CN105071197A - 防止激光器薄膜光学器件损伤的装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种防止激光器薄膜光学器件损伤的装置，能够有效降低工作环境中气体的灰尘含量与湿度，从而有效的解决工作环境中的灰尘颗粒引起的激光打火、空气聚集湿度引起的结雾导致的激光器中薄膜光学器件损伤的问题。所述装置包括：密封腔和气流控制模块；其中，所述密封腔内置激光器，所述密封腔内填充有工作气体，所述气流控制模块与所述密封腔相连，用于对所述密封腔内的工作气体中的灰尘含量以及工作气体的湿度进行控制。

Description

防止激光器薄膜光学器件损伤的装置

技术领域

本发明涉及全固态激光器领域，具体涉及一种防止激光器薄膜光学器件损伤的装置。

背景技术

高功率全固态激光器(DPL)在先进制造、激光医疗、前沿科学和国家安全等领域有着极为广阔的应用前景。然而，工作环境中的灰尘颗粒引起的激光打火、空气聚集湿度引起的结雾导致的激光器中薄膜光学器件损伤问题是限制激光器功率扩展、保持稳定性及其它高性能参数运转的重要因素，因此为高功率激光技术研究领域的热点及难点之一。

为解决上述问题，现有技术方案有：密封腔技术、被动吸附技术。密封腔技术通过将激光器置于充有惰性气体的密闭空间内，隔离外界灰尘及水分，从而防止其引起的薄膜光学器件损伤；被动吸附技术通过在激光器上放置干燥剂、不干胶等吸附介质实现对灰尘、水分的吸附。两种技术方案均可减少激光器周围灰尘、水分，是实现激光器功率扩展、保持激光器稳定性及其它高性能参数运转的重要技术方案。

现有的密封腔技术、被动吸附技术用于解决因灰尘、空气湿度引起的薄膜光学器件损伤存在以下问题：

1)密封腔技术无法实现100％密闭性，长时间使用时，由于实际应用环境复杂，密封腔漏气而引入其工作环境中的灰尘及气体，导致密封腔内灰尘含量、湿度增大，影响激光器薄膜光学器件安全及运行可靠性；

2)激光器高功率运转时，在高功率激光辐照及高温下密封腔内的各种激光器件均不同程度的释放气体与微尘，同时水冷管道在高水压下不可避免的泄露水蒸气，上述因素均导致密封腔内灰尘含量、湿度增大；

3)被动吸附技术仅当灰尘及气体中的水分运动至吸附物时才可实现有效吸附及清除，清除速率低、效果较差，且激光器高功率运转时，在高功率激光辐照及高温下吸附介质有可能将其释放。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种防止激光器薄膜光学器件损伤的装置，能够有效降低工作环境中气体的灰尘含量与湿度，从而有效的解决工作环境中的灰尘颗粒引起的激光打火、空气聚集湿度引起的结雾导致的激光器中薄膜光学器件损伤的问题。

为此目的，本发明提出一种防止激光器薄膜光学器件损伤的装置，包括：

密封腔和气流控制模块；其中，

所述密封腔内置激光器，所述密封腔内填充有工作气体，

所述气流控制模块与所述密封腔相连，用于对所述密封腔内的工作气体中的灰尘含量以及工作气体的湿度进行控制。

本发明实施例所述的防止激光器薄膜光学器件损伤的装置，采用密闭空间气流控制设计实时净化密封腔内气流，降低密封腔内气体的灰尘含量与湿度，防止灰尘和水分污染薄膜光学器件，从而实现有效防止密闭空间激光器薄膜光学器件损伤与延长使用寿命的目的，与现有技术相比可实时净化密封腔内气流、降低湿度，使之满足激光器运转对洁净度及湿度的要求。

