CN105319397A - 一种纳米探针台上的样品传输的装置及方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种纳米探针台上的样品传输的装置，包括传输杆，所述传输杆的前端设有样品座，所述传输杆上设有环形把手，所述环形把手可沿所述传输杆延伸方向移动并带动所述样品座来回移动,还包括环形件，所述环形件位于与所述环形把手送样终端固定位置相对应的传输杆上，所述环形件上且与所述环形把手靠近的一面上设有弧形凹槽，在所述环形把手靠近所述环形件的一面上设有与所述弧形凹槽相对应的突起，所述环形把手可沿所述传输杆延伸方向移动使得所述突起插入所述弧形凹槽内，所述环形把手可绕所述传输杆旋转使得所述突起在所述弧形凹槽内滑动。本发明可以使样品精确快速的加载在纳米探针台的预设终端的载台上。

Description

一种纳米探针台上的样品传输的装置及方法

技术领域

本发明涉及半导体纳米探针测试领域，具体的涉及一种纳米探针台上的样品传输的装置及方法。

背景技术

在半导体失效分析过程中，有一种分析手法叫做纳米探针测试，主要用于对单个MOS器件电压电流相关特性的观测，在做这个分析之前，首先需要将样品固定在样品传输杆一端，然后将杆子与机台腔体连接，一边目测一边小心的将样品杆推进样品室，直到样品刚好进入到八个针座组成的圆环中心，之后将样品杆回旋6-8圈，使样品座与杆端分离，再将样品杆拔出，此时完成样品加载。以上过程中推样品杆进入针座下方的过程最关键，出发前首先要靠人目测换样室样品平面保持水平，如果判断失误或者如果样品杆日久失修，发生了轻微变形，那么样品在推进过程中没有保持水平，就会有撞针座甚至样品座无法对正载台以致无法送样品进入机台的严重问题。这时操作人员可以有两种选择：一是更换新的样品杆，当然这很耗费财力和时间；还有一个办法，就是在推进大概目的位置时如果发现不能轻松的对上载台，则需依靠经验轻轻左右旋转样品杆，过程需要非常小心，旋转角度必须非常轻微，此时会发现样品在旋转样品杆之后可以对接上载台，这样的操作时需要根据经验判断的，而且要非常的小心，稍不留神就会出现误差，导致送样失败。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种纳米探针台上的样品传输的装置及方法，可以精确快速的将样品送至纳米探针台的载台上。

本发明解决上述技术问题的技术方案如下：一种纳米探针台上的样品传输的装置，包括传输杆，所述传输杆的前端设有样品座，所述传输杆上设有环形把手，所述环形把手可沿所述传输杆延伸方向移动并带动所述样品座来回移动,还包括环形件，所述环形件位于与所述环形把手送样终端固定位置相对应的传输杆上，所述环形件上且与所述环形把手靠近的一面上设有弧形凹槽，在所述环形把手靠近所述环形件的一面上设有与所述弧形凹槽相对应的突起，所述环形把手可沿所述传输杆延伸方向移动使得所述突起插入所述弧形凹槽内，所述环形把手可绕所述传输杆旋转使得所述突起在所述弧形凹槽内滑动。

本发明的有益效果是：本发明一种纳米探针台上的样品传输的装置在传输杆上增加环形件，在环形件上开设弧形凹槽，在环形把手增设与弧形凹槽相匹配的突起，使其与弧形凹槽配合微调传输杆，使样品精确快速的加载在纳米探针台的预设终端的载台上。

在上述技术方案的基础上，本发明还可以做如下改进。

进一步，所述环形把手送样终端固定位置为所述环形件带有弧形凹槽的一面与样品传送至纳米探针台的预设终端时环形把手带有突起一面相逢的位置。

采用上述进一步方案的有益效果是：环形件所设置的位置保证了样品座将样品传送至纳米探针台内与预设终端的位置保持对应，使样品座快速精确的找准预设终端。

进一步，所述弧形凹槽的弧心与所述环形件的圆心相重合，所述弧形凹槽的弧心角度与调整所述传输杆预设的最大角度相等。

采用上述进一步方案的有益效果是：弧形凹槽的弧心与环形件的圆心重合，可以保证突起在弧形凹槽中正常旋转，弧形凹槽的弧心角度与调整所述传输杆预设的最大角度相等，避免了过度调节传输杆的角度。

进一步，所述突起为金属突起，所述突起的长度与所述弧形凹槽的深度相等。

基于上述一种纳米探针台上的样品传输的装置，本发明还提供一种纳米探针台上的样品传输的方法。

一种纳米探针台上的样品传输的方法，利用上述所述的一种纳米探针台上的样品传输装置，进行样品传输，包括以下步骤，

步骤一，将样品放置在样品座上；

步骤二，推动环形把手将样品通过样品座传送至纳米探针台的预设终端，此时环形件带有弧形凹槽的一面与环形把手带有突起一面相逢，且突起位于弧形凹槽中；

步骤三，通过突起与弧形凹槽的对接程度旋转环形把手，将样片接上纳米探针台的预设终端。

本发明的有益效果是：本发明一种纳米探针台上的样品传输的方法，通过突起与弧形凹槽的对接程度旋转环形把手，将样片接上纳米探针台的预设终端；本发明着重将手动微调样品杆的角度精确化，确保操作者有值可依，可以快速且安全的将样品座与载台对接，使用该发明非常方便快捷，可以保证非常准确安全的完成并避免样品杆轻微变形引起的各种问题，大大节约机台、时间和财力成本。

