CN105127597B - 智能风洞激光加工方法以及智能风洞 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及风洞领域，提供一种智能风洞激光加工方法，采用激光加工成型第一传感器，同时在风洞内壁上加工有第一凹槽，第一传感器安设于对应的第一凹槽内，且在风洞内壁上激光加工有第一微互连，第一传感器与对应的第一微互连之间电性接触；本发明还提供了一种智能风洞。本发明中，第一传感器安设于对应的第一凹槽内后，其不会影响风洞内壁的平滑性，而第一微互连则又隐藏于风洞内壁内，对此两者均不会对风洞内实验数据测量产生干扰，可以更精确、实时以及快速测量风洞的各项参数，同时对于第一传感器可以根据需要采用耐高底温材料制作，其具有较强的稳定性，有效降低其测量误差。

Description

智能风洞激光加工方法以及智能风洞
技术领域
本发明涉及风洞领域，尤其涉及一种智能风洞激光加工方法以及智能风洞。
背景技术
风洞是是进行空气动力实验最常用、最有效的工具之一。为了通过风洞实验获得动力实验的数据，既要正确地测量模型的气动特性，还要正确地测量风洞的气流参数，需要测量的模型的气动特性通常有力和力矩、压力分布和热流分布等。在风洞测量中广泛使用小型化、高精度的电信号传感器，这类传感器往往需要贴装在风洞管道和模型的表面，通过大量的导线将信号引出，但是这种方式往往会改变模型表面的流体特性，如压力传感器、热电偶、热膜；另一种测量为非接触测量，因其不在流场中插入探测仪器，对流场不产生额外干扰，因而得到越来越多的应用，比如测量压力的压敏涂层和测量温度的感温涂层，但是涂层材料的工作温区比较窄，而风洞的工作温度低温时可以达到-250℃，高温时甚至可以达到2000℃以上，在低温或高温时涂层容易受到破坏造成测量误差。
发明内容
本发明的目的在于提供一种智能风洞激光加工方法，旨在用于解决现有的风洞的传感器的测量精度不高的问题。
本发明是这样实现的：
本发明提供一种智能风洞激光加工方法，包括以下工艺步骤：
采用激光加工成型各种第一传感器，且于成型后的风洞的内壁对应各所述第一传感器的安装处均加工有第一凹槽；
于每一所述第一凹槽的底部激光加工有贯穿所述风洞的内壁的第一通孔；
向每一所述第一通孔内填塞绝缘材料，所述绝缘材料密封对应的所述第一通孔；
于所述绝缘材料内激光加工有第二通孔，采用导电材料填塞所述第二通孔形成第一微互连；
将每一所述第一传感器安设于对应的所述第一凹槽内，所述第一传感器与对应的所述第一微互连电连接，且所述第一传感器朝向所述第一凹槽外侧的表面与和其临近的所述风洞内壁相平，且两者之间平滑接触。
进一步地，激光成型各种第二传感器，于成型模型壳体上加工有与各所述第二传感器一一对应的第二凹槽，将每一所述第二传感器安设于对应的所述第二凹槽内，所述第二传感器朝向所述第二凹槽外侧的表面与和其临近的所述模型壳体的外表面相平，且两者之间平滑接触。
进一步地，所述模型壳体通过支架固定于所述风洞内，各所述第二传感器与外界导线之间均通过第二微互连电连接，且各所述第二微互连均加工于所述模型壳体、所述支架以及所述风洞内壁内。
进一步地，在激光加工的过程中，激光器为采用集成有纳秒、皮秒以及飞秒激光的多波长光纤激光器，且所述多波长光纤激光器由实时监控系统控制激光加工精度。
进一步地，先采用纳秒激光粗加工各所述第一传感器，然后采用皮秒激光或飞秒激光精加工各所述第一传感器。
进一步地，采用纳秒激光加工各所述第一凹槽，且每一所述第一凹槽的形状尺寸与和其对应的所述第一传感器的形状尺寸相同。
具体地，所述实时监控系统包括用于检测所述第一传感器的外形与微观结构的若干检测仪器，各所述检测仪器分别为红外摄像仪、扫描电镜、质谱仪以及X射线衍射仪。
进一步地，所述风洞内低温低于-252℃，高温在2000℃～3000℃之间。
具体地，所述绝缘材料为耐高低温的陶瓷，且为氧化物陶瓷、碳化物陶瓷、硼化物陶瓷、氮化物陶瓷以及硅化物陶瓷中的一种或多种，或者所述绝缘材料为金刚石。
