CN105240636B - 真空氦检漏装置及其密封连接管 - Google Patents

Abstract

一种真空氦检漏装置及其密封连接管，真空氦检漏装置还包括抽真空充气回收装置、真空腔组件和氦检漏仪等，密封连接管为内外套接的柔性内管和柔性外管，柔性内管和柔性外管的一端适于通过第一安装接头组件连通抽真空充气回收装置的充回管路，另一端适于通过第二安装接头组件连通待检漏工件，形成相互隔离的气体充回通道和泄漏气体回收通道。本发明提供的真空氦检漏装置及其密封连接管，通过泄漏氦气回收通道能将长时间处于高压条件的柔性内管泄漏的氦气回收，避免氦气浪费，检测精准；另外，通过第一安装接头组件及第二安装接头组件的设置，实现了柔性内管和柔性外管两者分别与抽真空充气回收装置和被检工件的可拆卸密封连接并且装卸方便。

Description

真空氦检漏装置及其密封连接管

技术领域

本发明涉及工件密封性检测技术领域，具体涉及一种真空氦检漏装置用密封连接管及真空氦检漏装置。

背景技术

许多工件在生产过程中需要对其密封性进行检测，最常用的检测方法是气体探测法，以示踪气体对被测工件充压，将被测工件放入密闭容腔中，通过检测密闭容腔中集聚的示踪气体判断工件的密封性。目前，最为常用的气体探测装置为真空氦检漏装置。

真空氦检漏装置包括抽真空充气回收装置、电控箱、机械泵组件、真空腔组件以及氦检测仪，这些部件配合实现对被检工件检漏。将被检工件置于真空腔内，真空腔与氦检测仪密封连接，被检工件通过与其一同设于真空腔内的密封连接管连接抽真空充气回收装置，通过抽真空充气回收装置实现气体的充注和回收。在检测时，首先通过抽真空充气回收装置向被检工件中充入高压氮气进行检大漏，若无大漏则对被检工件进行抽真空然后再通过密封管路向被检工件中充入具有一定压强的氦气，若被检工件有泄露，则泄漏到真空腔的氦气进入氦检测仪中进行检测。

现有技术中，真空氦检漏装置用密封管路通常采用铜管，铜管两端与抽真空充气回收装置及被检工件采用螺纹密封连接或密封法兰连接，然而，由于铜管的柔性较差，不断更换被检工件的过程中铜管极易损坏，并且损坏的铜管基本无法经过简单维修继续使用，管路的频繁更换既耽误了时间也增加了成本。

现有技术中，部分厂家尝试通过软管替代铜管，采用软管免除了铜管需要经常更换的麻烦，增加了密封连接管的使用寿命，但是在实际使用中发现软管在长时间高压条件下容易发生气体泄漏，泄漏气体造成浪费，尤其是氦气价格昂贵，泄漏气体既干扰了检测结果的精准性又增加了额外检测成本。

发明内容

因此，本发明要解决的技术问题在于克服现有技术的真空氦检漏装置的密封连接软管在实际使用中容易发生气体(尤其是氦气)泄漏，导致检漏结果不准确且泄漏气体浪费的问题，从而提供一种在使用中检漏结果精密、避免气体浪费的真空氦检漏装置用密封连接管。

进一步提供一种具有该密封连接管的真空氦检漏装置。

本发明采用的技术方案如下：

一种真空氦检漏装置用密封连接管，包括：第一安装接头组件，内部形成相互隔离第一气体流通通道和第二气体流通通道，所述第一气体流通通道一端适于密封连通真空环境外的抽真空充气回收装置的充回管路，所述第二气体流通通道与所述第一气体流通通道的一端相应一端适于密封连通泄漏气体回收管路；相互套接的柔性内管和柔性外管，置于所述真空环境内，所述柔性内管和柔性外管的一端安装所述第一安装接头组件，所述柔性内管与所述第一气体流体通道的另一端密封连通，所述柔性内管与柔性外管之间留有间隙以形成气体回收通道，所述气体回收通道一端与所述第二气体流通通道的另一端密封连通；第二安装接头组件，安装于所述柔性内管和柔性外管的另一端并将该端的柔性外管与柔性内管之间的气体回收通道封堵，所述第二安装接头组件内部形成第三气体流通通道，所述第三气体流通通道一端适于密封连通所述柔性内管的另一端，另一端适于密封连通置于同一真空环境内的被检工件。