附图说明

图1为本发明防止激光器薄膜光学器件损伤的装置一实施例的结构示意图；

图2为图1中的气流控制模块一实施例的结构示意图；

图3为本发明防止激光器薄膜光学器件损伤的装置另一实施例的结构示意图；

图4为本发明防止激光器薄膜光学器件损伤的装置又一实施例的结构示意图；

图5为本发明防止激光器薄膜光学器件损伤的装置又一实施例的结构示意图。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

如图1和2所示，本实施例公开一种防止激光器薄膜光学器件损伤的装置，包括：

密封腔4和气流控制模块5(包括图1中5-2、5-3、5-4、5-5所示的结构)；其中，

所述密封腔4内置激光器(由图1中1、2、3所示的结构组成)，所述密封腔4内填充有工作气体，

所述气流控制模块5与所述密封腔4相连，用于对所述密封腔4内的工作气体中的灰尘含量以及工作气体的湿度进行控制。

参看图1，本发明实施例中，激光器可以由泵浦模块1、激光增益介质2和光学器件3组成，所述激光增益介质2与光学器件3为薄膜光学器件；泵浦模块1，用于为激光器中的激光增益介质2提供泵浦能量以及热管理；激光增益介质2，吸收泵浦模块1提供的泵浦能量，产生激光增益；光学器件3，与所述激光增益介质2沿光轴放置，用于为所述激光增益提供正反馈、实现激光性能控制及激光传输方向控制；所述光学器件3与所述泵浦模块1、激光增益介质2组成具有特定激光性能的激光振荡器或者激光放大器(激光器)，实现激光振荡或者激光放大以及特定性能激光输出。

本发明所述的装置包括密封腔4和气流控制模块5，密封腔4，为所述泵浦模块1、激光增益介质2以及光学器件3组成的激光器提供密封环境；气流控制模块5，与密封腔4相连，一方面用于实现密封腔4内工作气体循环，实时控制工作气体中灰尘含量以及湿度值，另一方面，所述气流控制模块5由出气端5-2、回气端5-3、控制器5-4、循环通道5-5和气流定位控制器组成，还可以实时冷却、净化腔内薄膜光学器件，其具体工作过程为：

所述出气端5-2、回气端5-3与密封腔4连接，工作气体由所述出气端5-2进入并流经密封腔4，由所述回气端5-3导出密封腔4并导入控制器5-4；所述控制器5-4为所述工作气体中的灰尘含量及湿度提供实时控制，并为工作气体循环提供驱动力，使灰尘含量及湿度实时控制后符合要求的工作气体再经循环通道5-5回到回气端5-3，进而循环工作；所述循环通道5-5连接在出气端5-2或者回气端5-3，具有气流定位控制微结构设计(气流定位控制器)，对准薄膜光学器件的通光端面进行吹气或者吸气，实时冷却、净化薄膜光学器件，防止其端面湿气聚集结雾以及灰尘聚集导致打火，

所述对准薄膜光学器件的通光端面进行吹气，具体过程为：

所述循环通道连接在出气端5-5，气流定位控制器出气端将所述工作气体喷射至所述激光增益介质2端面，或者光学器件3通光端面，所述工作气体增大通光端面湍流，实现通光端面的冷却，同时带走其表面的灰尘实现所述通光端面净化；

所述对准薄膜光学器件的通光端面进行吸气，具体过程为：

所述循环通道5-5连接在回气端，气流定位控制器出气端对准激光器的激光增益介质2端面或者光学器件3通光端面，将所述激光增益介质2端面，或者光学器件3通光端面附近的工作气体吸入至循环管道5-5并带出密封腔4；所述回气端5-3工作气体被吸入过程增大通光端面湍流，实现通光端面的冷却，同时带走其表面的灰尘实现所述通光端面净化；