本发明还提供一种智能风洞，包括实验段以及设置于所述实验段内的模型壳体，于所述实验段的内壁对应所述模型壳体处开设有至少一个第一凹槽，于每一所述第一凹槽内均设置有第一传感器，所述第一传感器朝向所述第一凹槽外侧的表面与和其临近的所述实验段内壁相平，且两者之间平滑接触，每一所述第一传感器与外界线路之间的第一微互连均沿对应的所述第一凹槽的底面穿过所述实验段的内壁。
进一步地，所述模型壳体上开设有至少一个第二凹槽，于每一所述第二凹槽内均设置有第二传感器，所述第二传感器朝向所述第二凹槽外侧的表面与和其临近的所述模型壳体的外表面相平，且两者之间平滑接触，所述模型壳体通过支架固定于所述实验段内，每一所述第二传感器与外界线路之间的第二微互连均由对应的所述第二凹槽的底面依次穿过所述模型壳体、所述支架以及所述实验段的内壁。
具体地，每一所述第一微互连均包括由其中一所述第一凹槽的底面穿过所述实验段内壁的第一通孔以及位于所述第一通孔轴线上且沿所述第一通孔长度方向设置的第二通孔，所述第一通孔与所述第二通孔之间填塞有绝缘层，所述第二通孔内填塞有导电层，所述导电层与和其对应的所述第一传感器电连接。
本发明具有以下有益效果：
本发明的激光加工方法中，采用激光加工成型各第一传感器，且在风洞内壁对应各第一传感器安装位置处开设有第一凹槽，将第一传感器安装于对应的第一凹槽内，第一传感器朝向第一凹槽外侧的表面与和其临近的风洞内壁相平，且两者之间平滑接触，即当将第一传感器安设于风洞内壁上时，风洞内壁还是为一整体，同时各第一传感器与外界线路之间均通过各第一微互连进行电连接，而第一微互连位于风洞内壁上，均不会凸显于风洞内，对此可以在保证第一传感器耐高低温的情况下，还能够有效避免各第一传感器以及第一微互连对测试结果的干扰，可以更精确、实时以及快速测量风洞的各项参数。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
图1为本发明实施例提供的智能风洞的结构示意图；
图2为图1中A-A向的剖面图；
图3为图1的智能风洞的第一传感器与第一微互连的结构示意图；
图4为图1的智能风洞的第一凹槽内加工第一通孔的结构示意图；
图5为图1的智能风洞的第一通孔内填塞绝缘层的结构示意图；
图6为图1的智能风洞的第二通孔内填塞导电层的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明实施例提供一种智能风洞激光加工方法，主要采用激光加工以实现对各传感器的安装，其包括以下工艺步骤：
参见图1-图6，采用激光加工成型各种第一传感器131，第一传感器131主要安装于风洞的内壁132上，具体为风洞的实验段13内壁132上，其部分零部件可以采用激光3D打印技术完成，可以具有较高的精确度，预先成型洞体1，且在成型后的风洞内壁132对应各第一传感器131的安装处均加工有第一凹槽133，对于各第一凹槽133均由风洞内壁132向内侧凹陷形成，用于安装固定每一第一传感器131；
在第一凹槽133成型后，于每一第一凹槽133的底部加工有第一通孔161，由于第一通孔161的尺寸都比较小，对此采用激光加工，且成型后的第一通孔161贯穿风洞的内壁132，一般地，第一通孔161为直线孔，其可沿第一凹槽133的深度方向延伸并贯穿对应处的风洞内壁132；
向每一第一通孔161内均填塞有绝缘材料，且绝缘材料密封与其对应的第一通孔161，即在钻取第一通孔161后，再采用绝缘材料填充该第一通孔161；
在第一通孔161填塞的绝缘材料上继续加工有第二通孔162，对于第二通孔162也采用激光加工，第二通孔162沿和其对应的第一通孔161的长度方向设置，且贯穿第一通孔161内的绝缘材料，然后在第二通孔162内填塞导电材料，从而可以形成第一微互连16，对于导电材料通常采用铜、金、镍、铂、钨等多种金属；
