CN105220071B - 一种低噪音特性取向硅钢及其制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种低噪音特性取向硅钢，其包括硅钢基板和涂覆于硅钢基板上的绝缘涂层；此外，该绝缘涂层的张力范围为6‑8MPa；所述硅钢基板中的Cu元素和S元素含量满足：0.1％≤Cu≤0.5％，0.01％≤S≤0.05％,且原子比Cu/S满足：5≤Cu/S≤10。本发明还公开了一种低噪音特性取向硅钢的制造方法，其依次包括步骤：(1)冶炼，铸造成板坯；(2)加热；(3)常化；(4)冷轧；(5)脱碳退火；(6)成品退火；(7)热拉伸退火，并在硅钢基板表面涂覆绝缘涂层，调节涂覆量以使绝缘涂层的张力范围为6‑8MPa。本发明所述的低噪音特性取向硅钢磁致伸缩小，由其制成的铁芯所产生的振动小，从而降低了变压器的整体噪音水平。

Description

一种低噪音特性取向硅钢及其制造方法

技术领域

本发明涉及一种钢材料及其制造方法，尤其涉及一种电工钢及其制造方法。

背景技术

励磁时，取向硅钢成品板随着磁化发生成品板尺寸变化的过程称之为磁致伸缩，其是变压器噪音的主要来源之一。随着人们对于能源需求的增加以及对于噪音愈加敏感，导致用户对变压器的性能，尤其是变压器的噪音性能有着更为严格的要求。目前，世界范围内的变压器制造厂、钢材制造厂、大学及研究机构等都投入了大量的精力和财力，展开有关于变压器的噪音性能与不同影响因素之间的关联性研究。

磁致伸缩的产生机理是由于磁化过程的90°磁畴的数量变化和转动。取向硅钢磁致伸缩的决定性因素是180°磁畴间出现的小附加畴－柳叶畴(90°畴)的数量。当柳叶畴90°畴与180°畴垂直时，90°畴沿横向和厚度方向拉长，而180°畴则沿轧制方向拉长。减少90°畴(闭合畴)，就能够有效地降低磁致伸缩。在现有技术中，目前主要使用的降低磁致伸缩的方法具体如下：

1)提升成品晶粒的<001>取向度可以降低磁致伸缩。图1显示了<001>轴的面偏差角β与90°畴体积计算值之间的关系。如图1所示，90°畴体积随着偏差角β的减小而减少，同时90°畴体积会随着轧向张力的增大而减少。从图1可以获知，在无外场的情况下，降低(110)[001]的偏离角β能够最小化取向硅钢的磁致伸缩。

2)降低成品厚度降低磁致伸缩。图2显示了钢板成品样板的厚度与磁致伸缩性能之间的关系。如图2所示，随着钢板成品厚度的增加，其磁致伸缩也会随之增加。由于钢板成品样板厚度的增加而使得磁致伸缩增加的原理为：[100]磁畴构成了钢板材料的杂乱度，其是产生磁致伸缩的原因：随着钢板成品样板厚度的增加，[100]磁畴也会随之增加，而表面闭合畴[001]没有发生变化。这就意味着磁畴[001]和[100]的比率发生的改变而使得磁致伸缩增加(作者：Philip I.Anderson,，Anthony J.Moses和Hugh J.Stanbury，《Assessmentof the Stress Sensitivity of Magnetostriction in Grain-Oriented SiliconSteel》，期刊《IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS》，2007.8(43):3467-3476)。

通过上述两种技术方案可以实现取向硅钢成品板磁致伸缩的下降，从而实现变压器噪音水平的降低。

图3显示了取向硅钢成品板的伸长、磁密及时间之间的关系。如图3所示，由于磁致伸缩而造成的钢板成品样板伸缩，当磁密为正弦曲线的情况下：如果磁致伸缩精确地与磁感应强度(B)成正比，那么振动将只包含一种谐波，其频率为电网频率的两倍，也就是说，若当电网频率为50Hz时，谐波频率则为100Hz。在实际情况中，由于上述关系和抛物线并不相同，因此变压器噪音将包含高谐波，高次波的频率为基波的整数倍(作者：龚新民，《变压器的噪音(上、下)》，《变压器》，1980，5：51-56；)。

