CN105318893A - 传感器芯片 - Google Patents

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CN105318893A CN201510451461.5A CN201510451461A CN105318893A CN 105318893 A CN105318893 A CN 105318893A CN 201510451461 A CN201510451461 A CN 201510451461A CN 105318893 A CN105318893 A CN 105318893A
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Abstract

一种传感器芯片，包括：感测元件(1)，该感测元件提供传感器信号；芯片上存储器(3)；存储在该芯片上存储器(3)中的维度N的查找表配置(4)，所述查找表配置用于向N个输入值的组合分配输出值；以及，查找表引擎(4)，该查找表引擎(4)用于响应于接收到该查找表配置的存储器地址并响应于接收到作为此N个输入值之一的、从该传感器信号中导出的传感器值而确定相应的输出值。

Description

传感器芯片
技术领域
本发明涉及一种传感器芯片以及一种处理传感器芯片中的传感器信号的方法。
背景技术
传感器趋向于变为集成在芯片中，同时这些芯片提供用于处理这些传感器所提供的信号的处理装置。
发明内容
本发明要解决的问题是提供一种传感器芯片，该传感器芯片促成使处理适应于例如传感器芯片的新变型，而无需进行整片掩模(mask)重新设计。
该问题由根据权利要求1的特征所述的传感器芯片来解决。
该传感器芯片包括用于感测测量的感测元件。例如，该感测元件可以是用于进行以下之一的感测元件：用于感测诸如气体或液体之类的流体的流动，或用于感测压力或用于感测湿度或用于感测气体，该列表并不受限。该传感器元件可提供传感器信号，例如模拟形式的传感器信号，该模拟形式的传感器信号优选地由模数转换器转换成数字传感器值。在另一实施例中，该感测元件可直接提供数字传感器值。
该传感器元件可被布置在芯片上或集成在芯片中，该芯片被称为传感器芯片。除了该传感器元件以外，该芯片优选地还包含例如用于处理传感器信号的集成电路。该传感器芯片优选地包括基底(诸如半导体基底，且优选地为硅基底)以及用于将电路集成到其上的材料层(诸如绝缘层和/或金属层)。
该传感器芯片还包含芯片上存储器，该芯片上存储器优选地为非易失性存储器，并且优选地为至少一次性可编程的存储器，该存储器也被集成在该芯片中。在该芯片上存储器中，维度N的查找表的配置被存储成用于向N个输入值的组合分配输出值。在另一实施例中，相同维度N或不同维度的附加的一个或多个查找表配置被存储在该芯片上存储器中。
此查找表配置或每一查找表配置包括查找表头部，该查找表头部包括指示每一维度N的多个采样点的信息。将采样点表示为某维度中的输入值，针对该输入值的输出值被存储在针对其他维度的每一采样点的查找表中。由于空间限制，存储针对所有可能输入值的输出值可能是不可行的。因此，仅选择几个输入值，以将其输出值存储在查找表配置中。对于在两个采样点之间的输入值，可应用插值技术来确定相应的输出值。
可每维度存储多个采样点区间，而不是每维度存储多个采样点本身。优选地，此查找表头部或每一查找表头部附加地包括与每维度要应用的插值有关的信息，每维度要应用的插值用于为该维度中不匹配这些采样点中的任何一者的输入值确定输出值。具体地，这样的插值的次序可被存储在查找表头部中。
除了查找表配置头部外，优选地，此查找表配置或每一查找表配置包括在每一维度的两个毗邻采样点之间的区间尺寸，在给定不同采样点之间的区间可能不一定等距的情况下，一个或多个尺寸被存储在芯片上存储器中。最后，优选地，对于此查找表配置或每一查找表配置而言，针对各个维度的采样点的每一组合的输出值被存储在芯片上存储器中。