所述第一安装接头组件包括与柔性内管和柔性外管同轴设置的第一密封法兰，所述第一密封法兰内部形成空腔，所述空腔内安装轴向连接组件，轴向连接组件内部形成所述第一气体流通通道，所述轴向连接组件与第一密封法兰内壁之间留有间隙以形成所述第二气体流通通道；还包括套接于所述第一气体流通通道另一端与所述柔性外管连接处的第一管锁母，所述第一管锁母一端与柔性外管外壁密封卡接，另一端与第一密封法兰外壁螺纹密封连接。

所述轴向连接组件包括沿所述空腔轴向依次密封连接设置的第一对丝、第一快插接头以及第二对丝，第一对丝、第一快插接头和第二对丝内部分别形成通道且各通道一同密封连通构成所述第一气体流通通道。

第一密封法兰为CF法兰。

所述第二安装接头组件包括第二管锁母、管接头、螺纹活接头以及第二快插接头，第二管锁母一端与所述柔性外管另一端的外壁密封卡接，另一端与管接头的外壁螺纹密封连接并且管接头的该端弯折形成竖直挡壁，将所述柔性外管与柔性内管间的气体回收通道封堵，螺纹活接头位于管接头与第二快插接头之间并且旋转螺纹活接头即可完成所述管接头与所述第二快插接头的可拆卸螺纹密封连接。

一种真空氦检漏装置，包括抽真空充气回收装置，具有真空箱体及真空箱体内部的密封空腔的真空腔组件，密封连通于所述密封空腔的氦检漏仪以及设于所述密封空腔内的上述密封连接管。

所述真空箱体设有用于安装所述第一安装接头组件的安装口，与所述安装口对应的所述真空箱体的内壁和外壁分别设有第二密封法兰和第三密封法兰。

所述第二密封法兰为KF法兰，所述第三密封法兰为LF法兰。

还包括用于驱动抽真空充气回收装置的机械泵组件以及用于控制所述真空氦检漏装置运行的电控箱。

本发明技术方案，具有如下优点：

1.本发明提供的真空氦检漏装置用密封连接管，其相互套接的柔性内管和柔性外管形成了内部的氦气的充回通道和位于柔性内管外壁与柔性外管内壁之间的泄漏氦气的回收通道，通过泄漏氦气的回收通道能够将长时间处于高压条件的柔性内管泄漏的氦气回收，检漏结果精准，避免氦气浪费，节约成本；另外，通过第一安装接头组件及第二安装接头组件的设置，实现了柔性内管和柔性外管两者分别与抽真空充气回收装置和被检工件的可拆卸密封连接并且装卸方便。

2.本发明提供的真空氦检漏装置用密封连接管，其内部各管路通过快插接头或密封法兰密封连通，保证了各气体流通通道的良好密封性，有效防止氦气由连接缝隙泄漏至真空腔内，扰乱检漏工作的准确性。

3.本发明提供的真空氦检漏装置用密封连接管，其与待检工件连接处还设有螺纹活接头，在工件检漏过程中，螺纹活接头的设置使得待检工件与密封连接管连接时，工件与密封连接管均无需转动，直接通过螺纹活接头的转动实现工件与密封连接管的密封连通，使检漏作业操作更方便，尤其当待检工件较大较重时，更加节省人力与时间成本。

4.本发明提供的真空氦检漏装置，包括所述密封连接管，便捷耐用、不需频繁更换且无泄漏风险、检漏结果更加精准可靠。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施方式中提供的真空氦检漏装置及其密封连接管的密封连接管剖视图。

