CN105382698A - 一种研磨磨头保护装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种研磨磨头保护装置，所述研磨磨头保护装置包括：轴套，所述轴套与磨头进给系统固定连接，且所述磨头进给系统的研磨磨头固定在所述轴套中；与所述轴套固定连接的缓冲装置；以及与所述缓冲装置固定连接的支撑结构，所述支撑结构还与磨头减速器箱固定连接；当所述磨头进给系统工作时，所述研磨磨头在所述轴套的带动下进行上下往复运动。上述方案，通过在半导体专用设备的研磨磨头上连接缓冲装置，减小了进给系统的研磨磨头在上下进给过程中的冲击力对机械部件的损伤，有效地提高了半导体专用设备的磨削质量以及半导体专用设备的稳定性，增强了半导体专用设备的可靠性。
Description
技术领域
本发明涉及半导体专用设备技术领域，特别涉及一种研磨磨头保护装置。
背景技术
在半导体专用设备制造过程中，进给系统磨削磨头的保护装置是实现磨削晶圆质量的关键技术及前提。在现代化的生产设备中，研磨磨头保护装置一般是电机低速带动磨头上下或加装一种硬性机械连接装置，甚至有的设备都没有防护装置。这些方法往往起不了很大作用，甚至造成整个进给系统的硬损伤，对机械结构伤害很大，同时影响进给系统的重复定位精度，影响磨削质量，影响设备可靠性。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种研磨磨头保护装置，用以解决进给系统磨头在上下行进过程中的冲击力对机械部件的损伤，传统保护装置不起作用，影响设备可靠性的问题。
为了解决上述技术问题，本发明实施例提供一种研磨磨头保护装置，包括：
轴套100，所述轴套100与磨头进给系统固定连接，且所述磨头进给系统的研磨磨头固定在所述轴套100中；
与所述轴套100固定连接的缓冲装置200；以及
与所述缓冲装置200固定连接的支撑结构300，所述支撑结构300还与磨头减速器箱固定连接；
当所述磨头进给系统工作时，所述研磨磨头在所述轴套100的带动下进行上下往复运动。
进一步地，所述轴套100包括：
研磨磨头固定座；其中，
所述研磨磨头固定座包括：
底座110以及设置在所述底座110的第一面上的第一凸台结构120；
所述底座110与所述第一凸台结构120上设置有第一开孔130，所述第一开孔130贯穿所述底座110与所述第一凸台结构120，所述研磨磨头的磨杆设置在所述第一开孔130中；
所述底座110的第二面上设置有固定所述研磨磨头的头部的第二开孔151；
所述研磨磨头固定座上还设置有一固定结构140，所述固定结构140与所述磨头进给系统固定连接；
其中，所述第一面与所述第二面为相对的两面。
进一步地，所述底座110的第二面上设置有第二凸台结构150，所述第二开孔151设置在所述第二凸台结构150上，且所述第一开孔130贯穿所述第二凸台结构150设置。
进一步地，所述固定结构140对称的设置在所述研磨磨头固定座上，且所述固定结构140上设置有多个螺栓孔141。
进一步地，所述缓冲装置200包括：
具有一容置腔的缸体210，所述缸体210的一端与所述支撑结构300固定连接；以及
活塞杆220，所述活塞杆220的第一端设置在所述缸体210的容置腔中，所述活塞杆220的第二端露在所述缸体210远离所述支撑结构300的一端的外部，且所述活塞杆220的第二端与所述研磨磨头固定座固定连接；
所述活塞杆220在所述轴套100的带动下，在所述缸体210的容置腔中进行上下往复运动。
进一步地，所述研磨磨头保护装置还包括：
与所述活塞杆220固定连接的杆端球面连接器230，所述杆端球面连接器230通过螺栓实现与所述研磨磨头固定座的固定连接。
进一步地，所述支撑结构300包括：
第一支架310，所述第一支架310的一端设置有第二支架320，所述第二支架320与所述磨头减速器箱固定连接，所述第一支架310的另一端连接有缓冲装置固定架，所述缓冲装置200通过所述缓冲装置固定架与所述第一支架310固定连接；
在连接完成后，所述缓冲装置200与所述第一支架310成第一预设角度。
进一步地，所述缓冲装置固定架包括：
与所述第一支架310连接的双耳环支撑件331；
以及与所述双耳环支撑件331连接的耳环座332，所述缓冲装置200固定连接在所述耳环座332上。
进一步地，所述缓冲装置固定架还包括：连接所述双耳环支撑件331和所述耳环座332的耳环挡杆333；