在许多应用中，期望出于不同的目的而按顺序处理并因此修改传感器信号值。在这样的场景中，优选地，按顺序应用多个不同的查找表配置，其中具体地，这些查找表配置中的第一查找表配置的输出值表示这些查找表配置中的第二查找表配置的输入值。例如，传感器信号值可经历芯片上变换，包括线性化过程、校准过程和温度补偿过程等等，传感器信号的这些变换中的每一者可通过应用专用的查找表配置来实现。
发起对查找表配置序列的应用的引擎优选为传感器芯片的系统控制器，该系统控制器操作系统总线、以及将数据复制到系统总线以及从系统总线提取数据。用于按顺序处理不同的查找表配置的相应程序可以是在由系统控制器解释时通过将可经由系统总线在芯片上存储器中找到该查找表配置的存储器地址复制到查找表引擎来使得系统控制器调用不同的查找表的微程序。查找表引擎优选包含硬接线的寄存器并且优选地仅可执行添加，该查找表引擎可经由存储器地址来获得对主题查找表配置的访问并将相关的数据复制到其寄存器中。在接收了由系统控制器经由系统总线复制到查找表引擎中的输入值后，查找表引擎响应于所提供的输入值而执行对输出值的确定。要由系统控制器来解释的微程序优选地被理解为包含硬件级指令的程序。
在一个实施例中，所有的查找表配置均具有相同的维度N，具体地N＝2。在传感器芯片的查找表配置之一仅要求单个维度的情况下，该一个维度的采样点的数目被设为零。
因此，根据所引入的实施例的传感器芯片允许对传感器信号的处理，诸如芯片上线性化以及芯片上温度补偿。这借助芯片上存储器(诸如OTP、EEPROM、RAM等)中存储的一个或多个查找表来实现，由此消除了对复杂且昂贵的算术逻辑单元(ALU)的需要。尤其地，查找表的配置没有被硬编码在传感器芯片的数字部分中。相反，查找表配置优选地被存储在芯片上存储器中，该查找表配置优选包括查找表头部和输出值。该查找表头部由例如查找表引擎中的芯片上逻辑来解码以提取所需的关于查找表的信息。因此，该查找表的配置优选地包括每维度多个采样点、采样点的位置，并且相应的输出值不再被硬编码在传感器芯片的数字部分中，而是被存储在芯片上存储器中。此外，优选地，例如按顺序调用芯片上存储器中存储的不同查找表的处理步骤不再被硬编码，而是以微程序(宏)的形式被存储在芯片上存储器中，并由传感器芯片的系统控制器来执行。另一方面，输出值的确定并不基于如在使用全尺寸微处理器时将可行的数学方法。微处理器改为将需要小规模传感器芯片中不可用的大规模芯片尺寸。由于也不需要主存储器，于是也可节省芯片尺寸。在一个实施例中，查找表引擎仅对寄存器和总线进行操作，并且优选地，查找表操作仅通过例如借助移位寄存器来应用加法来执行的，而没有乘法或其他更高阶的操作。查找表配置可在需要的情况下在芯片上存储器中分配。
总而言之，针对新项目而重新使用传感器芯片中的数据处理单元不再受到对芯片进行重新掩模以用于实现新查找表和/或这样的查找表的新处理序列的巨大努力的限制。现在，数据路径和/或查找表的改变可在无需进行整片掩模重新设计的情况下被实现。在不需要新的下线流片的情况下，传感器芯片的以下参数可优选被改变：
查找表数目
查找表配置
查找表的数据路径/处理序列
查找表的样本点
由于对存储器使用进行优化，查找表在芯片上存储器中的位置。
优选地，查找表配置要求一个或多个离散的输入值，并且作为相应提供离散的输出值。因此，期望将数字形式的传感器值作为一个或多个输入值之一应用于查找表。在此上下文中，传感器值不应仅包括在模数转换器的输出处(如果有的话)或在感测元件输出处的传感器值，而还应包括已经根据一个或多个查找表配置进行了修改的传感器值。因此，查找表的输出值也可被看作传感器值，即该输出值是从由感测元件或模数转换器原始提供的传感器值导出的传感器值。
在一维查找表配置中，传感器值可以是被映射到相应的输出值的一个输入值。然而，在二维或多维查找表配置中，至少一个其他输入值被应用，以使得查找表提供针对两个输入值的特定组合定义的输出值。
