CN105297014A - 湿制程系统 - Google Patents

Abstract

本发明涉及PCB、LCD、LED、半导体、触摸屏、太阳能、玻璃、五金电镀等湿制程工艺设备的技术领域，提供湿制程系统，包括沿工件加工方向依序排布且在结构上相互优化整合的药水段装置、药水回吸装置及水洗装置；药水段装置包括药水喷淋机构；药水回吸装置包括回吸段机体、吸液刀及射流器；水洗装置包括水洗喷淋机构、卧式泵及容积改小的储水槽，水洗喷淋机构包括上喷管、下喷管及喷嘴。上述湿制程系统采用吸液刀及射流器，吸取工件上残留药水，达到节约药水目的；采用减小储水槽容积增加水交换频率，并将卧式泵装于腾出空间中，达到节水、节能、高效和空间有效利用目的；总之，通过在工艺、结构上改变，达到排污减少70％、节能50％、节水50％的效果。

Description

湿制程系统

技术领域

本发明属于PCB、LCD、LED、半导体、触摸屏、太阳能、玻璃、五金电镀等湿制程工艺设备的技术领域，尤其涉及湿制程系统。

背景技术

目前，湿制程广泛地应用于印刷电路板PCB、LCD、LED、半导体、触摸屏、太阳能、玻璃、钢板等行业的生产制造中，湿制程主要包括化学前处理、电镀、显影、蚀刻、退膜的化学药水处理的生产工艺，其中，蚀刻为使用化学药液参与反应而将材料移除的制作过程；而参与反应的化学药液即蚀刻液，蚀刻液又可分为酸性蚀刻液和碱性蚀刻液，其中，退膜为使用化学药液参与反应而将工件表面抗蚀层的膜移除的制作过程。

湿制程工序是重污染工序，现有的湿制程工艺包括：化学前处理、显影、蚀刻、退膜、电镀铜、镍金、锡、化学沉银、化学沉镍金、OSP表面防氧化膜等工艺。以一个蚀刻退膜线的湿制程工艺流程为例，如下：入板→显影→新液洗→冲污水→溢流水洗→清水洗/吸干→检查→蚀刻→补偿蚀刻→冲污水→溢流水洗→清水洗/吸干→检查→膨松→退膜→冲污水→溢流水洗→清水洗/吸干→溢流水洗→清水洗/吸干→干板组合→出板。

现有的湿制程工艺流程从入板→显影→蚀刻→→退膜→吸干的过程中，工件经过化学药液的处理，工件表面、凹凸面、线路、图形、通孔和盲孔内仍然残留着大量的化学药液带入水洗段，因而未能充分合理利用化学药液，造成化学药液的浪费，加大化学药液的使用量，增加企业的生产成本；同时，上段化学处理段残留在工件表面的化学药液未进行水洗，会对下段化学药液处理工艺造成污染；化学药液在使用一段时间后，由于其中会产生一些降低化学药液使用寿命的有机物和悬浮物等杂质，会影响化学药液的特性，当化学药液失效达到一定程度时无法继续使用，成为失效液并且废弃成为危险液体废物，失效液的排放会对环境造成严重的污染，因此，如何减少化学药液的使用和废弃及减少化学药液带入水洗段，一直是业内环境保护科学研究的重点项目。

现有湿制程工艺设备中水洗段储存水的水槽容积较大为110L，水洗水的使用量为每分钟6～8升，用水量较大，浪费水资源；水清洗机构中采用立式泵浦，立式泵浦的使用效率只有30％～40％，效率低下耗能耗电，并且由于立式泵浦的使用效率低而使过多的无用功转化成热量，加热了水洗水，使水的温度过高工件表面易氧化，造成产品不良率上升加大了用水的使用量。

发明内容

本发明的目的在于提供湿制程系统，解决现有技术中经化学药液处理后工件面残留药水、带出药水、造成药水浪费、污染、以及洗水用量大、耗电耗能的问题，使得湿制程系统在现有技术基础上更环保减排、更节能、节水、省电。

为解决上述技术问题，本发明提供的湿制程系统的技术方案是，包括沿工件加工方向依序排布且在结构上相互优化设计整合的药水段装置、药水回吸装置及水洗装置，

所述药水段装置包括用于对工件板面喷淋药水并进行化学处理的药水喷淋机构；

所述药水回吸装置包括回吸段机体、设于所述回吸段机体上且用于吸取工件上药水的吸液刀、以及用于使所述吸液刀产生真空负压吸力的射流器，所述射流器的导气管与所述吸液刀可拆卸连接；