附图标记说明：

1-第一气体流通通道；11-第一气体流通通道的一端；12-第一气体流通通道的另一端；

2-第二气体流通通道；21-第二气体流通通道的一端；22-第二气体流通通道的另一端；

3-柔性内管气体流通通道；31-柔性内管气体流通通道的一端；32-柔性内管气体流通通道的另一端；

4-气体回收通道；41-气体回收通道的一端；42-气体回收通道的另一端；

5-第三气体流通通道；51-第三气体流通通道的一端；52-第三气体流通通道的另一端；

6-第一安装接头组件；61-CF法兰；62-加长对丝；63-第一快插接头；64-第一管锁母；

7-第二安装接头组件；71-第二管锁母；72-管接头；73-螺纹活接头；74-第二快插接头；

81-LF法兰；82-KF法兰。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

图1为本发明实施方式中提供的真空氦检漏装置及其密封连接管的密封连接管剖视图。如图1所示，本实施方式提供的真空氦检漏装置用密封连接管，包括：第一安装接头组件6，内部形成相互隔离第一气体流通通道1和第二气体流通通道2，所述第一气体流通通道的一端11适于密封连通真空环境外的抽真空充气回收装置的充回管路，所述第二气体流通通道2与所述第一气体流通通道的一端11相应一端适于密封连通泄漏气体回收管路；相互套接的柔性内管和柔性外管，置于所述真空环境内，所述柔性内管和柔性外管的一端安装所述第一安装接头组件6，所述柔性内管与所述第一气体流体通道的另一端12密封连通，所述柔性内管与柔性外管之间留有间隙以形成气体回收通道4，所述气体回收通道的一端41与所述第二气体流通通道的另一端22密封连通；第二安装接头组件7，安装于所述柔性内管和柔性外管的另一端并将该端的柔性外管与柔性内管之间的气体回收通道4封堵，所述第二安装接头组件7内部形成第三气体流通通道5，所述第三气体流通通道的一端51适于密封连通所述柔性内管的另一端，第三气体流通通道的另一端52适于密封连通置于同一真空环境内的被检工件。

如图1所示，第一气体流通通道的一端11适于连通设于真空腔外的抽真空充气回收装置的充回管路，所述抽真空充气回收装置既能够对待检工件充入示踪气体，又能够对其进行抽真空，所述第一气体流通通道的另一端12适于密封连通柔性内管气体流通通道的一端31，所述柔性内管气体流通通道3由柔性内管的管内空间形成，柔性内管气体流通通道的另一端32适于密封连通第三气体流通通道的一端51，所述第三气体流通通道的另一端52适于密封连通待检工件。第一气体流通通道1、柔性内管气体流通通道3和第三气体流通通道5的依次连通形成了示踪气体充回通道，检漏作业先对工件抽真空，对其充入高压氮气检大漏，若无明显漏点再对工件抽真空，对其充入高压氦气进行精密检漏，此时若有氦气由工件的漏点泄漏至真空腔中，与真空腔密封连通的检漏仪便会发出信号指示，表明工件有泄漏；第二气体流通通道的一端21适于连通泄漏气体回收管路，所述第二气体流通通道的另一端22适于密封连通气体回收通道4，所述气体回收通道4由柔性内管与柔性外管之间的间隙形成的气体流通空间形成，气体回收通道的另一端42处设有封堵结构。第二气体流通通道2以及气体回收通道4的依次连通形成了泄漏气体收集通道，由于柔性管路在长期的高压充胀下可能产生细纹，引起泄漏风险，因此设置在柔性内管外的柔性外管可以有效防止可能泄漏的示踪气体进入真空腔内干扰检漏结果，将检漏作业中可能泄漏的示踪气体通过所述泄漏气体收集通道经泄漏气体回收管路回收利用。通过泄漏氦气的气体回收通道4的设置将长时间处于高压条件的柔性内管泄漏的氦气回收，使检漏结果精准，且避免氦气浪费，节约成本；另外，通过第一安装接头组件6及第二安装接头组件7的设置，实现了柔性内管和柔性外管两者分别与抽真空充气回收装置和被检工件的可拆卸密封连接并且装卸方便。

