭压力控制阀COM针以及关闭压力控制阀互锁装置针，当所述工艺腔和所述前级真空管均处于大气状态时，所述控制装置才允许所述互锁装置打开，此时所述压力控制阀才允许开启，其还包括短接装置，用于短接所述关闭压力控制阀COM针和所述关闭压力控制阀互锁装置针，从而给所述控制装置一个所述工艺腔和所述前级真空管均处于大气状态的假信号，使所述控制装置允许所述互锁装置打开，使所述压力控制阀处于可开启状态，以用于更换所述压力控制阀上的O型圈。

优选地，所述短接装置包括绝缘壳体，位于所述绝缘壳体前端的多个接头，位于所述绝缘壳体后端的防漏电保护部件，多个所述接头和所述防漏电保护部件分别将所述绝缘壳体前端和后端封闭，所述接头包括用于与所述关闭压力控制阀COM针相连接的第一接头以及用于与所述关闭压力控制阀互锁装置针相连接的第二接头；所述绝缘壳体内部具有与所述第一接头和所述第二接头相连接的可更换的保险丝，所述保险丝串联于所述关闭压力控制阀COM针与所述关闭压力控制阀互锁装置针之间，用于将所述关闭压力控制阀COM针与所述关闭压力控制阀互锁装置针短接，并且当所述关闭压力控制阀COM针与所述关闭压力控制阀互锁装置针之间的实际电压超过它们之间的额定电压时，所述保险丝熔断，用于保护所述关闭压力控制阀COM针与所述关闭压力控制阀互锁装置针之间电路安全运行。

优选地，所述额定电压为120V，所述保险丝允许的最大电流为0.5A。

优选地，所述绝缘壳体为两部分对接而成，所述两部分之间采用可拆卸方式固定。

为了实现上述目的，本发明还提供了一种用于更换压力控制阀上的O型圈的方法，其采用上述的系统进行所述O型圈的更换，包括：

步骤01：利用所述短接装置将所述关闭压力控制阀COM针和所述关闭压力控制阀互锁装置针之间短接，从而给所述控制装置一个所述工艺腔和所述前道真空腔均处于大气状态的假信号；

步骤02：所述控制装置判断认为所述工艺腔和所述前级真空管均处于大气状态，允许所述互锁装置打开；

步骤03：所述互锁装置打开后，所述压力控制阀处于可开启状态；

步骤04：打开所述压力控制阀，更换所述压力控制阀上的O型圈。

优选地，所述短接装置包括绝缘壳体，位于所述绝缘壳体前端的多个接头，位于所述绝缘壳体后端的防漏电保护部件，多个所述接头和所述防漏电保护部件分别将所述绝缘壳体前端和后端封闭，所述接头包括用于与所述关闭压力控制阀COM针相连接的第一接头以及用于与所述关闭压力控制阀互锁装置针相连接的第二接头；所述绝缘壳体内部具有与所述第一接头和所述第二接头相连接的可更换的保险丝，所述保险丝串联于所述关闭压力控制阀的COM针与所述关闭压力控制阀的互锁装置针之间；

所述步骤01包括：将所述短接装置的第一接头与所述关闭压力控制阀COM针相连接，将所述短接装置的第二接头与所述关于压力控制阀互锁装置针相连接，从而实现所述关闭压力控制阀COM针与所述关闭压力控制阀互锁装置针之间的短接。

优选地，所述步骤01之后，且在所述步骤02之前还包括一个电路保护判断过程：当所述关闭压力控制阀COM针与所述关闭压力控制阀互锁装置针之间的实际电压超过它们之间的额定电压时，所述保险丝熔断，此时，停止进行所述步骤02；然后，当所述关闭压力控制阀COM针与所述关闭压力控制阀互锁装置针之间的电路检修好以后，将所述保险丝更换为相同型号的新的保险丝，并且执行所述步骤01，直至新的所述保险丝不熔断，然后，开始进行所述步骤02。

优选地，所述额定电压为120V，所述保险丝允许的最大电流为0.5A。

优选地，所述绝缘壳体为两部分对接而成，所述两部分之间采用可拆卸方式固定。

本发明的用于更换压力控制阀上的O型圈的系统及方法，通过采用短接装置，来短接关闭压力控制阀COM针和关闭压力控制阀互锁装置针，从而给控制装置一个工艺腔和前道真空腔均处于大气状态的假信号，使控制装置允许互锁装置打开，使压力控制阀处于可开启状态，进而实现对压力控制阀上的O型圈的更换，并且使得该更换过程简单安全有效。