所述水洗装置包括水洗段机体，所述水洗段机体内设有用于朝工件喷射洗水的水洗喷淋机构、以及用于供给洗水的卧式泵；所述水洗喷淋机构包括上喷管及下喷管，所述上喷管与所述下喷管上均设有喷嘴；所述上喷管及所述下喷管分别设置于工件输送方向的上方和下方，所述卧式泵的出水口分别与所述上喷管及所述下喷管连通，进水口连通有容积改小的储水槽，所述储水槽与所述水洗段机体的下机体连接，所述卧式泵设于所述下机体中。

进一步地，所述回吸段机体内设有用于输送工件的输送机构，所述输送机构包括多根平行设置且垂直工件传送方向的行辘、行辘枕，以及用于驱动所述行辘的传动机构；所述行辘枕的上半部开设有间隔排列的第一U形槽，所述行辘架设于所述第一U形槽中。

进一步地，所述行辘枕的下半部开设有第二U形槽；所述吸液刀包括上吸液刀及下吸液刀，所述行辘枕的上侧设有用于紧固所述上吸液刀的第一紧固件及第二紧固件，所述上吸液刀套设于所述第一紧固件上，并支撑于所述第二紧固件中；所述下吸液刀设于所述第二U形槽中，所述第二U形槽中设有用于紧固所述下吸液刀的第三紧固件。

进一步地，所述上吸液刀及所述下吸液刀均垂直于工件传送方向，且均设有多个吸液孔。

进一步地，所述药水回吸装置还包括用于储存药水的储液槽，所述储液槽与所述射流器的出液口连通，所述回吸段机体内设有立式泵，所述立式泵的进水端与所述储液槽连通，出水端与所述射流器的进液口连通。

进一步地，所述药水段装置还包括药水段机体、以及用于提供动力抽取药水的立式电机，所述立式电机的进水管与所述储液槽连通，出水管与所述药水喷淋机构连通。

进一步地，所述水洗段机体包括上机体及下机体，所述上机体与所述下机体通过一朝下倾斜设置的隔板隔开，所述水洗喷淋机构设于所述上机体中，所述卧式泵均设于所述下机体中。

进一步地，所述储水槽与所述水洗段机体一体成型，所述隔板沿液体流动的路径向下朝所述储水槽倾斜，与所述隔板最低端相接的所述水洗段机体侧壁设有连通口与所述储水槽相通。

进一步地，所述上喷管及所述下喷管与所述立式电机的出水管的连接输液管路上、所述立式泵出水端与所述射流器的射流管的连接输液管路上、以及所述水洗喷淋机构与所述卧式泵的出水口的连接输液管路上均分别设有过滤器。

本发明相比较现有技术的有益效果：

一、由于药水回吸装置采用吸液刀和射流器，工件经过药水段装置的药水喷淋化学反应处理之后，进入药水回吸装置时，吸液刀在射流器产生的真空负压作用下，产生吸附力，充分地吸走工件板面、凹凸面、线路、图形、通孔和盲孔内残留的大量药水，并将回吸的药水储存起来，可供药水段装置再次进行对工件喷淋，因而充分合理利用药水，避免造成药水的浪费，减少药水的使用量，降低企业的生产成本；同时也避免了上段蚀刻工艺残留的药水会对下段蚀刻工艺造成污染，避免了药水过多的排放，对环境造成更大的污染；

二、由于上述湿制程系统采用了水洗装置，水洗装置包括水洗喷淋机构、卧式泵及储水槽，经过药水回吸装置吸液刀回吸后的工件，板面还残留着少许药水，再将工件输送给水洗段机体内时，水洗喷淋机构通过改变其上喷管、下喷管上喷嘴的数量与布局，对工件板面进行均匀喷淋高洁净度的洗水，冲洗过工件的洗水将被收集储存于储水槽中，而此时储水槽的容积变小，加快了洗水的交换速度，提高了洗水的交换率与洁净度，增强清洗效果，节约40％～50％的洗水量；

三、采用卧式泵，并有效利用空间，将卧式泵安装于下机体由于储水槽改小所腾出的空间中，实现机体结构的合理布局，同时具备节水、节能、降低成本、机体美观、水洗水洁净度高的效果。