作为本发明的优选实施方式，如图1所示，所述第一安装接头组件6包括与柔性内管和柔性外管同轴设置第一密封法兰，所述第一密封法兰内部形成空腔，所述空腔内安装轴向连接组件，轴向连接组件内部形成所述第一气体流通通道1，所述轴向连接组件与第一密封法兰内壁间留有间隙以形成所述第二气体流通通道2；还包括套接于所述第一密封法兰与所述柔性外管连接处的第一管锁母64。

上述第一密封法兰在本实施方式中优选但不限于为CF法兰61。

具体地，上述第一管锁母64一端与柔性外管外壁密封卡接，另一端与第一密封法兰外壁螺纹密封连接，由于第一密封法兰内腔在第一管锁母64处并未封堵，留有一定间隙，因此第一管锁母64的设置密封连通了第二气体流通通道2和气体回收通道4，在检漏作业中实现对泄漏气体的回收利用。

进一步地，上述轴向连接组件还包括沿所述空腔的轴向依次密封连接设置的第一对丝和第一快插接头63，所述第一对丝设于第一气体流通通道的一端11，所述第一快插接头63密封连通所述柔性内管气体流通通道的一端31，柔性内管气体流通通道的另一端32则适于通过第三气体流通通道5与待检工件密封连通，形成完整的示踪气体(氦气或氮气)充回通道，在检漏作业中实现对待检工件的充气和抽真空。

本实施方式中，上述第一对丝优选为加长对丝62，第一快插接头63优选为V口快插。

作为本发明的另一种优选实施方式，如图1所示，所述第二安装接头组件7包括第二管锁母71、管接头72、螺纹活接头73以及第二快插接头74，第二管锁母71一端与所述柔性外管另一端的外壁密封卡接，另一端与管接头72的外壁螺纹密封连接并且管接头72的该端弯折形成竖直挡壁，将所述柔性外管与柔性内管间的气体回收通道4封堵。

具体地，上述螺纹活接头73位于管接头72与第二快插接头74之间，并且旋转螺纹活接头73即可完成管接头72与第二快插接头74的可拆卸螺纹密封连接。在工件检漏过程中，待检工件与所述密封连接管连接时，工件与密封连接管均无需转动，直接通过螺纹活接头73的转动实现工件与密封连接管的密封连通，使检漏作业操作更方便，尤其当待检工件较大较重时，更加节省人力与时间成本。

本实施方式中，所述管螺母优选为弹簧管螺母，管接头72优选为弹簧管接头72。

本实施方式提供的一种真空氦检漏装置，包括抽真空充气回收装置，具有真空箱体及真空箱体内部的密封空腔的真空腔组件，密封连通于所述密封空腔的氦检漏仪以及设于所述密封空腔内的上述密封连接管。

具体地，所述真空箱体设有用于安装所述第一安装接头组件6的安装口，与所述安装口对应的所述真空箱体的内壁和外壁分别设有第二密封法兰和第三密封法兰。本实施方式中第二密封法兰优选为KF法兰82，第三密封法兰优选为LF法兰81。

进一步地，所述真空氦检漏装置还包括用于驱动抽真空充气回收装置的机械泵组件以及用于控制所述真空氦检漏装置运行的电控箱。该真空氦检漏装置便捷耐用、不需频繁更换零部件且无泄漏风险、检漏结果更加精准可靠。

以下结合附图1，对本发明提供的真空氦检漏装置的工作过程进行详细说明：所述真空氦检漏装置的第一安装接头组件6内部形成的第一气体流通通道1通过LF法兰81与真空腔外的抽真空充气回收装置的充回管路密封连通，第二气体流通通道2通过LF法兰81与真空腔外的泄漏气体回收管路密封连通，第二安装接头组件7与待检漏工件密封连通。先由抽真空充气回收装置对待检工件抽真空并充入高压氮气进行检大漏，若工件无明显大漏则对其二次抽真空并充入高压氦气进行检漏，若此时工件发生泄漏，则泄漏至真空腔内的氦气被连接于真空腔的氦检漏仪检出，同时由柔性内管泄漏的氦气经气体回收通道4、第二气体流通通道2连通泄漏气体回收管路进行回收利用。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。