在第一微互连16制作完成后，将每一第一传感器131均安设于与其对应的第一凹槽133内，此时该第一传感器131与和其对应的第一微互连16电连接，即第一传感器131与和其对应的第二通孔162内填塞的导电材料电性接触，且在第一传感器131安设于第一凹槽133内后，第一传感器131朝向第一凹槽133外侧的表面应与和其临近的风洞内壁132相平，即第一传感器131的表面不会凸出或低于风洞内壁132，当其附近的风洞内壁132为平面时，则第一传感器131的表面也为平面，且两者位于同一平面内，另外第一传感器131与和其临近的风洞内壁132之间为平滑接触，即两者之间不会存有缝隙等。
在上述制作过程中，通过激光加工出各第一传感器131以及与各第一传感器131对应的第一微互连16，且在将第一传感器131安设于与其对应的第一凹槽133内后，各第一传感器131均不会影响风洞内壁132的平滑性，另外对于各第一传感器131与外界线路31之间采用第一微互连16进行电性连接，而各第一微互连16又由第一凹槽133底部贯穿风洞内壁132形成，对此第一微互连16也均不外漏于风洞内壁132上，由此成型后的风洞内壁132为一个平滑的整体，可以有效避免各第一传感器131与第一微互连16对风洞数据测量的干扰，当各第一传感器131在采用耐高底温材料制作后，其可保证精确、实时以及快速测量风洞的各项参数。
参见图1-图3，优化上述实施例，一般地在模型壳体2上也设置有传感器，为区分上述第一传感器131定义为第二传感器21，采用激光成型各第二传感器21，且为耐高底温的材料制成，在成型的模型壳体2上加工有与各第二传感器21一一对应的第二凹槽(图中未示出)，各第一凹槽133也可与模型壳体2一体成型完成，将每一成型后的第二传感器21均安设于对应的第二凹槽内，且第二传感器21朝向第二凹槽外侧的表面与和其临近的模型壳体2的外表面相平，且两者之间也为平滑接触。本实施例中，第二传感器21安装于第二凹槽内后的结构与第一传感器131安装于第一凹槽133内的结构相类似，将第二传感器21安设于第二凹槽内后，其不会凸出或低于与其临近的模型壳体2的外表面，且两者之间平滑接触，即安装后的第二传感器21与模型壳体2为一整体，其不会影响模型壳体2表面的平滑性，进而使得各第二传感器21不会对风洞内测量数据产生干扰。
继续优化上述实施例，在洞体1内安装有支架22，然后将模型壳体2支撑固定于该支架22上，对此支架22一端与模型壳体2接触，另一端与风洞内壁132接触，对此在将支架22与模型壳体2安装于洞体1内时，还应在模型壳体2、支架22以及风洞内壁132上加工形成有与各第二传感器21一一对应的第二微互连(图中未示出)，通过第二微互连使得第二传感器21与外界线路31之间形成电性导通。本实施例中，第二微互连也采用与第一微互连16相似的结构形式，先形成通孔，然后在通孔内填充绝缘材料，接着在绝缘材料上再次成型另一通孔，并在其内填充导电材料，而且其内的导电材料由第二凹槽的底部依次穿过模型壳体2、支架22以及风洞内壁132，制作时可以分段进行，即模型壳体2部分的第二微互连、支架22部分的第二微互连以及风洞内壁132部分的第二微互连，且在采用支架22将模型壳体2固定于洞体1内时，各部分的第二微互连依次形成电性接触。通过上述这种结构形式，各第二微互连均被隐藏，即第二微互连也不会影响模型壳体2表面的平滑性，进而保证各第二传感器21检测数据的精确与时效性。
进一步地，在采用激光成型各第一传感器131以及各第二传感器21时，分部进行，先采用纳秒激光粗加工各第一传感器131与各第二传感器21的主体结构，然后采用皮秒激光或者飞秒激光精加工前述成型的第一传感器131与第二传感器21。