CN105382258A - 包括干燥设备的用于生产工件的装置 - Google Patents

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Abstract

一种包括干燥设备的用于生产三维工件的装置(10)包括容纳载架(16)和用于将原材料粉末涂覆于载架(16)上的粉末施加设备(14)的处理室(12)。该装置(10)还装备有照射设备(18)，用于将电磁或粒子辐射选择性地照射到涂覆于载架(16)上的原材料粉末上，以便通过加层构造方法来生产由所述原材料粉末制成的工件。气体回路(34)包括适于将气体供应到处理室(12)并将加载有颗粒杂质的气体从处理室(12)排出的循环管线(36)，原材料粉末回路(42)包括适于将原材料粉末供应到处理室(12)并将多余原材料粉末从处理室(12)排出的循环管线(44)。包含干燥剂的干燥设备(58,60)布置在气体回路(34)和原材料粉末回路(42)中的至少一个中。

Description

包括干燥设备的用于生产工件的装置
技术领域
本发明涉及用于通过用电磁或粒子辐射照射原材料粉末层来生产三维工件的装置。此外，本发明涉及操作用于通过用电磁或粒子辐射照射原材料粉末层来生产三维工件的这种装置的方法。
背景技术
粉末床熔化为下述加层工艺，粉末状特别是金属和/或陶瓷的原材料可通过该加层工艺被加工成复杂形状的三维工件。为此，原材料粉末层被涂覆于载架上并根据待生产的工件的期望几何形状以选区方式经受激光辐射。穿透至粉末层中的激光辐射引起原材料粉末颗粒的加热以及由此引起其熔化或烧结。另外的原材料粉末层随后被相继涂覆于载架上已经经受激光处理的层，直到工件具备期望形状和尺寸。用于通过粉末床熔化工艺由粉末状原材料生产模制体的装置例如在EP1793979B1中被描述。粉末床熔化工艺可用于基于CAD数据生产原型、工具、替代部件、高价值部件或医学假体(诸如，牙齿或整形假体)。
现有技术的装置包括处理室，该处理室容纳用于待制造的成形体的多个载架。粉末层制备系统包括粉末存储保持器，该粉末存储保持器可横向于载架往复移动，以便将待用激光束照射的原材料粉末涂覆到载架上。该处理室提供有被连接到保护气体回路的保护气体入口和保护气体出口。经由保护气体入口，例如氩气的保护气体被供应到处理室，以便在处理室内建立保护气体气氛。经由保护气体出口，在流动通过处理室时，被加载有诸如残余原材料粉末以及焊接烟雾颗粒的颗粒杂质的保护气体从处理室收回。
在保护气体回路内，布置有过滤设备，用于在保护气体经由保护气体入口再循环到处理室之前将颗粒杂质从流动通过保护气体回路的保护气体过滤。当过滤设备中提供的过滤器介质被加载有从流动通过保护气体回路的保护气流分离的颗粒时，装置的操作必须停止，直到过滤器介质被替换。在过滤器介质的替换期间，周围空气以及周围空气中包含的湿气进入保护气体回路。
发明内容
本发明的目的在于提供一种用于通过用电磁或粒子辐射照射原材料粉末层来生产三维工件的装置，其可以以可靠方式操作并允许生产高质量的工件。而且，本发明的目的在于提供操作这种类型的装置的方法。
这些目标通过如下各方面所限定的装置以及如下各方面所限定的方法来实现。
一种用于生产三维工件的装置包括：容纳载架和用于将原材料粉末涂覆于载架上的粉末施加设备的处理室。原则上，载架可为刚性固定载架。然而，优选地，载架被设计为能沿竖向方向移位，使得随着工件由原材料粉末成层建造而具有增加的构造高度，载架可沿竖向方向向下移动。原材料粉末优选为金属粉末，特别是金属合金粉末，但是也可以是陶瓷粉末或者包含不同材料的粉末。粉末可以具有任何合适的粒度或者粒度分布。然而，优选的是处理粒度＜100μm的粉末。
