CN105093578A - 光阻涂布装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种光阻涂布装置。所述光阻涂布装置用于涂布光阻，所述光阻涂布装置包括驱动件、悬臂、涂布件及吸附件，所述驱动件与所述悬臂的一端相连，用于驱动所述悬臂沿预设方向移动，所述悬臂的另一端与所述涂布件及所述吸附件相连，所述悬臂用于在所述驱动件的带动下带动所述涂布件及所述吸附件沿所述预设方向移动，所述涂布件用于涂布光阻，所述吸附件邻近所述涂布件设置，所述吸附件用于吸附微粒，且自所述涂布件至所述吸附件的第一方向与所述预设方向相同，或者所述第一方向与所述预设方向之间的夹角为锐角。

Description

光阻涂布装置
技术领域
本发明涉及平面显示领域，尤其涉及一种光阻涂布装置。
背景技术
液晶显示装置(LiquidCrystalDisplay,LCD)作为一种常见的电子装置，由于其具有低功耗、体积小、质量轻等特点，而备受用户的青睐。液晶显示装置通常包括液晶显示面板，在液晶显示面板的制备过程中，光阻的涂布是黄光过程中必须进行的过程。在光阻的涂布的时候，光阻涂布装置通常将光阻通过狭长的喷嘴(也可以为口金)涂布到一基板上，为了保护喷嘴在涂布光阻的时候不被异物撞坏，通常在喷嘴的前方设置导板，通常情况下，导板的底部相较于喷嘴的底部更接近所述基板，通常情况下，导板的底部相较于喷嘴的底部低约20um，倘若有异物(比如，微粒)存在，则导板先与异物相碰撞，涂布光阻装置会控制喷嘴停止前进，从而起到保护喷嘴的作用。然而，尺寸小于所述导板底部与基板之间尺寸的微粒无法通过挡板检测，此时，在光阻涂布过程中，光阻会混入这些尺寸小于导板底部与基板之间尺寸的微粒，进而造成液晶显示装置中元件(比如，薄膜晶体管)异常，从而影响液晶显示装置的品质。
发明内容
本发明提供一种光阻涂布装置，所述光阻涂布装置用于涂布光阻，所述光阻涂布装置包括驱动件、悬臂、涂布件及吸附件，所述驱动件与所述悬臂的一端相连，用于驱动所述悬臂沿预设方向移动，所述悬臂的另一端与所述涂布件及所述吸附件相连，所述悬臂用于在所述驱动件的带动下带动所述涂布件及所述吸附件沿所述预设方向移动，所述涂布件用于涂布光阻，所述吸附件邻近所述涂布件设置，所述吸附件用于吸附微粒，且自所述涂布件至所述吸附件的第一方向与所述预设方向相同，或者所述第一方向与所述预设方向之间的夹角为锐角。
其中，所述涂布件包括喷嘴和导板，所述喷嘴用于喷出所述光阻，所述导板设置在所述吸附件与所述喷嘴之间，所述导板包括相对设置的第一端与第二端，所述第一端固定设置在所述悬臂上，所述第二端远离所述悬臂设置，所述第二端与所述喷嘴喷涂所述光阻的基板之间的距离小于所述喷嘴与所述基板之间的距离。
其中，所述吸附件包括出风部和吸风部，所述出风部相较于所述吸风部邻近所述导板设置，所述出风部用于输出气流，以吹起涂布光阻的基板上的微粒，所述吸风部用于将所述微粒吸附。
其中，所述出风部包括第一固定部、第一连接部及出风口，所述第一固定部固定设置在所述悬臂上，所述第一连接部一端连接所述第一固定部，所述第一连接部的另一端连接所述出风口，所述出风口用于输出气流。
其中，所述第一连接部包括第一子连接部及第二子连接部，所述第一子连接部与所述第一固定部垂直，且所述第一子连接部的一端连与所述第一固定部固定连接，所述第一子连接部的另一端与所述第二子连接部固定连接，所述第一子连接部与所述第二子连接部之间形成钝角，所述出风口设置在所述第二子连接部远离所述第一子连接部的一端。
其中，所述出风口包括多个气孔，所述气孔均匀间隔设置。
其中，所述吸风部包括第二固定部、第二连接部及吸风口，所述第二固定部固定设置在所述悬臂上，所述第二连接部的一端连接所述第二固定部，所述第二连接部的另一端连接所述吸风口，所述吸风口用于吸入气流。
其中，所述第二连接部包括第三子连接部及第四子连接部，所述第三子连接部与所述第二固定部垂直，且所述第三子连接部的一端与所述第二固定部固定连接，所述第三子连接部的另一端与所述第四子连接部固定连接，所述第三子连接部与所述第四子连接部之间形成钝角，所述第四子连接部远离所述第三子连接部的一端设置所述吸风口。