此一个或多个其他输入值可包括该设备的操作值(诸如加热器电流或加热时间值等)，或者可包括由另一感测元件提供的另一传感器值，该另一传感器优选也被布置在该传感器芯片上或被集成在该传感器芯片中。该另一传感器可例如是温度传感器和/或湿度传感器，这些传感器被提供用于补偿原始感测元件的传感器信号中由温度和/或湿度引起的偏差。在这方面，用于被配置用于该目的的温度补偿的查找表可包括两个维度并预期两个输入值(即，传感器值和温度值)，响应于该输入值，查找表提供表示经温度补偿的传感器值的输出值。在其他感测元件以模拟形式提供其传感器信号的情况下，另一模数转换器可被布置在芯片上以用于将该其他传感器信号从其模拟形式转换成一系列数字形式的其他传感器值。在转换后，每一数字传感器信号或其他传感器信号可被临时地存储在分配的寄存器中，并由系统控制器从寄存器中提取以用于将相应的传感器值作为输入值应用于查找表配置。然而，在另一实施例中，该输入信号或任何其他输入信号也可从传感器芯片外部提供，并且具体地可以是表示来自传感器芯片外部的传感器的传感器值的输入值。
根据本发明的另一方面，提供了用于处理传感器芯片中的传感器信号的方法。传感器芯片的感测元件感测测量，并提供传感器信号。传感器值从该传感器信号中导出，并且到维度N的查找表的配置的输入值被存储在传感器芯片的芯片上存储器中，以用于将输出值分配给N个输入值的组合。通过利用与查找表配置相对应的查找表，输出值是取决于提供的传感器值并可能取决于其他值来生成的。
注意，相对于一个权利要求书类别描述的各实施例也应该被认为结合一个或多个其他类别公开。
其它有利的实施例列在从属权利要求中，以及以下描述中。
附图说明
以上定义的各实施例以及本发明的其他方面、特征和优点也可从此后要描述的各实施例的示例中导出，并参考附图来解释。在附图中，这些图解说：
图1是根据本发明的一实施例的传感器芯片的框图，
图2是根据本发明的一实施例的传感器芯片的两个构建框之间的信息流，
图3-6是根据本发明的优选实施例的如在一个或多个传感器芯片中使用的查找表配置，出于解说的目的包括这样的查找表配置的图形表示，以及
图7是根据本发明的一实施例的方法的流程图。
具体实施方式
跨所有附图通过相同的参考标记引用相同或相似的元件。
图1解说根据本发明的一实施例的传感器芯片的框图。传感器芯片包含使传感器芯片的各元件互连的总线10。在本实施例中，提供一次性可编程芯片上存储器3，并通过总线10将其连接到如两个模数转换器ADC11和12，这两个模数转换器中的每一者都将传感器的模拟传感器信号转换成一系列数字传感器值。传感器之一为流动传感器1(但可以是任何其他传感器)，另一个为温度传感器2。在芯片上存储器3中优选地存储有一个或多个查找表配置，每一查找表配置包含相应查找表的配置(诸如其维度等)以及分配给一个或多个输入值的其输出值。被称为查找表执行的单元4优选在硬件逻辑中实现，并且优选地包括用于对查找表执行操作的寄存器。优选地，单元4仅提供用于将寄存器中的值相加并且不能够执行更高阶操作(诸如乘法等)的硬件逻辑。查找表操作的执行可优选地被如下实现：
系统控制器5可触发查找操作，并将头部地址发送给查找表引擎4，该头部地址是可在芯片上存储器3中找到期望的查找表配置的存储器地址。通过接收该头部地址，查找表引擎4获得对芯片上存储器3和所请求的驻留在相应的头部地址处的查找表配置的访问。
在一个实施例中，查找表引擎4可将相关信息从查找表头部复制到本地寄存器中。系统控制器5可从模数转换器11、12的寄存器中提取应当用作到查找表的输入值的传感器信号值，并可将这些值存储在查找表引擎4的寄存器中。
下面的步骤优选地在查找表引擎4中执行：输入值被评估其相对于相应维度的样本值的位置，并且每维度的最接近的样本值被标识出。根据由查找表头部请求的插值将插值例程应用于输入值。最后，确定输出值，并将其存储在查找表引擎的寄存器中，系统控制器5可例如从其提取该输出值并将其传输至接口6。
在本发明的另一实施例中，查找表4和芯片上存储器3在这两个单元之间具有专用接口，以便降低总线10上的工作量。
在优选实施例中，除了在查找表引擎4和芯片上存储器3之间存在直接链路的情况以外，来自查找表引擎4和去往查找表引擎4的数据流均完全由系统控制器5来控制。
因此，系统控制器5被配置成从模数转换器11和12的寄存器中提取传感器信号值，并将其单独或组合地提供给查找表引擎4。通过查找相应查找表配置得到的结果可被临时地存储在缓存器中，并在一个示例中可被输入到另一查找表配置，在该另一查找表配置中，可查找针对相应的一个或多个输入值的另一输出值，该输出值可随后例如通过总线10被复制到接口6(例如I2C接口)以使得此经处理的传感器值可在传感器芯片外部获得。