附图说明

图1为本发明纳米探针台上的样品传输的结构示意图；

图2为本发明纳米探针台上的样品传输的环形件的结构示意图；

图3为本发明纳米探针台上的样品传输的环形把手的结构示意图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1、传输杆，2、样品座，3、环形把手，4、环形件，5、弧形凹槽，6、突起。

具体实施方式

以下结合附图对本发明的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本发明，并非用于限定本发明的范围。

如图1、图2、图3所示，一种纳米探针台上的样品传输的装置，包括传输杆1，所述传输杆1的前端设有样品座2，所述传输杆1上设有环形把手3，所述环形把手3可沿所述传输杆1延伸方向移动并带动所述样品座2来回移动,还包括环形件4，所述环形件4位于与所述环形把手3送样终端固定位置相对应的传输杆1上，所述环形件4上且与所述环形把手3靠近的一面上设有弧形凹槽5，在所述环形把手3靠近所述环形件4的一面上设有与所述弧形凹槽5相对应的突起6，所述环形把手3可沿所述传输杆1延伸方向移动使得所述突起6插入所述弧形凹槽5内，所述环形把手3可绕所述传输杆1旋转使得所述突起6在所述弧形凹槽5内滑动。所述环形把手3送样终端固定位置为所述环形件4带有弧形凹槽5的一面与样品传送至纳米探针台的预设终端时环形把手3带有突起6一面相逢的位置。环形件4所设置的位置保证了样品座2将样品传送至纳米探针台内与预设终端的位置保持对应，使样品座2快速精确的找准预设终端。所述弧形凹槽5的弧心与所述环形件4的圆心相重合，所述弧形凹槽5的弧心角度与调整所述传输杆1预设的最大角度相等。弧形凹槽5的弧心与环形件4的圆心重合，可以保证突起6在弧形凹槽5中正常旋转，弧形凹槽5的弧心角度与调整所述传输杆1预设的最大角度相等，避免了过度调节传输杆1的角度。所述突起6为金属突起，所述突起6的长度与所述弧形凹槽5的深度相等。本发明一种纳米探针台上的样品传输的装置在传输杆1上增加环形件4，在环形件4上开设弧形凹槽5，在环形把手3增设与弧形凹槽5相匹配的突起6，使其与弧形凹槽5配合微调传输杆1，使样品精确快速的加载在纳米探针台的预设终端的载台上。

基于上述一种纳米探针台上的样品传输的装置，本发明还提供一种纳米探针台上的样品传输的方法。

一种纳米探针台上的样品传输的方法，利用上述所述的一种纳米探针台上的样品传输装置，进行样品传输，包括以下步骤，

步骤一，将样品放置在样品座2上；

步骤二，推动环形把手3将样品通过样品座传送至纳米探针台的预设终端，此时环形件4带有弧形凹槽5的一面与环形把手3带有突起6一面相逢，且突起6位于弧形凹槽5中；

步骤三，通过突起6与弧形凹槽5的对接程度旋转环形把手3，将样片接上纳米探针台的预设终端。

本发明一种纳米探针台上的样品传输的方法，通过突起6与弧形凹槽5的对接程度旋转环形把手3，将样片接上纳米探针台的预设终端；本发明着重将手动微调样品杆的角度精确化，确保操作者有值可依，可以快速且安全的将样品座与载台对接，使用该发明非常方便快捷，可以保证非常准确安全的完成并避免样品杆轻微变形引起的各种问题，大大节约机台、时间和财力成本。

以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种纳米探针台上的样品传输的装置，包括传输杆，所述传输杆的前端设有样品座，所述传输杆上设有环形把手，所述环形把手可沿所述传输杆延伸方向移动并带动所述样品座来回移动,其特征在于：还包括环形件，所述环形件位于与所述环形把手送样终端固定位置相对应的传输杆上，所述环形件上且与所述环形把手靠近的一面上设有弧形凹槽，在所述环形把手靠近所述环形件的一面上设有与所述弧形凹槽相对应的突起，所述环形把手可沿所述传输杆延伸方向移动使得所述突起插入所述弧形凹槽内，所述环形把手可绕所述传输杆旋转使得所述突起在所述弧形凹槽内滑动。

2.根据权利要求1所述的一种纳米探针台上的样品传输的装置，其特征在于：所述环形把手送样终端固定位置为所述环形件带有弧形凹槽的一面与样品传送至纳米探针台的预设终端时环形把手带有突起一面相逢的位置。

3.根据权利要求1或2所述的一种纳米探针台上的样品传输的装置，其特征在于：所述弧形凹槽的弧心与所述环形件的圆心相重合，所述弧形凹槽的弧心角度与调整所述传输杆预设的最大角度相等。

4.根据权利要求1或2所述的一种纳米探针台上的样品传输的装置，其特征在于：所述突起为金属突起，所述突起的长度与所述弧形凹槽的深度相等。

5.一种纳米探针台上的样品传输的方法，其特征在于：利用权利要求1至4任一项所述的一种纳米探针台上的样品传输装置，进行样品传输，包括以下步骤，

步骤一，将样品放置在样品座上；

步骤二，推动环形把手将样品通过样品座传送至纳米探针台的预设终端，此时环形件带有弧形凹槽的一面与环形把手带有突起一面相逢，且突起位于弧形凹槽中；

步骤三，通过突起与弧形凹槽的对接程度旋转环形把手，将样片接上纳米探针台的预设终端。