该装置进一步包括照射设备，用于将电磁或粒子辐射选择性地照射到涂覆于载架上的原材料粉末上，以便通过加层构造方法(additivelayerconstructionmethod)来生产由所述原材料粉末制成的工件。因此，涂覆于载架上的原材料粉末可以根据待生产的工件的期望几何形状以选区方式经受电磁或粒子辐射。照射设备优选适于将辐射照射到原材料粉末上，这引起原材料粉末颗粒的选区熔化。照射设备可包括至少一个辐射源(特别是激光源)以及引导和/或处理由该辐射源发出的辐射束的至少一个光学单元。光学单元可包括诸如物镜(特别是f-theta镜头)和扫描器单元之类的光学元件，扫描器单元优选包括衍射光学元件和偏转镜。
用于生产三维工件的装置进一步包括气体回路，气体回路包括适于将气体供应到处理室并将加载有颗粒杂质的气体从处理室排出的循环管线。例如，循环管线的第一端可连接到处理室的气体入口，气体(例如，惰性气体)经由该气体入口可被供应到处理室。循环管线的第二端可连接到处理室的气体出口。在涂覆到载架上的原材料粉末用电磁或粒子辐射选择性地照射时，包含颗粒杂质(例如，原材料粉末颗粒或焊接烟雾颗粒)的气体于是可经由气体出口从处理室排出。颗粒杂质从处理室去除，以避免辐射能量被过多吸收和/或遮蔽由照射设备的辐射源发出的辐射束。
优选地，处理室可针对环境大气被密封，即，针对围绕处理室的环境被密封，以便能够维持可控气氛，特别是处理室内的惰性气氛。因此，例如，可以在处理室内建立氩气气氛或任何其它合适的惰性气氛。通过控制处理室内的气氛，可防止在用电磁或粒子辐射照射原材料粉末时不期望的化学反应(特别是氧化反应)的发生。
可借助合适的传送设备(例如，泵)将气流传送通过气体回路的循环管线和处理室。此外，过滤器系统可布置在气体回路的循环管线中。这使得在气体再循环到处理室之前，气流中存在的颗粒杂质在离开处理室时从气流中去除。用于将气体传送通过气体回路的循环管线的传送设备优选在循环管线中布置在过滤器系统下游，由此确保传送设备没有暴露于过滤器系统上游的气流中包含的颗粒杂质。
用于生产三维工件的装置进一步包括原材料粉末回路，原材料粉末回路包括适于将原材料粉末供应到处理室并将多余原材料粉末从处理室排出的循环管线。例如，循环管线的第一端可连接到粉末施加设备的原材料粉末入口，原材料粉末可经由该原材料粉末入口供应到粉末施加设备并因此供应到处理室。循环管线的第二端可连接到处理室的原材料粉末出口。例如，处理室的原材料粉末出口可提供在抽出软管中，该抽出软管延伸至处理室的内部并可根据需要在载架上方引导以从处理室收回多余的原材料粉末。
原材料粉末可借助合适的传送设备(例如，鼓风机)传送通过循环管线。此外，可包括筛和/或过滤器装置的原材料粉末处理系统可布置在循环管线中。设置在原材料粉末回路的循环管线中的原材料粉末处理系统用于在原材料粉末被再循环到处理室并再用于建造工件之前将粗颗粒从原材料粉末中去除，例如，当原材料粉末颗粒在处理室内被用电磁或粒子辐射照射而熔化时可形成粗颗粒。用于将原材料粉末传送通过原材料粉末回路的循环管线的传送设备优选在循环管线中布置在原材料粉末处理系统下游，因此确保传送设备没有暴露于在原材料粉末处理系统上游原材料粉末中包含的粗颗粒。
最后，在用于生产三维工件的装置中，包含干燥剂的干燥设备布置在气体回路和原材料粉末回路中的至少一个中。通过在气体回路和原材料粉末回路中的至少一个中提供干燥设备，当原材料粉末被供应到原材料粉末回路时原材料粉末中存在的残余湿气可以以有效的方式去除。另外，当设置在气体回路的循环管线中的过滤器系统中提供的过滤器介质被替换时，湿气不可避免地进入装置，干燥设备在去除该湿气方面是有效的。
