CN105372940A - 用于光刻设备的光源切换装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开一种光源切换装置，其特征在于，包括：至少两个光源，所述光源被切换依次提供照明的光束；分束器，用于将所述光束分为实际照明光束和探测光束；光功率探测器，用于探测所述探测光束以获得正提供照明的所述光源的光功率信息；控制器，用于根据所述光功率信息控制驱动器，所述驱动器用于驱动光源切换单元；当所述光功率信息满足预定的阈值时，所述光源切换单元就切换另一个所述光源来提供照明。
Description
技术领域
本发明涉及一种集成电路装备制造领域,尤其涉及一种用于光刻设备的光源切换装置。
背景技术
随着集成电路产业的迅猛发展，集成电路的应用领域日益广泛，需求量也日益增加，这对光刻设备的产率提出了越来越高的要求，影响产率的重要因素之一是光刻设备的的平均无故障工作时间。然而光刻设备中不少分系统为满足对光源光谱连续性、光功率稳定性的苛刻要求而不得不用采用寿命较短的诸如卤素灯之类的光源，这导致不得不频繁地更换光源，在较大程度上减少了这些分系统的平均无故障工作时间，进而减少了整个光刻设备的的平均无故障工作时间，从而降低了产率。
发明内容
为了克服现有技术中存在的缺陷，本发明提供了光源切换装置，可以实现光源的瞬时自动切换，无需停机，不影响光刻设备正常工作。
为了实现上述发明目的，本发明公开一种光源切换装置，其特征在于，包括：至少两个光源，所述光源被切换依次提供照明的光束；分束器，用于将所述光束分为实际照明光束和探测光束；光功率探测器，用于探测所述探测光束以获得正提供照明的所述光源的光功率信息；控制器，用于根据所述光功率信息控制驱动器，所述驱动器用于驱动光源切换单元；当所述光功率信息满足预定的阈值时，所述光源切换单元就切换另一个所述光源来提供照明。
更进一步地，所述光源为多个，所述光源切换单元为一转盘，所述多个光源散布或均布在所述转盘的圆周面上，所述转盘转动切换所述多个光源进入工作位置。
更进一步地，所述光源为2个，所述光源切换单元包括一驱动机构带动一连杆绕转轴转动，切换所述2个光源进入工作位置。
更进一步地，所述驱动机构为气动、液动或磁力驱动活塞。
更进一步地，所述连杆为T型连杆。
更进一步地，所述实际照明光束为强光束，所述探测光束为弱光束。
更进一步地，还包括调解调平传感器，用于接收所述实际照明光束，当所述光功率信息满足预定的阈值，并且所述调焦调平传感器在设定时间段接收到所述实际照明光束的平均信号强度满足预先设定的阈值，当所述控制器接收到2个所述满足预先设定的阈值的信号后，控制所述驱动器驱动所述光源切换单元，所述光源切换单元切换其他所述光源来提供照明。
更进一步地，当所述光源切换装置中的所有所述光源的所述光功率信息满足预定的阈值时，所述控制器发出信号，提示更换全部所述光源。
更进一步地，当所述光源切换装置中的所有所述光源的所述光功率信息满足预定的阈值并且所述实际照明光束的平均信号强度满足预先设定的阈值时，所述控制器发出信号，提示更换全部所述光源。
本发明与现有技术相比，可以实现光源的瞬时自动切换，无需停机，不影响光刻设备正常工作，从而增加了平均无故障工作时间，提高了产率。
附图说明
关于本发明的优点与精神可以通过以下的发明详述及所附图式得到进一步的了解。
图1是本发明所涉及的光源切换装置的工作原理图；
图2是本发明所涉及的光源切换装置的结构示意图；
图3是本发明所涉及的光源切换装置的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图详细说明本发明的具体实施例。
现有技术的光刻设备为了满足对光源光谱连续性、光功率稳定性的苛刻要求而不得不用采用寿命较短的诸如卤素灯之类的光源，当光源的寿命结束时必须停机更换，这将减少光刻设备的平均无故障工作时间、降低产率。
为了克服现有技术中存在的缺陷，本发明提供了光源切换装置，包括安装有至少两个光源的光源切换单元、分束器、驱动器、控制器、光功率探测器，光源切换单元与驱动器相连接，驱动器和光功率探测器均与控制器相连接，光源切换单元中处于工作位置的光源发出的全部或部分光经分束器(BS)后分为两束，较强的一束为分系统提供照明，较弱的一束照射到光功率探测器上，光功率探测器将光功率信息传递给控制器，如果目前的光功率小于设定的阈值，光源切换装置的控制系统开启下一个新光源进行预热，待该被测物体测量完毕后，光源切换装置的控制系统发出指令至驱动器，驱动器驱动光源切换单元将下一个新光源切换到工作位置，当光源切换单元上所有光源的亮度均低于所设定的阈值时，控制器发出信号，提示更换全部光源。该光源切换装置可以实现光源的瞬时切换，无需停机，不影响光刻设备正常工作。
图1是本发明所涉及的光源切换装置的工作原理图。如图1中所示，该光源切换装置包括：至少两个光源的光源切换单元1、分束器103、驱动器105、控制器106、光功率探测器105。光源切换单元1与驱动器107电连接，驱动器107和光功率探测器105均与控制器106电连接。光源切换单元1中处于工作位置的光源100发出的全部或部分光经分束器(BS)103后分为两束，较强的一束经照明镜组104为分系统提供照明，较弱的一束照射到光功率探测器105上。光功率探测器105将光功率信息传递给控制器106，如果目前的光功率小于设定的阈值，光源切换装置的控制系统106开启下一个新光源进行预热，待该被测物体测量完毕后，光源切换装置的控制系统发出指令至驱动器，驱动器驱动光源切换单元将下一个新光源切换到工作位置，同时新光源被点亮。当光源切换单元上所有光源的亮度均低于所设定的阈值时，控制器发出信号，提示更换全部光源。