纳秒激光、皮秒激光和飞秒激光均属于短脉冲激光，其热影响小且加工精度高，能够具有较好的快速成型以及精加工效果，具体为纳秒激光的脉冲宽度为纳秒(10-9秒)级，其重复频率一般为数百kHz，最高可达10MHz，因此采用纳秒激光粗加工第一传感器131与第二传感器21，可以具有较高的成型效率；而对于皮秒(10-12秒)激光，其可以在有效工作距离内聚焦成一个10μm或更小的光点，且频率可以高达100kHz，足以避免能量发生热扩散并达到这些消融临界过程所需要的峰值能量密度，进一步地飞秒激光是一种超短脉冲激光，脉冲持续时间只有几个飞秒(10-15秒)，但却具有非常高的瞬时功率，可达到百万亿瓦，其光束直径可以聚焦到1um，其精度可达100nm，甚至可以达到0.1nm，对此在采用皮秒激光、飞秒激光或者两者相结合加工时，在每一个激光脉冲与物质相互作用的持续期内，避免了热扩散的存在，在根本上消除了类似于长脉冲加工过程中的熔融区，热影响区，冲击波等多种效应对周围材料造成的影响和热损伤，将加工过程所涉及的空间范围大大缩小，从而提高了激光加工的准确程度。综上，本发明实施例中，采用纳秒激光、皮秒激光以及飞秒激光相结合的方式加工第一传感器131与第二传感器21，不但可以具有较高的加工效率，而且加工精度非常高，对此在将第一传感器131与第二传感器21分别安设于第一凹槽133与第二凹槽内时，均可以有效保证风洞内壁132与模型壳体2表面的平滑性。针对上述加工方式，第一凹槽133与第二凹槽，其也可采用纳秒激光进行加工，以使其与第一传感器131与第二传感器21之间具有较好的配合关系，纳秒加工成型后的第一凹槽133的形状尺寸与对应的第一传感器131的外观形状尺寸相同，使得第一传感器131在完全嵌设于第一凹槽133内时，不但可以保证第一传感器131安装结构的稳定性，使其可与第一微互连16之间保持良好的电性接触，同时还可以保证第一传感器131朝向第一凹槽133外侧的表面与邻近的风洞内壁132之间的平滑性，同理对于第二凹槽的形状尺寸也应与和其对应的第二传感器21的外观形状尺寸相同，在保证第二传感器21与第二微互连之间电性导通稳定性的前提下，还能够使得第二传感器21与模型壳体2表面之间具有较好的平滑性。对于第一微互连16与第二微互连也可以采用纳秒激光、皮秒激光以及飞秒激光相结合的方式加工制作，比如第一微互连16，其第一通孔161可以采用纳秒激光加工，而第二通孔162则由于尺寸较小，则采用皮秒激光或者飞秒激光精确加工。对于激光器可选择多波长光纤激光器，集成有纳秒、皮秒以及飞秒激光，其提供激光的最小可加工特征尺寸在1um以内，精度在100nm以内，在激光加工的过程中，还设置有实时监控系统，以方便皮秒激光或飞秒激光对特征尺寸进行精细加工调整，对于实时监控系统包括有若干检测仪器，各检测仪器分别为红外摄像仪、扫描电镜、质谱仪、X射线衍射仪等，通过各检测仪器可以用于实时监测第一传感器131的外形以及微观结构，进而可以根据第一传感器131的精度，选用其中一种或者多种激光，即由实时监控系统来控制多波长光纤激光器发出纳秒激光、皮秒激光以及飞秒激光其中的一种激光。
进一步地，由于实验需要，成型后的洞体1应对环境温度具有一定的抗性，其内低温可以低于-252℃，而高温可在2000℃～3000℃之间，即风洞内可以具有较大的温度调节范围，以满足不同实验环境。针对上述环境温度的要求，对于第一微互连16以及第二微互连中的绝缘材料可为耐高底温的陶瓷，其可为氧化物陶瓷、碳化物陶瓷、硼化物陶瓷、氮化物陶瓷以及硅化物陶瓷中的一种或多种，而当温度要求比较极端时，该绝缘材料也可为金刚石，当然导电材料也应根据所需环境温度进行选择，比如当温度较高时，则可选用钨等金属。
参见图1以及图2，本发明实施例还提供一种智能风洞，包括洞体1，该洞体1沿其内气流方向依次包括稳定段11、收缩段12、实验段13、扩压段14和排出段15，对于排出段15也可为回流段，实验段13用于对模型进行必要的测量和观察，稳定段11位于实验段13的上游，收缩段12使气流加速到所需流速，排出段15或回流段用于将气流引向风洞外，在实验段13内设置有模型壳体2，且在实验段13的内壁132(即为上述的风洞内壁132)对应模型壳体2处开设有至少一个第一凹槽133，于每一第一凹槽133内均设置有第一传感器131，第一传感器131朝向第一凹槽133外侧的表面应与和其临近的实验段13内壁132相平，即第一传感器131的表面不会凸出或低于实验段13内壁132，当其附近的实验段13内壁132为平面时，则第一传感器131的表面也为平面，且两者位于同一平面内，另外第一传感器131与和其临近的风洞内壁132之间为平滑接触，即两者之间不会存有缝隙，每一第一传感器131与外界线路31之间均采用第一微互连16进行电性导通，而每一第一微互连16则由与其对应的第一凹槽133的底面穿过实验段13的内壁132。