其中，所述双耳环支撑件331上设置有第一安装孔，所述耳环座332上设置有第二安装孔，所述耳环挡杆333穿过所述第一安装孔和所述第二安装孔，固定连接所述双耳环支撑件331和所述耳环座332。
进一步地，所述支撑结构300还包括：
连接部340，所述连接部340设置在所述第一支架310和所述缓冲装置固定架之间，固定连接所述第一支架310和所述缓冲装置固定架。
进一步地，所述研磨磨头保护装置分别包括两个缓冲装置200和两个支撑结构300，每个缓冲装置200连接一个支撑结构300，且两个缓冲装置200对称的设置在所述轴套100的两侧。
本发明的有益效果是：
上述方案，通过在半导体专用设备的研磨磨头上连接缓冲装置，减小了进给系统的研磨磨头在上下进给过程中的冲击力对机械部件的损伤，有效地提高了半导体专用设备的磨削质量以及半导体专用设备的稳定性，增强了半导体专用设备的可靠性。
附图说明
图1表示本发明实施例的设置有研磨磨头的研磨磨头保护装置的结构示意图一；
图2表示本发明实施例的研磨磨头保护装置的结构示意图二；
图3表示本发明实施例的设置有研磨磨头的研磨磨头保护装置的结构示意图三；
图4表示本发明实施例的轴套的结构示意图一；
图5表示本发明实施例的轴套的结构示意图二；
图6表示本发明实施例的轴套的结构示意图三；
图7表示研磨磨头的结构示意图一；
图8表示研磨磨头的结构示意图二；
图9表示本发明实施例的所述研磨磨头保护装置的使用状态示意图。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例对本发明进行详细描述。
本发明针对进给系统磨头在上下行进过程中的冲击力对机械部件的损伤，传统保护装置不起作用，影响设备可靠性的问题，提供一种研磨磨头保护装置。
如图1至图3所示，本发明实施例的研磨磨头保护装置，包括：
轴套100，所述轴套100与磨头进给系统固定连接，且所述磨头进给系统的研磨磨头固定在所述轴套100中；
与所述轴套100固定连接的缓冲装置200；以及
与所述缓冲装置200固定连接的支撑结构300，所述支撑结构300还与磨头减速器箱固定连接；
当所述磨头进给系统工作时，所述研磨磨头在所述轴套100的带动下进行上下往复运动。
应当说明的是，该研磨磨头保护装置主要应用在半导体专用设备上。
需要说明的是，轴套100的作用为固定研磨磨头，并使得研磨磨头可以在磨头进给系统的作用下进行工作，为了保证所述轴套100的牢靠固定，所述研磨磨头保护装置通常包括两个缓冲装置200和两个支撑结构300，每个缓冲装置200连接一个支撑结构300，且两个缓冲装置200对称的设置在所述轴套100的两侧；同时，为了保证所述研磨磨头的正常工作，所述轴套100通常采用如下方式设置：
如图4至图6所示，所述轴套100包括：
研磨磨头固定座；其中，所述研磨磨头固定座包括：
底座110以及设置在所述底座110的第一面上的第一凸台结构120；
所述底座110与所述第一凸台结构120上设置有第一开孔130，所述第一开孔130贯穿所述底座110与所述第一凸台结构120，所述研磨磨头的磨杆设置在所述第一开孔130中；
所述底座110的第二面上设置有固定所述研磨磨头的头部的第二开孔151；
所述研磨磨头固定座上还设置有一固定结构140，所述固定结构140与所述磨头进给系统固定连接；
其中，所述第一面与所述第二面为相对的两面。
可选地，所述底座110的第二面上设置有第二凸台结构150，所述第二开孔151设置在所述第二凸台结构150上，且所述第一开孔130贯穿所述第二凸台结构150设置。
需要说明的是，所述固定结构140设置在所述研磨磨头固定座的一侧，且所述固定结构140左右对称的设置在所述研磨磨头固定座上，所述固定结构140上设置有多个螺栓孔141，该螺栓孔141与磨头进给系统上的孔位配合实现所述研磨磨头固定座的固定。
如图7和图8所示，研磨磨头400包括一磨杆410，所述磨杆410的一端设置有用于磨削晶圆的头部420，在靠近所述头部420的磨杆410上设置有一配合凸台430，该配合凸台430上设置有多个固定孔431，在进行轴套100与研磨磨头400安装时，将磨杆410在轴套100的下方穿设到第一开孔130中，并将配合凸台430与轴套100的第二凸台结构150紧密贴合，然后利用螺栓分别穿过第二开孔151和固定孔431，最后实现研磨磨头400和轴套100的固定连接。
需要说明的是，为了能较好的缓冲轴套100，保护研磨磨头400，进一步地，如图2所示，所述缓冲装置200通常采用如下方式设置：
缓冲装置200包括：
具有一容置腔的缸体210，所述缸体210的一端与所述支撑结构300固定连接；以及