Claims (9)

1.一种真空氦检漏装置用密封连接管，其特征在于，包括：

第一安装接头组件(6)，内部形成相互隔离第一气体流通通道(1)和第二气体流通通道(2)，所述第一气体流通通道的一端(11)适于密封连通真空环境外的抽真空充气回收装置的充回管路，所述第二气体流通通道(2)与所述第一气体流通通道的一端(11)相应一端适于密封连通泄漏气体回收管路；

相互套接的柔性内管和柔性外管，置于所述真空环境内，所述柔性内管和柔性外管的一端安装所述第一安装接头组件(6)，所述柔性内管与所述第一气体流通通道的另一端(12)密封连通，所述柔性内管与柔性外管之间留有间隙以形成气体回收通道(4)，所述气体回收通道的一端(41)与所述第二气体流通通道的另一端(22)密封连通；

第二安装接头组件(7)，安装于所述柔性内管和柔性外管的另一端并将该端的柔性外管与柔性内管之间的气体回收通道(4)封堵，所述第二安装接头组件(7)内部形成第三气体流通通道(5)，所述第三气体流通通道的一端(51)适于密封连通所述柔性内管的另一端，另一端适于密封连通置于同一真空环境内的被检工件。

2.根据权利要求1所述的真空氦检漏装置用密封连接管，其特征在于，所述第一安装接头组件(6)包括与柔性内管和柔性外管同轴设置的第一密封法兰，所述第一密封法兰内部形成空腔，所述空腔内安装轴向连接组件，所述轴向连接组件内部形成所述第一气体流通通道(1)，所述轴向连接组件与第一密封法兰内壁之间留有间隙以形成所述第二气体流通通道(2)；还包括套接于所述第一密封法兰与所述柔性外管连接处的第一管锁母(64)，所述第一管锁母(64)一端与柔性外管外壁密封卡接，另一端与第一密封法兰外壁螺纹密封连接。

3.根据权利要求2所述的真空氦检漏装置用密封连接管，其特征在于，所述轴向连接组件包括沿所述空腔的轴向依次密封连接设置的第一对丝和第一快插接头(63)，所述第一对丝和所述第一快插接头(63)内部分别形成通道且各通道一同密封连通构成所述第一气体流通通道(1)。

4.根据权利要求2所述的真空氦检漏装置用密封连接管，其特征在于，第一密封法兰为CF法兰(61)。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的真空氦检漏装置用密封连接管，其特征在于，所述第二安装接头组件(7)包括第二管锁母(71)、管接头(72)、螺纹活接头(73)以及第二快插接头(74)，所述第二管锁母(71)一端与所述柔性外管另一端的外壁密封卡接，另一端与所述管接头(72)的外壁螺纹密封连接并且管接头(72)的该端弯折形成竖直挡壁，将所述柔性外管与柔性内管间的气体回收通道(4)封堵，所述螺纹活接头(73)位于管接头(72)与第二快插接头(74)之间并且旋转螺纹活接头(73)即可完成所述管接头(72)与所述第二快插接头(74)的可拆卸螺纹密封连接。

6.一种真空氦检漏装置，其特征在于，包括抽真空充气回收装置，具有真空箱体及真空箱体内部的密封空腔的真空腔组件，密封连通于所述密封空腔的氦检漏仪以及设于所述密封空腔内的根据权利要求1-5中任一项所述的密封连接管。

7.根据权利要求6所述的真空氦检漏装置，其特征在于，所述真空箱体设有用于安装所述第一安装接头组件(6)的安装口，与所述安装口对应的所述真空箱体的内壁和外壁分别设有第二密封法兰和第三密封法兰。

8.根据权利要求7所述的真空氦检漏装置，其特征在于，所述第二密封法兰为KF法兰(82)，所述第三密封法兰为LF法兰(81)。

9.根据权利要求6所述的真空氦检漏装置，其特征在于，还包括用于驱动抽真空充气回收装置的机械泵组件以及用于控制所述真空氦检漏装置运行的电控箱。