CN105208761A - 一种自带均流系统的均匀大气压微等离子放电装置 - Google Patents
一种自带均流系统的均匀大气压微等离子放电装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN105208761A CN105208761A CN201510579512.2A CN201510579512A CN105208761A CN 105208761 A CN105208761 A CN 105208761A CN 201510579512 A CN201510579512 A CN 201510579512A CN 105208761 A CN105208761 A CN 105208761A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- dielectric
- slab
- medium tube
- plasma discharge
- equalizing system
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Plasma Technology (AREA)
Abstract
一种自带均流系统的均匀大气压微等离子放电装置,包括介质板A、两块介质板B、介质管A、介质管B、高压电极和地电极,所述介质板A、B均为长方形板体结构,两块介质板B呈平行状态,在介质板A和介质板B的两侧侧边之间安装封板;在两块介质板B之间水平安装介质板A;在两块介质板B的顶边分别安装介质管A和介质管B,在介质管A和介质管B中分别安装高压电极和地电极,介质管A和介质管B的开口方向相反;在介质板A的表面等间距开设一排插孔,在插孔中固接介质管C,介质管C等间距排列;在一侧介质板B上安装进气嘴,该进气嘴与介质板A、介质板B、封板组成的箱体内腔相通。本发明具有结构合理、均流效果好、无污染等优点。
Description
技术领域
本发明涉及一种放电装置,尤其是一种等离子体放电装置。
背景技术
大气压低温等离子体放电一直是等离子体领域的研究热点,如何实现均匀的大气压低温等离子体放电是我们想要解决的问题。多数大气压低温等离子体放电装置需要配合使用复杂的气路或者电极排列来使得等离子体在大气压条件下实现稳定放电,往往造成成本高昂,维护繁琐,各种问题层出不穷。
发明内容
本发明目的在于提供一种等离子体放电更均匀、更稳定的自带均流系统的均匀大气压微等离子放电装置。
为实现上述目的,采用了以下技术方案:本发明主要包括介质板A、两块介质板B、介质管A、介质管B以及分别安装介质管A、B中高压电极和地电极,所述介质板A和介质板B均为长方形板体结构,两块介质板B呈平行状态,在介质板A和介质板B的两侧侧边之间安装封板,介质板A、介质板B和封板形成上下开口的长方形箱体结构;在两块介质板B之间水平安装介质板A,介质板A与两块介质板B形成H形结构;在两块介质板B的顶边分别安装介质管A和介质管B,在介质管A和介质管B中分别安装高压电极和地电极,介质管A和介质管B的开口方向相反;在介质板A的表面等间距开设一排插孔,在插孔中固接介质管C,介质管C等间距排列;在一侧介质板B上安装进气嘴,该进气嘴与介质板A、介质板B、封板组成的箱体内腔相通。
优选的,所述介质管C为两端开口的绝缘管体。
优选的,在两块介质板B顶部的两侧对称安装介质板C,所述介质板C与介质板A、介质板B方向垂直。
优选的,所述进气嘴有2个,且进气嘴与外部的进气管相接。
优选的,所述介质管C的长度小于介质板A到介质板B底边的长度。
优选的,所述介质板A、B、C均为绝缘材料。
优选的,所述介质管A、B、C及进气嘴均为石英材料。
优选的,所述高压电极和地电极均为钨丝制成,在介质管A和介质管B中,一个介质管安装高压电极,另一个安装地电极。
优选的,在介质管A和介质管B表面附有一层光催化涂层或薄膜。
与现有技术相比,本发明具有如下优点:结构合理、耗能少、无污染、均流效果好、稳定性高,而且多个介质柱形成栅栏状均流结构,能够保证大气压下的微等离子体均匀放电。
附图说明
图1是本发明的结构简图。
附图标号:1-介质板A、2-介质板B、3-介质管A、4-介质管B、5-高压电极、6-地电极、7-封板、8-插孔、9-介质管C、10-进气嘴、11-介质板C。
具体实施方式
下面结合附图对本发明做进一步说明:
如图1所示的本发明的结构简图中,本发明主要包括介质板A(1)、两块介质板B(2)、介质管A(3)、介质管B(4)以及分别安装介质管A、B中高压电极(5)和地电极(6),所述介质板A和介质板B均为长方形板体结构,两块介质板B呈平行状态,在介质板A和介质板B的两侧侧边之间安装封板(7),介质板A、介质板B和封板形成上下开口的长方形箱体结构;在两块介质板B之间水平安装介质板A,介质板A与两块介质板B形成H形结构;在两块介质板B的顶边分别安装介质管A和介质管B,在介质管A和介质管B中分别安装高压电极和地电极,介质管A和介质管B的开口方向相反;在介质板A的表面等间距开设一排插孔(8),在插孔中固接介质管C(9),介质管C等间距排列;在一侧介质板B上安装进气嘴(10),该进气嘴与介质板A、介质板B、封板组成的箱体内腔相通。
所述介质管C为两端开口的绝缘管体。
在两块介质板B顶部的两侧对称安装介质板C(11),所述介质板C与介质板A、介质板B方向垂直。