在该装置中，可避免或至少显著降低由湿气诱发形成的原材料粉末聚集。结果，在将原材料粉末传送通过原材料粉末回路时及在将原材料粉末涂覆到载架时原材料粉末的加工性能可增加。另外，当由湿气诱发的原材料粉末聚集存在于原材料粉末中时在测量与装置的操作控制相关的处理参数时可能发生的测量误差可达到最小。因此，通过将干燥设备提供在用于生产三维工件的装置的气体回路和原材料粉末回路中的至少一个中，装置的操作可靠性可增强。
而且，因为通过提供干燥设备而实现装置内湿气降低，导致待借助装置生产的三维工件中由于氢诱发的多孔性降低，因而装置能够生产高质量的工件，特别是具有增强的机械性能的工件。此外，由于氢在原材料粉末的熔融物中的高溶解性，对于氢具有高亲和力并因而易于形成氢诱发的多孔性的原材料粉末(诸如铝)可借助装置被加工为高质量工件。
在用于生产三维工件的装置中采用的干燥设备可包括填充有干燥剂的湿气渗透容器。例如，湿气渗透容器可以由刚性、固体材料制成，例如，塑料、陶瓷或金属材料，其提供有开口以便允许湿气进入容器并吸收到干燥剂。然而，作为替代方式，还可想到使干燥设备提供有由纤维、塑料或金属网制成的湿气渗透容器。
在优选实施例中，干燥设备中容纳的干燥剂为硅胶。硅胶为高效干燥剂且同时易于获得并且便宜。当然，还能想到在装置的干燥设备中使用另外合适的干燥剂，只要能避免气体回路和/或原材料粉末回路中存在的干燥剂和材料(例如，循环通过气体回路的气体和/或循环通过原材料粉末回路的原材料粉末)之间不期望的物理反应和/或化学反应，并且只要干燥剂能够经受气体回路和/或原材料粉末回路中存在的温度和另外的环境条件。
在用于生产三维工件的装置中，第一干燥设备可布置在气体回路中且在循环管线和处理室中的至少一个中。通常，处理室提供用于安装至少一个第一干燥设备的足够空间，至少一个第一干燥设备用于将湿气从处理室中存在的气体气氛中去除。例如，第一干燥设备可布置在处理室中的限定气体的流动路径的区域中，该气体经由处理室的气体入口供应到处理室并经由处理室的气体出口从处理室回收。直接布置在处理室中的第一干燥设备在将湿气从处理室内的气体气氛去除时特别有效，特别在处理室不仅经由气体回路的循环管线被供应有气体，而且还独立于气体回路被供应有例如从外部气体源供应到处理室的其他气体的情况下。然而，被布置在处理室中的第一干燥设备当然并非专门吸收处理室内的气体气氛中存在的湿气，而且可从处理室内处理的原材料粉末中去除湿气。
布置在气体回路的循环管线中的第一干燥设备免受处理室内处理条件的直接影响，特别是大量原材料粉末、高温、在选择性地照射原材料粉末时产生的焊接烟雾以及由照射设备发出的辐射的直接影响，并且在气体再循环到处理室之前从离开处理室的气体中去除湿气方面特别有效。当然，如果期望的话，装置可提供有可布置在气体回路和/或处理室的循环管线中的多个第一干燥设备。
如上已经指示的，过滤器可布置在气体回路的循环管线中，以将颗粒杂质从离开处理室的气流中去除。布置在气体回路的循环管线中的第一干燥设备可布置在上述过滤器中。例如，第一干燥设备可以自由悬挂的方式设置在布置于气体回路的循环管线中的过滤器的圆柱形部分中。在该过滤器内，对于第一干燥设备存在足够的安装空间。此外，布置在设置于气体回路的循环管线中的过滤器中第一干燥设备在去除湿气方面特别有效，在替换过滤器的过滤器介质时湿气被引入到气体回路。