公开号为CN1327075A，公开日为2001年12月19日，名称为“低噪音变压器用的单向性电磁钢板”的中国专利文献公开了一种可减少对人听觉影响大的高次波、可有效地减小噪音的低噪音变压器用的单向性电磁钢板。该单向性电磁钢板在预先不形成玻璃覆盖膜或在形成玻璃覆盖膜后以任意方法将其除去之后，用在表面涂覆或类似方法令该电磁钢板具有0.5MPa以上、4.0MPa以下的张力。该专利文献所公开的技术方案主要通过采用无底层的技术来提高取向硅钢成品板的表面光洁度，以减少磁致伸缩的不平滑度，从而降低300-1000Hz的磁致伸缩速度声压水平，并最终降低变压器的整体噪音水平。

此外，公开号为US20020012805A，公开日为2002年1月31日，名称为“用于低噪音变压器的晶粒取向电磁钢板”的美国专利文献也记载了一种用于低噪音变压器制造的晶粒取向电磁钢板。涂覆有玻璃膜的钢板能够降低高次谐波，从而有效地降低变压器的噪音。该美国专利所公开的技术方案通过镜面和大涂层张力来达到降低铁损的目的，然而该技术方案并没有降低钢板的磁致伸缩。

发明内容

本发明的目的在于提供一种低噪音特性取向硅钢。该低噪音特性取向硅钢降低了磁致伸缩，由该低噪音特性取向硅钢制成的铁芯所产生的振动小，从而使得具有此类铁芯的变压器的整体噪音水平低。

为了实现上述目的，本发明提出了一种低噪音特性取向硅钢，其包括硅钢基板和涂覆于硅钢基板上的绝缘涂层；此外，该绝缘涂层的张力范围为6-8MPa；该硅钢基板中的Cu元素和S元素含量满足：0.1％≤Cu≤0.5％，0.01％≤S≤0.05％，且原子比Cu/S满足：5≤Cu/S≤10。

由于磁致伸缩波形中的低次谐波主要会影响铁芯的振动，因而，为了降低变压器的噪音，需要降低铁芯的振动，即减少磁致伸缩波形的低次谐波。鉴于此，本发明的技术方案通过控制涂覆于硅钢基板的绝缘涂层的张力范围在6-8MPa之间，来降低磁致伸缩波形中的低次谐波，从而减少铁芯的振动，进而有效地降低变压器的噪音水平。在实际情况中，钢板材料中的晶粒间存在由[100]和[010]位向磁畴组成的小闭合结构(90°磁畴)，这些磁畴的存在是为了最小化因轧向偏差角所引起的静磁能。典型的小闭合结构为匕首形磁畴。在外磁场作用下，施加具有适当张力的绝缘涂层能够消除这个闭合磁畴结构，使得取向硅钢成品板的磁致伸缩性能(即磁致伸缩速度声压水平L_vA)下降。

随着绝缘涂层张力的增加，磁致伸缩性能首先会大幅度地下降，然后当绝缘涂层的张力达到8MPa时，绝缘涂层的张力对于取向硅钢成品板的磁致伸缩性能的影响趋于饱和，此时，即使再增加绝缘涂层张力，取向硅钢成品板的磁致伸缩性能也基本上不会发生明显地下降。因此，基于本发明的技术方案，需要将绝缘涂层的张力控制在6-8MPa范围之间。

此外，通过硅钢基板中的Cu元素和S元素在合适的范围内，即Cu元素含量满足0.1％≤Cu≤0.5％，S元素含量满足：0.01％≤S≤0.05％，且原子比Cu/S满足：5≤Cu/S≤10，来实现改善成品磁性能，并且有效地控制晶粒尺寸。

进一步地，本发明所述的低噪音特性取向硅钢的成品磁性能和晶粒尺寸控制参数X满足：

X＝[ln(Dave)]×P_17/50/B₈/B₂₅≤0.30

其中，Dave表示成品平均晶粒尺寸(mm)；P_17/50表示50hz、1.7T下的总损耗(W/Kg)；B₈表示磁场强度为800A/m下的磁感应强度(T)；B₂₅表示磁场强度为2500A/m下的磁感应强度(T)。

基于本发明的技术方案，使得低噪音特性取向硅钢的成品磁性能和晶粒尺寸满足上述模型公式，可以实现磁致伸缩振动的减少。同时，还可以减小成品晶粒度，以减少取向硅钢成品板中的90°磁畴数量，从而降低取向硅钢成品板的磁致伸缩性能。该参数X不仅与钢种的成分有关，还与钢种的制造工艺有关。