四、卧式泵的功率降低50％，却还能够维持水洗喷淋机构所需要的喷射压力，相比较传统的泵浦而言，较为省电。

综上所述，在上述湿制程系统中，药水段装置对工件板面进行化学处理，形成线路图形与板面处理效果，药水回吸装置将板面的药水吸回存储起来，减少板面药水携带量，水洗装置则对板面进行高效清洗，三个装置相辅相成构成完整的湿制程系统，通过整个设备三大装置结构的优化，使其在节约药水、节水、节能等方面有显著的效果，从而真正的做到从源头环保减排，提高产品质量。

附图说明

图1是本发明实施例提供的湿制程系统的正视结构示意图；

图2是本发明实施例提供的湿制程系统的俯视结构示意图；

图3是本发明实施例提供的湿制程系统的药水段装置的侧视结构示意图；

图4是本发明实施例提供的湿制程系统的药水回吸装置的侧视结构示意图；

图5是本发明实施例提供的湿制程系统的吸液刀的立体结构示意图；

图6是图5提供的湿制程系统在圆圈A处的放大示意图；

图7是本发明实施例提供的湿制程系统的水洗装置的侧视结构示意图；

图8是本发明实施例提供的湿制程系统的输送结构的侧视结构示意图；

图9是本发明实施例提供的湿制程系统的输送结构的立体分解爆炸图；

图10是本发明实施例提供的湿制程系统的输送结构的立体结构示意图；

图11是本发明实施例提供的湿制程系统的第一紧固件的正视结构示意图；

图12是本发明实施例提供的湿制程系统的第二紧固件的正视结构示意图；

图13本发明实施例提供的湿制程系统的吸液刀与输送结构的侧视结构示意图；

图14是本发明实施例提供的湿制程系统的吸液刀及输送结构在输送工件状态下的侧视结构示意图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

如图1～14所示，为本发明提供的较佳实施例。

本发明提供了湿制程系统10，用于含有湿制程加工工艺的工件生产制造中，在LCD、LED、半导体、触摸屏、太阳能、玻璃、钢板等行业的生产制造中也得到广泛的应用，且都适用于湿制程工艺，如：化学沉铜、蚀刻、电镀铜、镍金、锡、化学沉银、化学沉镍金、OSP表面防氧化膜等工艺；作为一个整体的系统，系统的良好功能通过在结构上的改善来实现，如图1和图2所示，其包括沿工件加工方向依序排布且在结构上相互优化设计整合的药水段装置11、药水回吸装置12及水洗装置13；

药水段装置11包括用于对工件板面喷淋药水并进行化学处理的药水喷淋机构112；

如图3至图5所示，药水回吸装置12包括回吸段机体121、设于回吸段机体121上且用于吸取工件上药水的吸液刀122、以及用于使吸液刀122产生真空负压吸取工件上药水的射流器123，射流器123的导气管与吸液刀122可拆卸连接，安装、拆洗、维修、调整与更换方便；射流器123的数量为至少一，一个射流器123对应连接一个吸液刀122，在传送工件的上下方均可设置吸液刀122，吸液刀122垂直于工件传送的方向，且距离工件板面0.5mm，其上分布有大量的吸液孔1221，吸液孔1221在射流器123产生的真空负压的作用下产生吸力，能将工件上凹槽、盲孔残留的大量药水吸走，相比较现有的不带有吸液刀122的吸干装置而言，能减少60％～80％的药水带出量，同时可节省50％的洗水用量。

如图7所示，水洗装置13包括水洗段机体131，水洗段机体131内设有用于朝工件喷射洗水的水洗喷淋机构132、以及用于供给洗水且功率小的卧式泵133；如图1所示，水洗喷淋机构132包括上喷管115及下喷管116，上喷管115与下喷管116上均设有喷嘴117；上喷管115及下喷管116分别设置于工件输送方向的上方和下方；卧式泵133设于水洗喷淋机构132的下方，卧式泵133的出水口1331分别与上喷管115及下喷管116连通，进水口1332连通有容积改小的储水槽134，储水槽134与水洗段机体131的下机体连接，卧式泵133设于下机体中。传统储水槽134的容积为110L，本身请的储水槽134由传统的110L改为30L。

需要指出的是，如图3所示，上喷管115上设有14个喷嘴117，成两排布置，下喷管116上设有8个喷嘴117，也成一排布置，共有22个喷嘴117，而传统的喷嘴117布局为，上喷管115及下喷管116各设置有14个喷嘴117，成两排设置，每排7个，共28个喷嘴117，相比传统的喷嘴117而言，本实施例的喷嘴117喷射的压力要求更低，上喷管115压力可维持在1.5bar，可节约企业生产成本，而喷洒的流量能增加30％，冲洗交换率更高，可节约药水的使用量。