其中，所述吸风口的截面的形状为喇叭状，所述吸风口与所述光阻涂布装置涂布光阻的基板之间的间隙为第一间隙，所述出风部与所述光阻涂布装置涂布光阻的基板之间的间隙为第二间隙，所述第一间隙小于所述第二间隙。
其中，所述光阻涂布装置还包括调节件，所述调节件用于调节所述吸附件吸附所述微粒时的吸附力的大小。
相较于现有技术，本发明的光阻涂布装置可以带来的有益效果介绍如下。所述驱动件驱动所述悬臂沿预设方向移动，由于所述悬臂与所述涂布件和所述吸附件相连，进而所述悬臂带动所述涂布件和所述吸附件沿所述预设方向移动。所述涂布件在基板上涂布光阻，由于所述涂布件在所述悬臂的带动下沿所述预设方向移动，因此，所述光阻沿所述预设方向被涂布在所述基板上。由于自所述涂布件至所述吸附件的第一方向与所述预设方向相同，或者所述第一方向与所述预设方向之间的夹角为锐角，因此，在所述涂布件与所述吸附件移动时，所述吸附件可预先清除所述基板之间的微粒，以免涂布在基板上的光阻中混入微粒，从而提示了液晶显示装置中的元件，比如薄膜晶体管质量的技术效果。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明一较佳实施方式的光阻涂布装置的结构示意图。
图2为图1所示的光阻涂布装置中出风口的结构示意图。
图3为图1所示的光阻涂布装置中的吸风口的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1，图1为本发明一较佳实施方式的光阻涂布装置的结构示意图。所述光阻涂布装置10用于涂布光阻。在本实施方式中，所述光阻涂布装置10在一基板20的一个表面涂布光阻30。所述光阻涂布装置10包括驱动件100、悬臂200、涂布件300和吸附件400。所述驱动件100与所述第一悬臂200的一端相连，用于驱动所述悬臂200沿预设方向移动，所述悬臂200的另一端与所述涂布件300和所述吸附件400相连，所述悬臂200用于在所述驱动件100的带动下带动所述涂布件300和所述吸附件400沿所述预设方向移动。所述涂布件300用于涂布光阻，所述吸附件400邻近所述涂布件300设置，所述吸附件400用于吸附微粒，且优选地，所述涂布件300至所述吸附件400的第一方向与所述预设方向相同，或者所述第一方向与所述预设方向之间的夹角为锐角。
所述涂布件300包括喷嘴310和导板320，所述喷嘴310用于喷出所述光阻，所述导板320设置在所述吸附件400与所述喷嘴310之间，所述导板320包括相对设置的第一端321和第二端322，所述第一端321固定设置在所述悬臂200上，所述第二端322远离所述悬臂200设置。优选地，所述第二端321与所述基板20之间的距离小于所述喷嘴310与所述基板20之间的距离。倘若有较大的异物时，所述导板320会与所述异物相碰撞，所述光阻涂布装置10会检测到所述导板320与所述异物的碰撞，进而控制所述喷嘴310停止前进，从而起到保护喷嘴310的作用。
所述吸附件400包括出风部410和吸风部420，所述出风部410相较于所述吸风部420邻近所述导板320设置，所述出风部420用于输出气流，以吹起涂布光阻30的基板上的微粒，所述吸风部420用于将所述微粒吸附。
所述出风部410包括第一固定部411、第一连接部412及出风口413。所述第一固定部411固定设置在所述悬臂200上，所述第一连接部412一端连接所述第一固定部412，所述第一连接部412的另一端连接所述出风口413，所述出风口413用于输出气流。