更进一步地，在本发明所述的低噪音特性取向硅钢中，上述绝缘涂层的有效成分含有磷酸盐。

更进一步地，上述绝缘涂层的有效成分为磷酸盐、二氧化硅和铬酐。

更进一步地，本发明所述的低噪音特性取向硅钢的厚度H为0.27-0.35mm。

更进一步地，在本发明所述的低噪音特性取向硅钢中，上述硅钢基板中各化学元素质量百分配比为：

C：0.055～0.080％，Si：2.8～3.5％，Mn：0.01～0.02％，Als：0.020～0.03％，N：0.0050～0.0090％，Cu：0.1～0.5％，S：0.01～0.05％，余量为Fe及其他不可避免的杂质。

更进一步地，本发明所述的低噪音特性取向硅钢满足L_vA(17)＜55dB(A)。

L_vA(17)表示低噪音特性取向硅钢在磁通密度为1.7T下的磁致伸缩的振动速度声压水平，其单位参量为dB(A)。

本发明的另一目的在于提供一种低噪音特性取向硅钢的制造方法。通过该制造方法可以获得磁致伸缩小的低噪音特性取向硅钢，由该低噪音特性取向硅钢制成的铁芯所产生的振动小，从而使得具有此类铁芯的变压器整体噪音水平降低。

为了实现上述发明目的，本发明提出了一种低噪音特性取向硅钢的制造方法，其依次包括步骤：(1)冶炼，铸造成板坯；(2)加热；(3)常化；(4)冷轧；(5)脱碳退火；(6)成品退火；(7)热拉伸退火，并在硅钢基板表面涂覆绝缘涂层，调节涂覆量以使绝缘涂层的张力范围为6-8MPa。

进一步地，在本发明所述的低噪音特性取向硅钢的制造方法中，在上述步骤(7)中，涂覆量为6-10g/m²。

随着绝缘涂层的涂覆量增加，绝缘涂层的张力先是大幅度地上升，然后趋于饱和。为此，虽然绝缘涂层的张力会随着绝缘涂层的增厚而增加，但是当绝缘涂层的张力趋于饱和后，一味地增加绝缘涂层的厚度并不能明显地增加绝缘涂层的张力。除此之外，绝缘涂层的厚度增加还会使得其叠片系数下降，这样变压器的整体噪音水平反而会上升。因此，从提高低噪音特性取向硅钢的产品性能和制造成本控制两方面的因素考虑，绝缘涂层的涂覆量需要控制在6-10g/m²之间。

更进一步地，在本发明所述的低噪音特性取向硅钢的制造方法中，在上述步骤(3)中，采用两段式常化处理：首先加热到1100～1200℃，然后以1℃/s～10℃/s的冷却速度降温到900～1000℃；随后以10℃/s～70℃/s的冷却速度冷却到室温。

更进一步地，在本发明所述的低噪音特性取向硅钢的制造方法中，在上述步骤(4)中，冷轧采用一次冷轧或带中间退火步骤的二次冷轧。

更进一步地，在本发明所述的低噪音特性取向硅钢的制造方法中，在上述步骤(5)中，在800～900℃温度下进行一次再结晶退火，然后涂覆退火隔离剂。

更进一步地，在本发明所述的低噪音特性取向硅钢的制造方法中，在上述步骤(6)中，退火温度为1100～1200℃，保温20-30h。

更进一步地，在本发明所述的低噪音特性取向硅钢的制造方法中，在上述步骤(7)中，热拉伸退火的具体工艺为；首先加热到800～900℃，保温10-30S，然后以5℃/s～50℃/s的冷速降温到室温。