本发明相比较现有技术的有益效果：

一、如图4所示，由于药水回吸装置12采用吸液刀122和射流器123，在印刷工件的生产制造的湿制程工艺流程中，工件经过药水段装置11的药水喷淋，即工件板面经过有药水参与的化学反应处理之后，进入药水回吸装置12时，置于工件板面上的吸液刀122，将在射流器123中快速流动的液流产生的真空负压作用下，产生吸附力，充分地吸走工件板面、凹凸面、线路、图形、通孔和盲孔内残留的大量药水，并将回吸的药水储存起来，可供药水段装置11再次进行对工件喷淋，因而充分合理利用药水，避免造成药水的浪费，减少药水的使用量，降低企业的生产成本；同时也避免了上段湿制程工艺残留的药水会对下段湿制程工艺造成污染，避免了药水过多的排放，对环境造成更大的污染；

二、由于上述湿制程系统10采用了水洗装置13，如图4和图7所示，水洗装置13包括水洗喷淋机构132、卧式泵133及储水槽134，经过药水回吸装置12吸液刀122回吸后的工件，板面还残留着少许药水，再将工件输送给水洗段机体131内时，水洗喷淋机构132通过改变其上喷管115、下喷管116上喷嘴117的数量与布局，对工件板面进行均匀喷淋高洁净度的洗水，冲洗过工件的洗水将被收集储存于储水槽134中，而此时储水槽134的容积变小，相比较110L储水槽134而言，30L储水槽134中的洗水很快又会被卧式泵133抽取，再一次冲洗工件，即在相同的时间内，30L储水槽134中的洗水会被多次循环地用于冲洗工件，从而加快了洗水的交换速度，提高了洗水的交换率与洁净度，增强清洗效果，因此，30L洗水中能溶解的药水的量很快就达到最大值，此时则需要更换洗水，每次当洗水达到最大溶解度时再更换洗水，提高了洗水的利用率，相比较110L储水槽134而已，本实施例中的储水槽134能节约40％～50％的洗水量；

三、如图7所示，由于储水槽134的洗水交换速度变快、洗水的交换率变高，同时要求泵浦也要能够快速高效地将洗水从储水槽134中抽取，供给水洗喷淋机构132，所以，为了满足上述要求，本实施例中采用卧式泵，并将卧式泵安装于由于储水槽134改小所腾出的空间中，实现机体结构的合理布局，同时具备节水、节能、降低成本、机体美观、水洗水洁净度高的效果。

而传统泵浦为立式泵浦，立式泵浦的实际使用效率只有60％～70％，而卧式泵的效率则可达到90％～95％，并且，可以防止过多的无用功转化为卧式泵机身的热量，而将流经卧式泵的洗水加热，进而保证洗水的温度维持在20℃～30℃度之间，而不超过30℃，超过30℃会使得洗水氧化，低于20℃会影响洗水对药水的溶解度，均不利于节约洗水；

四、较为重要的是，卧式泵133的功率降低50％，却还能够维持水洗喷淋机构132所需要的喷射压力，相比较传统的泵浦而言，较为省电，而相比其他厂商而言，同样一道水洗工艺流程，其他厂商的泵浦用电量为2HP，本实施例中的卧式泵的用电量为1HP，例如，在DES线中，12道水洗工艺流程，本实施例中的卧式泵所消耗的电量为12HP(约为9.36KW)，其他厂商为24HP。

综上所述，在上述湿制程系统10中，药水段装置11对工件板面进行化学处理，形成线路图形与板面处理效果，药水回吸装置12将板面的药水吸回存储起来，减少板面药水携带量，水洗装置13则对板面进行高效清洗，三个装置相辅相成构成完整的湿制程系统，通过整个设备三大装置结构的优化，使其在节约药水、节水、节能等方面有显著的效果，从而真正的做到从源头环保减排，提高产品质量。

为了输送工件，回吸段机体121内设有用于的输送机构114，如图3、图4、图7和图8所示，输送机构114包括多根平行设置且垂直工件传送方向的行辘1141、行辘枕1142及用于驱动行辘141的传动机构1143，传动机构1143固设于行辘枕1142侧边，传动机构1143包括电机、传动轴及齿轮，行辘枕1142的上半部开设有间隔排列的第一U形槽1144，行辘1141架设于第一U形槽1144中，且可于第一U形槽1144中上下活动。