所述进气嘴有2个,且进气嘴与外部的进气管相接。
所述介质管C的长度小于介质板A到介质板B底边的长度。
所述介质板A、B、C均为绝缘材料。
所述介质管A、B、C及进气嘴均为石英材料。
所述高压电极和地电极均为钨丝制成,在介质管A和介质管B中,一个介质管安装高压电极,另一个安装地电极。高压电极和地电极可以互换。
在介质管A和介质管B表面附有一层光催化涂层或薄膜,所述光催化涂层或薄膜为CO2薄膜,有助于提高放电效果。
本发明的工作过程大致如下:
两个电极分别作为高压电极和地电极通电,介质板A、B、C及封板形成带有内腔的箱体结构,介质管C顺着介质板A表面的插孔插入介质板A与介质板B形成的箱体腔体中,介质管C形成等间隔的幕墙结构,放电气体顺着进气嘴进入箱体内腔,一部分气体从不同的介质管C内部流出,一部分气体从相邻两根介质管C之间的空隙流出,使得放电气体达到均流效果,放电气体在介质管A、B之间完成放电。
另外,介质管C的长度、孔径、间距、材料等作为参数,若改变上述参数,可改变放电气体的均流效果。
实施例一:
如图1所示,介质板A为长方体状,其中包含着圆柱形插孔,介质管C插入其中,可以均流从进气嘴进入的放电气体,介质板B为实心长方体,将介质板A夹紧并使用AB胶与介质板A相连,在两块介质板B的两侧开口使用绝缘封板进行封口,使整体形成一个H形的箱体结构。
介质管A左侧开口,插入钨丝制成的电极,介质管B右侧开口插入钨丝的电极,介质管A中的电极作为高压电极,介质管B中的电极作为地电极。介质板C固定在介质板B顶部的两端,起到固定和绝缘的作用。其中,介质板A中的圆柱形插孔孔径为1mm,每个插孔的间距为1mm,呈直线排列,介质管C直径为0.9mm,长度为6cm,介质板A至介质板B底端的长度为7cm;介质管A、B孔径均为1mm,长度与介质板A、介质板B的长边长度相等均为15cm,介质板A宽度为2cm,介质板B宽度为4cm,介质板B的高度为10cm。介质板A安装在介质板B7cm高的位置处。介质板材料均为陶瓷,介质管、进气嘴材质均为石英。
实施例二:
介质板A为长方体状,其中包含着圆柱形插孔,介质管C插入其中,可以均流从进气嘴进入的放电气体,介质板B为实心长方体,将介质板A夹紧并使用固接方式与介质板A相连,在两块介质板B的两侧开口使用绝缘封板进行封口,使整体形成一个H形的箱体结构。
介质管A左侧开口,插入铜丝制成的电极,介质管B右侧开口插入铜丝的电极,介质管A中的电极作为高压电极,介质管B中的电极作为地电极。介质板C固定在介质板B顶部的两端,起到固定和绝缘的作用。其中,介质板A中的圆柱形插孔孔径为1.5mm,每个插孔的间距为2mm,呈直线排列,介质管C直径为1.4mm,长度为7cm,介质板A至介质板B底端的长度为10cm;介质管A、B孔径均为1.5mm,长度与介质板A、介质板B的长边长度相等均为20cm,介质板A宽度为3cm,介质板B宽度为5cm,介质板B的高度为15cm。介质板A安装在介质板B10cm高的位置处。介质板材料均为陶瓷,介质管C的材料为金属材料,进气嘴材质为石英材料。
以上所述的实施例仅仅是对本发明的优选实施方式进行描述,并非对本发明的范围进行限定,在不脱离本发明设计精神的前提下,本领域普通技术人员对本发明的技术方案做出的各种变形和改进,均应落入本发明权利要求书确定的保护范围内。
Claims (9)
1.一种自带均流系统的均匀大气压微等离子放电装置,主要包括介质板A、两块介质板B、介质管A、介质管B以及分别安装介质管A、B中高压电极和地电极,其特征在于:所述介质板A和介质板B均为长方形板体结构,两块介质板B呈平行状态,在介质板A和介质板B的两侧侧边之间安装封板,介质板A、介质板B和封板形成上下开口的长方形箱体结构;在两块介质板B之间水平安装介质板A,介质板A与两块介质板B形成H形结构;在两块介质板B的顶边分别安装介质管A和介质管B,在介质管A和介质管B中分别安装高压电极和地电极,介质管A和介质管B的开口方向相反;在介质板A的表面等间距开设一排插孔,在插孔中固接介质管C,介质管C等间距排列;在一侧介质板B上安装进气嘴,该进气嘴与介质板A、介质板B、封板组成的箱体内腔相通。
2.根据权利要求1所述的一种自带均流系统的均匀大气压微等离子放电装置,其特征在于:所述介质管C为两端开口的绝缘管体。
3.根据权利要求1所述的一种自带均流系统的均匀大气压微等离子放电装置,其特征在于:在两块介质板B顶部的两侧对称安装介质板C,所述介质板C与介质板A、介质板B方向垂直。
4.根据权利要求1所述的一种自带均流系统的均匀大气压微等离子放电装置,其特征在于:所述进气嘴有2个,且进气嘴与外部的进气管相接。
5.根据权利要求1所述的一种自带均流系统的均匀大气压微等离子放电装置,其特征在于:所述介质管C的长度小于介质板A到介质板B底边的长度。
6.根据权利要求1所述的一种自带均流系统的均匀大气压微等离子放电装置,其特征在于:所述介质板A、B、C均为绝缘材料。
7.根据权利要求1所述的一种自带均流系统的均匀大气压微等离子放电装置,其特征在于:所述介质管A、B、C及进气嘴均为石英材料。
8.根据权利要求1所述的一种自带均流系统的均匀大气压微等离子放电装置,其特征在于:所述高压电极和地电极均为钨丝制成,在介质管A和介质管B中,一个介质管安装高压电极,另一个安装地电极。