第二干燥设备可布置在原材料粉末回路中且在循环管线和处理室中的至少一个中。与第一干燥设备的情况类似，处理室也对第二干燥设备提供足够的安装空间。然而，布置在处理室中并用于将湿气从处理室中存在的原材料粉末中去除的第二干燥设备优选被布置靠近通常布置在处理室的下部区域用于接收原材料粉末的载架，即靠近待干燥的原材料粉末。虽然布置在处理室中的第二干燥设备在将湿气从存在于处理室中的原材料粉末去除方面特别有效，然而，第二干燥设备对于干燥处理室内的气体气氛同样有效。
布置在原材料粉末回路的循环管线中的第二干燥设备免受处理室内处理条件的直接影响，特别是大量原材料粉末、高温、在选择性地照射原材料粉末时产生的焊接烟雾以及可能由照射设备发出的辐射的直接影响，并且在原材料粉末再循环到处理室之前从处理室回收的多余原材料粉末中去除湿气方面特别有效。第二干燥设备可设置在用于将原材料粉末供应到处理室的原材料粉末入口的区域中和/或用于将原材料粉末从处理室排出的原材料粉末出口的区域中。然而，还可想到，将第二干燥设备设置在原材料粉末处理系统中，原材料粉末处理系统设置在原材料粉末回路的循环管线中，用于在原材料粉末被再循环到处理室之前将粗颗粒从原材料粉末中去除。
在操作用于生产三维工件的装置的方法中，将原材料粉末涂覆到容纳在处理室内的载架上。将电磁或粒子辐射选择性地照射到涂覆于载架上的原材料粉末上，以便通过加层构造方法来生产由所述原材料粉末制成的工件。经由气体回路的循环管线将气体供应到处理室。经由气体回路的循环管线将加载有颗粒杂质的气体从处理室排出。经由原材料粉末回路的循环管线将原材料粉末供应到处理室。经由原材料粉末回路的循环管线将多余原材料粉末从处理室排出。在气体回路中循环的气体和在原材料粉末回路中循环的原材料粉末中的至少一种借助包含干燥剂的干燥设备干燥。
干燥设备可包括填充有所述干燥剂的湿气渗透容器。
干燥剂可为硅胶。
在气体回路中循环的气体可借助第一干燥设备干燥，该第一干燥设备布置在气体回路中且在循环管线和处理室中的至少一个中。
在气体回路中循环的气体可借助第一干燥设备干燥，该第一干燥设备布置在设置于气体回路的循环管线中的过滤器中。
在原材料粉末回路中循环的原材料粉末可借助第二干燥设备干燥，该第二干燥设备布置在原材料粉末回路中且在第二循环管线和处理室中的至少一个中。
在操作用于生产三维工件的装置的方法中，原材料粉末可在从原材料粉末源供应到原材料粉末回路之前被干燥。例如，粉末可通过加热或冷冻干燥被干燥。然而，还可想到，原材料粉末在被供应到装置的原材料粉末回路之前借助干燥剂干燥。通过确保从外部源供应到装置的原材料粉末被干燥，引入到装置中的湿气可达到最小。
类似地，气体可在从气体源供应到气体回路之前被干燥。例如，在气体被供应到装置的气体回路之前，可通过将气体引导通过干燥剂或在干燥剂上方引导而干燥气体。再次，通过确保从外部源供应到装置的气体被干燥，引入到装置中的湿气可达到最小。
当处理室、气体回路和/或原材料粉末回路在装置启动或操作期间用干燥气体冲洗一段时间，这足以置换来自处理室、气体回路和/或原材料粉末回路的包含大量湿气的残余气体，可进一步降低用于生产三维工件的装置内的湿气。冲洗处理室、气体回路和/或原材料粉末回路的过程可在控制单元的控制下执行。例如，所述处理单元适于控制用于将气体和/或原材料粉末传送到处理室、气体回路和/或原材料粉末回路和/或各个阀的传送设备。