所述5-4由驱动器5-41、除尘器5-42、干燥器5-43、探测器5-44、处理器5-45、显示器5-46、报警器5-47组成，如图2所示：

驱动器5-41，用于为工作气体循环提供驱动力；

除尘器5-42，用于吸收工作气体中的灰尘颗粒，降低灰尘含量；

干燥器5-43，用于吸收工作气体中的水分，降低工作气体的湿度；

探测器5-44，用于探测工作气体中灰尘含量、以及湿度值，并将探测器5-44探测的信号反馈至处理器5-45；

处理器5-45，用于分析并处理数据，并将分析结果传输至显示器5-46显示，当工作气体中的灰尘含量或者湿度不满足设定值时，报警器5-47提供灰尘含量报警，或者湿度报警；实现激光器灰尘含量实时控制，防止薄膜光学器件通光端面打火，同时控制工作气体湿度，防止腔内湿气聚集结雾从而污染薄膜光学器件。

本发明实施例所述的防止激光器薄膜光学器件损伤的装置，采用密闭空间气流控制设计实时净化密封腔内气流，降低密封腔内气体的灰尘含量与湿度，防止灰尘和水分污染薄膜光学器件，从而实现有效防止密闭空间激光器薄膜光学器件损伤与延长使用寿命的目的，与现有技术相比可实时净化密封腔内气流、降低湿度，使之满足激光器运转对洁净度及湿度的要求。

可选地，参看图2和图3，在本发明防止激光器薄膜光学器件损伤的装置的另一实施例中，所述气流控制模块，包括：

出气端5-2、回气端5-3和控制器5-4；其中，

所述出气端5-2和回气端5-3与所述密封腔4连接，

所述控制器5-4，用于驱动所述工作气体循环，在所述工作气体循环的过程中，所述工作气体通过所述回气端5-3从所述密封腔4导出，进入所述控制器5-4，由所述控制器5-4对进入的工作气体进行净化、吸湿处理，并将处理后的工作气体通过所述出气端5-2导入所述密封腔4。

下面对本发明一具体实施例一进行详细描述：

本实施例如图3和图2所示：

工作气体为氮气；

泵浦模块1为3×4半导体阵列，可输出平均功率为300W的泵浦激光，为激光增益介质2提供泵浦能量以及热管理；

激光增益介质2选用Nd:YAG晶体，其中Nd离子掺杂浓度为1at.％，晶体棒直径为3mm，长度为80mm，晶体双端面镀有2μm波段激光增透膜，透过率大于99％；

本实施例中光学器件3由反射镜3-1与输出耦合镜3-2组成，反射镜3-1一个端面镀有对于2μm波段激光反射率大于99％的高反膜系；输出耦合镜3-2一个端面镀有对于2μm波段激光透过率等于20％的膜系，另一个端面镀有对于2μm波段激光透过率大于99％的增透膜系；

密封腔4是殷钢材料制成的密封腔体，其形状为矩形，外尺寸为1500mm×800mm×500mm，内尺寸为1490mm×790mm×490mm，由腔体和密封盖组成，腔体和密封盖之间采用O型圈密封以及螺钉固定，其中腔体的1490mm×790mm面作为密封腔4的底板用于固定激光器相关器件。

本实施例中，反射镜3-1、输出耦合镜3-2、激光增益介质2通光端面镀有激光膜系，均为薄膜光学器件；

气流控制模块5与密封腔相连，由工作气体、出气端5-2，回气端5-3、控制器5-4、循环通道5-5组成，如图3所示，其中循环通道5-5连接在出气端5-2，其末端气流控制器共有5个，分别为5-51，5-52，5-53，5-54，5-55；气流控制模块5一方面用于实现密封腔内工作气体循环，实时控制工作气体中灰尘含量以及湿度值；另一方面还可以实时冷却、净化腔内薄膜光学器件；

所述控制器5-4由驱动器5-41、除尘器5-42、干燥器5-43、探测器5-44，处理器5-45、显示器5-46、报警器5-47组成，如图2所示；用于为所述工作气体中的灰尘含量及湿度提供实时控制，并为工作气体循环提供驱动力，使灰尘含量及湿度实时控制后符合要求的工作气体再经循环通道回到回气端5-3，进而循环工作；