9.根据权利要求1所述的一种自带均流系统的均匀大气压微等离子放电装置,其特征在于:在介质管A和介质管B表面附有一层光催化涂层或薄膜。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201510579512.2A CN105208761B (zh) | 2015-09-11 | 2015-09-11 | 一种自带均流系统的均匀大气压微等离子放电装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201510579512.2A CN105208761B (zh) | 2015-09-11 | 2015-09-11 | 一种自带均流系统的均匀大气压微等离子放电装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN105208761A true CN105208761A (zh) | 2015-12-30 |
CN105208761B CN105208761B (zh) | 2018-04-10 |
Family
ID=54956088
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201510579512.2A Active CN105208761B (zh) | 2015-09-11 | 2015-09-11 | 一种自带均流系统的均匀大气压微等离子放电装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN105208761B (zh) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106430399A (zh) * | 2016-08-29 | 2017-02-22 | 大连民族大学 | 一种等离子体水处理系统 |
CN107949137A (zh) * | 2017-11-02 | 2018-04-20 | 大连民族大学 | 一种自适应柔性放电等离子体装置 |
CN108031287A (zh) * | 2017-08-30 | 2018-05-15 | 大连民族大学 | 一种等离子体增强Ag/Al2O3催化剂脱除氮氧化物的方法 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4289598A (en) * | 1980-05-03 | 1981-09-15 | Technics, Inc. | Plasma reactor and method therefor |
EP0814495A2 (en) * | 1996-06-20 | 1997-12-29 | Applied Materials, Inc. | Adjusting DC bias voltage in plasma chamber |
JP2006049262A (ja) * | 2004-07-06 | 2006-02-16 | Sekisui Chem Co Ltd | プラズマ処理装置 |
JP2007323836A (ja) * | 2006-05-30 | 2007-12-13 | Sekisui Chem Co Ltd | プラズマ処理装置 |
CN103179771A (zh) * | 2013-02-26 | 2013-06-26 | 大连民族学院 | 一种大气压低温等离子体发生装置及其应用 |
CN103551014A (zh) * | 2013-11-20 | 2014-02-05 | 鲍大同 | 一种钉板电极低温等离子体净化器 |
CN104244558A (zh) * | 2014-09-02 | 2014-12-24 | 大连民族学院 | 大气压低温等离子体发生装置及其应用 |
CN104378900A (zh) * | 2014-10-31 | 2015-02-25 | 大连民族学院 | 一种大气压大面积均匀空间等离子体发生装置 |
CN104495755A (zh) * | 2015-01-15 | 2015-04-08 | 郭昱峰 | 大型板式臭氧发生装置 |
CN204469510U (zh) * | 2015-01-30 | 2015-07-15 | 湖州太源绿能科技有限公司 | 一种低温等离子废气处理装置 |
-
2015
- 2015-09-11 CN CN201510579512.2A patent/CN105208761B/zh active Active
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4289598A (en) * | 1980-05-03 | 1981-09-15 | Technics, Inc. | Plasma reactor and method therefor |
EP0814495A2 (en) * | 1996-06-20 | 1997-12-29 | Applied Materials, Inc. | Adjusting DC bias voltage in plasma chamber |
JP2006049262A (ja) * | 2004-07-06 | 2006-02-16 | Sekisui Chem Co Ltd | プラズマ処理装置 |