在操作用于生产三维工件的装置的方法的优选实施例中，过滤器介质在被安装在布置于气体回路的循环管线中的过滤器之前被干燥。在替换布置于气体回路的循环管线中的过滤器的过滤器介质时被引入气体回路的湿气的量因此可显著降低。如果布置在原材料粉末回路的循环管线中的原材料粉末处理系统也包括具有可替换过滤器介质的过滤器，该过滤器介质在被安装在原材料粉末处理系统的过滤器中之前可被干燥，以便使引入到原材料粉末回路中的湿气达到最小。
过滤器介质可在80到100摄氏度之间的温度下干燥5到10个小时。通过在安装在布置于气体回路的循环管线中之前将过滤器介质在烤炉中通宵干燥，气体回路内的相对湿度可降低到3％rF以下，甚至可达到大约2％rF的值。
附图说明
在下面参照示意性附图更详细地解释本发明的优选实施例，其中：
图1示出用于生产三维工件的装置。
具体实施方式
图1示出用于通过加层构造方法制造部件的装置10。装置10包括处理室12。设置在处理室12中的粉末施加设备14用于将原材料粉末涂覆到载架16上。处理室12可针对环境大气(即，针对围绕处理室12的环境)被密封。载架16被设计为能沿竖向方向移位，使得随着工件由载架16上的原材料粉末成层建造而具有增加的构造高度，载架16可沿竖向方向向下移动。
装置10进一步包括照射设备18，用于将激光辐射选择性地照射到涂覆于载架16上的原材料粉末上。通过照射设备18，涂覆于载架16上的原材料粉末可以根据待生产的工件的期望几何形状以选区方式经受激光辐射。照射设备18具有可密封壳体20。由可例如包括发射大约1070至1080nm波长的激光的二极管泵浦掺镱光纤激光器的辐射源24(特别是激光源)提供的辐射束22(特别是激光束)经由开口26被引导到壳体20中。
照射设备18进一步包括用于引导和处理激光束22的光学单元28。光学单元28可包括用于扩展辐射束22的光束扩展器、扫描器和物镜。替代地，光学单元28可包括包含聚焦透镜和扫描器单元的光束扩展器。通过扫描器单元，辐射束22的焦点在光路的方向上以及在垂直于光路的平面中的位置可以改变和调整。扫描器单元可设计为检流计扫描器的形式，物镜可为f-theta物镜。
在装置10的操作期间，通过用辐射束22选择性地照射涂覆到载架16上的原材料粉末，在载架16上生成待生产的部件的第一层。辐射束22根据待生产的部件的CAD数据被引导到在涂覆到载架16上的原材料粉末层上方。在待生产的部件的第一层完成之后，载架16沿竖向方向降低，借助粉末施加设备14继续施加粉末。之后，后续的粉末层借助辐射设备18照射。因此，一层接一层地，部件被建造在载架16上。
处理室12被提供有气体入口30和气体出口32。经由气体入口30，气体，例如由惰性气体源33提供的惰性气体，被供应到处理室12。在处理室12内，气流带走诸如原材料粉末颗粒和例如焊接烟雾和烟灰颗粒的燃烧产物的颗粒杂质。因此，在处理室的气体出口32，包含颗粒杂质的气流从处理室12排出。离开处理室12的气体/颗粒混合物被供应到循环管线36，循环管线36将处理室12的气体出口32连接到处理室12的气体入口30。经由循环管线36，经由气体出口32从处理室12排放的气体可再循环到处理室12。
因此，气体回路34由处理室12(即，处理室12的限定通过处理室12的气体的流动路径的区域)和循环管线36限定。被设计为泵形式且布置在循环管线36中的传送设备38用于将经由气体出口32离开处理室12的气体/颗粒混合物传送通过循环管线36。为了避免辐射能量被过多吸收和/或遮蔽由照射设备18的辐射源24发出的辐射束22，经由气体出口32离开处理室12的气流中存在的颗粒杂质必须在气流经由气体入口30再循环到处理室12之前借助过滤器系统40从气流移除，过滤器系统40在循环管线36中布置在传送设备38上游。