本发明所述的低噪音特性取向硅钢降低了磁致伸缩，由该低噪音特性取向硅钢制成的铁芯所产生的振动小，从而使得具有此类铁芯的变压器的整体噪音水平低。

本发明的技术方案通过对绝缘涂层的张力范围的控制，降低了磁致伸缩振动的低次谐波，从而减小了铁芯的振动，进而降低了变压器的整体噪声水平。

另外，本发明的技术方案通过控制硅钢基板中的Cu元素和S元素含量在适当的范围之内，并将两者的原子比控制在一范围之内，改善了低噪音特性取向硅钢的成品磁性能。

此外，本发明的技术方案通过控制晶粒尺寸来减少磁致伸缩振动，从而降低硅钢钢板的磁致伸缩性能。

通过本发明所述的低噪音特性取向硅钢的制造方法可以获得磁致伸缩小且整体噪音水平低的低噪音特性取向硅钢。

附图说明

图1显示了<001>轴的面偏差角β与90°畴体积计算值之间关系。

图2显示了钢板成品样板的厚度与磁致伸缩之间的关系。

图3显示了钢板成品样板的伸长、磁密及时间之间的关系。

图4显示了涂覆于钢板成品样板上的绝缘涂层的张力与磁致伸缩性能之间的关系。

图5显示了硅钢基板中的Cu元素含量以及Cu/s原子比与磁致伸缩性能之间的关系。

图6显示了钢板成品样板的成品磁性能和晶粒尺寸控制参数X与磁致伸缩性能之间的关系。

图7显示了涂覆于钢板成品样板上的绝缘涂层的张力与绝缘涂层的涂覆量之间的关系。

图8显示了涂覆于钢板成品样板上的绝缘涂层的张力与不同磁致伸缩性能低次谐波之间的关系。

具体实施方式

下面将结合附图说明和具体的实施例对本发明所述的低噪音特性取向硅钢及其制造方法做进一步的解释和说明，然而该解释和说明并不对本发明的技术方案构成不当限定。

实施例A1-A6和对比例B1-B2

通过本发明的低噪音特性取向硅钢的制造方法来获得实施例和对比例，其包括步骤：

1)冶炼，铸造成板坯，在冶炼过程中，控制实施例和对比例的硅钢基板中的各化学元素配比；

2)加热：加热到1200～1280℃，保温1～4hr，热轧成带钢；

3)常化：首先加热到1100～1200℃，然后以1℃/s～10℃/s的冷却速度降温到900～1000℃；随后以10℃/s～70℃/s的冷却速度冷却到室温；

4)冷轧：采用一次冷轧或带中间退火步骤的二次冷轧，冷轧后的成品厚度H为0.27-0.35mm；

5)脱碳退火：在800～900℃温度下进行一次再结晶退火，然后涂覆退火隔离剂；

6)成品退火：退火温度1100～1200℃，保温20-30hr；

7)热拉伸退火及涂覆绝缘层：首先加热到800～900℃，保温10-30S，然后以5℃/s～50℃/s的冷速降温到室温，在硅钢基板表面涂覆绝缘涂层，调节涂覆量在6-10g/m²范围之间以使绝缘涂层的张力范围为6-8MPa，其中，绝缘涂层的有效成分为磷酸盐、二氧化硅和铬酐。

需要说明的是，采用非接触式的激光多普勒振动仪(Laser DopplerVibrometers)测量实施例A1-A6和对比例B1-B2的钢板样品在B＝1.7T条件下的磁致伸缩性能(磁致伸缩速度声压水平L_vA)，具体测量方法可以参见IEC(InternationalElectrotechnical Commission)技术报告-IEC/TP 62581，经测量所获得磁致伸缩性能(磁致伸缩速度声压水平L_vA)则列于表1中。

表1列出了实施例A1-A6和对比例B1-B2的低噪音特性取向硅钢的硅钢基板中的各化学元素的质量百分配以及低噪音特性取向硅钢的其他参数。

表1.(wt％，余量为Fe和其他不可避免的杂质元素)

*注：1)X为成品磁性能和晶粒尺寸控制参数，其中，X＝[ln(Dave)]*P_17/50/B₈/B₂₅，在本技术方案中X应当≤0.30；2)H为低噪音特性取向硅钢的成品厚度；3)L_vA(17)为磁化通密度为1.7T时的磁致伸缩振动速度声压水平，其单位参量为dB(A)；4)张力为涂覆于硅钢基板上的绝缘涂层的张力。

表2列出了实施例A1-A6和对比例B1-B2的低噪音特性取向硅钢的制造方法的具体工艺参数。

表2.

采用实施例A1-A6和对比例B1-B2的低噪音特性取向硅钢制得240KVA的三相变压器，在50Hz、1.7T的磁化条件下进行噪音检测，检测后的结果列于表3中。

表3列出了由实施例A1-A6和对比例B1-B2的低噪音特性取向硅钢组装而成的变压器的噪音性能。

表3.