本发明中，风洞还包括有驱动系统、测量系统以及数据采集系统3，驱动系统用于调整和维持风洞内气流的稳定流动，而测量系统主要用于对风洞内的气流参数进行测量的各类传感器，包括上述的各种第一传感器131，具体可分别为压力传感器、剪切力传感器、流速传感器以及温度传感器等，对于数据采集系统3用于采集测量系统中各传感器所检测到的实时数据并传到计算机进行数据处理，各第一传感器131采用第一微互连16电连接外界线路31，即电连接至计算机等，实现数据信息的传输收集。本实施例中各第一传感器131分别通过各第一凹槽133嵌设于实验段13的内壁132上，且此时实验段13的内壁132还为一个整体，各第一传感器131不会影响实验段13内壁132的平滑性，另外各第一传感器131用于传输数据信息至外界的第一微互连16位于实验段13内壁132内，其也不会影响实验段13内壁132的平滑性，各第一传感器131可以精确、实时以及快速地将测量数据通过各第一微互连16反馈至数据采集系统，即能够保证风洞实验的精确性，同时采用这种结构形式对第一传感器131的材料没有作出过多的限制，对此为满足实验温度需要，第一传感器131可以选择耐高底温材料制成，各第一传感器131可以具有较高的稳定性，降低测量误差。
优化上述实施例，在模型壳体2上也开设有至少一个第二凹槽，于每一第二凹槽内均设置有第二传感器21，第二传感器21朝向第二凹槽外侧的表面与和其临近的模型壳体2的外表面相平，第二传感器21的表面不会凸出或低于模型壳体2外表面，且两者之间为平滑接触，安装后的第二传感器21不会影响模型壳体2外表面的平滑性，一般模型壳体2采用支架22支撑固定于实验段13的内壁132上，每一第二传感器21与外界线路31之间均通过第二微互连电性连接，而各第二微互连则均由与其对应的第二凹槽的底面依次穿过模型壳体2、支架22以及实验段13的内壁132。本实施例中，针对模型壳体2上的第二传感器21，其也采用类似于第一传感器131的安装方式，以使第二传感器21不会影响模型壳体2外表面的平滑性，避免干扰数据测量，且通过支架22的两端部分别连接模型壳体2与实验段13内壁132，使得各第二微互连也不外露于实验段13内，避免干扰各第二传感器21的测量。
参见图2以及图3，细化第一微互连16的结构，每一第一微互连16均包括有第一通孔161以及位于第一通孔161内的第二通孔162，每一第一通孔161由与其对应的第一凹槽133的底面穿过实验段13的内壁132，第二通孔162位于第一通孔161的轴线上，一般两者为同轴线的圆柱状，在两者之间为绝缘层163，该绝缘层163可为陶瓷，从而形成环状结构，对于第二通孔162内侧则为导电层164，导电层164与和其对应的第一传感器131之间电性接触。本实施例中，在实验段13内壁132上开设有第一通孔161，然后在第一通孔161填充内绝缘层163与导电层164，且导电层164刚好位于绝缘层163的中间位置处，由于风洞内环境温度根据实验需要会具有较大的变化，对应地填充于第一通孔161内的绝缘层163因热胀冷缩对其内的导电层164产生一定的应力作用，将导电层164置于绝缘层163的中间位置可以保证其受到的应力比较平衡，导电层164不会电性断开。对于第二微互连的结构，且应与第一微互连16的结构相类似，且尽量保证其沿直线铺设。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (12)