所述第一连接部412包括第一子连接部412a及第二子连接部412b。所述第一子连接部412a与所述第一固定部411垂直，且所述第一子连接部412a的一端与所述第一固定部411固定连接，所述第一子连接部412的另一端与所述第二子连接部412b固定连接，所述第一子连接部412a与所述第二子连接部412b之间形成钝角，所述出风口413设置在所述第二子连接部412b远离所述第一子连接部412a的一端。由于所述第一子连接部412a与所述第二子连接部412b之间形成钝角，使得所述第二子连接部412b相较于所述第一子连接部412a朝向远离所述涂布件300的方向延伸，进而使得连接在所述第二子连接部412的所述出风口413与所述涂布件300之间形成一段距离，以便所述出风口413在所述涂布件300涂布光阻30时对基板20进行清扫。请一并参阅图2，图2为图1所示的光阻涂布装置中出风口的结构示意图。所述出风口413包括多个气孔413a，所述气孔413a用于造成气流扰动，可以对所述基板20上的微小微粒造成扰动，但气流较小且方向向前，不会对所述基板20上所述光阻30的成膜造成气流干扰。优选地，所述气孔413a均匀间隔设置。
所述吸风部420包括第二固定部421、第二连接部422及吸风口423。所述第二固定部421固定设置在所述悬臂200上，所述第二连接部422的一端连接所述第二固定部421，所述第二固定部422的另一端连接所述吸风口423，所述吸风口423用于吸入气流。请一并参阅图3，图3为图1所示的光阻涂布装置中的吸风口的结构示意图。所述吸风口423的截面的形状为喇叭状，以增大所述吸风口423吸附气流的面积，所述吸风口423在吸入气流的同时可以将所述出风口413吹起的微粒吸入，防止被所述吹风口413吹起的微粒再次落到所述基板20上。由此可见，所述出风口413和所述吸风口423的配合将所述基板20上的微粒清除。所述吸风部420与所述光阻涂布装置10涂布所述光阻30的所述基板20之间的间隙为第一间隙，所述出风部410与所述光阻涂布装10涂布所述光阻30的所述基板20之间的间隙为第二间隙，所述第一间隙小于所述第二间隙。在本实施方式中为，所述出吸风口423与所述光阻涂布装置10涂布所述光阻30的所述基板20之间的间隙为第一间隙，所述出风部410与所述光阻涂布装10涂布所述光阻30的所述基板20之间的间隙为第二间隙，所述第一间隙小于所述第二间隙。优选地，所述吸风口423与所述基板20之间的间隙为第一间隙，所述出风口410与所述基板20之间的间隙为第二间隙，所述第一间隙小于所述第二间隙。当自所述吹风口423出来的气流将所述基板20上的微粒吹起而造成微粒扰动时，所述吸风口423能够快速将被吹起的微粒吸入，以更快更好地吸入更多的微粒。
所述第二连接部422包括第三子连接部422a及第四子连接部422b。所述第三子连接部422a与所述第二固定部421垂直，且所述第三子连接部422a的一端与所述第二固定部421固定连接，所述第三子连接部422a的另一端与所述第四子连接部422b固定连接，所述第三子连接部422a与所述第四子连接部422b之间形成钝角。所述第四子连接部422b远离所述第三子连接部422a的一端设置所述吸风口423。
优选地，所述光阻涂布装置10还包括调节件，所述调节件用于调节所述吸附件400吸附所述微粒时吸附力的大小。具体地，所述调节件可以调节所述出风部410输出的气流的大小，所述调节件还可以调节所述吸风部420吸入气流的吸力的大小，以便更好地清除所述基板20上的微粒。在一实施方式中，所述调节件可以为电磁调节件，通过调整电磁力的大小以调节所述出风口410输出的气流的大小以及所述吸风部420吸入气流的吸力的大小。
相较于现有技术，本发明的光阻涂布装置10可以带来的有益效果介绍如下。所述驱动件100驱动所述悬臂200沿预设方向移动，由于所述悬臂200与所述涂布件300和所述吸附件400相连，进而所述悬臂200带动所述涂布件300和所述吸附件400沿所述预设方向移动。所述涂布件300在所述基板20上涂布光阻30，由于所述涂布件300在所述悬臂200的带动下沿所述预设方向移动，因此，所述光阻30沿所述预设方向被涂布在所述基板20上。由于自所述涂布件300至所述吸附件400的第一方向与所述预设方向相同，或者所述第一方向与所述预设方向之间的夹角为锐角，因此，在所述涂布件300与所述吸附件400移动时，所述吸附件400可预先清除所述基板20之间的微粒，以免涂布在基板20上的光阻30中混入微粒，从而提示了液晶显示装置中的元件，比如薄膜晶体管质量的技术效果。