序号	噪音(dB(A))
		A1	56.7
A2	56.4
		A3	56.2
A4	56.0
		A5	54.9
A6	54.3
		B1	65.5
B2	63

由表1可以看出，由实施例A1-A6的低噪音特性取向硅钢的磁致伸缩性能L_vA(17)≤55dB(A)。

由表3可以看出，由实施例A1-A6的低噪音特性取向硅钢组制得的变压器的噪音均≤57dB(A)。结合表1和表3，由于对比例B1中的Cu元素含量、Cu/S原子比及成品磁性能和晶粒尺寸控制参数X都超出了本发明技术方案所限定的范围，因此，由对比例B1的低噪音特性取向硅钢组装而成的变压器的噪音高达65.5dB。

图4显示了涂覆于钢板成品样板上的绝缘涂层的张力与磁致伸缩性能(即磁致伸缩速度声压水平L_vA(17))之间的关系。

如图4所示，随着绝缘涂层张力的增加，磁致伸缩速度声压水平L_vA(17)先是大幅度地下降，然后当绝缘涂层的张力达到8MPa时，绝缘涂层的张力对于降低取向硅钢成品板的磁致伸缩性能的影响趋于饱和，此时，即使再增加绝缘涂层张力，取向硅钢成品板的磁致伸缩性能也基本上不会发生明显地下降。相反地，当绝缘涂层的张力达到12MPa时，取向硅钢成品板的磁致伸缩性能反而会随着绝缘涂层张力的增加而上升。

图5显示了硅钢基板中的Cu元素以及Cu/s原子比与磁致伸缩速度声压水平L_vA(17)之间的关系。

如图5所示，圆点代表磁致伸缩速度声压水平L_vA(17)＜55dB(A)，方形代表磁致伸缩速度声压水平L_vA(17)＞55dB(A)，从图中可以看出，当Cu元素含量满足0.1％≤Cu≤0.5％且原子比Cu/S满足：5≤Cu/S≤10时，低噪音特性取向硅钢的磁致伸缩速度声压水平L_vA(17)满足：(L_vA(17))＜55dB(A)。

图6显示了钢板成品样板的成品磁性能和晶粒尺寸控制参数X与磁致伸缩速度声压水平L_vA(17)之间的关系。

如图6所示，低噪音特性取向硅钢的磁致伸缩速度声压水平L_vA(17)随着成品磁性能和晶粒尺寸控制参数X的增加而上升。当成品磁性能和晶粒尺寸控制参数X＝[ln(Dave)]*P_17/50/B₈/B₂₅≤0.30时，低噪音特性取向硅钢的磁致伸缩速度声压水平L_vA(17)＜55dB(A)。

图7显示了涂覆于钢板成品样板上的绝缘涂层的张力与绝缘涂层的涂覆量之间的关系。

如图7所示，随着绝缘涂层的涂覆量增加，绝缘涂层的张力先是大幅度地上升，然后趋于平缓。为此，虽然绝缘涂层的张力会随着绝缘涂层涂覆量的增厚而增加，但是当绝缘涂层的张力趋于饱和后，一味地增加绝缘涂层的厚度并不能明显地增加绝缘涂层的张力。当绝缘涂层的涂覆量控制在6-10g/m²范围之间时，绝缘涂层的张力范围对应地为6-8MPa。

图8显示了涂覆于钢板成品样板上的绝缘涂层的张力与不同磁致伸缩性能低次谐波之间的关系。

如图8所示，通过提升绝缘涂层的张力能够明显地降低100Hz和200Hz的磁致伸缩性能，然而提升绝缘涂层的张力对于300Hz的磁致伸缩性能的影响基本不变。为此，通过提高绝缘涂层的张力可以明显地降低磁致伸缩低次谐波(100Hz、200Hz)的噪音水平，由此来减少铁芯的振动，从而降低变压器的整体噪音水平。

需要注意的是，以上列举的仅为本发明的具体实施例，显然本发明不限于以上实施例，随之有着许多的类似变化。本领域的技术人员如果从本发明公开的内容直接导出或联想到的所有变形，均应属于本发明的保护范围。

Claims (16)