1.一种智能风洞激光加工方法，其特征在于，包括以下工艺步骤：
采用激光加工成型各种第一传感器，且于成型后的风洞的内壁对应各所述第一传感器的安装处均加工有第一凹槽；
于每一所述第一凹槽的底部激光加工有贯穿所述风洞的内壁的第一通孔；
向每一所述第一通孔内填塞绝缘材料，所述绝缘材料密封对应的所述第一通孔；
于所述绝缘材料内激光加工有第二通孔，采用导电材料填塞所述第二通孔形成第一微互连；
将每一所述第一传感器安设于对应的所述第一凹槽内，所述第一传感器与对应的所述第一微互连电连接，且所述第一传感器朝向所述第一凹槽外侧的表面与和其临近的所述风洞内壁相平，且两者之间平滑接触。
2.如权利要求1所述的智能风洞激光加工方法，其特征在于：激光成型各种第二传感器，于成型模型壳体上加工有与各所述第二传感器一一对应的第二凹槽，将每一所述第二传感器安设于对应的所述第二凹槽内，所述第二传感器朝向所述第二凹槽外侧的表面与和其临近的所述模型壳体的外表面相平，且两者之间平滑接触。
3.如权利要求2所述的智能风洞激光加工方法，其特征在于：所述模型壳体通过支架固定于所述风洞内，各所述第二传感器与外界导线之间均通过第二微互连电连接，且各所述第二微互连均加工于所述模型壳体、所述支架以及所述风洞内壁内。
4.如权利要求1所述的智能风洞激光加工方法，其特征在于：在激光加工的过程中，激光器为采用集成有纳秒、皮秒以及飞秒激光的多波长光纤激光器，且所述多波长光纤激光器由实时监控系统控制激光加工精度。
5.如权利要求4所述的智能风洞激光加工方法，其特征在于：先采用纳秒激光粗加工各所述第一传感器，然后采用皮秒激光或飞秒激光精加工各所述第一传感器。
6.如权利要求4所述的智能风洞激光加工方法，其特征在于：采用纳秒激光加工各所述第一凹槽，且每一所述第一凹槽的形状尺寸与和其对应的所述第一传感器的形状尺寸相同。
7.如权利要求4所述的智能风洞激光加工方法，其特征在于：所述实时监控系统包括用于检测所述第一传感器的外形与微观结构的若干检测仪器，各所述检测仪器分别为红外摄像仪、扫描电镜、质谱仪以及X射线衍射仪。
8.如权利要求1所述的智能风洞激光加工方法，其特征在于：所述风洞内低温低于-252℃，高温在2000℃～3000℃之间。
9.如权利要求1所述的智能风洞激光加工方法，其特征在于：所述绝缘材料为耐高低温的陶瓷，且为氧化物陶瓷、碳化物陶瓷、硼化物陶瓷、氮化物陶瓷以及硅化物陶瓷中的一种或多种，或者所述绝缘材料为金刚石。
10.一种使用如权利要求1-9任一项所述的智能风洞激光加工方法加工的智能风洞，包括实验段以及设置于所述实验段内的模型壳体，其特征在于：于所述实验段的内壁对应所述模型壳体处开设有至少一个第一凹槽，于每一所述第一凹槽内均设置有第一传感器，所述第一传感器朝向所述第一凹槽外侧的表面与和其临近的所述实验段内壁相平，且两者之间平滑接触，每一所述第一传感器与外界线路之间的第一微互连均沿对应的所述第一凹槽的底面穿过所述实验段的内壁。
11.如权利要求10所述的智能风洞，其特征在于：所述模型壳体上开设有至少一个第二凹槽，于每一所述第二凹槽内均设置有第二传感器，所述第二传感器朝向所述第二凹槽外侧的表面与和其临近的所述模型壳体的外表面相平，且两者之间平滑接触，所述模型壳体通过支架固定于所述实验段内，每一所述第二传感器与外界线路之间的第二微互连均由对应的所述第二凹槽的底面依次穿过所述模型壳体、所述支架以及所述实验段的内壁。
12.如权利要求10所述的智能风洞，其特征在于：每一所述第一微互连均包括由其中一所述第一凹槽的底面穿过所述实验段内壁的第一通孔以及位于所述第一通孔轴线上且沿所述第一通孔长度方向设置的第二通孔，所述第一通孔与所述第二通孔之间填塞有绝缘层，所述第二通孔内填塞有导电层，所述导电层与和其对应的所述第一传感器电连接。
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