装置10进一步包括由处理室12和循环管线44限定的原材料粉末回路42。循环管线44的第一端连接到粉末施加设备14的原材料粉末入口46，以将原材料粉末入口46提供的原材料粉末供应到粉末施加设备14并因此供应到处理室12。循环管线44的第二端连接到处理室的原材料粉末出口50。在图1中所示的装置10的实施例中，处理室12的原材料粉末出口50可提供在柔性抽出软管52中，该柔性抽出软管52延伸至处理室12的内部并可根据需要在载架16上方引导以从处理室12收回多余原材料粉末。
原材料粉末可借助被设计为鼓风机形式的传送设备54被传送通过原材料粉末回路42的循环管线44。此外，包括筛装置的原材料粉末处理系统56布置在循环管线44中，以便在原材料粉末被再循环到处理室12并再用于建造工件之前将处理室12排放的原材料粉末的粗颗粒去除。用于将原材料粉末传送通过原材料粉末回路42的循环管线44的传送设备54在循环管线44中布置在原材料粉末处理系统56下游。
在用于生产三维工件的装置10中，第一干燥设备58和第二干燥设备60分别布置在气体回路34和原材料粉末回路42中。具体而言，第一干燥设备58布置在设置于气体回路34的循环管线36中的过滤器40中。第二干燥设备60在原材料粉末出口50的区域中布置在原材料粉末回路42的循环管线52中。第一干燥设备58在从流过气体回路34的气流中且特别从安装在过滤器40的过滤器介质中去除湿气方面特别有效，而第二干燥设备60主要用于在原材料粉末被再循环到处理室12之前将湿气从处理室12排放的原材料粉末中去除。
另外，装置10包括第三干燥设备62，该第三干燥设备62布置在将原材料粉末源48连接到原材料粉末回路42的供应管线64中并用于在由原材料粉末源48供应的原材料粉末被引入到原材料粉末回路42之前将其干燥。替代地或另外地，原材料粉末可在被供应到原材料粉末回路42之前通过加热或冷冻干燥而被干燥。另外，第四干燥设备66布置在将气体源33连接到气体回路34的供应管线68中，用于在由气体源33供应的气体被引入到气体回路34之前将其干燥。
在用于生产三维工件的装置10中采用的干燥设备58、60、62、66中的每个包括填充有干燥剂的湿气渗透容器。特别地，硅胶可用作在干燥设备58、60、62、66中的干燥剂。
通过向装置10提供干燥设备58、60、62、66，装置10中存在的湿气的量以及引入到装置10中的湿气的量可达到最小。结果，装置10的操作可靠性以及生成的工件的质量可提高。
为了进一步降低装置10内存在的湿气，处理室12、气体回路34和原材料粉末回路42在装置10启动时用来自气体源33的干燥气体冲洗一段时间，这足以置换来自处理室12、气体回路34和原材料粉末回路42的包含大量湿气的残余气体。另外，过滤器介质在被安装在布置于气体回路34的循环管线36中的过滤器40中之前被干燥。在替换过滤器40的过滤器介质时引入到气体回路34中的湿气的量因此可显著降低。具体而言，过滤器介质可在80到100摄氏度之间的温度下干燥5到10个小时。

Claims (15)

1.一种用于生产三维工件的装置(10)，所述装置(10)包括：
处理室(12)，所述处理室(12)容纳载架(16)和用于将原材料粉末涂覆于所述载架(16)上的粉末施加设备(14)；
照射设备(18)，所述照射设备(18)用于将电磁或粒子辐射选择性地照射到涂覆于所述载架(16)上的原材料粉末上，以便通过加层构造方法来生产由所述原材料粉末制成的工件；以及