需要指出的是，同样为了输送工件，药水段机体111及水洗段机体131内也均设有输送机构114。

为了充分吸取工件上残留的药水，于工件的上、下方分布有上吸液刀1222及下吸液刀1223，

而在输送工件的过程中，如图8至图12所示，置于行辘1141上的工件，会因为工件自身厚度，而在行辘1141上下振动，因此，于行辘枕1142的上侧设有用于紧固上吸液刀1222的第一紧固件1146及第二紧固件1147，上吸液刀1222套设于第一紧固件1146上，并支撑于第二紧固件1147中；

需要指出的是，行辘1141包括行辘枝1151及固设于行辘枝1151上的行辘叶1152，第一紧固件1146架设于上吸液刀1222相邻两边的行辘枝1151上，并置于行辘枕1142内侧，第一紧固件1146通过螺丝与第二紧固件1147定位连接；第二紧固件1147固定于行辘枕1142上，并通过螺丝定位连接，且第二紧固件1147上的螺丝可于螺丝孔中上下移动；

而更为具体地，第一紧固件1146上开设有插槽1149，第二紧固件1147上开设有插孔1150，将上吸液刀1222插设于插槽1149中，并贯穿于插孔1150中，上吸液刀1222可于插孔1150中上下振动，这样，上吸液刀1222也可以随着工件的厚度被抬高，而自动调整其工作的高度，更加适用于多变的工件实际输送过程；

另外，如图9，行辘枕1142的下半部开设有第二U形槽1145；下吸液刀1223设于第二U形槽1145中，第二U形槽1145中设有用于紧固下吸液刀1223的第三紧固件1148。

为了便于将吸液刀122回吸的药水储存起来，如图4所示，药水回吸装置12还包括储液槽124，储液槽124与射流器123的出液口连通，而为了从储液槽124中抽取药水并输送给射流器123，回吸段机体121内设有立式泵125，立式泵125的进水端1251与储液槽124连通，出水端1252与射流器123的进液口连通。

需要指出的是，为了便于药水的收集，储液槽124与回吸段机体121一体成型，这样滴落至回吸段机体121内的药水，可直接回流到储液槽124中，起到节约药水的作用；并且储液槽124与回吸段机体121一体成型，使得生产制造更为方便，以及节省了储液槽124的安装空间。

本实施例关于药水段装置11具体结构的优选实施方式，如图3和图4所示，药水段装置11还包括药水段机体111、以及用于提供动力抽取药水的立式电机113，立式电机113的进水管与储液槽124连通，出水管与药水喷淋机构112连通。立式电机113采用传感器变频控制电机，可以系统稳压变频自动调整，延长使用寿命，节约用电。

需要说明的是，由于药水段装置11及药水回吸装置12共用储液槽124，立式泵125和立式电机113均设置于储液槽124的上方，立式电机113通过输液管道与药水喷淋机构112连通，而立式泵125采用分支输液管道与射流器123连通，进而将药水输送给吸液刀。

如图4和图7所示，水洗段机体131包括上机体126及下机体127，上机体126与下机体127通过一朝下倾斜设置的隔板128隔开，水洗喷淋机构132设于水洗装置的上机体126中，卧式泵133设于下机体127中。上机体126及下机体127一体成型，或者上机体126叠放于下机体127的上方，且可拆卸地连接。

为了便于洗水的汇集，储水槽134与水洗段机体131一体成型，隔板128沿液体流动的路径向下朝储水槽134倾斜，与隔板128最低端相接的水洗段机体131侧壁设有连通口1311与储水槽134相通，这样滴落在隔板128上的洗水，沿着倾斜的方向流动，并通过连通口1311直接回流进储水槽134中，利于洗水的回流、交换，以及洗水喷射循环的进行。

为了过滤药水及洗水中的杂质，如图3、图4和图7所示，上喷管115及下喷管116与立式电机113的出水管的连接输液管路上、立式泵125出水端1252与射流器123的射流管的连接输液管路上、以及水洗喷淋机构132与卧式泵133的出水口1331的连接输液管路上均分别设有过滤器129，过滤器129安装于储液槽124的上方。本实施例中，设置有过滤器129，其他实施例中，不需要设置过滤器129也可以实现同样的回吸及清洗功能，并不仅限本实施例。

本实施例提供的湿制程系统的工作原理：

工作时，待加工的工件由输送机构114输送至药水段装置11，此时立式电机113(传感稳压变频控制电机)运作，将储液槽124中的药水经过滤器129输送至药水喷淋机构112，上喷管115及下喷管116上的喷嘴117将药水均匀喷洒在工件上，使药水与工件发生化学反应，喷洒后的药水一部分自行流入储液槽124，而工件上的盲孔凹槽中仍携带着大量压辘压不走的药水；