进一步地，由于所述导板320的第二端322与所述基板20之间的距离小于所述喷嘴310与所述基板20之间的距离，倘若有较大的异物时，所述导板320的第二端322会与所述异物相碰撞，所述光阻涂布装置10会检测到所述导板320与所述异物的碰撞，进而控制所述喷嘴310停止前进，从而起到保护喷嘴310的作用。
以上所揭露的仅为本发明一种较佳实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程，并依本发明权利要求所作的等同变化，仍属于发明所涵盖的范围。

Claims (10)

1.一种光阻涂布装置，其特征在于，所述光阻涂布装置用于涂布光阻，所述光阻涂布装置包括驱动件、悬臂、涂布件及吸附件，所述驱动件与所述悬臂的一端相连，用于驱动所述悬臂沿预设方向移动，所述悬臂的另一端与所述涂布件及所述吸附件相连，所述悬臂用于在所述驱动件的带动下带动所述涂布件及所述吸附件沿所述预设方向移动，所述涂布件用于涂布光阻，所述吸附件邻近所述涂布件设置，所述吸附件用于吸附微粒，且自所述涂布件至所述吸附件的第一方向与所述预设方向相同，或者所述第一方向与所述预设方向之间的夹角为锐角。
2.如权利要求1所述的光阻涂布装置，其特征在于，所述涂布件包括喷嘴和导板，所述喷嘴用于喷出所述光阻，所述导板设置在所述吸附件与所述喷嘴之间，所述导板包括相对设置的第一端与第二端，所述第一端固定设置在所述悬臂上，所述第二端远离所述悬臂设置，所述第二端与所述喷嘴喷涂所述光阻的基板之间的距离小于所述喷嘴与所述基板之间的距离。
3.如权利要求2所述的光阻涂布装置，其特征在于，所述吸附件包括出风部和吸风部，所述出风部相较于所述吸风部邻近所述导板设置，所述出风部用于输出气流，以吹起涂布光阻的基板上的微粒，所述吸风部用于将所述微粒吸附。
4.如权利要求3所述的光阻涂布装置，其特征在于，所述出风部包括第一固定部、第一连接部及出风口，所述第一固定部固定设置在所述悬臂上，所述第一连接部一端连接所述第一固定部，所述第一连接部的另一端连接所述出风口，所述出风口用于输出气流。
5.如权利要求4所述的光阻涂布装置，其特征在于，所述第一连接部包括第一子连接部及第二子连接部，所述第一子连接部与所述第一固定部垂直，且所述第一子连接部的一端连与所述第一固定部固定连接，所述第一子连接部的另一端与所述第二子连接部固定连接，所述第一子连接部与所述第二子连接部之间形成钝角，所述出风口设置在所述第二子连接部远离所述第一子连接部的一端。
6.如权利要求5所述的光阻涂布装置，其特征在于，所述出风口包括多个气孔，所述气孔均匀间隔设置。
7.如权利要求3所述的光阻涂布装置，其特征在于，所述吸风部包括第二固定部、第二连接部及吸风口，所述第二固定部固定设置在所述悬臂上，所述第二连接部的一端连接所述第二固定部，所述第二连接部的另一端连接所述吸风口，所述吸风口用于吸入气流。
8.如权利要求7所述的光阻涂布装置，其特征在于，所述第二连接部包括第三子连接部及第四子连接部，所述第三子连接部与所述第二固定部垂直，且所述第三子连接部的一端与所述第二固定部固定连接，所述第三子连接部的另一端与所述第四子连接部固定连接，所述第三子连接部与所述第四子连接部之间形成钝角，所述第四子连接部远离所述第三子连接部的一端设置所述吸风口。
9.如权利要求8所述的光阻涂布装置，其特征在于，所述吸风口的截面的形状为喇叭状，所述吸风口与所述光阻涂布装置涂布光阻的基板之间的间隙为第一间隙，所述出风部与所述光阻涂布装置涂布光阻的基板之间的间隙为第二间隙，所述第一间隙小于所述第二间隙。
10.如权利要求1所述的光阻涂布装置，其特征在于，所述光阻涂布装置还包括调节件，所述调节件用于调节所述吸附件吸附所述微粒时的吸附力的大小。
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