气体回路(34)，所述气体回路(34)包括适于将气体供应到所述处理室(12)并将加载有颗粒杂质的气体从所述处理室(12)排出的循环管线(36)，以及
原材料粉末回路(42)，所述原材料粉末回路(42)包括适于将原材料粉末供应到所述处理室(12)并将多余原材料粉末从所述处理室(12)排出的循环管线(44)，
其特征在于：包含干燥剂的干燥设备(58,60)布置在所述气体回路(34)和所述原材料粉末回路(42)中的至少一个中。
2.根据权利要求1所述的装置，其中所述干燥设备(58,60)包括填充有所述干燥剂的湿气渗透容器。
3.根据权利要求1所述的装置，其中所述干燥剂为硅胶。
4.根据权利要求1所述的装置，其中第一干燥设备(58)布置在所述气体回路(34)中且在所述循环管线(36)和所述处理室(12)中的至少一个中。
5.根据权利要求4所述的装置，其中过滤器(40)布置在所述气体回路(34)的循环管线(36)中，并且第一干燥设备(58)布置在所述过滤器(40)中。
6.根据权利要求1所述的装置，其中第二干燥设备(60)布置在所述原材料粉末回路(42)中且在所述循环管线(44)和所述处理室(12)中的至少一个中。
7.一种操作用于生产三维工件的装置(10)的方法，包括：
将原材料粉末涂覆到容纳在处理室(12)内的载架(16)上；
将电磁或粒子辐射选择性地照射到涂覆于所述载架(16)上的原材料粉末上，以便通过加层构造方法来生产由所述原材料粉末制成的工件；
经由气体回路(34)的循环管线(36)将气体供应到所述处理室(12)，并经由所述气体回路(34)的循环管线(36)将加载有颗粒杂质的气体从所述处理室(12)排出，以及
经由原材料粉末回路(42)的循环管线(44)将原材料粉末供应到所述处理室(12)，并经由所述原材料粉末回路(42)的循环管线(44)将多余原材料粉末从所述处理室(12)排出，
其特征在于：在所述气体回路(34)中循环的气体和在所述原材料粉末回路(42)中循环的原材料粉末中的至少一种借助包含干燥剂的干燥设备(58,60)被干燥。
8.根据权利要求7所述的方法，其中所述干燥设备(58,60)包括填充有所述干燥剂的湿气渗透容器。
9.根据权利要求7所述的方法，其中所述干燥剂为硅胶。
10.根据权利要求7所述的方法，其中在所述气体回路(34)中循环的气体借助第一干燥设备(58)干燥，该第一干燥设备(58)布置在所述气体回路(34)中且在所述循环管线(36)和所述处理室(12)中的至少一个中。
11.根据权利要求10所述的方法，其中在所述气体回路(34)中循环的气体借助第一干燥设备(58)干燥，该第一干燥设备(58)布置在设置于所述气体回路(34)的循环管线(36)中的过滤器(40)中。
12.根据权利要求7所述的方法，其中在所述原材料粉末回路(42)中循环的原材料粉末借助第二干燥设备(60)干燥，该第二干燥设备(60)布置在所述原材料粉末回路(42)中且在所述循环管线(44)和所述处理室(12)中的至少一个中。
13.根据权利要求7所述的方法，其中原材料粉末在从原材料粉末源(48)供应到所述原材料粉末回路(42)之前被干燥和/或气体在从气体源(33)供应到所述气体回路(34)之前被干燥。
14.根据权利要求7所述的方法，其中过滤器介质在被安装在布置于所述气体回路(34)的循环管线(36)中的过滤器(40)中之前被干燥。
15.根据权利要求14所述的方法，其中所述过滤器介质在80到100摄氏度之间的温度下干燥5到10个小时。
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