系统控制器5优选地控制：从寄存器提取输入值、用这些输入值来触发查找表引擎4中的查找表操作、存储和/或转发来自查找表引擎4的输出值。为了这样做，微程序优选地被存储在芯片上存储器3中，该微程序由系统控制器5来执行。
图2解说了根据本发明的一实施例的传感器芯片的两个构建块之间(即，图1的查找表引擎4和图1的解释用于控制查找表操作的微程序的系统控制器5之间)的信息流。首先，响应于触发，针对芯片上存储器标识出期望的查找表配置驻留/开始的头部地址。查找表引擎4接收此头部地址，并获得对芯片上存储器中的查找表配置的访问。随后，将应当被应用于所选的查找表配置的输入值提供给查找表引擎4。当查找表引擎4已确定针对所提供的输入值的输出值后，该输出值被系统控制器5复制到芯片上存储器5或被复制到接口6。
图3示出了根据本发明的优选实施例的如在传感器芯片中使用的维度N＝2的查找表配置。
在下半部分中，二维查找表的样本描述被示为被存储在芯片上存储器(其在本示例中是一次性可编程(OTP)芯片上存储器)中。
存储在OTP中的第一字(即第一行中的字“1:”)描述了查找表的基本配置并且也被称为查找表头部。在本示例中，四个信息项被定义在查找表头部中，并且由(“0x”所标记的)四位数的十六进制数字来编码。注意，十六进制值最终被二进制编码：十六进制值内的每一位数均由四个二进制比特来编码。因此，十六进制值的四位数被变换成十六比特的二进制值。在本实施例中，y维度中的区间数被编码在比特0到6中。在本示例中，三个区间在y维度中被编码成在二进制表示中由序列“000011”表示，并且在十六进制表示中由“3”表示。比特7指示在y维度中应用的插值次序。值“0”指示线性插值，而值“1”指示二次插值。由于在本示例中比特7取值“0”—在给定通过对y维度中的区间数进行编码比特4到6保持为“0”的情况下，第二个十六进制位数中的值也为“0”。比特8到14用于对x维度中的区间数(当前为四)进行编码。这导致十六进制表示中的第三位数的十六进制值为“4”。最后，最后一个比特15指示x维度中要应用的插值，其在本示例中是在二进制表示中被编码为“1”的二次插值。由于通过区间编码其他二进制位数14、13和12全部为“0”，并且二进制位数15到12读出[1,0,0,0]，其在十六进制表示中为“8”。
OTP中存储的字“2:”到“26:”涉及查找表值以及向其分配的输入值。这些字的数目和布置取决于如在第一个字“1:”中定义的查找表的配置。在假设任何维度的第一样本点为“0”而最后一个样本点为216的情况下，如果查找表头部中指示了x个样本点，则需要寻址仅x-1个区间的尺寸。这对y维度同样成立，从而导致对于x维度尺寸被设定仅三个区间，这三个区间通过字“2:”、“3:”和“4:”被写到芯片上存储器，而对于y维度仅两个区间需要通过字“5:”和“6:”被写到芯片上存储器。
在其余的字”7:”到“26:”中，存储针对x和y维度中的样本值的每一组合的输出值。例如，如果输入值匹配样本值S4和S15，则根据字“26:”，样本值(S4,S15)＝S19的输出值为"FFFE”.在从一个或多个输入值并不精确地匹配x轴或y轴上的采样点之一的查找表中请求输出值的情况下，根据如写入第一字“1:”的插值次序来在x维度和y维度中的一个或多个中应用插值。
在图3的上半图形部分中图形地解说如由在OTP芯片上存储器中的以下指令所定义的查找表。
图4示出了根据本发明的优选实施例的如在传感器芯片中使用的维度N＝2的不同的查找表配置，并且对该查找表应用与针对图3中的查找表头部相同的针对该查找表头部的协定。根据再次作为对查找表配置的样本描述的下半部分，并且尤其根据字“1:”，x维度具有五个样本值，而y维度没有样本值。因此，通过将y维度中的样本点数设为零，使基本的N＝2的表维度降低成x维度中的一维查找表。线性插值被应用于x维度。字“2:”到“5:”包含x维度中的各样本值之间的区间尺寸，而在字“6:”到“11:”中给出了输出值。