本实施例提供的激光器激光产生过程为：

参考图3，激光增益介质2置于并密封在泵浦模块1之间，激光增益介质2吸收泵浦模块1提供的泵浦能量后产生激光增益以及激光辐射；反射镜3-1与输出耦合镜3-2分别放置在激光增益介质2的两端，反射镜3-1与输出耦合镜3-2构成激光谐振腔，三者共轴放置；反射镜3-1用于实现对所述激光辐射的全反射，输出耦合镜3-2用于实现对所述激光辐射的部分反射以及部分输出；反射镜3-1与输出耦合镜3-2共同为所述激光辐射提供正反馈，反射镜3-1、输出耦合镜3-2、泵浦模块1和激光增益介质2组成激光振荡器，实现激光振荡及输出。所述激光振荡器固定于密封腔4的底板上。

本实施例提供的吹气设计工作原理为：

参考图3，工作气体在驱动器5-41提供的驱动力作用下，经出气端5-2进入循环通道5-5并导入密封腔4，由连接在循环通道5-5另一端的气流控制器对准薄膜光学器件的通光端面进行吹气，实时冷却、净化薄膜光学器件，防止其端面湿气聚集结雾以及灰尘聚集导致打火：其中5-51和5-52分别对准激光增益介质2的两个端面进行吹气，5-53对准反射镜3-1镀有高反膜系的面进行吹气，5-54对准输出耦合镜3-2镀有20％透过率的膜系进行吹气；5-55对准输出耦合镜3-2镀有增透膜系的面进行吹气。

回气端5-3直接与密封腔4连接并由O型圈密封，工作气体由所述回气端5-3导出密封腔4并导入控制器5-4；参考图2，所述控制器5-4中的除尘器5-42吸收工作气体中的灰尘颗粒，降低灰尘含量；干燥器5-43，吸收工作气体中的水分，降低工作气体的湿度；探测器5-44，探测工作气体中灰尘含量、以及湿度值，并将探测器5-44探测的信号反馈至处理器5-45；处理器5-45，分析并处理数据，并将分析结果传输至显示器5-46显示，当工作气体中的灰尘含量或者湿度不满足设定值时，报警器5-47提供灰尘含量报警，或者湿度报警；实现激光器灰尘含量实时控制，防止薄膜光学器件通光端面打火，同时控制工作气体湿度，防止腔内湿气聚集结雾从而污染薄膜光学器件。

参看图4，对于本发明的另一具体实施例二，该实施例结构与实施例一基本相同，不同之处在于：

1、密闭空间激光器为调Q脉冲激光器，光学器件3由反射镜3-1、输出耦合镜3-2、信号发生器3-3、驱动器3-4和电光调制器3-5组成，信号发生器3-3、驱动器3-4和电光调制器3-5组成脉冲控制器用于激光脉冲特性控制；

2、本实施例中，反射镜3-1、输出耦合镜3-2、激光增益介质2、电光调制器3-5通光端面镀有激光膜系，均为薄膜光学器件；

3、所述循环通道5-5一端连接在回气端5-3，对准薄膜光学器件的通光端面进行吸气，实时冷却、净化薄膜光学器件，防止其端面湿气聚集结雾以及灰尘聚集导致打火；

4、循环通道5-5另一端的气流定位控制器有7个，分别为5-51，5-52，5-53，5-54，5-55，5-56，5-57：

5-51和5-52分别对准激光增益介质2的两个端面进行吸气，5-53对准反射镜3-1镀有高反膜系的面进行吸气，5-54对准输出耦合镜3-2镀有20％透过率的膜系进行吸气，5-55对准输出耦合镜3-2镀有增透膜系的面进行吸气，5-56对准电光调制器3-5一个通光面进行吸气，5-57对准电光调制器3-5另一个通光面进行吸气。