附图说明

图1为现有的等离子体增强化学气相沉积装置各个机构之间的连接关系示意图

图2为现有的控制装置的电路连接示意图

图3为本发明的一个较佳实施例的用于更换压力控制阀上的O型圈的系统的结构关系示意图

图4为本发明的一个较佳实施例的短接装置的结构示意图

图5为本发明的一个较佳实施例的用于更换压力控制阀上的O型圈的方法的流程示意图

具体实施方式

为使本发明的内容更加清楚易懂，以下结合说明书附图，对本发明的内容作进一步说明。当然本发明并不局限于该具体实施例，本领域内的技术人员所熟知的一般替换也涵盖在本发明的保护范围内。

本发明的用于更换压力控制阀上的O型圈的系统，由于控制装置控制互锁装置的启闭，如果互锁装置不开启，则压力控制装置不能开启，所以，需要使得控制装置允许互锁装置开启才能打开压力控制装置；而且只有当等离子体增强化学气相沉积装置的工艺腔和前级真空管均处于大气状态时，控制装置才允许互锁装置打开，此时压力控制阀才允许开启；控制装置上具有关闭压力控制阀COM针以及关闭压力控制阀互锁装置针，关闭压力控制阀COM针连接于压力控制阀的电路上，关闭压力控制阀互锁装置针连接于互锁装置的电路上；当本发明的短接装置将关闭压力控制阀COM针和关闭压力控制阀互锁装置针短接时，关闭压力控制阀COM针和关闭压力控制阀互锁装置针通过短接装置串联起来，造成压力控制阀电路和互锁装置电路短路，使得控制装置判断认为前级真空管和工艺腔均为大气压力，从而允许互锁装置开启，进行可以开启压力控制阀，以用于更换所述压力控制阀上的O型圈。

请继续参阅图2，现有的等离子体化学气相沉积系统的电路中，关闭压力控制阀CMO电路15和关闭压力控制阀互锁装置电路23的右端分别连接关闭压力控制阀COM针以及关闭压力控制阀互锁装置针，而左端连接有总机，当把控制装置上的关闭压力控制阀COM针以及关闭压力控制阀互锁装置针所连接的电路15和电路23拔除后，通过短接装置把控制装置上的关闭压力控制阀COM针以及关闭压力控制阀互锁装置针短接，使得控制装置上的关闭压力控制阀COM针以及关闭压力控制阀互锁装置针之间形成回路，此时，控制装置检测到关闭压力控制阀COM针以及关闭压力控制阀互锁装置针之间形成回路的状态，会发送信号给互锁装置，例如，关闭压力控制阀COM针以及关闭压力控制阀互锁装置针分别连接电路15和电路23时，关闭压力控制阀COM针以及关闭压力控制阀互锁装置针之间没有形成回路时，互锁装置的命令代码为0，互锁装置呈关闭状态，当关闭压力控制阀COM针以及关闭压力控制阀互锁装置针之间没有形成回路时，控制装置发送信号使互锁装置的命令代码变为1，此时互锁装置呈打开状态，当互锁装置打开时，压力控制阀就可以打开了。

以下结合附图3-5和具体实施例对本发明的用于更换压力控制阀上的O型圈的系统及方法作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式、使用非精准的比例，且仅用以方便、清晰地达到辅助说明本实施例的目的。

请参阅图3，本实施例中，用于更换压力控制阀上的O型圈的系统，包括等离子体增强化学气相沉积装置、对等离子体增强化学气相沉积装置的工艺腔的抽真空装置，将工艺腔和抽真空装置相连接的前级真空管，位于前级真空管上的控制前级真空管启闭的压力控制阀，用于将压力控制阀与所述工艺腔锁住的互锁装置、用于控制互锁装置启闭的控制装置，压力控制阀具有O型圈，控制装置具有关闭压力控制阀COM针以及关闭压力控制阀互锁装置针，当工艺腔和前级真空管均处于大气状态时，控制装置才允许互锁装置打开，此时压力控制阀才允许开启，还包括短接装置，用于短接关闭压力控制阀COM针和关闭压力控制阀互锁装置针，从而给控制装置一个所述工艺腔和前级真空管均处于大气状态的假信号，使控制装置允许互锁装置打开，使压力控制阀处于可开启状态，以用于更换压力控制阀上的O型圈。