再次，在上半图形部分中图形地解说如由在OTP芯片上存储器中的以下指令所定义的查找表。
图5示出了根据本发明的优选实施例的如在传感器芯片中使用的维度N＝2的不同的查找表配置，并且对该查找表应用与针对图3中的查找表头部相同的针对该查找表头部的协定。根据再次作为对查找表配置的样本描述的下半部分，并且尤其根据字“1:”，y维度具有三个样本值，而x维度没有样本值。因此，通过将x维度中的样本点数设为零，使基本的N＝2的表维度降低成y维度中的一维查找表。线性插值被应用于y维度。字“2:”和“3:”包含y维度中的各样本点之间的区间尺寸，而在字“4:”到“7:”中给出了输出值。
再次，在上半图形部分中图形地解说如由在OTP芯片上存储器中的以下指令所定义的查找表。
图6示出了根据本发明的优选实施例的如在传感器芯片中使用的维度N＝2的不同的查找表配置，并且对该查找表应用与针对图3中的查找表头部相同的针对该查找表头部的协定。根据再次作为对查找表配置的样本描述的下半部分，并且尤其根据字“1:”，y维度仅具有两个样本值，而x维度没有样本值。因此，通过将y维度中的样本点数设为零，使基本的N＝2的表维度降低成x维度中的一维查找表。线性插值被应用于x维度。字“2:”和“3:”包含输出值，而不需要区间尺寸。
再次，在上半图形部分中图形地解说如由在OTP芯片上存储器中的以下指令所定义的查找表。
图7示出根据本发明的一实施例的方法的流程图。在本示例中，期望处理流动传感器信号并对温度影响进行补偿。假设感测元件提供模拟流动传感器信号，该模拟流动传感器信号首先被模数转换成一系列数字流动传感器值。
在步骤S0，该处理开始。在步骤S1，将流动传感器值(在该阶段其也可被称为原始数据)作为输入值从模数转换器复制到查找表引擎。查找表引擎应用第一查找表配置，该第一查找表配置提供对输入值进行了流动偏移/增益校正的输出值。该查找表配置优选地允许查找仅一个维度中的值，即对每一输入值分配一输出值。对于被应用于该查找表配置的每一特定输入流动传感器值，在步骤S2确定得到的输出流动传感器值，并在步骤S3将其复制到临时缓存器。
假设温度传感器形式的其他感测元件提供模拟的温度传感器信号，该模拟的温度传感器信号首先被模数转换成一系列数字的温度传感器值。在步骤S4，将这样的温度传感器值作为输入值从所分配的模数转换器复制到现在正应用第二查找表配置的查找表引擎，该第二查找表配置提供对这些输入值进行了温度偏移/增益校正的输出值。该查找表配置优选地允许查找仅一个维度中的值。对于被应用于该第二查找表配置的每一特定输入温度传感器值，在步骤S5确定得到的输出温度传感器值，并在步骤S6将其复制到临时缓存器。
在步骤S7，与从步骤S3得到的输出流动传感器值一样，将从步骤S6得到的输出温度传感器值从临时缓存器复制到现在正应用具有两个维度的第三查找表配置的查找表引擎。在这两个信号值作为第三查找表的输入值的情况下，第三查找表的输出值是经偏移和温度补偿的流动传感器值，其可被复制到接口(诸如I2C接口)以供输出。
尽管目前示出并描述了本发明的优选实施例，然而应当理解，本发明不限于上述实施例而是可以在所附权利要求的范围内另行以各种方式体现和实现。

Claims (17)

1.一种传感器芯片，包括：
感测元件(1)，该感测元件(1)提供传感器信号，
芯片上存储器(3)，
存储在所述芯片上存储器(3)中的维度N的查找表配置(4)，所述查找表配置用于向N个输入值的组合分配输出值，
查找表引擎(4)，该查找表引擎(4)用于响应于接收到所述查找表配置的存储器地址并响应于接收到作为所述N个输入值之一的、从所述传感器信号导出的传感器值而确定相应的输出值。
2.根据权利要求1所述的传感器芯片，其特征在于，包括：
系统控制器(5)，所述系统控制器被配置成将所述存储器地址和作为所述N个输入值之一的所述传感器值复制到所述查找表引擎(4)以用于生成所述相应的输出值，以及
尤其地，其中所述查找表引擎(4)被实现为硬件。
3.根据前述权利要求中的任一项所述的传感器芯片，其特征在于，包括：
维度N的不同查找表配置(4)被存储在所述芯片上存储器(3)中以各自用于向N个输入值的组合分配输出值，