本实施例提供的激光器脉冲激光产生过程为：

激光增益介质2置于并密封在泵浦模块1之间，激光增益介质2吸收泵浦模块1提供的泵浦能量后产生激光增益以及激光辐射；反射镜3-1与输出耦合镜3-2分别放置在激光增益介质2的两端，反射镜3-1与输出耦合镜3-2构成激光谐振腔，三者共轴放置；信号发生器3-3产生重复频率为1kHz脉冲宽度为160μs的脉冲信号，触发驱动器3-4周期性工作产生射频信号，该射频信号触发电光调制器3-5工作为激光器提供周期性开通和关断，使得激光谐振腔内产生重复频率1kHz、脉冲宽度为160μs的激光辐射。反射镜3-1用于实现对所述激光辐射的全反射，输出耦合镜3-2用于实现对所述激光辐射的部分反射以及脉冲激光部分输出。

本实施例提供的吸气设计工作原理为：

出气端5-2直接与密封腔4连接并由O型圈密封，工作气体5-1在驱动器5-41提供的驱动力作用下，经出气端5-2导入密封腔4；连接在循环通道5-5另一端的7个气流控制器对准相应薄膜光学器件的通光端面进行吸气，实时冷却、净化薄膜光学器件，防止其端面湿气聚集结雾以及灰尘聚集导致打火。工作气体5-1经循环通道5-5，以及连接在所述循环通道5-5一端的回气端5-3循环回控制器5-4；所述控制器5-4中的除尘器5-42吸收工作气体5-1中的灰尘颗粒，降低灰尘含量；干燥器5-43，吸收工作气体5-1中的水分，降低工作气体5-1的湿度；探测器5-44，探测工作气体5-1中灰尘含量、以及湿度值，并将探测器5-44探测的信号反馈至处理器5-45；处理器5-45，分析并处理数据，并将分析结果传输至显示器5-46显示，当工作气体5-1中的灰尘含量或者湿度不满足设定值时，报警器5-47提供灰尘含量报警，或者湿度报警；实现激光器灰尘含量实时控制，防止薄膜光学器件通光端面打火，同时控制工作气体湿度，防止腔内湿气聚集结雾从而污染薄膜光学器件。

可选地，在本发明防止激光器薄膜光学器件损伤的装置的另一实施例中，所述气流控制模块，还包括：

第一循环通道和吹气子模块；其中，

所述第一循环通道置于所述密封腔内部，一端与所述出气端连接，另一端延伸至所述激光器的薄膜光学器件处，

所述吹气子模块置于所述第一循环通道远离所述出气端的一端，且对准所述薄膜光学器件的端面，由所述控制器控制对所述薄膜光学器件的端面进行吹气。

参考图5，对于本发明的另一具体实施例三，该实施例结构与实施例一基本相同，不同之处在于：

1、密闭空间激光器为具有滤波功能的激光放大器，光学器件3由反射镜3-1、反射镜3-2、第一滤波器3-3，第二滤波器3-4组成，

反射镜3-1和反射镜3-2一端面镀有45°2μm波段激光反射率大于99％的高反膜系；第一滤波器3-3是焦距为1000mm的凸透镜，两面镀有0°2μm波段激光反射率大于99％的高反膜系；第二滤波器3-4是焦距为500mm的凸透镜，两面镀有0°2μm波段激光反射率大于99％的高反膜系；所有光学器件共轴放置，其中反射镜3-1和反射镜3-2与光轴呈45°角，

第一滤波器3-3和第二滤波器3-4构成空间滤波器，实现滤波；

2、光学器件3由反射镜3-1、反射镜3-2、第一滤波器3-3，第二滤波器3-4组成通光端面镀有激光膜系，均为薄膜光学器件；

3、循环通道5-5另一端的气流定位控制器有8个，分别为5-51，5-52，5-53，5-54，5-55，5-56，5-57，5-58：

5-51和5-52分别对准激光增益介质2的两个端面进行吹气，5-53对准反射镜3-1镀有高反膜系的面进行吹气，5-54对准反射镜3-2镀有高反膜系的面进行吹气，5-55和5-56分别对准第一滤波器3-3的两个面进行吸气，5-57和5-58分别对准第一滤波器3-4的两个面进行吸气。