请参阅图4，本实施例的短接装置包括绝缘壳体00，较佳的，绝缘壳体为两部分对接而成，两部分之间可以是以水平面为对接面，也可以图4中所示虚线为对接面，两部分之间采用可拆卸方式固定，例如，采用螺栓固定连接；位于绝缘壳体00前端的多个接头01，这里，接头为针型；位于绝缘壳体00后端的防漏电保护部件02，防漏电保护部件02机械固定且嵌于绝缘壳体00内腔，例如采用螺栓固定于绝缘壳体00内部；多个接头01和防漏电保护部件02分别将绝缘壳体前端和后端封闭，接头01包括用于与关闭压力控制阀COM针相连接的第一接头011以及用于与关闭压力控制阀互锁装置针相连接的第二接头012；绝缘壳体00内部具有与第一接头011和第二接头012相连接的可更换的保险丝03，保险丝03串联于关闭压力控制阀COM针与关闭压力控制阀互锁装置针之间，用于将关闭压力控制阀COM针与关闭压力控制阀互锁装置针短接，并且当关闭压力控制阀COM针与关闭压力控制阀互锁装置针之间的实际电压超过它们之间的额定电压时，保险丝熔断，用于保护关闭压力控制阀COM针与关闭压力控制阀互锁装置针之间电路安全运行。这里，关闭压力控制阀COM针与关闭压力控制阀互锁装置针之间的额定电压为120V，保险丝允许的最大电流为0.5A。

请参阅图5，用于更换压力控制阀上的O型圈的方法，采用上述系统进行O型圈的更换，包括：

步骤01：利用短接装置将关闭压力控制阀COM针和关闭压力控制阀互锁装置针之间短接，从而给控制装置一个工艺腔和前道真空腔均处于大气状态的假信号；

具体的，这里采用上述实施例中的短接装置，短接装置的具体结构这里不再描述；本步骤01具体包括：将短接装置的第一接头与关闭压力控制阀COM针相连接，将短接装置的第二接头与压力控制阀互锁装置针相连接，从而实现关闭压力控制阀COM针与关闭压力控制阀互锁装置针之间的短接。

步骤02：控制装置判断认为工艺腔和前级真空管均处于大气状态，允许互锁装置打开；

具体的，当关闭压力控制阀COM针与关闭压力控制阀互锁装置针之间的短接造成它们二者之间短路时，控制装置会认为前级真空管和工艺腔均为大气压力，从而允许互锁装置开启，进行可以开启压力控制阀，以用于更换所述压力控制阀上的O型圈；

本实施例中由于采用上述的短接装置中设置有保险丝，保险丝不仅使关闭压力控制阀COM针与关闭压力控制阀互锁装置针之间短接，还可以避免短接瞬间电流过大烧坏压力控制阀和互锁装置机构的问题，因此，在上述步骤01之后，且在进行下述步骤02之前，还包括一个电路保护判断过程：当关闭压力控制阀COM针与关闭压力控制阀互锁装置针之间的实际电压超过它们之间的额定电压时，保险丝熔断，此时，停止进行上述步骤02；然后，当关闭压力控制阀COM针与关闭压力控制阀互锁装置针之间的电路检修好以后，将保险丝更换为相同型号的新的保险丝，并且执行上述步骤01，新的保险丝不再熔断时，然后，开始进行步骤02；例如，关闭压力控制阀COM针与关闭压力控制阀互锁装置针之间的额定电压为120V，保险丝允许的最大电流为0.5A，超过此最大电流，则保险丝就会熔断；等待人工将保险丝更换后，再继续进行。

步骤03：互锁装置打开后，压力控制阀处于可开启状态；

步骤04：打开压力控制阀，更换压力控制阀上的O型圈。

综上所述，本发明的用于更换压力控制阀上的O型圈的系统及方法，通过采用短接装置，来短接关闭压力控制阀COM针和关闭压力控制阀互锁装置针，从而给控制装置一个工艺腔和前道真空腔均处于大气状态的假信号，使控制装置允许互锁装置打开，使压力控制阀处于可开启状态，进而实现对压力控制阀上的O型圈的更换，并且使得该更换过程简单安全有效。

虽然本发明已以较佳实施例揭示如上，然所述实施例仅为了便于说明而举例而已，并非用以限定本发明，本领域的技术人员在不脱离本发明精神和范围的前提下可作若干的更动与润饰，本发明所主张的保护范围应以权利要求书所述为准。

Claims (9)