光源切换单元1包括T型连杆、驱动机构101、102，驱动器驱动驱动机构运动，驱动机构带动T型连杆绕转轴108转动，从而实现光源的切换。
图2是本发明所涉及的光源切换装置的结构示意图。如图2中所示，光源切换单元1中处于工作位置的光源100发出的全部或部分光经分束器(BS)103后分为两束，较强的一束经照明镜组104为调焦提调平传感器109供照明，较弱的一束照射到光功率探测器105上。光功率探测器105将光功率信息传递给控制器107，控制器107同时接收来自调焦提调平传感器109的信号。如果目前的光功率小于设定的阈值，并且调焦调平传感器109在设定时间段的平均信号强度也低于预先设定的阈值，光源切换装置的控制系统开启下一个新光源进行预热，待该被测物体测量完毕后，光源切换装置的控制系统发出指令至驱动器106，驱动器106驱动光源切换单元将下一个新光源切换到工作位置，同时新光源被点亮。当光源切换单元上所有光源的亮度均低于所设定的阈值时，控制器发出信号，提示更换全部光源。
在另一种实施方式中，参见图2，光源切换单元1中处于工作位置的光源100发出的全部或部分光经分束器(BS)103后分为两束，较强的一束为调焦提调平传感器109提供照明，较弱的一束照射到光功率探测器105上。光功率探测器105将光功率信息传递给控制器107。如果目前的光功率小于设定的阈值T1，并且调焦调平传感器109在设定时间段的平均信号强度也低于预先设定的阈值T2，则增加驱动电流直至目前的光功率小于设定的阈值T1。调焦调平传感器109在设定时间段的平均信号强度低于预先设定的阈值T2、驱动电流大于预先设定的阈值T3，则光源切换装置的控制系统107发出指令至驱动器106，光源切换装置的控制系统开启下一个新光源进行预热，待该被测物体测量完毕后，驱动器驱动光源切换单元将下一个新光源切换到工作位置，同时新光源被点亮，之后控制器根据调焦调平传感器的信号强度调节驱动电流至合适水平。当光源切换单元上所有光源的亮度均低于所设定的阈值T1，调焦调平传感器在设定时间段的平均信号强度低于预先设定的阈值T2、驱动电流大于预先设定的阈值T3，控制器发出信号，提示更换全部光源。
可选地，驱动机构101、102为1-2个气动、液动或磁力驱动活塞。
图3是本发明所涉及的光源切换装置的结构示意图。图3是光源切换单元的另一种实施方式，如图3中所示，该光源切换单元为一转盘，转盘上均布或散布若干光源100，各个光源100通过转轴108切换，图中107为控制器，106为驱动器。
本说明书中所述的只是本发明的较佳具体实施例，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非对本发明的限制。凡本领域技术人员依本发明的构思通过逻辑分析、推理或者有限的实验可以得到的技术方案，皆应在本发明的范围之内。
Claims (9)
1.一种光源切换装置，其特征在于，包括：
至少两个光源，所述光源被切换依次提供照明的光束；
分束器，用于将所述光束分为实际照明光束和探测光束；
光功率探测器，用于探测所述探测光束以获得正提供照明的所述光源的光功率信息；
控制器，用于根据所述光功率信息控制驱动器，所述驱动器用于驱动光源切换单元；
当所述光功率信息满足预定的阈值时，所述光源切换单元就切换另一个所述光源来提供照明。
2.如权利要求1所述的光源切换装置，其特征在于，所述光源为多个，所述光源切换单元为一转盘，所述多个光源散布或均布在所述转盘的圆周面上，所述转盘转动切换所述多个光源进入工作位置。
3.如权利要求1所述的光源切换装置，其特征在于，所述光源为2个，所述光源切换单元包括一驱动机构带动一连杆绕转轴转动，切换所述2个光源进入工作位置。
4.如权利要求3所述的光源切换装置，其特征在于，所述驱动机构为气动、液动或磁力驱动活塞。
5.如权利要求3所述的光源切换装置，其特征在于，所述连杆为T型连杆。
6.如权利要求1所述的光源切换装置，其特征在于，所述实际照明光束为强光束，所述探测光束为弱光束。
7.如权利要求1-6中任一所述的光源切换装置，其特征在于，还包括调解调平传感器，用于接收所述实际照明光束，当所述光功率信息满足预定的阈值，并且所述调焦调平传感器在设定时间段接收到所述实际照明光束的平均信号强度满足预先设定的阈值，当所述控制器接收到2个所述满足预先设定的阈值的信号后，控制所述驱动器驱动所述光源切换单元，所述光源切换单元切换其他所述光源来提供照明。
8.如权利要求1-6中任一所述的光源切换装置，其特征在于，当所述光源切换装置中的所有所述光源的所述光功率信息满足预定的阈值时，所述控制器发出信号，提示更换全部所述光源。
9.如权利要求7所述的光源切换装置，其特征在于，当所述光源切换装置中的所有所述光源的所述光功率信息满足预定的阈值并且所述实际照明光束的平均信号强度满足预先设定的阈值时，所述控制器发出信号，提示更换全部所述光源。
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Cited By (2)
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| CN112858245A (zh) * | 2021-03-03 | 2021-05-28 | 深圳市盐田区人民医院 | 荧光检测装置 |
| CN117518741A (zh) * | 2023-12-01 | 2024-02-06 | 东莞锐视光电科技有限公司 | 一种用于直写光刻的led光源 |
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