随着继续传送，工件进入药水回吸装置12，此时，立式泵125将储液槽124中的溶液快速输送至射流器123，射流器123中快速流动的液流产生负压使与之连接的吸液刀122产生吸力，将残留在工件板面盲孔凹槽中的药水吸回储液槽124，减少了药水的带出浪费；

药水携带量很少的工件接着进入到水洗装置13，此时，通过改小储水槽134以及结合卧式泵133的应用，快速高效地将储水槽134中的高洁净度的洗水，经过滤器129过滤后，输送至上喷管115及下喷管116的喷嘴117上，并通过布局及数量改善的喷嘴117，对工件进行均匀高效清洗，清洗好的工件便进入下一道工序，至此，整个湿制程系统的工作完成。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.湿制程系统，其特征在于：包括沿工件加工方向依序排布且在结构上相互优化设计整合的药水段装置、药水回吸装置及水洗装置，

所述药水段装置包括用于对工件板面喷淋药水并进行化学处理的药水喷淋机构；

所述药水回吸装置包括回吸段机体、设于所述回吸段机体上且用于吸取工件上药水的吸液刀、以及用于使所述吸液刀产生真空负压吸力的射流器，所述射流器的导气管与所述吸液刀可拆卸连接；

所述水洗装置包括水洗段机体，所述水洗段机体内设有用于朝工件喷射洗水的水洗喷淋机构、以及用于供给洗水的卧式泵；所述水洗喷淋机构包括上喷管及下喷管，所述上喷管与所述下喷管上均设有喷嘴；所述上喷管及所述下喷管分别设置于工件输送方向的上方和下方，所述卧式泵的出水口分别与所述上喷管及所述下喷管连通，进水口连通有容积改小的储水槽，所述储水槽与所述水洗段机体的下机体连接，所述卧式泵设于所述下机体中。

2.如权利要求1所述的湿制程系统，其特征在于：所述回吸段机体内设有用于输送工件的输送机构，所述输送机构包括多根平行设置且垂直工件传送方向的行辘、行辘枕，以及用于驱动所述行辘的传动机构；所述行辘枕的上半部开设有间隔排列的第一U形槽，所述行辘架设于所述第一U形槽中。

3.如权利要求2所述的湿制程系统，其特征在于：所述行辘枕的下半部开设有第二U形槽；所述吸液刀包括上吸液刀及下吸液刀，所述行辘枕的上侧设有用于紧固所述上吸液刀的第一紧固件及第二紧固件，所述上吸液刀套设于所述第一紧固件上，并支撑于所述第二紧固件中；所述下吸液刀设于所述第二U形槽中，所述第二U形槽中设有用于紧固所述下吸液刀的第三紧固件。

4.如权利要求3所述的湿制程系统，其特征在于：所述上吸液刀及所述下吸液刀均垂直于工件传送方向，且均设有多个吸液孔。

5.如权利要求1～4任一项所述的湿制程系统，其特征在于：所述药水回吸装置还包括用于储存药水的储液槽，所述储液槽与所述射流器的出液口连通，所述回吸段机体内设有立式泵，所述立式泵的进水端与所述储液槽连通，出水端与所述射流器的进液口连通。

6.如权利要求5所述的湿制程系统，其特征在于：所述药水段装置还包括药水段机体、以及用于提供动力抽取药水的立式电机，所述立式电机的进水管与所述储液槽连通，出水管与所述药水喷淋机构连通。

7.如权利要求1～4任一项所述的湿制程系统，其特征在于：所述水洗段机体包括上机体及下机体，所述上机体与所述下机体通过一朝下倾斜设置的隔板隔开，所述水洗喷淋机构设于所述上机体中，所述卧式泵均设于所述下机体中。

8.如权利要求7所述的湿制程系统，其特征在于：所述储水槽与所述水洗段机体一体成型，所述隔板沿液体流动的路径向下朝所述储水槽倾斜，与所述隔板最低端相接的所述水洗段机体侧壁设有连通口与所述储水槽相通。

9.如权利要求6所述的湿制程系统，其特征在于：所述上喷管及所述下喷管与所述立式电机的出水管的连接输液管路上、所述立式泵出水端与所述射流器的射流管的连接输液管路上、以及所述水洗喷淋机构与所述卧式泵的出水口的连接输液管路上均分别设有过滤器。