活塞杆220，所述活塞杆220的第一端设置在所述缸体210的容置腔中，所述活塞杆220的第二端露在所述缸体210远离所述支撑结构300的一端的外部，且所述活塞杆220的第二端与所述研磨磨头固定座固定连接；
所述活塞杆220在所述轴套100的带动下，在所述缸体210的容置腔中进行上下往复运动。
需要说明的是，本发明中，缸体210优选为刚度和强度较好的圆柱形缸体。
同时为了实现对研磨磨头保护装置整体结构的保护，所述研磨磨头保护装置还包括：
与所述活塞杆220固定连接的杆端球面连接器230，所述杆端球面连接器230通过螺栓实现与所述研磨磨头固定座的固定连接。
通常情况下，所述杆端球面连接器230包括第一圆柱体，所述第一圆柱体与活塞杆220通过螺栓固定连接，且所述第一圆柱体的轴线与所述活塞杆220的轴线平行，所述杆端球面连接器230还包括第二圆柱体，且该第二圆柱体的轴线与第一圆柱体的轴线垂直，该第二圆柱体与轴套100连接，通常第二圆柱体通过螺栓与轴套100的底座110(所述底座110上设置有与第二圆柱体配合的盲孔111)固定连接。
需要说明的是，通过设置圆柱形缸体及杆端球面连接器230的结构，增强了研磨磨头保护装置整体结构的保护作用，提高了该研磨磨头保护装置的可靠性，该结构设置不仅可以缓冲垂直方向的冲击力，还可以缓冲半导体专用设备在运输或受到外力震动时受到的不同方向的力。
进一步地，继续如图2和图3所示，所述支撑结构300包括：
第一支架310，所述第一支架310的一端设置有第二支架320，所述第二支架320与所述磨头减速器箱固定连接，所述第一支架310的另一端连接有缓冲装置固定架，所述缓冲装置200通过所述缓冲装置固定架与所述第一支架310固定连接；
在连接完成后，所述缓冲装置200与所述第一支架310成第一预设角度，通常情况下，所述第一预设角度为90度。
需要说明的是，所述第一支架310通过螺栓孔实现与所述第二支架320的固定连接。
具体地，所述缓冲装置固定架包括：
与所述第一支架310连接的双耳环支撑件331；
以及与所述双耳环支撑件331连接的耳环座332，所述缓冲装置200固定连接在所述耳环座332上，通常情况下，所述耳环座332通过螺栓与所述缓冲装置200的缸体210连接。
通常情况下，所述双耳环支撑件331和所述耳环座332通过耳环挡杆333固定连接；为了实现此种连接，所述双耳环支撑件331上设置有第一安装孔，所述耳环座332上设置有第二安装孔，所述耳环挡杆333穿过所述第一安装孔和所述第二安装孔，固定连接所述双耳环支撑件331和所述耳环座332。
需要说明的是，通过耳环挡杆333连接双耳环支撑件331和耳环座332，保证了研磨磨头角度的可调性，避免了传统保护装置的硬性连接，提高了半导体专用设备工作的稳定性。
进一步地，为了增加所述第一支架310和所述缓冲装置固定架之间的结构强度，所述支撑结构300还包括：
连接部340，所述连接部340设置在所述第一支架310和所述缓冲装置固定架之间，固定连接所述第一支架310和所述缓冲装置固定架，通常情况下，所述连接部340分别通过螺栓实现与所述第一支架310和所述缓冲装置固定架的双耳环支撑件331的固定连接。
进一步如图9所示，本发明实施例的所述研磨磨头保护装置通过自身的支撑结构300与磨头减速器箱600固定连接，且研磨磨头保护装置的轴套100固定连接在磨头进给系统500上，研磨磨头400固定在所述轴套100中，在磨头进给系统500的作用下，研磨磨头400在轴套100的带动下，进行上下往复运动，实现对晶圆的磨削。
本发明的研磨磨头保护装置结构简单，可以有效提高半导体专用设备的磨削质量，同时，提高了半导体专用设备的稳定性，增强了半导体专用设备的可靠性；该研磨磨头保护装置采用了具有圆柱形缸体的缓冲装置，该圆柱形缸体的强度和刚度都比一般普通缸体要好，在研磨磨头磨削过程中上下走动时，通过缓冲装置拉伸及压缩起到缓冲轴套，保护研磨磨头的作用，同时避免了在人员误操作时电机带动磨头超出限位，丝杠和固定螺丝断裂导致整个磨头进给系统掉落的问题；采用杆端球面连接器，增强了对半导体专用设备整体的保护，不仅可以缓冲垂直方向的冲击力，同时可以缓冲半导体专用设备在运输或受到外力震动时受到的不同方向的力，避免半导体专用设备受到机械损伤。
以上所述的是本发明的优选实施方式，应当指出对于本技术领域的普通人员来说，在不脱离本发明所述的原理前提下还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也在本发明的保护范围内。