1.一种用于更换压力控制阀上的O型圈的系统，所述系统包括等离子体增强化学气相沉积装置、对等离子体增强化学气相沉积装置的工艺腔的抽真空装置，将所述工艺腔和所述抽真空装置相连接的前级真空管，位于所述前级真空管上的控制所述前级真空管启闭的压力控制阀，用于将所述压力控制阀与所述工艺腔锁住的互锁装置、用于控制互锁装置启闭的控制装置，所述压力控制阀具有O型圈，所述控制装置具有关闭压力控制阀COM针以及关闭压力控制阀互锁装置针，当所述工艺腔和所述前级真空管均处于大气状态时，所述控制装置才允许所述互锁装置打开，此时所述压力控制阀才允许开启，其特征在于，还包括短接装置，用于短接所述关闭压力控制阀COM针和所述关闭压力控制阀互锁装置针，从而给所述控制装置一个所述工艺腔和所述前级真空管均处于大气状态的假信号，使所述控制装置允许所述互锁装置打开，使所述压力控制阀处于可开启状态，以用于更换所述压力控制阀上的O型圈。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述短接装置包括绝缘壳体，位于所述绝缘壳体前端的多个接头，位于所述绝缘壳体后端的防漏电保护部件，多个所述接头和所述防漏电保护部件分别将所述绝缘壳体前端和后端封闭，所述接头包括用于与所述关闭压力控制阀COM针相连接的第一接头以及用于与所述关闭压力控制阀互锁装置针相连接的第二接头；所述绝缘壳体内部具有与所述第一接头和所述第二接头相连接的可更换的保险丝，所述保险丝串联于所述关闭压力控制阀COM针与所述关闭压力控制阀互锁装置针之间，用于将所述关闭压力控制阀COM针与所述关闭压力控制阀互锁装置针短接，并且当所述关闭压力控制阀COM针与所述关闭压力控制阀互锁装置针之间的实际电压超过它们之间的额定电压时，所述保险丝熔断，用于保护所述关闭压力控制阀COM针与所述关闭压力控制阀互锁装置针之间电路安全运行。

3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述额定电压为120V，所述保险丝允许的最大电流为0.5A。

4.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述绝缘壳体为两部分对接而成，所述两部分之间采用可拆卸方式固定。

5.一种用于更换压力控制阀上的O型圈的方法，其特征在于，采用权利要求1所述的系统进行所述O型圈的更换，包括：

步骤01：利用所述短接装置将所述关闭压力控制阀COM针和所述关闭压力控制阀互锁装置针之间短接，从而给所述控制装置一个所述工艺腔和所述前级真空管均处于大气状态的假信号；

步骤02：所述控制装置判断认为所述工艺腔和所述前级真空管均处于大气状态，允许所述互锁装置打开；

步骤03：所述互锁装置打开后，所述压力控制阀处于可开启状态；

步骤04：打开所述压力控制阀，更换所述压力控制阀上的O型圈。

6.根据所述权利要求5所述的方法，其特征在于，所述短接装置包括绝缘壳体，位于所述绝缘壳体前端的多个接头，位于所述绝缘壳体后端的防漏电保护部件，多个所述接头和所述防漏电保护部件分别将所述绝缘壳体前端和后端封闭，所述接头包括用于与所述关闭压力控制阀COM针相连接的第一接头以及用于与所述关闭压力控制阀互锁装置针相连接的第二接头；所述绝缘壳体内部具有与所述第一接头和所述第二接头相连接的可更换的保险丝，所述保险丝串联于所述关闭压力控制阀的COM针与所述关闭压力控制阀的互锁装置针之间；

所述步骤01包括：将所述短接装置的第一接头与所述关闭压力控制阀COM针相连接，将所述短接装置的第二接头与所述关闭压力控制阀互锁装置针相连接，从而实现所述关闭压力控制阀COM针与所述关闭压力控制阀互锁装置针之间的短接。

7.根据所述权利要求6所述的方法，其特征在于，所述步骤01之后，且在所述步骤02之前还包括一个电路保护判断过程：当所述关闭压力控制阀COM针与所述关闭压力控制阀互锁装置针之间的实际电压超过它们之间的额定电压时，所述保险丝熔断，此时，停止进行所述步骤02；然后，当所述关闭压力控制阀COM针与所述关闭压力控制阀互锁装置针之间的电路检修好以后，将所述保险丝更换为相同型号的新的保险丝，并且执行所述步骤01，直至新的所述保险丝不熔断，然后，开始进行所述步骤02。

8.根据所述权利要求7所述的方法，其特征在于，所述额定电压为120V，所述保险丝允许的最大电流为0.5A。

9.根据所述权利要求6所述的方法，其特征在于，所述绝缘壳体为两部分对接而成，所述两部分之间采用可拆卸方式固定。