本实施例提供的激光器脉冲激光产生过程为：

反射镜3-1与反射镜3-2分别放置在激光增益介质2的两端，且与光轴呈45°角；反射镜3-1将待放大激光传输方向偏转90°引入激光增益介质2；激光增益介质2置于并密封在泵浦模块1之间，激光增益介质2吸收泵浦模块1提供的泵浦能量后产生激光增益，并对引入的待放大激光实现激光放大；放大后的激光依次经过第一滤波器3-3和第二滤波器3-4进行空间滤波；滤波后的放大激光经反射镜3-2实现传输方向偏折，导出或者导入下一级激光放大器。

本发明实施例提供的吹气子模块，通过对薄膜光学器件的端面进行吹气，能够实时冷却、净化薄膜光学器件，防止其端面湿气聚集结雾以及灰尘聚集导致打火，从而较前述实施例，能够进一步提高密闭空间激光器薄膜光学器件损伤阈值与使用寿命。

可选地，在本发明防止激光器薄膜光学器件损伤的装置的另一实施例中，所述气流控制模块，还包括：

第二循环通道和吸气子模块；其中，

所述第二循环通道置于所述密封腔内部，一端与所述回气端连接，另一端延伸至所述激光器的薄膜光学器件处，

所述吸气子模块置于所述第二循环通道远离所述回气端的一端，且对准所述薄膜光学器件的端面，由所述控制器控制进行吸气。

本发明实施例提供的吸气子模块，通过对薄膜光学器件的端面进行吸气，能够实时冷却、净化薄膜光学器件，防止其端面湿气聚集结雾以及灰尘聚集导致打火。

可选地，在本发明防止激光器薄膜光学器件损伤的装置的另一实施例中，所述气流控制模块，还包括：

数据采集子模块、数据处理子模块和报警子模块；其中，

所述数据采集子模块，用于实时采集所述密封腔内的工作气体中的灰尘含量信息和工作气体的湿度信息，并反馈给所述数据处理子模块，

所述数据处理子模块，用于对所述数据采集子模块反馈的信息进行处理，得到所述密封腔内的工作气体中的灰尘含量和工作气体的湿度值，

所述报警子模块，用于在所述数据处理子模块得到的灰尘含量或者湿度值不在预设的数值范围内时，进行报警。

本发明实施例中，在密封腔内的灰尘含量或者湿度值不在预设的数值范围内时，进行报警，能够便于用户及时地对激光器的工作环境进行净化或者降湿，以防止激光器薄膜光学器件端面湿气聚集结雾以及灰尘聚集导致打火情况的发生。

可选地，在本发明防止激光器薄膜光学器件损伤的装置的另一实施例中，所述气流控制模块，还包括：

显示子模块，用于对所述数据处理子模块得到的灰尘含量和湿度值进行显示。

本发明实施例中，通过对密封腔内的灰尘含量和湿度值进行显示，能够便于用户实时查看。

可选地，在本发明防止激光器薄膜光学器件损伤的装置的另一实施例中，所述密封腔由腔体和密封盖组成，所述腔体和密封盖之间通过O型圈密封，并通过螺钉固定，所述激光器固定在所述腔体的底板上。