其中所述系统控制器(5)被配置成按顺序调用所述不同查找表配置(4)。
4.根据权利要求3所述的传感器芯片，其特征在于
所述查找表配置(4)中的第一者的输出值表示到所述查找表配置(4)中的第二者的输入值。
5.根据权利要求3所述的传感器芯片，其特征在于，包括：
在被所述系统控制器(5)解释时使得所述不同查找表配置(4)被按顺序调用的程序被存储在所述芯片上存储器(3)中，以及
尤其地，其中所述程序是微程序。
6.根据权利要求1所述的传感器芯片，其特征在于，
其中所述芯片上存储器(3)是一次性可编程芯片上存储器。
7.根据权利要求1所述的传感器芯片，其特征在于，
所述查找表配置或每一查找表配置(4)都包括查找表头部，所述查找表头部包括与每一维度N的多个采样点有关的信息，采样点表示所述相应维度中的输入值，针对该输入值的输出值被存储在针对其他维度中的任一维度的每一采样点的查找表配置(4)中，以及
尤其地，其中与所述多个采样点有关的信息包括所述相应维度中的各采样点之间的多个采样点区间。
8.根据权利要求7所述的传感器芯片，其特征在于，
所述查找表头部或每一查找表头部都包括与每维度要应用的插值有关的信息，每维度要应用的插值用于为该维度中不匹配所述采样点中的任一者的输入值确定输出值，以及
尤其地，其中与所述插值有关的信息包括要应用的插值次序。
9.根据权利要求1所述的传感器芯片，其特征在于，
对于每一查找表配置(4)而言，N＝2，以及
其中，单个维度的查找表配置(4)是通过将与其他维度的采样点数目有关的信息设为零来实现的。
10.根据权利要求1所述的传感器芯片，其特征在于，
所述查找表配置或每一查找表配置(4)都指示每一维度N的两个毗邻采样点之间的区间尺寸。
11.根据权利要求1所述的传感器芯片，其特征在于，
所述查找表配置或每一查找表配置(4)均包括针对各个维度的采样点的每一组合的输出值。
12.根据权利要求1所述的传感器芯片，其特征在于，包括：
模数转换器(11)，所述模数转换器用于将所述传感器信号从模拟形式转换成一系列数字形式的传感器值，
寄存器，所述寄存器用于临时地存储所述传感器值。
13.根据权利要求1所述的传感器芯片，其特征在于，包括：
另一感测元件(2)，所述另一感测元件提供另一传感器信号，
另一模数转换器(12)，所述另一模数转换器用于将所述另一传感器信号从模拟形式转换成一系列数字形式的其他传感器值，
另一寄存器，所述另一寄存器用于临时地存储所述其他传感器值。
14.根据权利要求13所述的传感器芯片，其特征在于，
所述另一感测元件(2)是用于补偿所述传感器信号中与温度或湿度相关的信号变化的温度传感器和湿度传感器之一，以及
其中，所述感测元件(1)是以下之一：
-流动传感器；
-湿度传感器；
-气体传感器；
-压力传感器。
15.一种传感器芯片，包括：
感测元件(1)，该感测元件(1)提供传感器信号，
芯片上存储器(3)，
存储在所述芯片上存储器(3)中的维度N的查找表配置(4)，所述查找表配置用于向N个输入值的组合分配输出值，所述查找表配置(4)包括每维度多个采样点、所述采样点的位置和输出值，以及
查找表引擎(4)，所述查找表引擎(4)用于响应于接收到所述查找表配置的存储器地址并响应于接收到作为所述N个输入值之一的、从所述传感器信号导出的传感器值而确定相应的输出值。
16.根据权利要求1或权利要求15所述的传感器芯片，其特征在于，
其中所述传感器芯片的以下参数是可变的：
查找表数目，
查找表配置，
所述查找表的数据路径/处理序列，
所述查找表的样本点，
-所述查找表在所述芯片上存储器中的位置。
17.一种用于处理传感器芯片中的传感器信号的方法，包括：
借助所述传感器芯片的传感器元件(1)来感测测量，
从所述传感器信号导出传感器值，
将所述传感器值作为输入值应用于存储在所述传感器芯片的芯片上存储器(3)中的用于向N个输入值的组合分配输出值的维度N的查找表配置(4)，以由此生成相应的输出值。
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