1.一种低噪音特性取向硅钢，其包括硅钢基板和涂覆于硅钢基板上的绝缘涂层；其特征在于：所述绝缘涂层的张力范围为6-8MPa；所述硅钢基板中的Cu元素和S元素含量满足：0.1％≤Cu≤0.5％，0.01％≤S≤0.05％,且原子比Cu/S满足：5≤Cu/S≤10；

该低噪音特性取向硅钢的成品磁性能和晶粒尺寸控制参数X满足：

X＝[ln(Dave)]×P_17/50/B₈/B₂₅≤0.30

其中，Dave表示成品平均晶粒尺寸，其单位参量为mm；P_17/50表示50Hz、1.7T下的总损耗，其单位参量为W/kg；B₈表示磁场强度为800A/m下的磁感应强度，其单位参量为T；B₂₅表示磁场强度为2500A/m下的磁感应强度，其单位参量为T。

2.如权利要求1所述的低噪音特性取向硅钢，其特征在于，所述绝缘涂层的有效成分含有磷酸盐。

3.如权利要求2所述的低噪音特性取向硅钢，其特征在于，所述绝缘涂层的有效成分为磷酸盐、二氧化硅和铬酐。

4.如权利要求2所述的低噪音特性取向硅钢，其特征在于，其厚度H为0.27-0.35mm。

5.如权利要求1-4中任意一项所述的低噪音特性取向硅钢，其特征在于，所述硅钢基板中各化学元素质量百分配比为：

C：0.055～0.080％，Si：2.8～3.5％，Mn：0.01～0.02％，Als：0.020～0.03％，N：0.0050～0.0090％，Cu：0.1～0.5％，S：0.01～0.05％，余量为Fe及其他不可避免的杂质。

6.如权利要求1-4中任意一项所述的低噪音特性取向硅钢，其特征在于，低噪音特性取向硅钢在磁通密度为1.7T下的磁致伸缩的振动速度声压水平L_vA(17)＜55dB (A)。

7.如权利要求1-4中任意一项所述的低噪音特性取向硅钢的制造方法，其依次包括步骤：(1)冶炼，铸造成板坯；(2)加热；(3)常化；(4)冷轧；(5)脱碳退火；(6)成品退火；(7)热拉伸退火，并在硅钢基板表面涂覆绝缘涂层，调节涂覆量以使绝缘涂层的张力范围为6-8MPa。

8.如权利要求7所述的低噪音特性取向硅钢的制造方法，其依次包括步骤：(1)冶炼，铸造成板坯；(2)加热；(3)常化；(4)冷轧；(5)脱碳退火；(6)成品退火；(7)热拉伸退火，并在硅钢基板表面涂覆绝缘涂层，调节涂覆量以使绝缘涂层的张力范围为6-8MPa。

9.如权利要求6所述的低噪音特性取向硅钢的制造方法，其依次包括步骤：(1)冶炼，铸造成板坯；(2)加热；(3)常化；(4)冷轧；(5)脱碳退火；(6)成品退火；(7)热拉伸退火，并在硅钢基板表面涂覆绝缘涂层，调节涂覆量以使绝缘涂层的张力范围为6-8MPa。

10.如权利要求7所述的制造方法，其特征在于，在所述步骤(7)中，涂覆量为6-10g/m²。

11.如权利要求8所述的制造方法，其特征在于，在所述步骤(7)中，涂覆量为6-10g/m²。

12.如权利要求9所述的制造方法，其特征在于，在所述步骤(7)中，涂覆量为6-10g/m²。

13.如权利要求10-12中任意一项所述的制造方法，其特征在于，在所述步骤(3)中，采用两段式常化处理：首先加热到1100～1200℃，然后以1℃/s～10℃/s的冷却速度降温到900～1000℃；随后以10℃/s～70℃/s的冷却速度冷却到室温。

14.如权利要求10-12中任意一项所述的制造方法，其特征在于，在所述步骤(5)中，在800～900℃温度下进行一次再结晶退火，然后涂覆退火隔离剂。

15.如权利要求10-12中任意一项所述的制造方法，其特征在于，在所述步骤(6)中，退火温度1100～1200℃，保温20-30hr。

16.如权利要求10-12中任意一项所述的制造方法，其特征在于，在所述步骤(7)中，热拉伸退火工艺具体为：首先加热到800～900℃，保温10-30s，然后以5℃/s～50℃/s的冷速降温到室温。