Claims (11)
1.一种研磨磨头保护装置，其特征在于，包括：
轴套(100)，所述轴套(100)与磨头进给系统固定连接，且所述磨头进给系统的研磨磨头固定在所述轴套(100)中；
与所述轴套(100)固定连接的缓冲装置(200)；以及
与所述缓冲装置(200)固定连接的支撑结构(300)，所述支撑结构(300)还与磨头减速器箱固定连接；
当所述磨头进给系统工作时，所述研磨磨头在所述轴套(100)的带动下进行上下往复运动。
2.根据权利要求1所述的研磨磨头保护装置，其特征在于，所述轴套(100)包括：
研磨磨头固定座；其中，
所述研磨磨头固定座包括：
底座(110)以及设置在所述底座(110)的第一面上的第一凸台结构(120)；
所述底座(110)与所述第一凸台结构(120)上设置有第一开孔(130)，所述第一开孔(130)贯穿所述底座(110)与所述第一凸台结构(120)，所述研磨磨头的磨杆设置在所述第一开孔(130)中；
所述底座(110)的第二面上设置有固定所述研磨磨头的头部的第二开孔(151)；
所述研磨磨头固定座上还设置有一固定结构(140)，所述固定结构(140)与所述磨头进给系统固定连接；
其中，所述第一面与所述第二面为相对的两面。
3.根据权利要求2所述的研磨磨头保护装置，其特征在于，所述底座(110)的第二面上设置有第二凸台结构(150)，所述第二开孔(151)设置在所述第二凸台结构(150)上，且所述第一开孔(130)贯穿所述第二凸台结构(150)设置。
4.根据权利要求2所述的研磨磨头保护装置，其特征在于，所述固定结构(140)对称的设置在所述研磨磨头固定座上，且所述固定结构(140)上设置有多个螺栓孔(141)。
5.根据权利要求2所述的研磨磨头保护装置，其特征在于，所述缓冲装置(200)包括：
具有一容置腔的缸体(210)，所述缸体(210)的一端与所述支撑结构(300)固定连接；以及
活塞杆(220)，所述活塞杆(220)的第一端设置在所述缸体(210)的容置腔中，所述活塞杆(220)的第二端露在所述缸体(210)远离所述支撑结构(300)的一端的外部，且所述活塞杆(220)的第二端与所述研磨磨头固定座固定连接；
所述活塞杆(220)在所述轴套(100)的带动下，在所述缸体(210)的容置腔中进行上下往复运动。
6.根据权利要求5所述的研磨磨头保护装置，其特征在于，所述研磨磨头保护装置还包括：
与所述活塞杆(220)固定连接的杆端球面连接器(230)，所述杆端球面连接器(230)通过螺栓实现与所述研磨磨头固定座的固定连接。
7.根据权利要求1所述的研磨磨头保护装置，其特征在于，所述支撑结构(300)包括：
第一支架(310)，所述第一支架(310)的一端设置有第二支架(320)，所述第二支架(320)与所述磨头减速器箱固定连接，所述第一支架(310)的另一端连接有缓冲装置固定架，所述缓冲装置(200)通过所述缓冲装置固定架与所述第一支架(310)固定连接；
在连接完成后，所述缓冲装置(200)与所述第一支架(310)成第一预设角度。
8.根据权利要求7所述的研磨磨头保护装置，其特征在于，所述缓冲装置固定架包括：
与所述第一支架(310)连接的双耳环支撑件(331)；
以及与所述双耳环支撑件(331)连接的耳环座(332)，所述缓冲装置(200)固定连接在所述耳环座(332)上。
9.根据权利要求8所述的研磨磨头保护装置，其特征在于，所述缓冲装置固定架还包括：连接所述双耳环支撑件(331)和所述耳环座(332)的耳环挡杆(333)；
其中，所述双耳环支撑件(331)上设置有第一安装孔，所述耳环座(332)上设置有第二安装孔，所述耳环挡杆(333)穿过所述第一安装孔和所述第二安装孔，固定连接所述双耳环支撑件(331)和所述耳环座(332)。
10.根据权利要求7所述的研磨磨头保护装置，其特征在于，所述支撑结构(300)还包括：
连接部(340)，所述连接部(340)设置在所述第一支架(310)和所述缓冲装置固定架之间，固定连接所述第一支架(310)和所述缓冲装置固定架。
11.根据权利要求1所述的研磨磨头保护装置，其特征在于，所述研磨磨头保护装置分别包括两个缓冲装置(200)和两个支撑结构(300)，每个缓冲装置(200)连接一个支撑结构(300)，且两个缓冲装置(200)对称的设置在所述轴套(100)的两侧。
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