本发明实施例中，腔体和密封盖之间通过O型圈密封，并通过螺钉固定，能够有效地避免密封腔漏气，从而能够避免因密封腔漏气导致的密封腔内灰尘含量、湿度增大问题的出现。

可选地，在本发明防止激光器薄膜光学器件损伤的装置的另一实施例中，所述工作气体为氮气或者氦气。

本发明相较于现有技术，采用密闭空间气流控制设计实时净化密封腔内气流，降低密封腔内气体的灰尘含量与湿度，从而能够有效的解决工作环境中的灰尘颗粒引起的激光打火、空气聚集湿度引起的结雾导致的激光器中薄膜光学器件损伤的问题；同时，直接冷却密闭空间内薄膜光学器件，加速其附近空气流动提高局部散热能力，防止薄膜光学器件热损伤，提高其使用寿命。

虽然结合附图描述了本发明的实施方式，但是本领域技术人员可以在不脱离本发明的精神和范围的情况下做出各种修改和变型，这样的修改和变型均落入由所附权利要求所限定的范围之内。

Claims (8)

1.一种防止激光器薄膜光学器件损伤的装置，其特征在于，包括：

密封腔和气流控制模块；其中，

所述密封腔内置激光器，所述密封腔内填充有工作气体，

所述气流控制模块与所述密封腔相连，用于对所述密封腔内的工作气体中的灰尘含量以及工作气体的湿度进行控制。

2.根据权利要求1所述的防止激光器薄膜光学器件损伤的装置，其特征在于，所述气流控制模块，包括：

出气端、回气端和控制器；其中，

所述出气端和回气端与所述密封腔连接，

所述控制器，用于驱动所述工作气体循环，在所述工作气体循环的过程中，所述工作气体通过所述回气端从所述密封腔导出，进入所述控制器，由所述控制器对进入的工作气体进行净化、吸湿处理，并将处理后的工作气体通过所述出气端导入所述密封腔。

3.根据权利要求2所述的防止激光器薄膜光学器件损伤的装置，其特征在于，所述气流控制模块，还包括：

第一循环通道和吹气子模块；其中，

所述第一循环通道置于所述密封腔内部，一端与所述出气端连接，另一端延伸至所述激光器的薄膜光学器件处，

所述吹气子模块置于所述第一循环通道远离所述出气端的一端，且对准所述薄膜光学器件的端面，由所述控制器控制对所述薄膜光学器件的端面进行吹气。

4.根据权利要求2所述的防止激光器薄膜光学器件损伤的装置，其特征在于，所述气流控制模块，还包括：

第二循环通道和吸气子模块；其中，

所述第二循环通道置于所述密封腔内部，一端与所述回气端连接，另一端延伸至所述激光器的薄膜光学器件处，

所述吸气子模块置于所述第二循环通道远离所述回气端的一端，且对准所述薄膜光学器件的端面，由所述控制器控制进行吸气。

5.根据权利要求3或4所述的防止激光器薄膜光学器件损伤的装置，其特征在于，所述气流控制模块，还包括：

数据采集子模块、数据处理子模块和报警子模块；其中，

所述数据采集子模块，用于实时采集所述密封腔内的工作气体中的灰尘含量信息和工作气体的湿度信息，并反馈给所述数据处理子模块，

所述数据处理子模块，用于对所述数据采集子模块反馈的信息进行处理，得到所述密封腔内的工作气体中的灰尘含量和工作气体的湿度值，

所述报警子模块，用于在所述数据处理子模块得到的灰尘含量或者湿度值不在预设的数值范围内时，进行报警。

6.根据权利要求5所述的防止激光器薄膜光学器件损伤的装置，其特征在于，所述气流控制模块，还包括：

显示子模块，用于对所述数据处理子模块得到的灰尘含量和湿度值进行显示。

7.根据权利要求1所述的防止激光器薄膜光学器件损伤的装置，其特征在于，所述密封腔由腔体和密封盖组成，所述腔体和密封盖之间通过O型圈密封，并通过螺钉固定，所述激光器固定在所述腔体的底板上。

8.根据权利要求1所述的防止激光器薄膜光学器件损伤的装置，其特征在于，所述工作气体为氮气或者氦气。