JP2007323836A (ja) * | 2006-05-30 | 2007-12-13 | Sekisui Chem Co Ltd | プラズマ処理装置 |
CN103179771A (zh) * | 2013-02-26 | 2013-06-26 | 大连民族学院 | 一种大气压低温等离子体发生装置及其应用 |
CN103551014A (zh) * | 2013-11-20 | 2014-02-05 | 鲍大同 | 一种钉板电极低温等离子体净化器 |
CN104244558A (zh) * | 2014-09-02 | 2014-12-24 | 大连民族学院 | 大气压低温等离子体发生装置及其应用 |
CN104378900A (zh) * | 2014-10-31 | 2015-02-25 | 大连民族学院 | 一种大气压大面积均匀空间等离子体发生装置 |
CN104495755A (zh) * | 2015-01-15 | 2015-04-08 | 郭昱峰 | 大型板式臭氧发生装置 |
CN204469510U (zh) * | 2015-01-30 | 2015-07-15 | 湖州太源绿能科技有限公司 | 一种低温等离子废气处理装置 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
宋颍等: "大气压下微等离子体及应用", 《第十五届全国等离子体科学技术会议》 * |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106430399A (zh) * | 2016-08-29 | 2017-02-22 | 大连民族大学 | 一种等离子体水处理系统 |
CN108031287A (zh) * | 2017-08-30 | 2018-05-15 | 大连民族大学 | 一种等离子体增强Ag/Al2O3催化剂脱除氮氧化物的方法 |
CN107949137A (zh) * | 2017-11-02 | 2018-04-20 | 大连民族大学 | 一种自适应柔性放电等离子体装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN105208761B (zh) | 2018-04-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN105208761A (zh) | 一种自带均流系统的均匀大气压微等离子放电装置 | |
CN103143245A (zh) | 百叶窗式大面积冷等离子体废气处理装置 | |
CN105097405A (zh) | 等离子体处理装置和应用于等离子体处理装置的排气构造 | |
CN105817124A (zh) | 用于废气处理的大产量低温等离子发生器 | |
CN100368024C (zh) | 空气净化器 | |
CN103065918B (zh) | 一种电极引入结构 | |
CN105491774A (zh) | 一种基于导电涂层的阵列式微等离子体发生装置 | |
CN104378900A (zh) | 一种大气压大面积均匀空间等离子体发生装置 | |
CN104477852A (zh) | 一种模块化板式臭氧发生器 | |
CN205356788U (zh) | 金属架板式高效等离子放电盘 | |
CN104041193A (zh) | 非热等离子单体 | |
CN205412623U (zh) | 用于废气处理的大产量低温等离子发生器 | |
CN103361636B (zh) | 等离子体气相沉积双面材料局域生长装置和方法 | |
CN204494613U (zh) | 一种复合式针孔静电匀场室内空气净化装置 | |
RU2011137547A (ru) | Высоковольтный силовой выключатель с раствором контактов, снабженным отклоняющими коммутационный газ элементами | |
CN105472856A (zh) | 一种六边形管式结构的低温等离子体发生器 | |
RU2370924C2 (ru) | Газоразрядная камера для создания низкотемпературной неравновесной плазмы | |
CN209592622U (zh) | 高压直流等离子发生器及高压直流空气净化器 | |
CN102612250B (zh) | 一种管式介质阻挡放电等离子体产生系统及其应用 | |
CN215682721U (zh) | 一种新型结构等离子体发生装置 | |
CN101993046A (zh) | 一种用于臭氧发生器的多间隙的放电单元 | |
CN202019146U (zh) | 高压变频器的单元柜 | |
CN106110845A (zh) | 蜂窝式等离子放电单元及放电盘 | |
CN202160327U (zh) | 一种高功率离子棒 | |
CN212259421U (zh) | 一种用于等离子放电的绝缘装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |